JPS61214135A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法に関し、その目的とするところは強磁性金
属薄膜層形成時に発生するしわを抑制して、しわのない
前記の磁気記録媒体を製造する方法を提供することにあ
る。

〔背景技術〕

強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基板を真空槽内に配設し
た種々のガイドロールを介して円筒状キャンの周側面に
沿って案内走行させ、この基板上に強磁性材を真空蒸着
するなどしてつくられている。

ところが、この製造方法では、強磁性材蒸発源からの輻
射熱により基板が伸びたり、あるいは極めて平滑な基板
と各ロール間の摩擦や強磁性材を溶融するのに使用する
電子銃の二次電子などによる帯電等で基板の走行に支障
が生じたりして、走行中の基板にしわが発生し易（、特
に強磁性材蒸着後基板が巻き取りロールに巻き取られる
際は、巻き取りロールの拳き径が変化し基板の接触角が
変化するためしわが発生し易い。このため、各ロール間
の機械的精度を向上させたり、または基板およびガイド
ロールの表面粗度を適度にし、さらには基板の裏面に潤
滑剤を塗布するなどして、基板にかかる張力のアンバラ
ンスの解消や、基板と各ロール間の摩擦力およびこれに
よって発生する帯電などを低減し、しわの発生を抑制す
ることが試みられているが、未だ充分にしわの発生を抑
制することができず、特にこれらの方法では巻き取りロ
ールの巻き径の変化によって生じるしわを効果的に抑制
することができない。

〔発明の概要〕

この発明はかかる欠点を改善するため、特に巻き取りロ
ールとその直前のガイドロールとの関係について種々検
討を行った結果、巻き取りロールにその直前のガイドロ
ールを接触させ、このガイドロールで強磁性材蒸着後の
基板を巻き取りロールに挟接しながら巻き取るようにす
ると、巻き取りロールの巻き径が変化してもガイドロー
ルに接する基板の接触角が変化せず、しかも直前のガイ
ドロールにより基板が適度に巻き取りロールに押圧され
るため、しわの発生が効果的に抑制されて、巻き取りロ
ールに取り込まれるしわを完全に防止することができる
ことを見いだした結果なされたもので、真空槽内で、基
板移動支持装置により連続的に移動する基板に、強磁性
材蒸発源から強磁性材の蒸気流を差し向けて強磁性金属
薄膜層を形成する磁気記録媒体の製造方法において、強
磁性材蒸着後の基板を巻き取る巻き取りロールに対して
その直前のガイドロールを接触させ、このガイドロール
で強磁性材蒸着後の基板を巻き取りロールに挟接しなが
ら巻き取るようにしたことを特徴とするものである。

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。

第１図は真空蒸着装置の断面図を示したものであり、１
は真空槽でこの真空槽１の内部は排気系２によって真空
に保持される。３は真空槽１の中央部に配設された円筒
状キャンであり、ポリエステルフィルム等の基板４は原
反ロール５より、ガイドロール６、テンションロール７
およびガイドロール８を介してこの円筒状キャン３の周
側面に沿って移動し、ガイドロール９、テンションロー
ル１０およびガイドロール１１を介して巻き取りロール
１２に巻き取られる。この間円筒状キャン３の周側面に
沿って移動する基板４に対向して真空槽１の下部に配設
された強磁性材蒸発源１３で強磁性材１４が加熱蒸発さ
れ、この蒸気流が基板４に差し向けられて蒸着が行われ
る。

ここで巻き取りロール１２の直前のガイドロール１１は
、巻き取りロール１２と接触するように配設され、強磁
性材蒸着後の基体４はこのガイドロール１１により巻き
取りロール１２に挟接されながら巻き取りロール１２に
巻き取られる。また巻き取りロール１２は左右に移動可
能に取りつけられ、強磁性材蒸着後の基体４が巻き取ら
れるに従って変化する巻き取りロール１２の巻き径に対
応するように左右に移動調整される。従って、強磁性材
蒸着後の基体４が巻き取りロール１２に巻き取られる際
、巻き取りロール１２の巻き径が変化しても基板４は、
ガイドロール１１により常に適度な接触圧力で挟接され
ながら巻き取りロール１２に巻き取られ、ガイドロール
に接する基板４の接触角θは変化しないため、基板４の
巻き取りロール１２に巻き取られる際のしわの発生が効
果的に抑制され、巻き取りロール１２に取り込まれるし
わを完全に防止することができる。

このように、ガイドロール１１を巻き取りロール１２に
接触させ、基板４を挟接しながら巻き取る際のガイドロ
ール１１と巻き取りロール１２との接触圧力は、はとん
どな（でもしわの発生を抑制することができるが、０．
１ｋｇ／ｃｎ１以上の圧力で挟接するのがより好ましく
、これより強い接触圧力にするとしわの発生が完全に防
止される。しかし、接触圧力が大きくなりすぎると強磁
性材蒸着後の基板に塑性変形が生じるため、基板に塑性
変形が生じない範囲内の接触圧力であることが好ましい
。

強磁性金属薄膜層を形成する基板としては、ポリエステ
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフィルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用され、強磁性金属薄膜層の形成は
、コバルト、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これら
の合金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ　
−Ｐなど一般に使用される強磁性材を真空蒸着すること
によって形成される。

〔実施例〕

次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１ 第１図に示すように、ガイドロール１１を巻き取りロー
ル１２に接触させて配設した真空蒸着装置を使用し、厚
さが１２μのヤング率が下記第１表に示すように異なる
ポリエステルフィルム４を原反ロール５よりガイドロー
ル６、テンションロール７、ガイドロール８を介して円
筒状キャン３の周側面に沿って移動させ、ガイドロール
９、テンションロール１０、ガイドロール１１を介して
、張力０．５ｋｇ／ｃｏ＋で接触圧力を下記第１表に示
すように種々に代えて、巻き取りロール１２に巻き取る
ようにセットするとともに強磁性材蒸発源１３にコバル
ト１４をセントした。次いで、排気系２で真空槽ｌ内を
５Ｘ１０−５トールにまで真空排気し、コバルト１４を
加熱蒸発させてポリエステルフィルム４上に、厚さが１
ｏｏｏ人のコバルトからなる強磁性金属薄膜層を形成し
た。しかる後、これを所定の巾に裁断して磁気テープを
つくった。

比較例１ 第２図に示すように、ガイドロール１１を巻き取りロー
ル１２に接触させないように配設した以外は第１図に示
したのと同じ真空蒸着装置を使用し、強磁性金属薄膜層
形成後のポリエステルフィルム４をガイドロール１１で
巻き取りロールエ２に挟接しないで巻き取るようにした
以外は実施例１と同様にして磁気テープをつくった。

実施例１および比較例１において、巻き取りロールに巻
き取られる際のしわの有無および基板の塑性変形を観察
した。

下記第１表はその結果である。

第１表 〔発明の効果〕 上表から明らかなように、比較例１ではしわの発生が見
られたが、実施例１ではしわの発生が認められず、また
接触圧力をヤング率の１／２以上にしないかぎり基板の
塑性変形もなく、このことからこの発明の製造方法によ
れば、しわの発生が効果的に抑制され、しわのない磁気
記録媒体が得られるのがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の製造方法を実施するために使用す
る真空蒸着装置の１例を示す概略断面図、第２図は従来
の真空蒸着装置の概略断面図である。 ■・・・真空槽、３・・・円筒状キャン、４・・・基板
、５・・・原反ロール、６．８．９．１１・・・ガイド
ロール、１２・・・巻き取りロール、１３・・・強磁性
材蒸発源、１４・・・強磁性材 特許出願人　　日立マクセル株式会社 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、真空槽内で、基板移動支持装置により連続的に移動
   する基板に、強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流を差
   し向けて強磁性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体の製
   造方法において、強磁性材蒸着後の基板を巻き取る巻き
   取りロールにその直前のガイドロールを接触させ、この
   ガイドロールで強磁性材蒸着後の基板を巻き取りロール
   に挟接しながら巻き取るようにしたことを特徴とする磁
   気記録媒体の製造方法