JPS617445A - 銅酸化被膜の酸化度判別装置 - Google Patents
銅酸化被膜の酸化度判別装置Info
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- JPS617445A JPS617445A JP59127843A JP12784384A JPS617445A JP S617445 A JPS617445 A JP S617445A JP 59127843 A JP59127843 A JP 59127843A JP 12784384 A JP12784384 A JP 12784384A JP S617445 A JPS617445 A JP S617445A
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- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は銅酸化被膜の酸化の程度（酸化度）を光電的に
精度良く判別し得る銅酸化被膜の酸化度判別装置に関す
る。
精度良く判別し得る銅酸化被膜の酸化度判別装置に関す
る。
電球やＣＲＴのガラス封着部分で使用されるジュメット
線の銅酸化被膜の厚さは、その酸化の程度によって変化
する。そして、この酸化の程度は他金属との溶接や封着
等の二次加工の具合と密接な関係を持つ。この為、上記
二次加工の種別に適したジュメット線を提供する為には
、例えばその酸化被膜の厚さにより上記ジュメット線等
の酸化の程度を区分管理することが、その製造工程にお
いて必要となる。
線の銅酸化被膜の厚さは、その酸化の程度によって変化
する。そして、この酸化の程度は他金属との溶接や封着
等の二次加工の具合と密接な関係を持つ。この為、上記
二次加工の種別に適したジュメット線を提供する為には
、例えばその酸化被膜の厚さにより上記ジュメット線等
の酸化の程度を区分管理することが、その製造工程にお
いて必要となる。
ところが一般に、上記酸化被膜の厚みは数帳程度であり
、このような厚みを製品毎に検査することは非常に困難
である。そこで従来では、酸化被膜の反射色がその厚み
に応じて赤黄色から暗赤色系に変化することを利用して
、その反射色によって酸化の程度を判別区分している。
、このような厚みを製品毎に検査することは非常に困難
である。そこで従来では、酸化被膜の反射色がその厚み
に応じて赤黄色から暗赤色系に変化することを利用して
、その反射色によって酸化の程度を判別区分している。
然し乍ら、酸化の程度の違いによる反射色の変化の様子
は極めて微妙であり、その色度、彩度、明度は必ずしも
規則的に変化しない。これ故、例えば予め酸化の程度を
異ならせた標準サンプルの色標準の内、被検サンプルの
反射色がどれに近いかを目視によって判定している従来
の区分作業は、多大な労力と時間を要し、しかもその判
別精度の向上が期待できなかった。
は極めて微妙であり、その色度、彩度、明度は必ずしも
規則的に変化しない。これ故、例えば予め酸化の程度を
異ならせた標準サンプルの色標準の内、被検サンプルの
反射色がどれに近いかを目視によって判定している従来
の区分作業は、多大な労力と時間を要し、しかもその判
別精度の向上が期待できなかった。
ところで一般に、被検サンプルからの反射色は、光電変
換技術を用いることによって、例えば三刺激値Ｘ、Ｙ、
Ｚや色度Ｘ、ｙ等の色の心理物理量として数値的に表現
することができる。これらの数値については、国際照明
委員会（ＣＩＥ）で定められ、例えば次のように定義さ
れる。即ち、分光分布Ｓ（λ）の光源で照明された被検
サンプルの分光反射率がρ（λ）とするとき、前記三刺
激値Ｘ、Ｙ、Ｚは規準化定数をＫとして として表される。また、上記色度ｘ、ｙはとして定義さ
れる。尚、上記三刺激値のＹは、特に視感反射率と称せ
られる。
換技術を用いることによって、例えば三刺激値Ｘ、Ｙ、
Ｚや色度Ｘ、ｙ等の色の心理物理量として数値的に表現
することができる。これらの数値については、国際照明
委員会（ＣＩＥ）で定められ、例えば次のように定義さ
れる。即ち、分光分布Ｓ（λ）の光源で照明された被検
サンプルの分光反射率がρ（λ）とするとき、前記三刺
激値Ｘ、Ｙ、Ｚは規準化定数をＫとして として表される。また、上記色度ｘ、ｙはとして定義さ
れる。尚、上記三刺激値のＹは、特に視感反射率と称せ
られる。
ここで、上式中のＸ（λ）、ｙ（λ）、Ｚ（λ）はＣＩ
Ｅ等色関数と称せられるもので、上記ＣＩＥによって第
５図に示すようにその波長毎に数値が与えられている。
Ｅ等色関数と称せられるもので、上記ＣＩＥによって第
５図に示すようにその波長毎に数値が与えられている。
従って、分光光度計を用いて被検サンプルの分光反射率
ρ（λ）を測定しておけば、照明光源の分光分布Ｓ（λ
）に関する既知データを用いて上記三刺激値Ｘ、Ｙ、Ｚ
や色度Ｘ。
ρ（λ）を測定しておけば、照明光源の分光分布Ｓ（λ
）に関する既知データを用いて上記三刺激値Ｘ、Ｙ、Ｚ
や色度Ｘ。
ｙ、或いは視感反射率Ｙを計算によって求めることが可
能となる。
能となる。
このような分光測色法と称せられる測定方法に対して、
上）ホした合価を光電色彩計を用いて求める方法もある
。この測定方法は色フィルタと光電素子とを組合せ、そ
の分光感度がそれぞれ前記×（λ）、ｙ（λ）、２（λ
）となるように設定した３つの受光器を用い、これらの
各受光器の検出出力から前記三刺激値等を求めるもので
あり、刺激値直読法と称せられる。しかし、この測定方
法にあっては、一般に前記受光器の分光感度を前記各等
色関数に一致させる為の色フィルタの透光率が非常に低
いので、測定再現性に乏しいと云う不具合があった。し
かも、上記色フィルタの特性を前記等色関数に厳密に一
致させること自体が非常に困難であった。これ故、その
測定精度の向上を望み得す、精度の高い測定が要求され
る場合には、前述した分光測色方法に頼らざるを得なが
った。
上）ホした合価を光電色彩計を用いて求める方法もある
。この測定方法は色フィルタと光電素子とを組合せ、そ
の分光感度がそれぞれ前記×（λ）、ｙ（λ）、２（λ
）となるように設定した３つの受光器を用い、これらの
各受光器の検出出力から前記三刺激値等を求めるもので
あり、刺激値直読法と称せられる。しかし、この測定方
法にあっては、一般に前記受光器の分光感度を前記各等
色関数に一致させる為の色フィルタの透光率が非常に低
いので、測定再現性に乏しいと云う不具合があった。し
かも、上記色フィルタの特性を前記等色関数に厳密に一
致させること自体が非常に困難であった。これ故、その
測定精度の向上を望み得す、精度の高い測定が要求され
る場合には、前述した分光測色方法に頼らざるを得なが
った。
しかして、・このような測定方法を用いて前記銅酸化被
膜の酸化の程度を測定することが考えられる。この場合
、銅の酸化被膜の反射色の色度Ｘ。
膜の酸化の程度を測定することが考えられる。この場合
、銅の酸化被膜の反射色の色度Ｘ。
ｙ、またはその視感反射率Ｙ等の測色値が上記銅の酸化
度に対応していることが必要となる。
度に対応していることが必要となる。
然し乍ら、第６図に酸化の程度の異なる９種の銅酸化被
膜サンプルａ、ｂ、ｃ、〜ｉについての色度の分布を示
すように、各サンプルａ、ｂ、ｃ、〜１の色度点は相互
に近接した傾向を示す。尚、上記各サンプルａ、ｂ、ｃ
、〜ｉは、酸化度の低いものから順にそのサンプル識別
名ａ、ｂ、ｃ、〜１を付しである。また、第６図の測定
データからは、酸化度が増すに従ってその色度ｙが僅か
に低くなる傾向が認められるものの、顕著な規則的変化
は認められない。従って、前述した測色装置を用いたと
しても、その測定結果である色度ｘ、ｙ等から銅被膜の
酸化度を正確に判別することは極めて困難であった。
膜サンプルａ、ｂ、ｃ、〜ｉについての色度の分布を示
すように、各サンプルａ、ｂ、ｃ、〜１の色度点は相互
に近接した傾向を示す。尚、上記各サンプルａ、ｂ、ｃ
、〜ｉは、酸化度の低いものから順にそのサンプル識別
名ａ、ｂ、ｃ、〜１を付しである。また、第６図の測定
データからは、酸化度が増すに従ってその色度ｙが僅か
に低くなる傾向が認められるものの、顕著な規則的変化
は認められない。従って、前述した測色装置を用いたと
しても、その測定結果である色度ｘ、ｙ等から銅被膜の
酸化度を正確に判別することは極めて困難であった。
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、そ
の目的とするところは、光電的手法を有効に用いて銅酸
化被膜の酸化の程度を簡易に、且つ精度良く測定するこ
とのできる実用性の高い銅酸化被膜の酸化度判別装置を
提供することにある。
の目的とするところは、光電的手法を有効に用いて銅酸
化被膜の酸化の程度を簡易に、且つ精度良く測定するこ
とのできる実用性の高い銅酸化被膜の酸化度判別装置を
提供することにある。
本発明は銅の酸化被膜の分光反射率分布の形状が、例え
ば第２図に示すように、その酸化度に応じて規則的に変
化していることを見出してなされたもので、純銅または
銅酸化被膜からなる被検りンプルの反射光の、例えば波
長５００ｎｍ以下の短波長域または波長６３０ ＋１ｒ
ｎ以上の長波長域の成分ど、波長５００〜６３０ｎｍの
中波長域の成分とをそれぞれ求め、これらの各成分の比
または差から前記被検サンプルの酸化度を判別するよう
にしたものである。つまり第２図に示すように酸化被膜
の分光反射率の分布形状が、その酸化度が高い程、特性
Ａに示されるように短波長域および長波長域で反射率が
高く、且つ中波長域で反射率が低くなる性質を有し、逆
にその酸化度が低い程、特性Ｂに示されるように短波長
域および長波長域で反射率が低くなり、且つ中波長域で
反射率が高くなる性質を有する。しかもこのような分光
反射率の分布形状が、その酸化の程度に応じて規則的に
変化することを見出し、被検サンプルの反射光の各波長
域での成分を検出し、これらの各成分の比またはその差
から前記被検サンプルの酸化度を測定するようにしたも
のである。
ば第２図に示すように、その酸化度に応じて規則的に変
化していることを見出してなされたもので、純銅または
銅酸化被膜からなる被検りンプルの反射光の、例えば波
長５００ｎｍ以下の短波長域または波長６３０ ＋１ｒ
ｎ以上の長波長域の成分ど、波長５００〜６３０ｎｍの
中波長域の成分とをそれぞれ求め、これらの各成分の比
または差から前記被検サンプルの酸化度を判別するよう
にしたものである。つまり第２図に示すように酸化被膜
の分光反射率の分布形状が、その酸化度が高い程、特性
Ａに示されるように短波長域および長波長域で反射率が
高く、且つ中波長域で反射率が低くなる性質を有し、逆
にその酸化度が低い程、特性Ｂに示されるように短波長
域および長波長域で反射率が低くなり、且つ中波長域で
反射率が高くなる性質を有する。しかもこのような分光
反射率の分布形状が、その酸化の程度に応じて規則的に
変化することを見出し、被検サンプルの反射光の各波長
域での成分を検出し、これらの各成分の比またはその差
から前記被検サンプルの酸化度を測定するようにしたも
のである。
かくして本発明によれば、被検サンプルの反射光の分光
反射率の分布形状がその酸化度に対応していることに着
目して、上記被検サンプルの反射光の短波長域または長
波長域の成分と、上記反射光の中波長域の成分との比ま
たは差を前記被検サンプルの酸化度を示す尺度として用
いるので、前記被検サンプルの酸化度を数値的に精度良
く評価することが可能となる。従って、従来の目視に頼
るような曖昧さを招来することなしに、純銅または銅酸
化被膜からなる被検サンプルの酸化度を正確に測定して
、例えば特定の酸化度の被検サンプルのみを抽出したり
、或いはその酸化の度合いによって複数の被検サンプル
を分類する等の作業を精度良く、且つ効率良く行うこと
が可能となる。
反射率の分布形状がその酸化度に対応していることに着
目して、上記被検サンプルの反射光の短波長域または長
波長域の成分と、上記反射光の中波長域の成分との比ま
たは差を前記被検サンプルの酸化度を示す尺度として用
いるので、前記被検サンプルの酸化度を数値的に精度良
く評価することが可能となる。従って、従来の目視に頼
るような曖昧さを招来することなしに、純銅または銅酸
化被膜からなる被検サンプルの酸化度を正確に測定して
、例えば特定の酸化度の被検サンプルのみを抽出したり
、或いはその酸化の度合いによって複数の被検サンプル
を分類する等の作業を精度良く、且つ効率良く行うこと
が可能となる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例につき説明する
。
。
第１図は実施例装置の概略構成図である。図中１は所定
の分光分布Ｓ（λ）を有する白熱電球等の光源であり、
この光源１からの直接光または反射ミラー２を介して反
射された光は熱反射体３を介して照明用ライトガイド４
に入射されている。
の分光分布Ｓ（λ）を有する白熱電球等の光源であり、
この光源１からの直接光または反射ミラー２を介して反
射された光は熱反射体３を介して照明用ライトガイド４
に入射されている。
この照明用ライトガイド４に入射された光が、該ライト
ガイドの端部５から純銅または銅酸化被膜からなる被検
サンプル６に照明される。そして、この照明によって前
記被検サンプル６にその酸化度に応じて生じた反射光は
前記ライト・ガイド端部５より受光用ライトガイド７に
導入されて反射光検出部に導かれる。この受光用ライト
ガイド７および前記照明用ライトガイド４は、それぞれ
複数の光ファイバからなるファイバ束として形成される
もので、前記ライトガイド端部５において上記各ライト
ガイド４，７をそれぞれ形成する複数の光ファイバはラ
ンダム配置されている。このランダム配置によって前記
被検サンプル６が一様に照明され、且つその反射光が受
光用ライトガイド７を介して一様に受光されるようにな
っている。
ガイドの端部５から純銅または銅酸化被膜からなる被検
サンプル６に照明される。そして、この照明によって前
記被検サンプル６にその酸化度に応じて生じた反射光は
前記ライト・ガイド端部５より受光用ライトガイド７に
導入されて反射光検出部に導かれる。この受光用ライト
ガイド７および前記照明用ライトガイド４は、それぞれ
複数の光ファイバからなるファイバ束として形成される
もので、前記ライトガイド端部５において上記各ライト
ガイド４，７をそれぞれ形成する複数の光ファイバはラ
ンダム配置されている。このランダム配置によって前記
被検サンプル６が一様に照明され、且つその反射光が受
光用ライトガイド７を介して一様に受光されるようにな
っている。
ところで、上記の如く照明された被検サンプル６の反射
光は、第２図に示す如き分光反射特性を有している。即
ち、波長５００ｎｍ近傍、および６３０ｎｍ近傍を境と
する短波長域、中波長域、および長波長域において、そ
の酸化の程度に応じた反射率の増減を呈する。具体的に
は酸化度が高い場合、上記短波長域および長波長域にて
その反射率が高くなり、また中波長域では反射率が低く
なる。そして酸化度が低い場合には、上記短波長域およ
び長波長域で反射率が低くなり、また中波長域では反射
率が高くなる。このような各波長域での反射率の増減は
、被検サンプルの酸化の程度に対応している。そこで本
装置では、上記各波長域での反射光の成分を前記反則光
検出部にてそれぞれ検出するようにしている。
光は、第２図に示す如き分光反射特性を有している。即
ち、波長５００ｎｍ近傍、および６３０ｎｍ近傍を境と
する短波長域、中波長域、および長波長域において、そ
の酸化の程度に応じた反射率の増減を呈する。具体的に
は酸化度が高い場合、上記短波長域および長波長域にて
その反射率が高くなり、また中波長域では反射率が低く
なる。そして酸化度が低い場合には、上記短波長域およ
び長波長域で反射率が低くなり、また中波長域では反射
率が高くなる。このような各波長域での反射率の増減は
、被検サンプルの酸化の程度に対応している。そこで本
装置では、上記各波長域での反射光の成分を前記反則光
検出部にてそれぞれ検出するようにしている。
しかして、前記受光用ライトガイド７を介して検出され
る前記被検サンプル６の反射光は、ステップモータ１１
により回転制御される回転板１２に取付けられた複数の
色フィルタ１３を選択的に介し、更に集光レンズ１４を
介して受光器１５により検出されている。上記回転板１
２に取付けられた複数の色フィルタ１３は、例えば第３
図にその特性を示すように、波長５００ ｎ ｍ近傍に
透過限界波長を有する第１の短波長連ｒｇＩ型シャープ
カットフィルタ１３ａと、波長Ｇ ３ Ｏｎ ＋ｎ近滴
・に透過限界波長を有する第２の短波長遮断型シャープ
カッ１〜フイルタ１３ｂとからなる。そして、前記回転
板１２は、上記フィルタ１３ａ１３ｂと、光の素通し部
分とをもち、前記モータ１１の回転制御によって前記反
射光の受光検出系に上記フィルタ１３ａ 、 １３ｂを
選択的に挿入するものとなっている。
る前記被検サンプル６の反射光は、ステップモータ１１
により回転制御される回転板１２に取付けられた複数の
色フィルタ１３を選択的に介し、更に集光レンズ１４を
介して受光器１５により検出されている。上記回転板１
２に取付けられた複数の色フィルタ１３は、例えば第３
図にその特性を示すように、波長５００ ｎ ｍ近傍に
透過限界波長を有する第１の短波長連ｒｇＩ型シャープ
カットフィルタ１３ａと、波長Ｇ ３ Ｏｎ ＋ｎ近滴
・に透過限界波長を有する第２の短波長遮断型シャープ
カッ１〜フイルタ１３ｂとからなる。そして、前記回転
板１２は、上記フィルタ１３ａ１３ｂと、光の素通し部
分とをもち、前記モータ１１の回転制御によって前記反
射光の受光検出系に上記フィルタ１３ａ 、 １３ｂを
選択的に挿入するものとなっている。
上記受光器１５により検出された上記反射光の成分（反
射光強度）は、前記回転板１２に回転、つまり前記フィ
ルタ１３ａ 、 １３ｂの選択的な受光系への挿入に応
動してデータ処理装置１６に入力されている。データ処
理装置１６は、前記素通し部分を介して受光検出された
反射光の成分１０と、シャープカットフィルタ１３ａを
介して受光検出された前記反射光の成分ｉａと、シャー
プカットフィルタ１３ｂを介して受光検出された前記反
射光の成分１ｂとから、短波長域、中波長域および長波
長域の各反射光成分をそれぞれ検出している。具体的に
は、例えば前記検出成分ｉｂは波長６３０ｎｍ以上の成
分であることから、これを長波長域の成分：ｒとし、ま
た１ａ−ｉｂ ）を中波長域の成分１ｙとしている。更
に（ｔｏ−ｉａ、）を短波長域の成分ｉｋとしている。
射光強度）は、前記回転板１２に回転、つまり前記フィ
ルタ１３ａ 、 １３ｂの選択的な受光系への挿入に応
動してデータ処理装置１６に入力されている。データ処
理装置１６は、前記素通し部分を介して受光検出された
反射光の成分１０と、シャープカットフィルタ１３ａを
介して受光検出された前記反射光の成分ｉａと、シャー
プカットフィルタ１３ｂを介して受光検出された前記反
射光の成分１ｂとから、短波長域、中波長域および長波
長域の各反射光成分をそれぞれ検出している。具体的に
は、例えば前記検出成分ｉｂは波長６３０ｎｍ以上の成
分であることから、これを長波長域の成分：ｒとし、ま
た１ａ−ｉｂ ）を中波長域の成分１ｙとしている。更
に（ｔｏ−ｉａ、）を短波長域の成分ｉｋとしている。
そしてデータ処理装置１６は、これらの各波長域の反射
光成分ｉｒ、ｉｙ、ｉｋに従って、前記短波長域または
長波長域の成分と中波長域の成分との比、またはその差
を次のように計算している。上記検出成分の比は ｉｙ／（ｉｒ＋ｉｋ） または Ｉ １／ 、−” ！ ｋ Ｏｒ
！ Ｖ ／ ｔ ｒ等として引算
される。また上記各成分の差は１Ｖ−（ｉｒ＋ｔｋ） または １ｙ−ｉｋ ｏｒ ｔｙ−１ｒ等として計算さ
れる。尚、上記比の逆数を３１算することも可能である
。
光成分ｉｒ、ｉｙ、ｉｋに従って、前記短波長域または
長波長域の成分と中波長域の成分との比、またはその差
を次のように計算している。上記検出成分の比は ｉｙ／（ｉｒ＋ｉｋ） または Ｉ １／ 、−” ！ ｋ Ｏｒ
！ Ｖ ／ ｔ ｒ等として引算
される。また上記各成分の差は１Ｖ−（ｉｒ＋ｔｋ） または １ｙ−ｉｋ ｏｒ ｔｙ−１ｒ等として計算さ
れる。尚、上記比の逆数を３１算することも可能である
。
しかして、このようにして計算される各波長域の反射光
成分の比またはその差は、上記各波長域の反射率の相関
を示すものである。そして前記第２図に示した被検サン
プルの酸化度に応じた分光反射率の分布形状から明らか
なように、上記各波長域の反射光成分の比は、例えば被
検サンプルのＭ１ヒ度が高い程小さくなり、その酸化度
が低い程大きい値となる。また同様に、上記各波長域の
反射光の成分の差も、被検サンプルの酸化度に応じてそ
の値が変化することになる。
成分の比またはその差は、上記各波長域の反射率の相関
を示すものである。そして前記第２図に示した被検サン
プルの酸化度に応じた分光反射率の分布形状から明らか
なように、上記各波長域の反射光成分の比は、例えば被
検サンプルのＭ１ヒ度が高い程小さくなり、その酸化度
が低い程大きい値となる。また同様に、上記各波長域の
反射光の成分の差も、被検サンプルの酸化度に応じてそ
の値が変化することになる。
第４図は前述した酸化度を相互に異にする複数のサンプ
ルａ、ｂ、ｃ、〜ｉについて、上述した如く各波長域の
反射光成分の比を求めた結果を示すものである。このデ
ータにも明確に現れるように、上記の如く求められる反
射光の各波長域の成分の比（または差）は、被検サンプ
ルの酸化度に対応したもの・となる。従って、上記反射
光の各波長域の成分の比（または差）の値を、その、サ
ンプルの酸化度を示す尺度とし、で用いることが可能と
なる。
ルａ、ｂ、ｃ、〜ｉについて、上述した如く各波長域の
反射光成分の比を求めた結果を示すものである。このデ
ータにも明確に現れるように、上記の如く求められる反
射光の各波長域の成分の比（または差）は、被検サンプ
ルの酸化度に対応したもの・となる。従って、上記反射
光の各波長域の成分の比（または差）の値を、その、サ
ンプルの酸化度を示す尺度とし、で用いることが可能と
なる。
このように本装置によれば、被検サンプルの分光反射率
の分布形状に看目し、その反射光の短波長域または長波
長域の成分と、上記反射光の中波長域の成分との比また
はその差を求めて、上記被検サンプルの酸化度を評価す
るので、その酸化度を数値的に精度良く、且つ正確に評
価することができる。つまり従来のように目視に頼った
主観的な評価ではなく、反射光の波長域間の成分の比ま
たは差としてその酸化度を数値的に客観的に評価するこ
とができる。しかも、その評価をデータ処理装置１６の
計算処理によって高速に効率良く行ない得る。従って、
前述したジュメット線の品質管理等、製造工程における
品質管理を簡易に、且つ効果的に行ない得る。。
の分布形状に看目し、その反射光の短波長域または長波
長域の成分と、上記反射光の中波長域の成分との比また
はその差を求めて、上記被検サンプルの酸化度を評価す
るので、その酸化度を数値的に精度良く、且つ正確に評
価することができる。つまり従来のように目視に頼った
主観的な評価ではなく、反射光の波長域間の成分の比ま
たは差としてその酸化度を数値的に客観的に評価するこ
とができる。しかも、その評価をデータ処理装置１６の
計算処理によって高速に効率良く行ない得る。従って、
前述したジュメット線の品質管理等、製造工程における
品質管理を簡易に、且つ効果的に行ない得る。。
尚、本発明は上述した実施例に限定されるものではない
。例えば実施例では、シャープカットフィルタを用いて
各波長域の反射光成分を検出したが、各波長域に有意な
分光透過率を有する色フィルタや干渉フィルタを用いた
り、或いは反射光を分光して各波長域の成分をそれぞれ
求めるようにしても良い。また、実施例では素通し部分
を介して反射光の全波長域に亙る成分を検出したが、必
ずしもその必要はない。即ち、前記２つのシャープカッ
トフィルタを介してそれぞれ検出された反射光成分から
直接的に上記各波長域の成分の比やその差を求めるよう
にしても良い。要するに本発明は、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変形して実施することができる。
。例えば実施例では、シャープカットフィルタを用いて
各波長域の反射光成分を検出したが、各波長域に有意な
分光透過率を有する色フィルタや干渉フィルタを用いた
り、或いは反射光を分光して各波長域の成分をそれぞれ
求めるようにしても良い。また、実施例では素通し部分
を介して反射光の全波長域に亙る成分を検出したが、必
ずしもその必要はない。即ち、前記２つのシャープカッ
トフィルタを介してそれぞれ検出された反射光成分から
直接的に上記各波長域の成分の比やその差を求めるよう
にしても良い。要するに本発明は、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変形して実施することができる。
第１図は本発明の一実施例装置の概略構成図、第２図は
酸化被膜の分光反射率分布特性を示す図、第３図はシャ
ープカットフィルタの特性を示す図、第４図は実施例装
置において求められる各波長域成分の比と酸化度との関
係を示す図、第５図はＣＩＥ等色関数を示す図、第６図
は酸化度の異なるサンプルの反射光の各色度を示す図で
ある。 １・・・光源、２・・・反射ミラー、３・・・熱反射体
、４・・・照明用ライトガイド、５・・・ライトガイド
端部、６・・・被検サンプル、７・・・受光用ライトガ
イド、１１・・・ステップモータ、１２・・・回転板、
１３・・・色フィルタ、１３ａ 、 １３ｂ・・・シャ
ープカットフィルタ、１４・・・集光レンズ、１５・・
・受光器、１６・・・データ処理装置。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 うＬ表（ｎ ｍ ） 第３図 第４図
酸化被膜の分光反射率分布特性を示す図、第３図はシャ
ープカットフィルタの特性を示す図、第４図は実施例装
置において求められる各波長域成分の比と酸化度との関
係を示す図、第５図はＣＩＥ等色関数を示す図、第６図
は酸化度の異なるサンプルの反射光の各色度を示す図で
ある。 １・・・光源、２・・・反射ミラー、３・・・熱反射体
、４・・・照明用ライトガイド、５・・・ライトガイド
端部、６・・・被検サンプル、７・・・受光用ライトガ
イド、１１・・・ステップモータ、１２・・・回転板、
１３・・・色フィルタ、１３ａ 、 １３ｂ・・・シャ
ープカットフィルタ、１４・・・集光レンズ、１５・・
・受光器、１６・・・データ処理装置。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 うＬ表（ｎ ｍ ） 第３図 第４図
Claims (4)
- （１）純銅または銅酸化被膜からなる被検サンプルを照
明する光源と、この光源により照明された上記被検サン
プルの反射光を検出する手段と、上記反射光の短波長域
、中波長域、および長波長域からなる３つの波長域の内
、上記短波長域または長波長域の成分と前記中波長域の
成分との比またはその差を求める手段とを具備し、上記
比または差から前記被検サンプルの酸化度を判別してな
ることを特徴とする銅酸化被膜の酸化度判別装置。 - （２）反射光の短波長域、中波長域、および長波長域か
らなる３つの波長域は、波長が５００ｎｍ以下の波長域
、波長が５００〜６３０ｎｍの波長域、波長が６３０ｎ
ｍ以上の波長域としてそれぞれ設定されたものである特
許請求の範囲第１項記載の銅酸化被膜の酸化度判別装置
。 - （３）反射光の短波長域または長波長域の成分は、上記
短波長域または長波長域のいずれか一方の反射光成分と
して、或いは前記短波長域および長波長域の各反射光成
分の和として検出されるものである特許請求の範囲第１
項記載の銅酸化被膜の酸化度判別装置。 - （４）反射光の短波長域または長波長域の成分および前
記中波長域の成分は、波長５００ｎｍに透過限界波長を
有する第１の短波長遮断型シャープカットフィルタ、お
よび波長６３０ｎｍに透過限界波長を有する第２の短波
長遮断型シャープカットフィルタをそれぞれ介して前記
反射光を検出して求められるものである特許請求の範囲
第１項記載の銅酸化被膜の酸化度判別装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127843A JPS617445A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 銅酸化被膜の酸化度判別装置 |
| EP85304423A EP0169664B1 (en) | 1984-06-21 | 1985-06-20 | Apparatus for determining the degree of oxidation of an oxide coating |
| DE8585304423T DE3579386D1 (de) | 1984-06-21 | 1985-06-20 | Vorrichtung zum bestimmen des oxydationsgrades einer oxydbeschichtung. |
| US07/404,050 US4957370A (en) | 1984-06-21 | 1989-09-06 | Method and apparatus for determining the degree of oxidation of an oxide coating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127843A JPS617445A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 銅酸化被膜の酸化度判別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617445A true JPS617445A (ja) | 1986-01-14 |
Family
ID=14970036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59127843A Pending JPS617445A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 銅酸化被膜の酸化度判別装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4957370A (ja) |
| EP (1) | EP0169664B1 (ja) |
| JP (1) | JPS617445A (ja) |
| DE (1) | DE3579386D1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310146A (ja) * | 1989-06-08 | 1991-01-17 | Okawara Mfg Co Ltd | 反射型光ファイバー式赤外線水分計 |
| JP2008249687A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-10-16 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd | 混合光中の光の１つ以上の他のスペクトルの検出強度に応じてこの混合光中の光の１つのスペクトルの強度を推定するための方法および装置 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5038038A (en) * | 1989-05-09 | 1991-08-06 | Southwest Research Institute | Optical sensor for detecting quantity of protective coating |
| DE69209270T2 (de) * | 1991-12-13 | 1996-08-08 | Kawasaki Steel Co | Verfahren und Vorrichtung zur Prozesssteuerung eines Strahlung aussendenden Materials |
| GB9219450D0 (en) * | 1992-09-15 | 1992-10-28 | Glaverbel | Thin film thickness monitoring and control |
| JP3070027B2 (ja) * | 1993-04-21 | 2000-07-24 | 富士通株式会社 | 配線基板の製造方法 |
| GB2339831B (en) | 1998-07-20 | 2002-08-14 | Meritor Light Vehicle Sys Ltd | Door mechanism |
| GB2345539A (en) * | 1999-01-06 | 2000-07-12 | Samfit Uk Ltd | Detecting a non-uniform coating on a core member |
| EP1143222A3 (en) * | 2000-04-06 | 2002-01-02 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for detecting the thickness of copper oxide |
| US6525829B1 (en) * | 2001-05-25 | 2003-02-25 | Novellus Systems, Inc. | Method and apparatus for in-situ measurement of thickness of copper oxide film using optical reflectivity |
| US7044623B2 (en) * | 2003-11-21 | 2006-05-16 | Deepsea Power & Light | Thru-hull light |
| US20070137544A1 (en) * | 2005-09-09 | 2007-06-21 | Macdonald Ian M | Two piece view port and light housing |
| US7826055B2 (en) * | 2006-03-09 | 2010-11-02 | Oclaro Technology Limited | Optical channel analyzer with variable filter |
| US20080130304A1 (en) * | 2006-09-15 | 2008-06-05 | Randal Rash | Underwater light with diffuser |
| CN116045791B (zh) * | 2023-04-03 | 2023-07-21 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种金属漆涂层厚度评估方法 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3017512A (en) * | 1959-06-29 | 1962-01-16 | American Can Co | Coating thickness gauge |
| DE1623319A1 (de) * | 1967-06-22 | 1971-03-18 | Telefunken Patent | Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke von luftdurchlaessiegen Schichten |
| US3737237A (en) * | 1971-11-18 | 1973-06-05 | Nasa | Monitoring deposition of films |
| IT988911B (it) * | 1972-06-07 | 1975-04-30 | Infra Systems Inc | Apparecchio perfezionato per mi surare le proprieta dei costi tuenti di un nastro che trasla |
| IT1033240B (it) * | 1974-03-14 | 1979-07-10 | Grapho Metronic Gmbh & Co | Umidificatore in una macchina stampatrice offset con un dispositivo per la regolazione del quantitativo d acqua sulla piastra |
| DE2634241A1 (de) * | 1975-10-06 | 1977-04-14 | Ibm | Hochwirksames beleuchtungssystem |
| GB2016678B (en) * | 1978-03-10 | 1982-09-15 | Asahi Dow Ltd | Infrared multilayer film thickness measuring method and apparatus |
| US4293224A (en) * | 1978-12-04 | 1981-10-06 | International Business Machines Corporation | Optical system and technique for unambiguous film thickness monitoring |
| JPS56101505A (en) * | 1980-01-18 | 1981-08-14 | Chino Works Ltd | Optical measurement device |
| JPS6058793B2 (ja) * | 1980-03-24 | 1985-12-21 | 日電アネルバ株式会社 | プラズマ分光監視装置 |
| SE8006679L (sv) * | 1980-09-24 | 1982-03-25 | Asea Ab | Korrelerande fiberoptiskt metdon |
| JPS57166547A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-14 | Olympus Optical Co Ltd | Apparatus for reflective spectrophotometry |
| JPS5830605A (ja) * | 1981-08-18 | 1983-02-23 | Kawasaki Steel Corp | 表面被膜厚さ測定方法 |
| JPS58115306A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-09 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | 塗膜厚連続測定装置 |
| CH668646A5 (de) * | 1983-05-31 | 1989-01-13 | Contraves Ag | Vorrichtung zum wiederholten foerdern von fluessigkeitsvolumina. |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP59127843A patent/JPS617445A/ja active Pending
-
1985
- 1985-06-20 EP EP85304423A patent/EP0169664B1/en not_active Expired
- 1985-06-20 DE DE8585304423T patent/DE3579386D1/de not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-09-06 US US07/404,050 patent/US4957370A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310146A (ja) * | 1989-06-08 | 1991-01-17 | Okawara Mfg Co Ltd | 反射型光ファイバー式赤外線水分計 |
| JP2008249687A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-10-16 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd | 混合光中の光の１つ以上の他のスペクトルの検出強度に応じてこの混合光中の光の１つのスペクトルの強度を推定するための方法および装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0169664A1 (en) | 1986-01-29 |
| US4957370A (en) | 1990-09-18 |
| EP0169664B1 (en) | 1990-08-29 |
| DE3579386D1 (de) | 1990-10-04 |
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