JPS61241109A - Molding die - Google Patents
Molding dieInfo
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- JPS61241109A JPS61241109A JP8251185A JP8251185A JPS61241109A JP S61241109 A JPS61241109 A JP S61241109A JP 8251185 A JP8251185 A JP 8251185A JP 8251185 A JP8251185 A JP 8251185A JP S61241109 A JPS61241109 A JP S61241109A
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、モールド金型の性能向上に通用して存効な技
術に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a technology that is commonly used and effective for improving the performance of molding dies.
いわゆる樹脂封止型半導体装置のパンケージ形成に用い
られるモールド金型は、上金型である上型キャビティユ
ニットと下金型である下型キャビティユニットの対によ
り構成されており、その上金型には上型キャビティが形
成され、下金型には下型キャビティが形成されている。A mold used to form a pancage of a so-called resin-sealed semiconductor device is composed of a pair of an upper mold cavity unit and a lower mold cavity unit. An upper mold cavity is formed in the mold, and a lower mold cavity is formed in the lower mold.
これら上型と下型の両キャビティが正確に組み合わされ
、一つのキャビティが形成されて初めて信鎖性の高い半
導体装置のパッケージ形成が達成される。Only when these upper and lower mold cavities are accurately combined to form one cavity can a highly reliable semiconductor device package be formed.
ところ、で、通常のモールド金型においては、上記上型
または下型のキャビティが形成された、いわゆるキャビ
ティブロックが開口部の向かい合わされた状態で、型板
に機械的に接合されている。By the way, in a normal mold, a so-called cavity block in which the above-mentioned upper mold or lower mold cavity is formed is mechanically joined to a template with openings facing each other.
また、この型板にはキャビティブロックを加熱するため
のヒーターが組み込まれており、金型の上下動を制御す
るガイども形成されている。This mold plate also incorporates a heater for heating the cavity block, and also has guides that control the vertical movement of the mold.
このような型板を用いているため、咳金型を備えたトラ
ンスファ成型機自体が大きくなり、また該型板に形成さ
れたガイドにより、上型キャビティと下型キャビティの
位置合わせが行われるため、正確な位置合わせを行うこ
とが困難である。さらに、キャビティブロックの加熱も
間接的になるためモールド時におけるモールド樹脂の加
熱も不均一になり易い。以上の問題があることが本発明
者により見い出された。Because such a template is used, the transfer molding machine itself equipped with a cough mold becomes large, and the guides formed on the template align the upper and lower mold cavities. , it is difficult to perform accurate alignment. Furthermore, since the cavity block is heated indirectly, the heating of the mold resin during molding tends to be uneven. The inventors have discovered that the above problems exist.
なお、モールド金型については、昭和43年11月25
日、丸善株式会社発行、集積回路ハンドブック編集委員
全編「集積回路ハンドブック」P420〜P424に説
明されている。In addition, regarding the mold, November 25, 1961
It is explained in "Integrated Circuit Handbook" published by Maruzen Co., Ltd., complete edition by the editors of Integrated Circuit Handbook, pages 420 to 424.
本発明の目的は、金型の装置を小型化することができる
技術を提供することにある。An object of the present invention is to provide a technique that can downsize a mold device.
本発明の他の目的は、上型キャビティと下型キャビティ
との正確な位置合わせを可能にする技術を提供すること
にある。Another object of the present invention is to provide a technique that enables accurate alignment of an upper mold cavity and a lower mold cavity.
さらに、本発明の他の目的は、キャビティの効率がよく
、かつ均一な加熱を可能にする技術を提供することにも
ある。Furthermore, another object of the present invention is to provide a technique that enables efficient and uniform heating of a cavity.
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.
すなわち、キャビティが形成されているキャビティユニ
ットに、ガイドを設けかつキャビティ加熱用ヒーターを
組み込むことにより、型板の使用を排除できるため、該
金型を備えてなるトランスファ成型機を小型化すること
ができるものである。That is, by providing a guide and incorporating a cavity heating heater into the cavity unit in which the cavity is formed, it is possible to eliminate the use of a mold plate, thereby making it possible to downsize a transfer molding machine equipped with the mold. It is possible.
また、キャビティが形成されているキャビティユニット
にガイドが直接形成されているため、ガイドが型板に形
成されている場合に比べ、上型キャビティと下型キャビ
ティとの正確な位置合わせが可能となる。Additionally, since the guide is formed directly on the cavity unit where the cavity is formed, it is possible to more accurately align the upper and lower mold cavities compared to when the guide is formed on the template. .
さらに、上記キャビティユニットにヒーターが組み込ま
れているため、キャビティの加熱を直接的に行うことが
できることにより、均一な加熱が可能となる。Furthermore, since the heater is built into the cavity unit, the cavity can be directly heated, thereby making it possible to heat uniformly.
第1図は、本発明による一実施例であるモールド金型を
備えたトランスファ成型機の一部を示す部分断面図であ
る。FIG. 1 is a partial sectional view showing a part of a transfer molding machine equipped with a mold according to an embodiment of the present invention.
本実施例のトランスファ成型機には・上金型を構成する
上型キャビティユニットlと下金型を構成する下型キャ
ビティユニット2とが、上下動可能な状態で取り付けら
れている。その上下動は上型キャビティユニット1に固
定され、かつ下型キャビティユニットに形成されたガイ
ドポールであるブツシュ3に嵌挿されているガイドポス
ト4により制御される。In the transfer molding machine of this embodiment, an upper mold cavity unit 1 constituting an upper mold and a lower mold cavity unit 2 constituting a lower mold are installed in a vertically movable state. Its vertical movement is controlled by a guide post 4 which is fixed to the upper mold cavity unit 1 and fitted into a bush 3 which is a guide pole formed in the lower mold cavity unit.
上記の上型キャビティユニット1の上には断熱基板5が
取り付けられ、その上方には該断熱基板5に取り付けら
れたスペーサブロック6を介して当板7が取り付けられ
ている。下型キャビティユニット2についても、下方に
同順序で断熱基板5a、スペーサブロック6a#よび当
板7aが取り付けられている。A heat insulating board 5 is attached above the upper mold cavity unit 1, and a contact plate 7 is attached above the heat insulating board 5 via a spacer block 6 attached to the heat insulating board 5. As for the lower mold cavity unit 2, a heat insulating substrate 5a, a spacer block 6a#, and a contact plate 7a are attached in the same order below.
本実施例の金型装置においては、上型キャビティユニッ
ト1が上型キャビティブロック8とキャビティホルダ9
とで構成され、下型キャビティユニット2は、左右の下
型キャビティブロック8aとその間に位置するランナブ
ロックlOおよびこれらを固定するキャビティホルダ9
aにより構成されている。In the mold apparatus of this embodiment, the upper mold cavity unit 1 includes an upper mold cavity block 8 and a cavity holder 9.
The lower mold cavity unit 2 includes left and right lower mold cavity blocks 8a, a runner block lO located between them, and a cavity holder 9 for fixing these.
It is composed of a.
また、上型キャビティユニット1および下型キャビティ
ユニットには、そのキャビティホルダ9゜9aのそれぞ
れに左右のキャビティを加熱するための2本のヒーター
が図中垂直方向に挿入されている。Further, in the upper mold cavity unit 1 and the lower mold cavity unit, two heaters for heating the left and right cavities are inserted in each of the cavity holders 9° 9a in the vertical direction in the figure.
なお、上型キャビティブロック8と下型キャビティブロ
ック8aとには、対応する形状の凹部からなる上型キャ
ビティ11、下型キャビティ11aが形成されている。Incidentally, the upper mold cavity block 8 and the lower mold cavity block 8a are formed with an upper mold cavity 11 and a lower mold cavity 11a, which are made up of recesses of corresponding shapes.
本実施例の金型装置は、次のようにして使用される。す
なわち、リードフレームを所定温度に加熱された上型キ
ャビティ11と下型キャビティ11aとの間に位置せし
め、上方の当板7と下方の当板7aとをプレス(図示せ
ず)で押さえ付けることにより、菖亥両キャビティ11
およびllaの間に挟持する。この状態でランナブロッ
ク10のランナ10aから、下型キャビティブロック8
aのゲート12を通して、上型キャビティ11と下型キ
ャビティllaとから形成されるキャビティ内にモール
ド用樹脂を注入する。注入後、所定時間保持してモール
ド用樹脂の硬化反応を行う、硬化反応を行った後、プレ
スによる押さえ付けを解除し、再び上型キャビティユニ
ット1と下型キャビティユニット2とを第1図に示す分
離した状態にする。その際、上記両キャビティユニット
1および2の上下動に連動するエジェクトピン(図示せ
ず)により、モールドの完了したリードフレームが上型
キャビティ11および下型キャビティ11aから押し出
され、パッケージのモールド形成工程が完了する。The mold apparatus of this embodiment is used in the following manner. That is, the lead frame is positioned between the upper mold cavity 11 and the lower mold cavity 11a heated to a predetermined temperature, and the upper contact plate 7 and the lower contact plate 7a are pressed by a press (not shown). Due to the iris cavity 11
and lla. In this state, from the runner 10a of the runner block 10, the lower mold cavity block 8
A molding resin is injected into the cavity formed by the upper mold cavity 11 and the lower mold cavity lla through the gate 12 of a. After injection, the resin for molding is held for a predetermined time to undergo a curing reaction. After the curing reaction is performed, the pressing by the press is released, and the upper mold cavity unit 1 and the lower mold cavity unit 2 are reassembled as shown in FIG. Separate state shown. At this time, the molded lead frame is pushed out from the upper mold cavity 11 and the lower mold cavity 11a by an eject pin (not shown) that is linked to the vertical movement of both cavity units 1 and 2, and the mold forming process of the package is performed. is completed.
上記の如く、本実施例の金型装置においては、と型およ
び下型のキャビティユニットlおよび2に、ガイドポス
ト4およびブツシュ3からなるガイド、キャビティブロ
ック8および8aならびにキャビティ加熱用のヒーター
13が形成されている。すなわち、上型および下型のキ
ャビティユニット1および2のキャビティホルダ9およ
び9aに、上記のガイド、キャビティブロック8,8a
およびヒーター13が直接作り込まれているものである
。As described above, in the mold apparatus of this embodiment, the guides consisting of the guide post 4 and the bushing 3, the cavity blocks 8 and 8a, and the heater 13 for heating the cavity are installed in the cavity units 1 and 2 of the mold and the lower mold. It is formed. That is, the above-mentioned guide and cavity blocks 8, 8a are attached to the cavity holders 9 and 9a of the upper and lower mold cavity units 1 and 2.
And the heater 13 is directly built in.
したがって、装置自体が小型化されている。また、上型
キャビティ11の開口部と下型キャビティllaの開口
部との位置合わせか、キャビティホルダ9および9aに
直接形成されている上記ガイドによる制御により行われ
るため、極めて正確に行うことができるものである。さ
らに、キャビティ加熱用ヒーターがキャビティブロック
8.8aに近接するキャビティホルダ9および9aに取
り付けられているため、キャビティの加熱を効率よくか
つ均一に行うことができるものである。Therefore, the device itself is miniaturized. Furthermore, since the positioning of the opening of the upper mold cavity 11 and the opening of the lower mold cavity lla is controlled by the guides formed directly on the cavity holders 9 and 9a, it can be performed extremely accurately. It is something. Further, since the cavity heating heater is attached to the cavity holders 9 and 9a close to the cavity block 8.8a, the cavity can be heated efficiently and uniformly.
(1)、モールド金型におけるキャビティユニットに直
接ガイドを設け、かつキャビティ加熱用ヒーターを装填
することにより、型板を排除することができるので、該
金型を備えたトランスファ成型機の小型化が達成できる
。(1) By providing a guide directly to the cavity unit in the mold die and loading a heater for heating the cavity, the template plate can be eliminated, so the transfer molding machine equipped with the mold can be downsized. It can be achieved.
(2)、キャビティが形成されているキャビティユニッ
トにガイドが直接形成されていることにより、ガイドが
型板に形成されている場合に比べ、上型キャビティと下
型キャビティとの正確な位置合わせが達成される。(2) Since the guide is formed directly on the cavity unit in which the cavity is formed, it is possible to more accurately align the upper and lower mold cavities compared to the case where the guide is formed on the template. achieved.
(3)、キャビティユニットにヒーターが装填されてい
ることにより、キャビティの加熱を直接的に行うことが
できることにより、モールド用樹脂を効率よく、かつ均
一に加熱することが可能となる。(3) Since the cavity unit is equipped with a heater, the cavity can be directly heated, which makes it possible to efficiently and uniformly heat the molding resin.
(4)、前記+11. (21および(3)により、小
型で高性能のトランスファ成型機を提供できる。(4), above +11. (21 and (3)) makes it possible to provide a compact and high-performance transfer molding machine.
(5)、キャビティユニットを分離構造とし、ガイドお
よびヒーターをキャビティホルダに形成することにより
、ランナブロックまたはキャビティブロックを容易に交
換することができる。(5) By making the cavity unit a separate structure and forming the guide and heater in the cavity holder, the runner block or cavity block can be easily replaced.
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は励記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically explained based on Examples above, it should be noted that the present invention is not limited to the Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Not even.
たとえば、金型の上型および下型キャビティユニットを
キャビティブロックまたはランナブロックとキャビティ
ホルダとを分離可能な構造で形成したものを示したが、
キャビティユニットを直接刻設してキャビティまたはラ
ンチ等を形成する一体構造のものであってもよく、また
一方のみを一体構造とするものであってもよいことはい
うまでもない。For example, the upper and lower mold cavity units of the mold are shown in which the cavity block or runner block and the cavity holder are separable, but
It goes without saying that it may be of an integral structure in which the cavity unit is directly carved to form a cavity or a lunch, or that only one side may be of an integral structure.
また、ガイドがガイドポストとブツシュとから構成され
たものについて説明したが、これに限るものでもない。Further, although the guide has been described as being composed of a guide post and a bush, the present invention is not limited to this.
さらに、金型の構造または該金型を備えたトランスファ
成型機の具体的構造は、前記実施例に示したものに限る
ものでない。Furthermore, the structure of the mold or the specific structure of the transfer molding machine equipped with the mold is not limited to that shown in the above embodiments.
第1図は、本発明による一実施例であるモールド金型を
備えたトランスファ成型機の一部を示す部分断面図であ
る。
l・・・上型キャビティユニット、2・・・下型キャビ
ティユニット、3・・・ブツシュ、4・・・ガイドポス
ト、5,5a・・・断熱基板、6゜6a・・・スペーサ
ブロック、7,7a・・・当板、8・・・上型キャビテ
ィブロック、8a・・・下型キャビティブロック、9,
9a・・・キャビティホルダ、10・・・ランナブロッ
ク、10a゛°゛ランナ、11・・・上型キャビティ、
11a・・・下型キャビティ、12・・・ゲート、13
・・・ヒーター。
第 1 図
ctFIG. 1 is a partial sectional view showing a part of a transfer molding machine equipped with a mold according to an embodiment of the present invention. l... Upper cavity unit, 2... Lower cavity unit, 3... Bush, 4... Guide post, 5, 5a... Heat insulation board, 6° 6a... Spacer block, 7 ,7a...Packing plate,8...Upper mold cavity block,8a...Lower mold cavity block,9,
9a...Cavity holder, 10...Runner block, 10a゛°゛runner, 11...Upper mold cavity,
11a... lower mold cavity, 12... gate, 13
···heater. Figure 1 ct
Claims (1)
ットから形成されるモールド金型であって、ガイドおよ
びヒーターが上型および下型キャビティユニットに形成
されてなるモールド金型。 2、下型キャビティユニットがキャビティブロック、ラ
ンナブロックおよびキャビティホルダで構成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のモールド
金型。 3、ガイドおよびヒーターがキャビティホルダに形成さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
モールド金型。[Scope of Claims] 1. A molding die formed from an upper mold cavity unit and a lower mold cavity unit, wherein a guide and a heater are formed in the upper mold cavity unit and the lower mold cavity unit. 2. The mold according to claim 1, wherein the lower mold cavity unit is composed of a cavity block, a runner block, and a cavity holder. 3. The mold according to claim 2, wherein the guide and heater are formed in the cavity holder.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8251185A JPS61241109A (en) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | Molding die |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8251185A JPS61241109A (en) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | Molding die |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61241109A true JPS61241109A (en) | 1986-10-27 |
Family
ID=13776545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8251185A Pending JPS61241109A (en) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | Molding die |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61241109A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0272641A (en) * | 1988-09-07 | 1990-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | Resin sealing apparatus for semiconductor device |
-
1985
- 1985-04-19 JP JP8251185A patent/JPS61241109A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0272641A (en) * | 1988-09-07 | 1990-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | Resin sealing apparatus for semiconductor device |
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