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JPS61151643A - 光可溶化組成物 - Google Patents

光可溶化組成物

Info

Publication number
JPS61151643A
JPS61151643A JP59279231A JP27923184A JPS61151643A JP S61151643 A JPS61151643 A JP S61151643A JP 59279231 A JP59279231 A JP 59279231A JP 27923184 A JP27923184 A JP 27923184A JP S61151643 A JPS61151643 A JP S61151643A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
compd
acid
compound
generating
silylether
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59279231A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH048783B2 (ja
Inventor
Akihiko Kamiya
神谷 明彦
Toshiaki Aoso
利明 青合
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP59279231A priority Critical patent/JPS61151643A/ja
Publication of JPS61151643A publication Critical patent/JPS61151643A/ja
Publication of JPH048783B2 publication Critical patent/JPH048783B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/075Silicon-containing compounds
    • G03F7/0757Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野j 本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オーバーヘ
ッドプロジェクタ−相図面、IC回路、ホトマスクの製
造に適する元可溶化組成物に関する。更に詳しくは、(
al活性元婦の照射にLす、酸を発生し得る化合物、及
び(b)#により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも1個有する化合物、を含有する新規な光可溶化組成
物に関する。
「従来の技術」 活性光線−エリ可溶化する、いわゆるボジチブに作用す
るg光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られており、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。この工うなオルト牟ノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第2.76≦、tit
号、同第コ。
767.09コ号、同第J、772.デフ2号、同第2
.IIり、112号、+itl第2.り07,565号
、同第3.0φ&、110号、同第J、OGc&、//
/号、同第1.out、ttr号、同第3.0171.
、//r号、同第J、Ou&、//り号、同fill、
Ou&、/20号、同zi、ou4 、 /2/号、同
第J、17μ4./ココ号、同第7、(7μ4,723
号、同第3.θ4/1gJ(7号、同第i、ios、t
o2号、同第i、io6゜≠6j号、同第3.63タ、
709号、同第3゜6≠7.弘≠3号の各明細書をはじ
め、多数の刊行物に記されている。
これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性光線の照
射に工り分解を起こしてす員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可醪性となることを利用したものであるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有するっこれは
、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収
率がlを越えないと−うことに由来するものである。
オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成物のg光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困難であつ念。例えば、この工うな
試みの例として、特公昭μ!−/2コμ2号、特開昭り
2−ψ0/コ!号、米国特許第弘、307,173号な
どの明細書に記載された内容上挙げることができる。
また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにボジ
チブに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの襦
案がされている。その1つとして、例えば特公昭j4−
2696号の明細書に記載されているオルトニドaカル
ビノールエステル基ヲ有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、これと
け別に接触作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸に工って
第2の反応を生起させ、それにより露光域を可溶化する
公知の原理が適用されている。
この工うな例として、例えば光分解により酸を発生する
化合物と、アセタール又は0.N−アセタール化合物と
の組合せ(特開昭at−r’po。
3号)、オルトエステル又はアミドアセタール化合物と
の組合せ(特開昭す/−/207/μ号)、主鎖にアセ
タール又はケタール基を有するポリマーとの組合せ(特
開昭!3−733μ29号)。
エノールエーテル化合物との組合せ(特開昭!r−/2
?りを号)、N−アシルイミノ炭酸化合物との組合せ(
特開昭r!−/24コ36号)、及び主鎖にオルトエス
テル基を有するポリマーとの組合せC#開昭夕A−/7
JLAタ号)を挙げることができる。これらは原理的に
量子収率が1tl−越える為、高い感光性を示す可能性
がδるが、アセタール又はU、N−アセタール化合物の
場合、及び主鎖にアセタール又はケタール基を有するポ
リマーの場合、光分解で生成する暖による第2の反応の
速度が遅い為、実際の使用に十分なg光性を示さない、
またオルトエステル又はアミドアセタール化合物の場合
及び、二ノールエーテル化合物の場合、更にヘーアシル
イミノ炭酸化合物の場合は確かに高い感光性を示すが、
経時での安定が悪く、長期に保存することができない。
主鎖にオルトエステル基を有するポリマーの場合も、同
じく高感度ではおるが、現像時の現像許容性が狭いとい
う欠点を有するつ 「発明が解決しょうとする問題点」 本研究の目的は、これらの問題点が解決された新規な売
可溶化組成物を提供することである。即ち高い感光性を
有し、現像時の現惚許容性が広い新規な売可塔化組成物
を提供することである。
本研究の別の目的は、経時での安定性が優れ長期に保存
が可能な新規な売可溶化組成物を提供することである。
本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易く取得でき
る新規な売可溶化組成物f提供することである。
「問題点を解決するための手段」 本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を加え九結
果新規な売可溶化組成物を用いることで前記目的が達成
されることを見い出し本発明に到達しな。
即ち本発明は、(al活!1.光線の照射により酸を発
生し得る化合物、及び(bl下記一般式(I)で示され
る部分構造と下記一般式(n)で示される部分構造とを
、それぞれ少なくとも1個有し、現傷液中でのその溶解
度が酸の作用に工す増大する7リル工−テル化合物を含
有する売可溶化組成物を提供するものである。
本発明の7リル工−テル化合物の、一般式(T)及び(
II)で示される部分構造は1モル比で99.9:o、
t、tO:qOの範囲が好ましく、(に好ましくは9ヂ
:l〜60:≠Oである。またシリルエーテル化合物は
、化合物中に親水性基、及び/又はエステル基、アミド
基、ウレタン基、ウレイド基の少なくとも1個、上布す
ることができる。
本発明の/リルエーテル化合物の分子−qld、数平均
分子積で300以上、更に好ましくは/、Ooo、to
o、oooである。
本発明のシリルエーテル化合物は、下記の一般式(II
I)で示されるアルコールと、一般式(fV)で示され
るケイ素化合物、お工び一般式(V)で示されるケイ素
化合物を混合し、H−Xを脱離させることにより生成す
ることができる。この場合一般式(V)及び(V)で示
されるケイ素化合物のモル比はタタ、り:0./−10
:90の範囲が好ましく、更に好ましくは99 : /
、60 :弘Oである。
H〇−几4−OH(fil) 」 X−8i −X         (F/)RI X−8i−X(V) 式中、RI IR28R3は同一でも相異していても良
く、それぞれ水素原子、アルキル基、置換もしくは無置
換のアリール基又はアラル中ル基を示す。好ましくは炭
素数ノーμ個のアルキル基を示す。几4は置換もしくは
無置換の2価の目旨肪族又は芳香族炭化水素を示す。
更に必要により、R4は親水性基、及び/又はエステル
基、アミド基、ウレタン基、ウレイド基の少なくとも1
個、を有していてdbJ:い。XはI〜ロゲン原子、−
UaS−1−NC(J、ンアノ基、−U CO−Rs、
−0−802−Rsを示し、ル5は置換もしくは無It
換のアルキル基、アリール基、もしくはアラルキル基全
示す。
また、一般式(m)で示されるアルコールは数種類のも
のを混ぜて使ってもよい。
前記の親水性基としては、具体的には下記に示されるも
のがある。
÷CH2CH2−0+。 。
++CH2) t U テCH2CH20÷0 。
(CH2CHCH2−U+n 。
ム□ 式中、tFi/−弘の整数を示し、m 、 nは1以上
の整数、好ましくは/、100の整数、更に好ましくば
1−20の整数を示す。Rけアルキル基又はf換もしく
は無を換のフェニル基を示す。特に好ましい親水性基は
+CH2CH2−0す。である。
次に、本発明のシリルエーテル化合物の具体例として下
記の化合物ft、けることができる75:、下記に限定
されるものではない。
これらの酸により分解し得るシリルエーテル基t+なく
とも1個有する化合物と組合せて用いる、活性光線の照
射により酸を発生し得る化合物としては多くの公知化合
物及び混合物、例えば、ジアゾニウム、ホスホニウム、
スルホニウム、及ヒヨードニウムのBF4  、  P
F5−、 5bF6−、SiF6ζα04−などの頃、
有機ハロゲン化合物、オルトキノンジアジドスルホニル
クロリド、及び有機金g/有機ハロゲン化合物組合せ物
が適当である。
もちろん、米国特許第3.77デ、77r号及び西ドイ
ツ国特許@コ、tio、r≠コ号の明細書中に記載され
た光分解によ!7IIRt−発生させる化合物も本発明
の組成物として適する。更に適当な染料と組合せて露光
の際、未露光部と愼光物の間に可視的コントラストを与
えることを目的とした化合物、例えば特開昭1!−77
7gu号、同!7−/6323ψ号の明細書に記載さi
7’2−化合物も本発明の組成物として使用することが
できる。
上記光分解により酸を発生させる化合物の中では特ニオ
ルトキノンジアジドスルホニルクe+ 11 )’、及
びハロメチル基が置換したs −トIIアジン枡導体、
オキサジアゾール誘導体が好ましい。というのは1例え
ばオルトキノンジアジドスルホニルクロリドの堝合繕元
の@3つの酸基(即ち厖ν、スルホン酸、カルボンm)
が形成される為、比較的大きい割合で前記7リルエーテ
ル甚を分解させることができるからである。
これらの活性光線の照射により酸を発生し得る化合物と
前記酸にLす分解し得るシフ1ルエーテル基を少なくと
も1個有する化合物との割合は1重量比で0.001:
/−コニ/であり、好ましくflo、02:/、0.r
:/で使用サレル。
本発明の光可溶性組成物は、上記活性光線の照射に工9
酸を発生し得る化合物と、酸に工す分留し得るシリルエ
ーテル基を少なくともl@有する化合物の組合せのみで
使用することがでなるが、アルカリ可溶性樹脂と混合し
て用いた方が好ましい、好適なアルカリ可溶性$l!を
脂にけ、ノメラツ〃型フェノール樹脂が含まれ、具体的
にけ、フェノールホルムアルデヒド樹脂、O−クレゾー
ルホルムアルデヒド樹1it、m−クレゾールホルムア
ルデヒド樹脂などが含まれる。更に特開昭10−/21
106号公報に記されている様に上記の工うなフェノー
ル樹脂と共に、t−ブチルフェノールホルムアルデヒド
樹脂の工つな炭素数3〜tのアル−4ルf、で1t(I
I!すれたフェノールまたはクリゾールとホルムアルデ
ヒドとの縮合物とを併用すると、一層好ましい。アルカ
リ可溶性樹脂は、感光性レジスト形成性組成物の全tt
t−基準として約μO〜約9ofl責4、より好ましく
は6o−to重重量金含有せられる。
本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更に染料、
顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化合物の酸発生効
率を増大させる化合#IJ(所謂増感剤)など全含有さ
せることができる。好適な染料としては油m性染料及び
塩基性染料がある。具体的には、オイルイエa−nto
i、オイルイエa−t/30.オイルピンク−31コ、
オイルグリーンBG、オイルブルーB(J8.オイルブ
ルー=603、オイルブラックBY、オイルブラックB
S、オイルブラックT−IOIC以上、オリエント化学
工業株式会社製)クリスタルバイオレット(CIグ2!
りj)、メチルバイオレット(CIμ2!37)、ロー
ダミンB(CIμtt yoB)、マラカイトグリーン
(CIμ2000)、メチレンブルー(CIr2otり
)などをあげることができる。
本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、二チレンジクロライド。
ンクaへ一?丈ノン、メチルエチルケトン、エチレング
リコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノ
エチルエーテル、2−メトキクエチルアセテート、トル
エン、酢酸エチルなどがあり、これらの溶tf#を単独
あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)は、
2〜!O重量壬である。このうち、本発明の組成の好ま
しい濃度(固形分)け0./、2を貫量嶋である。また
、塗布量は用途により異なるが、例えFi感感性性平版
印刷版ついていえば一般的に固形分としてo、r〜30
97m  が好ましい。
塗布債が少くなるにつれ感光性は大になるが、感光膜の
物性は低下する。
本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルεニウム板、砂目立てしたアルばニウム板、シ1
1ケート電着し光アルミニウム板があり、その他亜鉛板
、ステンレス板、クローム処理鋼板、親水化処理し九プ
ラスチックフィルムや紙を上げることができる。
te印刷用校正版、オーバーヘッドプロジェクタ−用フ
ィルム第1原図用フィルムの製造に適する支持体として
寸セリエ千し/テレ7タレートフイルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラス千ツク
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化し九
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロム?蒸着させ九ポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。
またホトレジストとして上記以外の種々の支持体、例え
ば銅板、銅メツ中板、ガラス板上に本発明の売可醇化組
成物を塗布して使用される。
本発明に用いられる活性光線の光源としては例えば、水
銀灯、メタルハライドランプ、中セノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーiンアーク灯などがある。ま几高密is
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査蕗光も本発明に使用することができる。この工うなレ
ーザービーム、!−してHヘリウム・ネオンレーザ−、
アルゴンレーザー、クリプトンイオンレーザ−、ヘリウ
ム・カドばラムレーザーなどが挙げられる。
本発明の光可溶性組成物にたいする現偉液としては、珪
酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、
第ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニ
リン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナト
リウム、アンモニア水などのLつな無機アルカリ剤の水
溶液が適当であり、それらの濃度が0.1〜10重を爆
、好ましくはo、r〜を重tll+になる工うに添加さ
れる。
″!念、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界面活性
剤やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもで
きる。
「実施例」 以下、本発明を合成例、実施例に工す更に詳細に説明す
るが、本発明の内容がこれにょ9限定されるもので#″
jない。
合成例1.(化合物例A/の合成) テトラエチレングリコールr、00f(0,0<AI2
mole)とピリジン7.9Of(0,0ブタ5’mo
le)をトル17/ 00m1K溶解し攪拌しながら、
これにジメチルジクocs7ラン3.り6f(0,02
74mole)のトルエン(デme>n液を室湛下滴下
e2−トKLす10分間かけて添加した。添加後、油浴
上roor’:にで3時間攪拌を続けた。これを室温に
もどしメ千ルト11りcIロシラ7/ 、771<0.
0//rmo1ts’)のトルエン(りme、 )溶液
を滴下a−トにJ:910分間かけて添加した。添加後
再びro @cにて3時間攪拌を続は念、生成した白色
の塩(ピリジンの11[酸塩)を戸別し、F液t−3優
重炭酸すl−IIウム水溶液I00!l?ついで飽和食
塩水100mtで洗浄した。これを無水5P酸ナトリウ
ムで乾燥しt後、減圧下。
溶媒を留去すると無色透明粘稠液体が得られた。
収量デ、tりV、数平均分子tは、ゲルパーごニージョ
ンクロマトグラフィー、♂リスチレン標準でμり00で
あつ九。
合成例λ(化合物例7fLコの合成) p−中シリレングリコールr、6??(0,Og/コm
ole)とピリジン7.2Of(σ、Qタタ5Fmgl
e)f トtbエン/ 00ffieに醇解し攪拌しな
がら、これにジメチルジクロcxVう7f、0Jf(O
,OJfPmole)とメチルトリクロロシラン0.6
 !? (0、OQgJmole)のトルエフ(jw+
l)溶液を室温下、滴下ロートに工す20分間かけて添
加し念、添加後、油浴上、ro 0(’。
にてj時間橿坤を続けた。生成した白色の宝(ピリジン
の塩1鷹)を戸別し、戸催を3≠重炭酸ナトリウム水浴
液!00mm、ついで飽和食塩水100meで洗浄した
。これを無水a酸ナトリウムで乾燥した後、減圧下、溶
媒を留去すると、無色透明粘稠液体が得られた。収+7
.907.a平均分子今ハケルノ1−シエーションクa
マドグラフィー、ポリスチレン標準で3100であった
合成例3.(化合物例/p63の合成)テトラエチレン
グリコール3t、6fcO,/AJmole)とp−千
7リレングリコール/!。
0fCO,109mo1e)お工びピリジン4c3゜?
fCO,ナタg m01e)f) ルエ7コ00tnf
に弓解し、攪拌しながら、これにジメチルジクロロシラ
ン30./fcO,コJJmole)のトルエン(g(
7m+’)溶液を室温下、滴下ロートエリ30分間かけ
て添加しな。添加後、油浴上70″Cにて2時間攪拌を
続は念。これを室温にもどし、メチルトリクaa7う7
!、r7f(0,Qコt9mole)のトルエン(コσ
mg>meを滴下a−ト工り、10分間かけて添加した
。添加後、再び7Q@Cにてμ時間攪拌を続けた。生成
した白色の塩(ピリジンの塩酸塩)を戸別し、ろ液を3
傷重炭酸ナト17ウム水浴液200vl、ついで飽和食
塩水200m1で洗浄した。これを無水伊酸ナトリウム
で乾燥した後、減圧下、溶媒を留去すると無色透明粘稠
液体が得られた。収i夕j 、 4 f、数平均分子t
hゲルパーミエーショ/りaマドグラフィー、ポリスチ
レン標準で3000であった。
合成例4.(化合物例/l&llの合成)ヘキサン−/
、6−ジオール10,7f(0゜o 906 mole
)とピリジン/!、I?(0,0タデ7mole)?ト
ルエン100−に醪解し攪拌しながら、これに、ジエチ
ルジクete!7ランIO0弘f(Q、04j5’mo
le)とメ’F−/l、 トリクaaシランコ、’t7
fC0,0/&!mole)のトルエン(rml)溶液
を室温下、滴下a−トに工り20分間かけて添加し念、
添加後、油浴上、7(7”Cにて!時間撹拌を続けた。
生成した白色の塩(ピリジンの塩酸塩)を戸別し、p液
を3手重炭酸ナトリウム@液100tne、ついで徊和
食頃水1001で洗浄した。これを無水a酸ナトリウム
で乾燥し念後、減圧下、fI媒を留去すると無色透明粘
稠液体が得られた。収量tt、oy。数平均分子素ハケ
ルバーば二−ションクa寸トゲラフイー、ポリスチレン
1′!@で3600であつ念。
実施例 1゜ 厚さ0.2≠mmの28アルミニウム板frO@Cに保
った第3轢酸ナトリウムの104水溶液に3分間浸漬し
て脱脂し、ナイロンブランで砂目立てした後アルばン酸
ナトリウムで約10秒間エツチングして、硝酸水素ナト
リウム34水溶液でデスマット処理を行った。このアル
ばニウム板を20憾5IF酸中で電流密度コA/dm2
において2分間陽極酸化金行いアルばニウム板を作製し
た。
次に下記感光液(Alの本発明の化合物の種類を変えて
J81類のg光輝CA)−/〜(A)−Jを調整し、こ
の感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の上に塗布し
、100’Cで2分間11F、燥して、それぞれの感光
性平版印刷版〔A)−/〜〔人〕−3全作製した。この
ときの塗布tは全て乾燥重量で/、197m2であつ九
7 また、感f液(A)−/〜(A)−Jに用いた本発明の
化合物は第1表に示す。
感光液(A) 本発明の化合物        0,3/fクレゾール
ーホルムアルデヒ ドノゼラツク樹脂       /、0  タ1、コー
ナ7トキノンー2− ジアジド−μmスルホニル クロリド         0.Offオイルブルー=
603 (オリzyHt、学工業v74製)’  o、oiyエ
チレンジクロリド        lOfメチルセロン
ルブ         io1次に比較例として下記の
感光液CB)をg−ye液(A)と同様に塗布し、g光
性平版印刷版CB)を作製した。
感光液〔′B〕 フェノールホルムアルデヒド ノボラック岸詣と/、コーナ7 ト午ノンーコージアジド−!− スルホニルクロリドとの縮今生 酸物            Q、弘rfクレゾールー
ホルムアルデヒドノ ボラック樹@          t、o  gl、コ
ーナ7ト中ノン−2−ジア シトー←−スルホニルクaリド O0Qコf オイルブルー2603 (オIJ 1ント化学工業株製)  0,0/fエチレ
ンジクロリド        ioyメチルセロンルプ
         ioy乾燥後の塗布重量はt、rf
/m”であっ九。
感光性平版印刷版(A)−t〜(A)−J及び(B)の
gi層層上llC8差差Q、/ !のfレ−スケールを
密着させ、307ンイアのカーボンアーク灯で70■の
距離から4ft、を行った。
本発明の優れ念感f、性を示す為に露光され念感光性平
版印刷版(A)−t〜(A)−J及びCB)をDP−J
B(商品名:富士写真フィルムti製)の72倍希釈水
浴液で2夕0Cにおいて60秒間浸漬現像し、濃度差O
0lすのグレースケールで!段目が完全にクリアーとな
る露光時間を求めたところ第1表に示すとおりとなった
第7表 第1表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版〔人)−1〜(A)−3はいずれもCB)エ
リ4光時間が少なく、感度が高い。
なおt4/−!1における本発明の化合物5/、2゜1
0の数平均分子tF′iゲルパーミエーションクaマド
クラフィー、ポリスチレン標準でいずれも3COO〜弘
qooであつ念。
実施例 1 下記g光源(C)において活性光摸の照射により酸を発
生し得る化合物の種類金変えて、μ種類の感光液(C)
−t〜〔C〕−μを調整し、実施例1と同様にして、g
光性平版印刷版((”)−/〜((’:)−tAを作製
した。
感光液〔C〕 本発明の化合物A/J      O03/9クレゾー
ル−ホルムアルデ ヒドノボラック樹@      /、Of活性光呻の照
射により酸を 発生し得る化合物      o、oりfオイルブルー (オリエント化学工業株m1)  0.0/fエチレン
ジクロリド        IO’1メチルセロノルブ
         10f塗布量は全てtfj、惇重量
で/、197m  であった。ま念感光液(C)−i〜
(C)−uに用いた、活性光用の照射により酸f発生す
る化合物Fii2表に示す。感光性平版印刷版((”:
)−t〜〔C〕−μ及び実施例1で作n+、た(B)の
感光層上に濃度差0./!のグレースケールを密着させ
、30アンイアのカーボンアーク灯で70■の距離から
j4光を行つ之。
露光された感光性平版印刷版(C)−t〜〔C〕−弘及
び(B)をDP−JB(商品名:富士写真フィルムtI
IJ1)の2倍希釈水溶液でコr @Cにおいて60秒
間浸漬現像し、濃度差0./rのグレースケールで!段
目が完全にクリアーとなる露光時間を求め比ところ、第
2表に示すとおりとなつ念。
なお感光液〔C〕に使用され九本発明の化合物11s/
Jの数平均分子量はゲルノーミニ−7ヨンクロマトグラ
フイー、ポリスチレン標準で4!コO0であつ九。
第2表かられかる工うに本発明の化合物を用いeg光性
平版印刷版(C)−t〜〔C〕−弘はいずれもCB)工
す露光時間が少なく感度が高い。
実施例 3゜ 実施例xog光液(A)−/〜(A)−Jを用い実施例
1と同*Kして感光性平版印刷板(A)−7〜(A)−
Jt−作製した。??布tはすべて乾燥型−険で/、7
97m  であった。
次に比較例として実施例1の感光液(B)bzび下記感
光液CD)を感光液(A)と同様に塗布し、感光性平版
印刷版CB)お工び(D)を作製した。
感光液CD) 下記1)式で示されるシリル エーテル化合物       0.3/9クレゾールホ
ルムアルデヒドノ ボラック樹脂         i、oy/、コーナ7
ト中ノンーコー ジアジドー弘−スルホニル クロリド         o、oryオイルグルー=
603 (オリエント化学工業■g)  o、otfエチレンジ
ク1217ド        toyメチルセルンルブ
         IOfHa 数平均分子量はゲルパーミエーンヨンクロマトグラフイ
ー、ポリエチレン標準で7000゜乾燥後の塗布重量は
各々/、f?7m”であった。
現償許容性を見る為、感光性平版印刷板(A)−1〜(
A)−J、(H)及びCD)のR&−jt層上に濃度差
0.1rのグレースケールを密着させJOアンイアのカ
ーボンアーク灯で70Cmの距離から30秒間μ光を行
った。鎮光されたIflc光性平版印刷版(A)−/〜
(A)−J、CB)及びCD)を実施例1と同じ現像液
にて、2りoCで60秒間及び3分間浸漬現儂し念。濃
度差0./!のグレースケールで60秒間及び3分間現
儂における完全にクリアーとなる段数の差を求めたとこ
ろ第3表に示すとおりとなった。
第3表かられかるように本発明の化合物を用いtgt性
平版印刷版(A)−/〜(A)73はいずれも、クリア
一部のグレースケール膜数変化が小さく、現像許容性が
大きく優れ念ものであつ九。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合物及び
    (b)下記一般式( I )で示される部分構造と下記一
    般式(II)で示される部分構造とを、それぞれ少なくと
    も1個有し、現像液中でのその溶解度が、酸の作用によ
    り増大するシリルエーテル化合物を含有する光可溶化組
    成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼(II)
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61166544A (ja) * 1985-01-18 1986-07-28 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物
JPS61167946A (ja) * 1985-01-22 1986-07-29 Fuji Photo Film Co Ltd 着色光可溶化組成物
JPS61169836A (ja) * 1985-01-22 1986-07-31 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物
JPS6225751A (ja) * 1985-07-26 1987-02-03 Fuji Photo Film Co Ltd 画像形成方法
JPS63236029A (ja) * 1987-03-25 1988-09-30 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物
JPH0285859A (ja) * 1988-09-22 1990-03-27 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性組成物

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