[go: up one dir, main page]

JPS61264204A - 部品高さ検知装置 - Google Patents

部品高さ検知装置

Info

Publication number
JPS61264204A
JPS61264204A JP10590785A JP10590785A JPS61264204A JP S61264204 A JPS61264204 A JP S61264204A JP 10590785 A JP10590785 A JP 10590785A JP 10590785 A JP10590785 A JP 10590785A JP S61264204 A JPS61264204 A JP S61264204A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
height
light
irradiation optical
optical systems
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10590785A
Other languages
English (en)
Inventor
Moritoshi Ando
護俊 安藤
Giichi Kakigi
柿木 義一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP10590785A priority Critical patent/JPS61264204A/ja
Publication of JPS61264204A publication Critical patent/JPS61264204A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 半導体レーザを光源とし直線状の光を部品の斜め上方か
ら照射し、その反射光を上方からテレビカメラで撮像し
て部品の高さを検出する高さ検知装置において、部品を
照射する光学系を複数個配置することにより部品を動か
さずに複数の高さ情報を検知することができる。
〔産業上の利用分野〕
本発明はプリント配線板に搭載された電子部品の形状検
査等に用いられる部品高さ検知装置に関するものである
従来、電子装置の製造工程において、プリント配線板に
搭載された電子部品が誤りなきかどうか、又は正常に取
付けられているか等を検査する必要があり、この検査は
目視により行なわれていた。
しかし最近は作業の合理化、信頼性の向上環の上から自
動化が要望されている。
〔従来の技術〕
従来、部品高さの検知を行なう場合、第4図に示すよう
な光切断法と呼ばれる高さ検知法が知られている。これ
は′第4図aに示すようにスリットを通した直線状の光
1を部品2の斜め上方から照射し、その反射光を部品の
上方からテレビカメラ3で撮像し、第4図すの如き反射
光の像4を得て、その段差dがhc<d(但しhは部品
高さ)であることを利用して部品高さhを検知するよう
になっている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記の方法では、第5図のように部品2のA。
82箇所の高さを検出したいときは部品2を矢印P方向
に移動して2回測定する必要があり、さらに多くの高さ
情報を得たいときは、その都度部品を移動させなければ
ならず、作業が繁雑となるという欠点があった。
本発明はこのような点にかんがみて創作されたもので、
部品を動かさずにその複数個所の高さ情報を検知できる
部品高さ検知装置を提供することを目的としている。
〔問題点を解決するための手段〕
このため本発明においては、半導体レーザを光源10と
し直線状の光11を被測定部品12の斜め上方から照射
するようにした部品照射光学系の複数個13−I〜13
−7と、被測定部品12の上方から撮像できるテレビカ
メラ14とを具備して成り、前記複数の部品照射光学系
、13−1〜13−nはそれぞれ異なる位置から被測定
部品12を照射できるように配置され、且つその光源1
0は順次発光するように制御されることを特徴としてい
る。
〔作 用〕
異なった位置に配置された複数の部品照射光学系と、反
射光を撮像するテレビカメラとにより部品を動かさずに
その複数個所の高さ情報を得ることが可能となる。
〔実施例〕
第1図は本発明の第1の実施例を示す図である。
本実施例は部品12を斜め上方から直線状の光11で照
射する複数の部品照射光学系13.、l 、 IL2と
、4該光学系で照射した部品12からの反射光を部品1
2の真上から撮像するテレビカメラ14とからなり、前
記複数の部品照射光学系13−、 、13−。
はそれぞれレーザ光源10とその光を直線状にする2個
のシリンドリカルレンズ15 、16とより構成され、
それぞれ異なった位置から部品12を照射するように配
置されている。また複数の光源10は順次発光するよう
にコントローラ17からドライバ1日を介して制御され
るようになっている。
このように構成された本実施例は部品12を複数の部品
照射光学系13−+ 、 t3−zで照射することがで
きるため、部品12を静止したままでテレビカメラ14
によって複数の高さ情報を得ることができる。なお光源
lOを順次発光させる理由は複数の高さ情報が混同しな
いようにするためである。
第2図は本発明の第2の実施例を示す図である。
同図ににおいて第1図と同一部分は同一符号を付して示
した。
本実施例が前実施例と異なるところは前実施例と同様な
部品照射光学系13−1〜13−4をX方向及びY方向
にそれぞれ配置したことである。このように構成された
本実施例は前実施例と同様に部品12を動かさずに複数
の高さ情報を得ることができる。
第3図は本発明の第3の実施例を示す図である。
同図において第1図と同一部分は同一符号を付して示し
た。
本実施例が第1図の実施例と異なるところは多数の部品
照射光学系13−1〜131を円周19上に配置したこ
とである。このように構成された本実施例は部品12を
動かさずにさらに多数の高さ情報を得ることができる。
〔発明の効果〕
以上述べてきたように、本発明によれば、光切断法にお
いて、複数の部品照射光学系を用いることにより、部品
を動かさずにその複数の高さ情報を得ることができ、実
用的には極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例を示す図、第2図は本発
明の第2の実施例を示す図、第3図は本発明の第3の実
施例を示す図、第4図及び第5図は従来の光切断法を説
明するための図である。 第1図、第2図、第3図において、 10は光源、 11は直線状の光、 12は部品、 13−3〜13□は部品照射光学系、 14はテレビカメラ、 15 、16はシリンドリカルレンズ、17はコントロ
ーラ、 18はドライバである。 本発明の第1の実施例を示す図 第1図 1o・・・光源         11・・・直線状の
光12・・・部品       13..13□・・・
部品照射光学系14・・・テレビカメラ      1
5.16・・・シリンドリカルレンズ17・・・コント
ローラ         1880.ト、−ライ2く本
発明の第2の実施例を示す図 第2図 10・・・光源 13−1〜13−4・・・部品照射光学系14・・・テ
レビカメラ 15.16・・・シリンドリカルレンズ本発明の第3の
実施例を示す図 第3図 12・・・部品 13−1〜13−n・・・部品照射光学系14・・・テ
レビカメラ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、半導体レーザを光源(10)とし直線状の光(11
    )を被測定部品(12)の斜め上方から照射するように
    した部品照射光学系の複数個(13_−_1〜13_−
    _n)と、 被測定部品(12)の上方から撮像できるテレビカメラ
    (14)とを具備して成り、 上記複数の部品照射光学系(13_−_1〜13_−_
    n)はそれぞれ異なる位置から被測定部品(12)を照
    射できるように配置され、 且つその光源(10)は順次発光するように制御される
    ことを特徴とする部品高さ検知装置。
JP10590785A 1985-05-20 1985-05-20 部品高さ検知装置 Pending JPS61264204A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10590785A JPS61264204A (ja) 1985-05-20 1985-05-20 部品高さ検知装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10590785A JPS61264204A (ja) 1985-05-20 1985-05-20 部品高さ検知装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61264204A true JPS61264204A (ja) 1986-11-22

Family

ID=14419939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10590785A Pending JPS61264204A (ja) 1985-05-20 1985-05-20 部品高さ検知装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61264204A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006275529A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Citizen Watch Co Ltd 3次元形状測定方法及び測定装置
JP2011007633A (ja) * 2009-06-25 2011-01-13 Bridgestone Corp 帯状部材の形状検出方法とその装置及び変位量計測装置
JP2020153885A (ja) * 2019-03-22 2020-09-24 ヤマハ発動機株式会社 計測装置および表面実装機

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57135305A (en) * 1981-02-17 1982-08-20 Gensuke Kiyohara Length measuring method and its device
JPS57157107A (en) * 1981-03-24 1982-09-28 Agency Of Ind Science & Technol Method for measuring shape of object

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57135305A (en) * 1981-02-17 1982-08-20 Gensuke Kiyohara Length measuring method and its device
JPS57157107A (en) * 1981-03-24 1982-09-28 Agency Of Ind Science & Technol Method for measuring shape of object

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006275529A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Citizen Watch Co Ltd 3次元形状測定方法及び測定装置
JP2011007633A (ja) * 2009-06-25 2011-01-13 Bridgestone Corp 帯状部材の形状検出方法とその装置及び変位量計測装置
JP2020153885A (ja) * 2019-03-22 2020-09-24 ヤマハ発動機株式会社 計測装置および表面実装機

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960001824B1 (ko) 와이어 본딩 검사 장치
JPH0831137B2 (ja) 3次元画像形成方法とその装置
US4661984A (en) Line inspection system
JPS61264204A (ja) 部品高さ検知装置
JPS6267432A (ja) X線ct装置
US5121439A (en) Image processor for detecting incomplete articles such as wiring harnesses
JPS62144008A (ja) 印刷回路板のパタ−ン検査装置
JPS63229310A (ja) パタ−ン検査装置
JPH0221372A (ja) はんだ付検査装置
JPH01227910A (ja) 光学検査装置
JPS62276443A (ja) 自動穴ミス検査機
JPS63109308A (ja) チツプ部品の装着検査装置
JPS6161695B2 (ja)
JPH02247510A (ja) 外観検査装置
JPH0654228B2 (ja) 立体形状の作製方法及び作製装置
JPH04316346A (ja) パターン認識方法
JPH03256341A (ja) パターン比較検査装置
JPH058822B2 (ja)
JPH0642937A (ja) はんだブリッジ検査方法
JPS6129704A (ja) 計測方法
JPS63298105A (ja) スリット光源装置
JPH03167454A (ja) 画像情報による部品検査装置
JPS60117699A (ja) 電子部品の認識装置
JPH0438850A (ja) パターン比較検査装置
JPH03123841A (ja) 小径孔の検査方法および装置