JPS61192480A - 軟質金属用合成砥石 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は平坦な表面を有する金属板、例えば、磁気ディ
スク基盤の素材たるアルミニウム合金製原５１（以下ア
ルミディスクと略称する）等の軟質金属の表面の研削・
琢磨、すなわち研宕に供する合成砥石に関する。

く゛従来の技術〉 従来、平坦な表面を有する金属板で比較的軟質なもの、
例えばアルミディスク等の表面研磨は。

精密旋盤等を用いた機械加工、′＃、化珪素等の微粉末
スラリーを用いた所謂ラッピング加工、あるいはレジノ
イド系砥石や、ウレタン系砥石等の合成砥石を用いた加
工等が一般的であった。

しかしながら、精密旋盤等を用いた機械加工は、作業者
の熟練度により仕上がり精度１作業効率が異なる上、全
般的に作業性が悪く、小型の被研磨体を大量に処理する
ような場合、その効率の低さが顕著であった。

また、炭化珪素等の砥粒微粉末スラリーを用いたラッピ
ング加工法の場合は、スラリーのロス、使用量が多く経
済的に不利な上１周囲の作業環境や作業者を汚染し、更
にはその高濃度廃液の処理に大変な手間と費用とを要す
るという問題点があった。

かかる砥粒微粉末スラリーを用いるラッピング加工法に
代えて、合成砥石を用いた加工が近年急速に普及しつつ
ある。しかし合成砥石も、例えばビトリファイド系やレ
ジノイド系の硬質砥石等では、研磨性能が不充分で充分
な仕上り精度が得られなかったり、検索力が不足したり
、あるいは目詰まり現象等好ましからざる現象を惹起し
、高能率をもって一定の性能が得られない等の問題点が
あった。すなわち、平面部分の研磨、特にアルミディス
ク等、平坦度と面精度とが同時に要求される研磨におい
ては、被研磨体の表面と、研磨材の表面との部相互間を
接触させ、一時に研磨を進めてゆくことが必要であり、
例えばレジノイド系あるいはウレタン系等の独立気孔構
造の合成砥石を使用した場合は、研磨作用による研磨屑
、脱落砥粒等がこの気孔に入り込み、目詰まり現象を惹
き起こし易く、研磨効果の持続性に欠け、頻繁なドレッ
シング（表面更新）作業が必要となるのである。これに
対して、連続気孔を有するポリビニルアセタール系樹脂
を結合材として用いたものは、研磨屑、脱落砥粒等が気
孔外に排出され易く、目詰まり現象を起こし難いため、
優れた合成砥石として一般的に知られたものであるが、
比較的耐水性に劣り、かかる精密研磨用途には不向きで
あった。

また、耐水性付与を目的として熱硬化性樹脂硬化体を配
合したものも、特公昭３９−１８９８号および同５３−
６７５２号各公報などに提案され、耐水性合成砥石とし
て公知のものである。特に後者の発明においては、熱硬
化性樹脂の配合比率を変えることにより、弾性のあるも
のから剛性に至るまでの性質を有する研磨材が得られ、
殊に粒度の細かい砥石は、軟質、硬質、難削材の研磨に
有用であるとされていたが、その研削力においては尚不
充分な面があり、未だ、平坦な表面を有する軟質金属板
、特にアルミディス、り等の平面研磨に有用且つ好適な
精密研磨用人造砥石の出現をみていない。

更にまた、ポリビニルアセタール系砥石の耐薬品性、抗
圧力の不足を補うと共に、研削材の接着、抱合力を増大
させるために、珪酸ゲルをマトリックス中に添加する方
法が特公昭３６−２２４４３号として提案されているが
、この方法によって製造された従来の合成砥石も上記同
様、軟質金属板の精密研磨に適するとは云えなかった。

〈発明が解決しようとする問題点〉 本発明者等は、上述の技術的現状と問題点とに鑑み、鋭
意研究を行なった結果、本発明を完成するに至ったもの
であり、その目的とするところは、優れた平坦度と高い
面精度とを同時に満足するように仕上げられた軟質金属
板、特にアルミディスク等、就中、極めて精密な用途に
供せられる特殊アルミ合金の環状盤等を効率良く取得す
るにある０本発明の他の目的は、被研磨体に対する研削
力に優れ、それ自身の摩耗が少なく、且つ高度の仕上面
精度を与える合成砥石を提供するにある。また別の目的
は、精密平面研磨に好適にして、特に両面ラッピング研
磨機に適用して優れた性能を発揮する人造砥石を提供す
るにある。

く問題を解決するための手段〉 上述の目的は、連続微細気孔を具えた三次元網状組織を
なす構造体であって、該組織がポリビニルアセタール系
樹脂と少なくとも一種の熱硬化性樹脂の硬化体と珪酸塩
の非晶体との均一混合体よりなるマトリックスと、該マ
トリックス中において相連接し実質的に連続状態をなし
て固定された砥粒微細粒子とからなると共に、表面硬度
（）（）と砥粒番手（Ｇ）とが式、 一１８０≦Ｈ＋Ｇ／５５　≦−５０ を満足する関係にあることを特徴とする軟質金属用合成
砥石によって達成される。

本発明の目的であるアルミディスク等、比較的歓い金属
の平面の研磨においては、金属面の研削力、すなわち表
面の薄い層を均−且つ平坦に研削する性能、および表面
の仕上がり面精度を所定のレベル以上に到達させる性能
とが同時に要求されるものである。従ってかかる研磨作
業においては、既述の如く、被研磨体の表面と研磨材た
る合成砥石の表面との相互を圧着し、研磨液の存在下に
摺動擦過せしめ、一時に研磨を進めて行くことが必要で
あり、合成砥石としては研削力および仕上がり面精度に
優れ、同時に作業中に目詰まり等の好ましからざる現象
が発生しにくいものが性能的に要求され、更に砥石自体
の摩耗が出来るだけ少ないものが経済的見地から要求さ
れるものである。

かかる目的を達成する為に本発明者等が見出した要点は
、次の四点である。

イ１合合成石の基本構造が、微細三次元網状組織をなす
構造体であること。

口、結合材として、ポリビニルアセタール樹脂と１種ま
たはそれ以上の熱硬化性樹脂の硬化体と珪酸塩の非晶体
との混合体が使用されること。

ハ、混合体の中に砥粒微細粒子が緻密にＭ接して、連続
した状態で存在すること。

二０表面硬度（Ｈ）と砥粒番手（Ｇ）とが次式を満足す
る関係にあること。

−１８０≦Ｈ＋Ｇ／５５　≦−５０ 就中、本発明の骨子である研削力の向上に関しては、珪
酸塩の非晶体を併用することがその重要な要点となる。

本発明砥石の微細三次元網状組織をなす構造体は、レジ
ノイド系やウレタン系人造砥石の独立気泡構造とは組織
を全く異にし、独立気泡は存在せず、空隙中に枝が立体
的に伸びた様な組織であり気孔は無限に連通したものと
なる。従って、研磨作業に起因する砥粒脱落物、研磨屑
はこの間隙から系外に排出され易く、また捕捉された場
合も他の独立気泡構造の砥石に見る如く、気泡部分にこ
れらが堆積し、目詰まり等好ましからざる現象を惹起し
難いものである。独立気泡構造の場合は目詰まり現象に
より研磨効果の持続性に欠け、頻繁なドレッシング作業
（表面更新）が必要となる。

上述の効果が十分に得られるのは、平均気孔径１０乃至
　１００４ｍの範囲であり、これを下回ると密すぎて、
目詰まり等の現象が出易い、また、これを上回ると、構
造的に粗すぎて物性の均一性という面でや一難がある。

また気孔率はＢＯ〜８５容量％の範囲にあることが好ま
しい、６０容量％未溝の場合は、独立気泡が存在するよ
うになり、８５％容量を超えると強度の面でや一不十分
なものとなる。

砥粒の結合材としてポリビニルアセタール系樹脂と熱硬
化性樹脂の硬化体および珪酸塩の非晶体を用いたことは
、従来のポリビニルアセタール系砥石に見られる欠点、
すなわち耐水性の欠如および適度な硬度、研削力を有さ
ないため精密研磨、平面研磨用途には不向きであるとい
う点を補おうとするものである。すなわち、耐水性付与
を目的として熱硬化性樹脂硬化体をポリビニルアセター
ル系樹脂に配合したマトリックスも、耐水性合成砥石と
して公知のものであるが、その他の成分として珪酸塩の
非晶体を併用したものは、本発明の目的である軟質金属
研磨用砥石として、極めて好ましい研削力を有し、特に
砥石自体の摩耗も少な〈、且つ、目詰まり等好ましから
ざる現象を引き起こしにくい性能が付与されるのである
。結合材であるマトリックスとして上述の如く、ポリビ
ニルアセタール系樹脂に熱硬化性樹脂の硬化体、及び珪
酸塩の非晶体を併用することによりポリビニルアセター
ル系合成砥石に特有な靭性（ねばり）を低減せしめ、適
度な脆性（もろさ）を有する合成砥石となるものであり
、特に珪酸塩非晶体は砥石に適度な脆性を付与し、且つ
、その研削力を向上させるという優れた効果を有する。

珪酸塩非晶体の比率はマトリックス重量に対して０．１
〜１０重量％の範囲にあることが特に好適である。０．
１重量％以下であると、もはやその効果は現れず、また
１０重量％を上回ると、珪酸塩の非晶体は、他の結合材
、すなわちポリビニルアセタール系樹脂および熱硬化性
樹脂の硬化体との間に均一な混合体層を形成し難く、一
部単独な層。

具体的には小さな塊粒を形成し、研磨作業において被研
磨体に条痕をつける等の好ましからざる現象を惹起する
ことがある為、避けるべきである。

ここで、珪酸塩の非晶体とは、二酸化珪素と各種の塩基
からなる種々の珪酸塩に酸を作用させることによって生
ずるゲル状物質を指し、塩基としては、例えばソーダ灰
を使用した珪酸塩の場合、Ｎａ２０ｎ　ｘＳ　ｉｏ２１
　ＶＨ２０なる化学式で示されるものであり、Ｎａ２Ｏ
／５ｉ０２　のモル比が２及び４のものを用いることが
好ましい、この場合、ゲル状物質の一般式は、 で示される無機高分子体が分子間架橋をし、非結晶性の
三次元化合物となったものとなる。塩基としては、この
他、水酸化アルミ等を用いる場合もある。

上記結合材マトリックスは、研磨の主材である砥粒微細
粒子を効果的に把持する役割をはだすもので、研磨作業
に際しては、１つの砥粒が表面を研磨して、系外に排除
されると同時に新しい砥粒を自生させ、研磨作業を継続
させてゆくもの、すなわち、砥石は自身摩耗しつつ、研
磨を行うものであるが、上記珪酸塩非晶体の併用により
マトリックス自体も若干の研削力を有するものとなり得
、研削力が格段に向上すると同時に砥石自体の摩耗も低
減し得るものである。

勿論、この珪酸塩非晶体のみで研削力が十分なのではな
く、結合材であるマトリックスにおいて研磨材たる砥粒
微細粒子が隣接した砥粒々子と互いに接触し、連続して
分布するようにすることが重要であり、かかる諸要点を
満足してはじめて本発明の目的に言う軟質金属の平面研
磨に適した合成砥石となりうるのである。

すなわち、本発明における第三の要点は、研磨性能を持
つ砥粒の配位・分布状態に係る点である。すなわち、こ
の種の合成砥石においては、研磨面に存在する砥粒々子
が摩擦して脱落し、系外に排出されるという現象を繰り
返し、砥石は自らの厚みを減少させつつ、被研磨体表面
を研磨してゆくものであるが、砥粒の比率が少ないと、
１個の砥粒が独立して存在することとなり、その砥粒が
脱落した後は、ミクロ的見方をすれば結合材のみで表面
を摺擦する。すなわち研磨力の少ない部分での摺擦を行
う為、切れ味（研削力）が劣るものとなる。特に本発明
の如く、アルミディスク等軟質金属の表面研磨を目的と
する場合、かかる現象は好ましくなく、表面斑、研磨用
等の問題につながり易い。

本発明においては、かかる好ましからざる現象を回避す
る為、個々の砥粒がマトリックス中で各々独立して存在
せず、隣接した砥粒々子と相互に連接し、実質的に連続
した状態をなして分布している。かかる砥粒の状態は、
本発明になる砥石のマトリックスが、ＢＯ〜８５容量％
という高い気孔率をもって三次元的に均一に連通した。

平均孔径１０〜１１００ｐの連続気孔構造をなし、この
ようなマトリックスの微細骨格中に適度な粒度の砥粒微
細粒が充分な量をもって、所謂、目白押しをなして配位
され、均一に分布していることに由来する。また、かか
る配位・分布を確実にするための好適な砥粒番手は、少
なくとも８００番、含有量は混合体重量の２５重量％以
上、更に好適には混合体重量の２５重量％以上である。

本発明の目的に適合するためには、本発明砥石はロック
ウェル硬度計スーパーフィシャル１５−Ｙスケールで測
定した表面硬度（Ｈ）と砥粒番手（Ｇ）とが下式に示す
不等式を満足してはじめて軟質金属の平面研磨に好適な
物性を有するものとなる。

一１８０≦Ｈ＋Ｇ／５５　≦−５０ 上式の下限を下回ると脆弱すぎて切れ味が劣りまた砥石
自体の消耗が激しく、一方、上限を上回ると硬度および
靭性が高すぎて目詰まり現象が起こり易く、本発明の目
的とする砥石の好適な性能を発揮し難い。

上式によって明確な如く、砥粒番手が低い程、すなわち
砥粒々径が大きい程、硬度、を高めにすることが好まし
い。

本発明にかかる砥石は次の如き方法にて製造される。

すなわち、平均重合度３００〜２０００　、鹸化度８０
モル％以上のポリビニルアルコール、その誘導体または
変性体の一種あるいはそれ以上を混合して水溶液となし
、それに熱硬化性樹脂のモノマー、オリゴマーあるいは
重合体等からなる前駆体の水溶液、非水溶媒溶液、エマ
ルジョン等、および珪酸塩の水溶液またはコロイドを加
えて均一に攪拌し更に砥粒、架橋剤としてのアルデヒド
類、触媒としての酸類、及び気孔生成剤としての澱粉類
等を加え、均一粘稠スラリーを調製し、これを所定の型
枠に注型する。然る後、　４０乃至　１０　Ｇ　’Ｃの
温度にて約−昼夜、湯浴あるいはその他の浴中で反応固
化を行なった後取り出し、水洗いして余剰のアルデヒド
類、酸類、気孔生成剤を除去する。こうして得られた中
間体は、形態的には砥石の形態を整えているが、樹脂の
硬化反応が行なわれておらず、性能は不充分である。

従ってこの中間体を　１００℃程度の温度で加熱し水分
を蒸発除去、乾燥した後、樹脂の硬化を行なう為の熱処
理（キユアリング）を行なわねばならないが、キユアリ
ングに必要な温度および時間は使用した樹脂の種類およ
び量によって微妙に異なるものである。一般的には　１
００乃至２５０℃で２０乃至　１００時間のキユアリン
グを施せば、硬化反応はは（達成される。

硬化が不充分であると靭性が大きく、またキユアリング
条件が過酷で硬化が進みすぎると熱分解が同時に生起し
、好ましからざる現象が起こり易いので、条件の選定は
慎重に行なう必要がある。

またキユアリングにおいて急激な昇温を避ける為、段階
的な昇温を行なったり、不活性ガス雰囲気の中で行ない
局部的酸化・劣化を抑制することも有効である。

ポリビニルアルコール以外の樹脂については前述の如く
、反応原液の段階で混合（プレミックス）しても良いが
反応終了後の中間体にその液状前駆体を含浸せしめてか
らキユアリングしてもよく、また２種以上の樹脂を併用
する場合は一つの樹脂をプレミックスし、もう一つの樹
脂を後処理するという手段を用いてもよく、特に方法に
ついて限定されない、更に熱硬化を促進するための触媒
を併用することも有効である。

液状の樹脂は、水溶液、有機溶剤に溶解した溶液、エマ
ルジョン、あるいは樹脂原液のいずれも使用しうるが、
作業性および混合比のコントロールのし易さから見て、
水溶液を使用する方法が最も好適である。

また、本発明に言う砥粒微細粒子とは、ダイヤモンド、
窒化ホウ素、炭化珪素、熔融アルミナ、ガーネット、エ
メリー、酸化セリウム、酸化クロム等研削力を有する化
合物または単体からなる研磨材料のいずれかを粉砕し、
適当な方法にてＪＩＳ規格Ｒ６００１に規定された粒度
に分級されたものを指すものであるが、特に本発明の目
的を達成するには、炭化珪素、熔融アルミナ、酸化クロ
ム、酸化セリウムよりなる群から選ばれた超硬セラミッ
クス砥粒の少なくとも１種を選定することが望ましい。

〈作用〉 前述の如くして得られた砥石は所望の形状に成型された
後、軟質金属の表面研磨用途に供せられるが、特にアル
ミディスク等、特殊アルミ合金の環状盤の表面研磨の如
き、極めて精密な用途に供せられる場合、研磨前後の厚
み、すなわち研削量が精度高く定められており、しかも
平坦度、Ｈみのバラツキが極端におさえられている為、
一般的な研磨装置には適用されに＜＜１例えば両面ラッ
ピング式研磨機等、極めて精密な装置に装着して用いる
ことが好ましい、ここで両面ラッピング式研磨機とは、
円形または環形盤状の金属性定盤を上下両面に備え、そ
の間に被研磨体を１枚またはそれ以上挟みこんで圧着し
、上下両定盤を逆方向に回転せしめ、被研磨体表面を摺
動擦過して、研磨を行なう装置を言い１本発明になる砥
石を適用する場合には、砥石が均一表面を形成するよう
、両定盤にこれを装着して用いるものである。稼働時に
は研磨助剤たる液体を適量流して、研廊面を濡らしつつ
研磨が行なわれるものであるが、ここで用いられる液体
、所謂、研磨液は、水、ある種の界面活性剤を含んだ水
、あるいは有機溶剤等である。

かくして本発明になる砥石を両面ラッピング式研磨機に
装着し、例えばアルミディスクの研磨を行なうと、優れ
た耐水性と砥粒保持力とを有するマトリックス樹脂中に
均−且つ緻密に充填され。

相互に連接した砥粒微細粒子は、その砥粒番手とマトリ
ックスの適度な硬度、弾性、脆性などに由来する砥石表
面硬度と相俟って、冴えた切れ味、すなわち研磨力を示
し、また砥粒粒子は摺擦研磨作用により順次脱落しても
背後に連接した新しい砥粒が表面に現れて、砥面が直ち
に更新再生□されるとともに、研磨屑、脱落砥粒等は連
ｉ微細気孔から排出され易いため、目詰まりを起こし難
いから、高い研磨力が長期に亙って維持される。また、
本発明砥石の超微細砥粒の前述仕る特殊な配位・分布状
態のために、研磨作業時、マトリックス樹脂のみによる
摺擦現象を生ずることなく、平坦な被研磨体全面に亙っ
て砥粒粒子が接触・摺擦し、常時均一な研磨作用が行な
われる。従って、本発明砥石は平坦な平面を有する軟質
金属板に、研磨班のない、高い平滑度と優れた仕上がり
面精度とを効率良く与えるものである。

〈実施例〉 一以下実施例に従い本発明の実施態様を説明する。尚、
本実施例において使用した研磨装置・測定機器・被研磨
体等は次の通りである。

・研磨装置・・・スピードファム社製両面研磨機（型式
５ＦＤＬ　ＩＩＢ−５９ＳＧ） ・表面粗さ計・・・東京精密社製　表面粗さ計←型式、
　サーフコム　５５３Ａ） ・結合度測定機・・・東京精密社製、大越式砥石結合度
試験機 ・硬度計・・・松沢精機製硬度計けい ・被研磨剤・・・ＪＩＳ−規格ＡＡ５０８１１１に記さ
れたアルミニウム合金製環状板 又研磨条件及び測定条件は下記の通りである。

・研磨条件： ・圧力１００ｇ／ｃｍ２ ・研磨時間・・・３分／バッチ ・上部定盤回転数・・・２０１’ｌ／Ｍ（左回り）・下
部　゛　　　　・・・８ＱＲ／Ｍ（右回り）・　半ャリ
アー　　　ｌ／　　　　・・・２０Ｒ／Ｍ（右回り）拳
水供給量　　　・・・５Ｌ／分 ・表面精度測定条件 （Ｗ　ＣＭ　）　　　・カットオフ値・・・０．８ｍｍ
以下・測定長・・・８０ｍｍ なおこへでいうＲａ　＋　Ｒ＃　ａ　ｘ　＋　Ｗ　ＣＭ
は、次式のパラメーターを示す。

Ｒ，・・・中心線平均粗さ ｆ（ｘ）は、粗さ曲線を示す。

Ｒ□８・・・最大高さ ＷＣＳ・・・３波最大うねり ・表面硬度測定条件 ロツクウェルスーパーフイシャル１５−Ｙスケール使用 荷重１．５　Ｋｇ 測定子１／２インチ鋼球 ・結合度測定条件 荷重１０Ｋｇ用いＪＩＳ　Ｒ−８２４０法に準拠した方
法にて測定 〈実施例〉 砥粒として、炭化珪素粉末の１０００番および２０００
番のものを選定した。　１０００番は平均粒径１４．５
〜１８μｍ　、２０００番は平均粒径７．１〜８．９　
ルｍのものである１重合度１７００．完全鹸化のポリビ
ニルアルコールを水溶液となし、これに水溶性フェノー
ル樹脂として住友デュレズ株製ＰＲ−９８１Ａを所定量
と、触媒としての硫酸、架橋剤としてのホルムアルデヒ
ド、気孔生成剤としてのコーンスターチとを加え、さら
に二酸化珪素にソーダ灰を加えた珪酸塩の水溶液を所定
量加えた後、前述砥粒と混合して均一のスラリー状液を
調製した。このスラリー液を所定の型枠に注型し、ｆｉ
Ｏ℃にて１昼夜反応固化せしめた。しかる後、水洗いし
、過剰の酸、ホルムアルデハイド、コーンスターチ等を
除去して乾燥し合成砥石の中間体を得た。これを１３０
℃の温度にて約５０時間熱処理して、所期の砥石を得た
。

また、水溶液のメラミン樹脂として昭和高分子■製５Ｍ
−７００の水溶液を準備し、前記中間体をこれに含浸し
、所定量に絞った後、乾燥し、１３０℃の温度にて約５
０時間熱処理を行ない、所期の砥石を得た。

本実施例で用いた砥石の組成は第１表に示す。

かくして得られた砥石を、第１図に示すが如き略扇形の
形状１に切断成形し、金属製取付板２に接合し、ボルト
にて研磨装置の上下ラッピング盤に取付けた。キャリア
ーを用いて被研磨材を固定し、研磨装置の所定の条件に
て、研磨を行なった。研磨液（クーテント）としては水
を用い、所定時間研磨後、被研磨材の表面形状を検査し
た。

また、砥石面の目詰まり状態等確認の為、砥石面のドレ
ッシング作業なしで１５バツチ連続研磨を行ない、砥面
の状態および研磨の状態を検査し■　−・・・　なし ＋　・・・　僅かにあり ＋＋・・・　あり 第１表より明らかな如く、本発明になる合成砥石は、適
度の研削力を有し、かつ表面精度においても良好な結果
を示す＊Ｒ１ａ／がＲａの略１０〜１２程度の値を示し
ており、条痕が少なく、良い仕上がりである亀がわかる
。

更に、本発明の範囲のものは、研削力の持続性がすぐれ
、１５バツチ継続研磨を行なっても、その研削力は低下
しないが、範囲をはずれたもの、具体的には珪酸塩を含
まない試験ＮＯ１およびＮｏ９のものは明らかに研削力
が低下し、平坦度（Ｗ　ｃ　Ｎ　）も悪くなっており、
また砥石の摩耗も激しい。

また珪酸塩の過剰なもの、すなわち試験Ｎｏ５のものは
、珪酸塩非晶体単独の塊粒が見うけられ、その為にＲｌ
ａＸの値がＦｔａに比し約１５倍となり条痕が深く顕著
である専を示している。かかる結果から、本発明になる
合成砥石は、軟質金属研磨用の砥石として優れた性能を
持つことが明らかである。更に熱硬化性樹脂としてフェ
ノール系樹脂のみを用いたもの、具体的には試験ＮＯ６
および７のものは、メラミン系樹脂を併用したものに比
し稍々研削力に劣るが、性能の持続性および仕上がり精
度については特に問題ない。

〈発明の効果〉 従来の合成砥石は、研削力、表面精度が経時的に変化す
る為、比較的短いインターバルで砥石の表面更新（ドレ
ッシング）を行なわねばならなかったものが１本発明に
より大きく改善され、その間の停台および作業に伴うロ
スを低減することが可能となった。また、品質の安定化
に伴い、研磨作業における製品歩留りも格段に向上し、
経済的メリットも測り知れないものがある。更にドレッ
シング回数を少なくし得ること、および研磨作業におけ
る砥石自体の摩耗が少ないことにより砥石の寿命、換言
すれば１セツトの砥石による研磨可能枚数も著しく増大
するのみならず、研削力の向上により、１回の研磨作業
に要する研磨時間の短縮も可能であり、作業効率の向上
も十分に期待し得るものである。

このように、本発明により、従来既存の砥石では到底実
現し得なかった、優れた平坦度と高い面精度とを同時に
備えた、軟質金属板、例えばアルミディスクを効率良く
経済的有利に取得することが可能となったため、電子工
業、事務機器産業等の発達に伴う情報蓄積媒体としての
高精度仕上アルミディスク等の品質向上ならびに急速な
需要増に十分対処することができると共に、研磨作業効
率の上昇は生産加工コストの低減を可能とするなど産業
界への寄与は頗る大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明砥石の使用状況を説明するためのラッピ
ング式研磨機のラッピング盤の斜視図である。 ■・・・砥石 ２・・・取付板 ３・・・ラッピング盤

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）連続微細気孔を具えた三次元網状組織をなす構造体
   であって、該組織がポリビニルアセタール系樹脂と少な
   くとも一種の熱硬化性樹脂の硬化体と珪酸塩の非晶体と
   の均一混合体よりなるマトリックスと、該マトリックス
   中において相連接し実質的に連続状態をなして固定され
   た砥粒微細粒子とからなると共に、表面硬度（Ｈ）と砥
   粒番手（Ｇ）とが式、 −１８０≦Ｈ＋Ｇ／５５≦−５０ ［但し Ｈ：ロックウェル硬度計、スーパーフィ シャル１５−ｙスケールで測定した値 Ｇ：ＪＩＳ−Ｒ−６００１により分級］ を満足する関係にあることを特徴とする軟質金属用合成
   砥石。 ２）均一混合体中に珪酸塩が０．１〜１０重量％含有さ
   れている特許請求の範囲第１項記載の軟質金属用合成砥
   石。 ３）熱硬化性樹脂がメラミン系樹脂、フェノール系樹脂
   、それらの誘導体および変性体よりなる群から選ばれた
   少なくとも１種の重合体である特許請求の範囲第１項ま
   たは第２項記載の軟質金属用合成砥石。 ４）砥粒微細粒子が炭化珪素、熔融アルミナ、酸化クロ
   ムおよび酸化セリウムからなる群から選らばれた少なく
   とも１つの超硬セラミックスよりなる前記特許請求の範
   囲各項の何れかに記載の軟質金属用合成砥石。