JPS6194290A - 半導体メモリ - Google Patents
半導体メモリInfo
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- JPS6194290A JPS6194290A JP59215866A JP21586684A JPS6194290A JP S6194290 A JPS6194290 A JP S6194290A JP 59215866 A JP59215866 A JP 59215866A JP 21586684 A JP21586684 A JP 21586684A JP S6194290 A JPS6194290 A JP S6194290A
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- Japan
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- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
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- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
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- G—PHYSICS
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- G11C—STATIC STORES
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11C8/04—Arrangements for selecting an address in a digital store using a sequential addressing device, e.g. shift register, counter
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Dram (AREA)
- Shift Register Type Memory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、メモリセル間のデータ移動を高速で行えるよ
うにしたダイナミック半導体メモリに関する。
うにしたダイナミック半導体メモリに関する。
メモリセル間のデータ移動は、画像処理用メモリなどで
頻繁に行われる。画面を上方へ又は下方へ移動させるス
クロール操作がその例で、CRTディスプレイ画面の水
平走査線をダイナミックRAMのワード線に対応させる
と、上方スクロールは第2ワード線のメモリセル群のデ
ータを第1ワード線のメモリセル群に移し、第3ワード
線のメモリセル群のデータを第2ワード線のメモリセル
群へ移し、同様操作を最終ワード線まで繰り返すことで
行なわれる。第5図は従来のダイナミックRAMの概略
構成図で、WDはワードデコーダ、WLO,WLI、・
・・・・・WL511はワード線、CDはコラムデコー
ダ、CLO,CLI、・・・・・・CL511はコラム
選択信号、BLO,BLO,BLl、BLI、・・・・
・・BL511.BL511は折り返し型ビット線、D
B、DBはデータバス、a。
頻繁に行われる。画面を上方へ又は下方へ移動させるス
クロール操作がその例で、CRTディスプレイ画面の水
平走査線をダイナミックRAMのワード線に対応させる
と、上方スクロールは第2ワード線のメモリセル群のデ
ータを第1ワード線のメモリセル群に移し、第3ワード
線のメモリセル群のデータを第2ワード線のメモリセル
群へ移し、同様操作を最終ワード線まで繰り返すことで
行なわれる。第5図は従来のダイナミックRAMの概略
構成図で、WDはワードデコーダ、WLO,WLI、・
・・・・・WL511はワード線、CDはコラムデコー
ダ、CLO,CLI、・・・・・・CL511はコラム
選択信号、BLO,BLO,BLl、BLI、・・・・
・・BL511.BL511は折り返し型ビット線、D
B、DBはデータバス、a。
b、c・・・・・・はメモリセル、SAO,SA1.・
・・・・・SA511はセンスアンプ、BRO,BRI
、・・・・・・BH311はビット線リセット回路であ
る。
・・・・・SA511はセンスアンプ、BRO,BRI
、・・・・・・BH311はビット線リセット回路であ
る。
メモリセルa、b、・・・・・・はそれぞれ第7図(a
lのようにトランスファーゲート用のMOS)ランジス
タQ+とキャパシタCoからなる、1トランジメタ1キ
ヤパシタ型である。またセンスアンプSAO〜5A51
1はそれぞれ同図(b)のようにMOSトランジスタQ
2.Q3を交叉接続したもので、センスアンプ・イネイ
ブルSAE信号でアクティブになるとビット線BL、B
L上の微小電位差(選択されたメモリセルによる)を増
幅する、即ち低い方をVssへ落とす。ビット線リセッ
ト回路BRO〜BR511はそれぞれ同図(C)のよう
にトランジスタQ4〜Q6を備え、ビット線リセット信
号φBRが入力するとQ4〜Q6がオンになってビット
線BL、Bτを短絡しかつ共に電源電圧Vccへ接続す
る(トランジスタQ7.Qllについては後述する)。
lのようにトランスファーゲート用のMOS)ランジス
タQ+とキャパシタCoからなる、1トランジメタ1キ
ヤパシタ型である。またセンスアンプSAO〜5A51
1はそれぞれ同図(b)のようにMOSトランジスタQ
2.Q3を交叉接続したもので、センスアンプ・イネイ
ブルSAE信号でアクティブになるとビット線BL、B
L上の微小電位差(選択されたメモリセルによる)を増
幅する、即ち低い方をVssへ落とす。ビット線リセッ
ト回路BRO〜BR511はそれぞれ同図(C)のよう
にトランジスタQ4〜Q6を備え、ビット線リセット信
号φBRが入力するとQ4〜Q6がオンになってビット
線BL、Bτを短絡しかつ共に電源電圧Vccへ接続す
る(トランジスタQ7.Qllについては後述する)。
第6図は第5図のセルbから同じコラムの但しワード線
はWLIからWLOへ1つ上ったセルaにデータ転送す
る場合の動作波形図である。1回のデータ転送は読出し
サイクルと書込みサイクルから成り、読出しサイクルで
はワード線WLIを選択してセルbのデータ(Oとする
)を読出し、この結果ビット線BLO,BLOに微小電
位差がついたらこれをセンスアンプSAOで増幅し、更
にコラム選択信号CLOをHにしてデータバスDB、D
B上に増幅後のビット線データを出力し、これを図示せ
ぬレジスタに蓄え、その後ワード線WLIおよびコラム
選択信号CLOを共にL(ロー)にしてからリセット回
路BROでビット線BL、BLの電位を共にVccにプ
リチャージする。
はWLIからWLOへ1つ上ったセルaにデータ転送す
る場合の動作波形図である。1回のデータ転送は読出し
サイクルと書込みサイクルから成り、読出しサイクルで
はワード線WLIを選択してセルbのデータ(Oとする
)を読出し、この結果ビット線BLO,BLOに微小電
位差がついたらこれをセンスアンプSAOで増幅し、更
にコラム選択信号CLOをHにしてデータバスDB、D
B上に増幅後のビット線データを出力し、これを図示せ
ぬレジスタに蓄え、その後ワード線WLIおよびコラム
選択信号CLOを共にL(ロー)にしてからリセット回
路BROでビット線BL、BLの電位を共にVccにプ
リチャージする。
以上で読出しサイクルが終了する。尚セルデータの1,
0は外部データと比べると、該セルがBLi側にあるか
1τ了側にあるか(iは0. 1. 2゜・・・・・・
のいずれか)によりそのま\であり又は反転する。例え
ば外部データlはBLOをl5BLOをOとするから、
セルがBLO側にあれば1がlLO側にあればOが書き
込まれる。読出すときは1のセルがBLO側にあれば該
BLOを1、BLτを0にし、0のセルがBLO側にあ
れば該肛■を0、BLOを1にするから、外部からはい
ずれもデータ1として把握される。つまりセル位置によ
り反転して書き込まれても、読出すときまた反転するの
で元に戻る。
0は外部データと比べると、該セルがBLi側にあるか
1τ了側にあるか(iは0. 1. 2゜・・・・・・
のいずれか)によりそのま\であり又は反転する。例え
ば外部データlはBLOをl5BLOをOとするから、
セルがBLO側にあれば1がlLO側にあればOが書き
込まれる。読出すときは1のセルがBLO側にあれば該
BLOを1、BLτを0にし、0のセルがBLO側にあ
れば該肛■を0、BLOを1にするから、外部からはい
ずれもデータ1として把握される。つまりセル位置によ
り反転して書き込まれても、読出すときまた反転するの
で元に戻る。
次の書込みサイクルはセルaのデータ(1とする)を、
前記セルbから読出してレジスタに蓄えであるデータ0
で書直すものである。このためにワード線WLOを選択
すると、先ずはセルaのデータ1が読出されてWτO=
H,Bτ0=Lになり、次いでコラム選択信号CLOが
Hになり、前回の読出しサイクルでレジスタに蓄えられ
ていたデータ0がデータバスに与えられるとDB−L。
前記セルbから読出してレジスタに蓄えであるデータ0
で書直すものである。このためにワード線WLOを選択
すると、先ずはセルaのデータ1が読出されてWτO=
H,Bτ0=Lになり、次いでコラム選択信号CLOが
Hになり、前回の読出しサイクルでレジスタに蓄えられ
ていたデータ0がデータバスに与えられるとDB−L。
DB=Hになり、これによりビット線レベルはBLO=
L、Bτ0=Hに反転する。どれでセルaに対するデー
タOの書込みが行われ、その後コラム選択信号CLOを
Lにして書込みサイクルを終了する。
L、Bτ0=Hに反転する。どれでセルaに対するデー
タOの書込みが行われ、その後コラム選択信号CLOを
Lにして書込みサイクルを終了する。
上述のように従来のデータ転送は各メモリセル(各1ビ
ツト)につき2サイクルを費やすため、例えばlワード
線に512個のセルが接続されている場合(256KR
AM) 、1ワード線のスクロールには2サイクルX5
12=1024サイクル必要になり、1画面は512ワ
ード線とすると画面全体のスクロールには上記の512
倍必要になり、高温化が図れない。本発明はこの点を改
善し、ワード線単位の一斉読取り、−斉書込みを行なっ
て該読取り書込み2サイクルでワード線単位のメモリセ
ル間データ転送を実施可能にして、高速化を図ろう、と
するものである。
ツト)につき2サイクルを費やすため、例えばlワード
線に512個のセルが接続されている場合(256KR
AM) 、1ワード線のスクロールには2サイクルX5
12=1024サイクル必要になり、1画面は512ワ
ード線とすると画面全体のスクロールには上記の512
倍必要になり、高温化が図れない。本発明はこの点を改
善し、ワード線単位の一斉読取り、−斉書込みを行なっ
て該読取り書込み2サイクルでワード線単位のメモリセ
ル間データ転送を実施可能にして、高速化を図ろう、と
するものである。
c問題点を解決するための手段〕
本発明は、複数のワード線と複数のビット線の交叉部に
メモリセルを接続した半導体メモリにおいて、トランス
ファーモードを設けて該トランスファーモードでは、任
意のワード線を選択して該ワード線の全セルの情報を各
ビット線上に読出した状態で、他のワード線を次に選択
し、該他のワード線の全セルに各ピント線上のデータを
書込むようにしてなることを特徴とするものである。
メモリセルを接続した半導体メモリにおいて、トランス
ファーモードを設けて該トランスファーモードでは、任
意のワード線を選択して該ワード線の全セルの情報を各
ビット線上に読出した状態で、他のワード線を次に選択
し、該他のワード線の全セルに各ピント線上のデータを
書込むようにしてなることを特徴とするものである。
C作用〕
時間をずらして2本のワード線を選択し、先に選択した
ワード線上のセル情報でビット線上のデータを確定し、
ここではビット線リセットを行わずに次のワード・線を
選択すると、次のワード線に接続されたセルにはビット
線上のデータがワード線単位で同時に書込まれる。この
ときデータ移動に要する時間は1ワード線に接続さたセ
ル数によらず2メモリサイクル以下で済むので、画像処
理メモリにおけるワード線単位のスクロール処理等が著
しく高速化される。以下、図示の実施例を参照しながら
これを詳細に説明する。
ワード線上のセル情報でビット線上のデータを確定し、
ここではビット線リセットを行わずに次のワード・線を
選択すると、次のワード線に接続されたセルにはビット
線上のデータがワード線単位で同時に書込まれる。この
ときデータ移動に要する時間は1ワード線に接続さたセ
ル数によらず2メモリサイクル以下で済むので、画像処
理メモリにおけるワード線単位のスクロール処理等が著
しく高速化される。以下、図示の実施例を参照しながら
これを詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例で、第5図の構成にトランス
ファー・イネイブル信号発生回路GENを追加したもの
である。この回路GENは外部からのトランスファー信
号TRがLになるとき(H。
ファー・イネイブル信号発生回路GENを追加したもの
である。この回路GENは外部からのトランスファー信
号TRがLになるとき(H。
Lは適宜逆にしてもよい。以下同じ)つまりワード線単
位のデータ移動指示がなされたときにトランスファー・
イネイブル信号TEをHにしてビット線リセット回路B
RO〜BR511の動作を禁止する。例えば第7図(C
1のトランジスタQ?、QBをカントオフするか、信号
φBHの発生回路(図示せず)へ信号TEを送ってTE
=Hの期間は信号φBHの発生を禁止する。また同期間
はコラムデコーダCDを非動作状態にしてどのコラムも
選択されないようにする第3図は動作波形図である。
位のデータ移動指示がなされたときにトランスファー・
イネイブル信号TEをHにしてビット線リセット回路B
RO〜BR511の動作を禁止する。例えば第7図(C
1のトランジスタQ?、QBをカントオフするか、信号
φBHの発生回路(図示せず)へ信号TEを送ってTE
=Hの期間は信号φBHの発生を禁止する。また同期間
はコラムデコーダCDを非動作状態にしてどのコラムも
選択されないようにする第3図は動作波形図である。
本回路は1ワード線に接続されるセル数によらず、2サ
イクルでワード線単位のデータ転送を可能とするもので
ある。つまり、第3図に示すようにトランスファー・イ
ネイブル信号TEをHにしてトランスファーモードの読
出しサイクルが開始されると、先ず転送すべきデータを
保持したセルのワード線(WLIとする)が選択され、
セルb。
イクルでワード線単位のデータ転送を可能とするもので
ある。つまり、第3図に示すようにトランスファー・イ
ネイブル信号TEをHにしてトランスファーモードの読
出しサイクルが開始されると、先ず転送すべきデータを
保持したセルのワード線(WLIとする)が選択され、
セルb。
d、・・・・・・の情報に応じてビット線対に微小電位
差が生ずる。第3図はセルbを例としてビット線対BL
O,BLOだけを示しているが、ビット線対BLI、B
LI・・・・・・についてもセルd・・・・・・の情報
に応じて微小電位差が生ずる。センスアンプSAO〜S
A511はこの微小電位差が増幅してビット線対に明瞭
な電位差をつける。このようにしてワード線WLIに接
続された全セルのデータがビット線上に読出されたらワ
ード線WLIをLにして読出しサイクルを終了する。但
し、この読出しサイクルの終了時点ではセンスアンプS
AO〜5A511を不活性にせず、第7図山)のセンス
アンプ・イネイブルSAEを出し続けてお(、これも信
号TE=Hを用いることで制御できる。続く書込みサイ
クルでは転送先のワード線(WLOとする)を選択する
だけでビット線上のデータが全コラムで同時に書込まれ
る。第3図の例はビット線対BLO,BLOによって保
持されたセルbのデータがセルaに書込まれることを示
しているが、他のビット線対についても同様である。こ
の書込みが完了したらワード線WLOをLにし、次いで
トランスファー・イネイブル信号TEをLにし、ここで
初めてビット線リセット回路BRO〜BR511を動作
させてビット線対をリセット即ちVccヘプリチャージ
し、書込みサイクルを完了する。
差が生ずる。第3図はセルbを例としてビット線対BL
O,BLOだけを示しているが、ビット線対BLI、B
LI・・・・・・についてもセルd・・・・・・の情報
に応じて微小電位差が生ずる。センスアンプSAO〜S
A511はこの微小電位差が増幅してビット線対に明瞭
な電位差をつける。このようにしてワード線WLIに接
続された全セルのデータがビット線上に読出されたらワ
ード線WLIをLにして読出しサイクルを終了する。但
し、この読出しサイクルの終了時点ではセンスアンプS
AO〜5A511を不活性にせず、第7図山)のセンス
アンプ・イネイブルSAEを出し続けてお(、これも信
号TE=Hを用いることで制御できる。続く書込みサイ
クルでは転送先のワード線(WLOとする)を選択する
だけでビット線上のデータが全コラムで同時に書込まれ
る。第3図の例はビット線対BLO,BLOによって保
持されたセルbのデータがセルaに書込まれることを示
しているが、他のビット線対についても同様である。こ
の書込みが完了したらワード線WLOをLにし、次いで
トランスファー・イネイブル信号TEをLにし、ここで
初めてビット線リセット回路BRO〜BR511を動作
させてビット線対をリセット即ちVccヘプリチャージ
し、書込みサイクルを完了する。
上述のように読出しサイクルではビット線すセット回1
iBRO−BR511によるプリチャージは行わず、ま
たコラムデコーダCDによるコラム選択も行わない。こ
の点が第5図との相違点であり、この結果第5図では1
024サイクル要していたワード線単位のデータ転送が
僅が2サイクルだけで完了する。また信号TEでコラム
デコーダCDを不活性にすれば消費電力も節減できる。
iBRO−BR511によるプリチャージは行わず、ま
たコラムデコーダCDによるコラム選択も行わない。こ
の点が第5図との相違点であり、この結果第5図では1
024サイクル要していたワード線単位のデータ転送が
僅が2サイクルだけで完了する。また信号TEでコラム
デコーダCDを不活性にすれば消費電力も節減できる。
第2図は本発明の他の実施例で、第11!Iの構成に更
にトランスファーワード線駆動回路DVを追加して、2
本のワード線を時間差をつけて多重選択するようにした
ものである。つまり、ワード線WLIからワード線WL
Oにデータ転送するとして、第4図のように先ずワード
線WLIを選択したら、ビット線BLO,BLOに増幅
後の電位差が生じた段階でもワード線WLIをリセット
せず、駆動回路DVで転送先のワード線WLOも重ねて
選択してしまう。そしてワード線WLOを非選択にして
書込みを完了するときにワード線WLIも非選択にする
。このようにワード線を2M選択しても格別支障はなく
、これにより読出し、書込みプリチャージという3動作
を含むワード線単位の転送時間は(1+α)サイクルに
短縮される(α〈1)。第1図、第3図では読出し後の
ビット線リセットは行なわないもののこの期間は存在し
、いわば遊び時間が入る。第2図、第4図はこの遊び時
間をなくして一層の高速化を図るものである。
にトランスファーワード線駆動回路DVを追加して、2
本のワード線を時間差をつけて多重選択するようにした
ものである。つまり、ワード線WLIからワード線WL
Oにデータ転送するとして、第4図のように先ずワード
線WLIを選択したら、ビット線BLO,BLOに増幅
後の電位差が生じた段階でもワード線WLIをリセット
せず、駆動回路DVで転送先のワード線WLOも重ねて
選択してしまう。そしてワード線WLOを非選択にして
書込みを完了するときにワード線WLIも非選択にする
。このようにワード線を2M選択しても格別支障はなく
、これにより読出し、書込みプリチャージという3動作
を含むワード線単位の転送時間は(1+α)サイクルに
短縮される(α〈1)。第1図、第3図では読出し後の
ビット線リセットは行なわないもののこの期間は存在し
、いわば遊び時間が入る。第2図、第4図はこの遊び時
間をなくして一層の高速化を図るものである。
なお第2図でも信号TEによってコラムデコーダCDの
動作禁止、途中のビット線リセットの禁止、センスアン
プの継続動作が行われる点は第1図の例と変らない。
動作禁止、途中のビット線リセットの禁止、センスアン
プの継続動作が行われる点は第1図の例と変らない。
上記ではワード線WLIの次にWLOを選択したがこれ
は上方スクロールを想定したからで、下方スクロールな
らこの逆即ちWL510を選択しその次にWL511を
選択し、WL509を選択しその次にwt、510を選
択し・・・・・・の順になる。
は上方スクロールを想定したからで、下方スクロールな
らこの逆即ちWL510を選択しその次にWL511を
選択し、WL509を選択しその次にwt、510を選
択し・・・・・・の順になる。
上方スクロールなら最下行がまた下方スクロールなら最
上方が空くことになるが、こ−へは新(外部)データを
書込むのが普通である。外部データの高速書込みにはシ
フトレジスタを利用する方法があるが、それを利用する
とよい。ワード線単位のデータ転送は隣接ワード線に限
るものではなく、例えばWL5を選択して当該メモリセ
ル群を読み出し、次にWLOを選択して該セル群のデー
タをWLOのセル群へ一斉書込みすることも出来、か\
る飛び越し型のデータ転送も可能である0文字などは複
数行(水平走査線又はワード線)で1文字行になるので
、スクロールにはこのような飛び越し型のデータ転送が
有効である。
上方が空くことになるが、こ−へは新(外部)データを
書込むのが普通である。外部データの高速書込みにはシ
フトレジスタを利用する方法があるが、それを利用する
とよい。ワード線単位のデータ転送は隣接ワード線に限
るものではなく、例えばWL5を選択して当該メモリセ
ル群を読み出し、次にWLOを選択して該セル群のデー
タをWLOのセル群へ一斉書込みすることも出来、か\
る飛び越し型のデータ転送も可能である0文字などは複
数行(水平走査線又はワード線)で1文字行になるので
、スクロールにはこのような飛び越し型のデータ転送が
有効である。
以上述べたように本発明によれば、半導体メモリ内にお
けるワード線単位のデータ移動の時間が著しく短縮され
るので、例えば画像処理メモリのスクロール操作などが
極めて高速化される利点がある。
けるワード線単位のデータ移動の時間が著しく短縮され
るので、例えば画像処理メモリのスクロール操作などが
極めて高速化される利点がある。
第1図および第2図は本発明の異なる実施例を示すブロ
ック図、第3図および第4図はそれらの動作波形図、第
5図は従来の半導体メモリの一例を示すブロック図、第
6図はその動作波形図、第7図は各部の詳細回路図であ
る。 図中、WDはワードデコーダ、WLO,WLI。 ・・・・・・はワード線、CDはコラムデコーダ、BL
O。 BLO,・・・・・・はビット線、DB、DBはデータ
バス、SAG、SA1.−・・・・・はセンスアンプ、
BRO,BRl、・・・・・・はビット線リセット回路
、GENはトランスファー・イネイブル信号発生回路、
DVはトランスファーワード線駆動回路である。
ック図、第3図および第4図はそれらの動作波形図、第
5図は従来の半導体メモリの一例を示すブロック図、第
6図はその動作波形図、第7図は各部の詳細回路図であ
る。 図中、WDはワードデコーダ、WLO,WLI。 ・・・・・・はワード線、CDはコラムデコーダ、BL
O。 BLO,・・・・・・はビット線、DB、DBはデータ
バス、SAG、SA1.−・・・・・はセンスアンプ、
BRO,BRl、・・・・・・はビット線リセット回路
、GENはトランスファー・イネイブル信号発生回路、
DVはトランスファーワード線駆動回路である。
Claims (1)
- 複数のワード線と複数のビット線の交叉部にメモリセ
ルを接続した半導体メモリにおいて、トランスファーモ
ードを設けて該トランスファーモードでは、任意のワー
ド線を選択して該ワード線の全セルの情報を各ビット線
上に読出した状態で、他のワード線を次に選択し、該他
のワード線の全セルに各ビット線上のデータを書込むよ
うにしてなることを特徴とする半導体メモリ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59215866A JPS6194290A (ja) | 1984-10-15 | 1984-10-15 | 半導体メモリ |
KR1019850007518A KR860003604A (ko) | 1984-10-15 | 1985-10-12 | 반도체 메모리 장치 |
DE8585401994T DE3586556T2 (de) | 1984-10-15 | 1985-10-15 | Halbleiterspeicheranordnung. |
EP85401994A EP0178994B1 (en) | 1984-10-15 | 1985-10-15 | Semiconductor memory device |
US07/311,367 US4879685A (en) | 1984-10-15 | 1989-02-16 | Semiconductor memory device with internal array transfer capability |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59215866A JPS6194290A (ja) | 1984-10-15 | 1984-10-15 | 半導体メモリ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6194290A true JPS6194290A (ja) | 1986-05-13 |
Family
ID=16679564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59215866A Pending JPS6194290A (ja) | 1984-10-15 | 1984-10-15 | 半導体メモリ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4879685A (ja) |
EP (1) | EP0178994B1 (ja) |
JP (1) | JPS6194290A (ja) |
KR (1) | KR860003604A (ja) |
DE (1) | DE3586556T2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62273696A (ja) * | 1986-05-21 | 1987-11-27 | Hitachi Ltd | 半導体メモリ |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5197033A (en) * | 1986-07-18 | 1993-03-23 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device incorporating internal power supply for compensating for deviation in operating condition and fabrication process conditions |
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