JPS61122547A - 薄膜の光吸収特性測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、特に液面上に展開された薄膜の特性を光学的
に測定する方法に関するもので、更に詳しくは、６Ｉ膜
の種々の特性分析の基礎となる光吸収特性の測定方法に
関する０本発明は１例えば単分子累積膜の形成に際し、
累積すべく液面上に展開された単分子膜の特性分析等に
利用されるものである。　　　。

［従来の技術］ 従来、ある試料の光吸収特性を測定する方法としては、
透過率又は反射率から光吸収特性を求める方法がある。

しかし、試料に光が照射された場合、透過光１反射光の
他に散乱光があり、更に高精度を期すためには光の吸収
成分を直接測定する方法が光吸収特性評価上重要となる
。

光の吸収成分を直接測定する方法としては、断続的に光
を照射すると、試料に吸収された光エネルギーが無輻射
緩和過程により、断続的に熱に変換されることを利用し
た測定法である光音響分光法（Ｐｈｏｔｏａｃｏｕｇｔ
ｉｃ　Ｓｐｅｃｔｒｏｇｃｏｐｙ：　　ＰＡＳ）や光熱
輻射分光法（Ｐｈｏｔｏｔｈｅｒｍａｌ　Ｒａｄｉｏｍ
ｅｔｒｙ：　　ＰＴＲ）がある。

ＰＡＳ法は、検出器の種類によりマイクロホン法と圧電
素子法に分けられるが、マイクロホン法では試料を密閉
した試料室にいれる必要があり、圧電素子法では検出器
と試料の配置が問題となり、いずれも液面上に展開され
た薄膜の測定には不向きである。また、ＰＴＲ法は、赤
外線検出器を用いていることから、水蒸気等の大気変動
の影響を受けやすいという欠点がある。

一方、やはり光の吸収成分を直接測定する方法として、
光熱偏向分光法（ＰｈａｔｏｔｈｅｒｗａｌＤｅｆｌｅ
ｃｔｉｏｎ　５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ：　　ＰＤＳ　
）と言われる方法がある。このＰＤＳ法は、試料の光吸
収による発熱と共に試料内及び試料近傍に温度分布が生
じて屈折率が変化し、これによってそこに入射する光が
偏向することを利用したものである。即ち、試料の測定
部位に、光吸収されたときに発熱による温度分布を生じ
させて屈折率を変化させる励起光と、これによる偏向量
を測定するためのプローブ光とを照射し、励起光の波長
とプローブ光の偏向量とから試料の光吸収特性を測定す
るものである。この方法は、試料と検出系が独立に設定
でき、現場での計測や遠隔計測に適しており、本発明の
基本原理もこのＰＤＳ法による。

上記ＰＤＳ法は、励起光とプローブ光の配２によって、
横方向（ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ）　ｆｆｌと縦方向号（
ｃａｌｌｉｎｅａｒ　）型の二通りがあり、いずれも上
述のように試料の励起光吸収量に応じたプローブ光の偏
向量を測定するもので、検出器としては位置敏感検出器
（ｐｓｏ）を用いることが多い。

第９図（ａ）は縦方向型の例で、励起光源１０より出た
励起光１１は、チョッパー１２で断続光となり。

レンズ３４で集束されて試料４′に照射される。プロー
ブ光源５より出たプローブ光６は、レンズ３≦及びミラ
ー等の光路調整器１８で励起光１１が照射されている試
料４′の領域を通過して検出器７へと至り、点線で示さ
れるように偏向したときの偏向量が測定される。第９図
（ｂ）は横方向型の例で、プローブ光５が試料４′の表
面に平行に照射される点が縦方向型と相違するだけで他
は同様である。

このＰＤＳ法の理論的取扱いは、試料内の熱伝導方程式
を解けばよく、偏向角φとして測定される偏向量は、励
起光強度、屈折率の温度係数（ＥｎｌつＴ）、プローブ
光の通過する債城での温度勾配（つ丁１つり等に比例す
ることになる。試料の光吸収係数に比例する項は（つＴ
１つりに含まれる。また（ａｎ／＆　）は、試料によっ
ては正負いずれかの値をとり得、このことは偏向角も正
負両方の場合があることを示している。

しかしながら、このＰＤＳ法をそのまま液面上に展開さ
れた薄膜についての測定に適用すると、試料たる薄膜が
極めて薄いものであるため、次のような不都合を生ずる
。ここで液面上に展開された薄膜とは１例えば単分子膜
のように、液面上に浮きも沈みもせ、ずに広げられた薄
い膜をいう。

液面上に展開された薄膜の場合、照射される励起光の薄
膜通過領域が短いため、励起光が液面に達する前の外環
境による影響１例えば空気中の粉塵やゆらぎの影響を受
けやすい、また、励起光が薄膜到達後の不要な反射光や
透過光の影響もＳ／Ｎ比を低下させる原因となり１Ｍ度
及び感度のよい測定が困難となる。特に、液面上の気相
に特殊な気体を用いて液面上の薄膜と相互作用を利用す
る系においては、励起光が通過する気体領域をできるだ
け短かくする必要があるが、実現が困難である。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は、液面に展開された薄Ｉ１１．．いう極めて薄
く特異な環境下にある試料について、その光吸収特性を
精度及び感度よく測定できるようにすることをその解決
すべき問題点とするものである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明において上記問題点を解決するために講じられた
手段は、液面とに展開された薄膜の測定部位に断続的に
励起光を照射しつつこの測定部位又はその近傍にプロー
ブ光を照射し、このプローブ光の偏向量から光吸収特性
を測定するに際し、前記励起光を、第一の測定部位の液
面で全反射される入射角で液体側から照射すると共に、
この反射光を液面下で少なくとも第二の測定部位の液面
で全反射される角度に反射させる薄膜の光吸収特性測定
方法とすることである。

［作　用］ 励起光が試料たる薄膜に吸収されると、励起光の照射時
と非照射時とでは測定部位及びその近傍の屈折率が変化
するので、これをプローブ光の偏向量として検出するこ
とによって光吸収特性を測定することができる。この原
理自体は従来のＰＯＳ法と同様である。

ところで１本発明では、試料が液面上に展開されたＮＦ
Ｍであり、しかも励起光は、薄膜が展開している液面で
全反射されるよう液体側から照射されるものである。励
起光は液体内を通って薄膜に照射されるので、空気中を
通って照射されるときのように空気中の粉塵やゆらぎの
影響を受けることがない、薄膜へ照射された励起光は、
液面で全反射され、液面上の気相へと抜ける透過光は、
会友射時のエバネ７セント波としての波長オーダー以下
のごくわずかのものであるので、透過光が測定値に影響
を及ぼす心配もない、また、励起光は、液面で規則的に
反射されることになるため、不規則な反射光による悪影
響も生じないものである。更に、励起光が液面と液面下
の間で多重反射され、複数の測定部位に励起光が照射さ
れることになり、プローブ光の偏向される領域が増大さ
れるため、ブロー光の偏向角が大きくなって高感度な検
出を行うことが１きる。

［実施例］ 第１図においてｌは液体２を収容した液槽で。

その液面３上には試料たる薄膜４が展開されている０図
示される薄＃ｆ４は、単分子膜を模式的に表わしたもの
である。

液槽ｌの側方にはプローブ光［５が設けられている。こ
のプローブ光源５からは、液面３直下で液面３と平行方
向にプローブ光６が照射されるものである。また、プロ
ーブ光［５と液／ｆａｌを挟んで相対向する位置には、
送られて来るプローブ光６の位置を検出する検出器７が
設けられている。

この検出器７の信号は、ドライバー８を介してロックイ
ンアンプ９へ送られるようになっている。

プローブ光源５のやや下方には励起光源１ｏが設けられ
ている。励起光源１０は、薄ＷＡ４が展開されている液
面３で全反射される角度で、液体２側から励起光１１を
薄膜４に向けて照射するものである。液槽１に入る前の
励起光１１の光路に沿った位置に、励起光１１を断続光
として照射するためのチ、ツバ−１２が設けられている
。液面３下のプローブ光６光路のやや下方には、液面３
と平行に鏡面１３が設けられており、液面３で全反射さ
れた励起光１１を更に反射し、液面３と鏡面１３間で励
起光１１を多重反射して、ＩｉＩ膜４の複数の測定部位
に励起光１１を照射できるようになっている。また、励
起光源ｌＯから照射されて液面３と鏡面１３間で多重反
射された励起光１１が液槽ｌから出た位置には、この励
起光１１を吸収するための吸収体１４が設けられている
。

チョッパー１２はロックインアンプ９に接続されていて
、チョッパー１２から送られる励起光１１の断続状態を
示す信号を参照信号として、検出器７かもの信号を同期
検出できるようになっている。プローブ光源５．励起光
源ｌＯ，チョ７パー１２及びロックインアンプ９は、各
々測定制御器１５に接続されている。測、定制御器１５
は、プローブ光６及び励起光１１の光路及び波長並びに
チョッパー１２による励起光！！の断続間隔を制御する
と共に、ロックインアンプ９からの信号によって光吸収
特性を算出するものである。

尚、液槽１は、少なくともプローブ光６及び励起光１１
の光路となる部分に透明な窓を設けておけば、ことさら
全体を透明とする必要はない、また、液体２は、励起光
１１について吸収の小さいものであればプローブ光６へ
多少直接影響を与えるものであっても測定にさほど悪影
響はないが、透明であることが好ましい。

まず、励起光源１ｏより出射された励起光１１は、チョ
ッパー１２により断続光に変調され、液ｍｌの液面３上
に展開されている薄！４の第一の測定部位を液面３下よ
り照射する。このとき、励起光１１は、入射角が液体２
の臨界角より大きくなるように入射され、液面３で全反
射され、更に鏡面１３で反射され、これを繰返して第二
、第三・・・・・・の測定部位を照射した後液体ｚ内を
通過して液槽１の外へ出る。液面３上の気相には、全反
射の時のエバネ、゛セント波として、波長オーダー以下
のごくわずかな光がしみ出すだけである。液槽１から出
た励起光１１は、吸収体１４により吸収され、不要な光
がカットされる。断続励起光１１が全反射される各測定
部位上の領域では、液面３上の薄！ｌＩ４が光を吸収し
、無放射輻射過程により、断続的に熱を発生し、そのた
め、近傍の屈折率変化が断続的に生じることになる。。

一方、プローブ光源５から出射されるプローブ光６は、
液面３直下を液面３と平行に通るため。

上記励起光１１の照射によって断続的に屈折率が変化す
る領域を通過することになる。この屈折率の断続的変化
を生じる各測定部位近傍を、プローブ光源５から出射さ
れたプローブ光６が通過すると、変化した屈折率分布に
応じて、点線で示されるように光路が偏向することにな
る。

検出器７は、継続してプローブ光６を受け、プローブ光
６の受光位置をドライバー８を介してロックインアンプ
９へ送る。ロックインアンプ９は、この検出器７からの
信号を受けると同時にチョッパー１２からの信号を受け
ており、両信号を同期させることによって、励起光１１
照射時のプローブ光６の受光位置信号と、励起光！！非
照射時のプローブ光６の受光位置信号とをＳ／Ｎ比良く
区分けして測定制御器１５へ送る。測定制御器１５は、
この送られて来た信号に基づき、その時の励起光１１の
波長についてのプローブ光６の偏向量を求め、これに基
づいて光吸収特性を算出する。また、励起光１１の波長
を順次変えながら同様の測定を行えば、薄膜４の分光吸
収特性を得ることができる。

この測定に際して、測定部位は、測定制御４１１５で励
起光１１の光路を調節することで自由に選択でき、また
液面３の位置に応じてやはり測定制御器１５でプローブ
光６の光路を調節して正確を期すことができる。また、
プローブ光源５、励起光源ｌＯ及びチ璽フパー１２に必
要な調節を全て測定制御器Ｉ５で自動的に行うようにし
、操作を簡略化することも可能である。

入射角θ、鏡面１３と液面３の距離ｄ、反射領域を文と
すれば、励起光照射回数Ｎは次式のような関係がある。

即ち、Ｎ＝ｊＬ／（２ｄｔａｎθ）の関係が成立し１例
えば、交＝３０ｍ園、ｄ　−０，５■箇。

θ−ｅｏ”とすればＮ″４１８となり、感度を約１８倍
上げることができる。

励起光１１の測定部位における光量分布、液体２の熱に
よる屈折率変化の特性、プローブ光６の入射ビーム位置
及びその時の偏向量から薄＄４によって吸収された光エ
ネルギーが求まる。従って、励起光１１の薄膜４への照
射エネルギーをフォトセンサー等でモニターしておけば
１両者から薄膜４の絶対的な光吸収特性が得られる。そ
して、励起光１１の波長を変化させることにより、絶対
的分光吸収特性が得られる。また、励起光１１の各波長
における相対強度を予め求め、波長に対応したプローブ
光６の偏向量を求めるだけでも、相対的な分光吸収特性
を得ることができる。光吸収特性の相対値、絶対値は、
０定の目的に応じ適宜選択すればよい。

プローブ光６は、第２図に示されるように、励起光１１
と共に測定部位で全反射させるようにしてもよい、この
ようにすると、液体２の大きな屈折率変化を生ずる部分
を通過させることができ、高感度の測定ができる利点が
ある。

プローブ光６は、第３図に示されるように、液面３近く
の気相中を通過させ、気相部の屈折率変化の影響下に置
くこともできる。このようにすると、プローブ光６と励
起光１１が全く交差しなり）ので、プローブ光６に対し
て励起光１１が交差することによって及ぼす影響を除去
することができる。

第４図に示されるように、薄＄４が展開されている液面
３の一部を仕切枠１Ｂで仕切り、薄Ｍ４４の無い液面３
′を形成し、この液面３′を参照液面として測定するこ
ともできる。即ち、プローブ光源５から出射されたプロ
ーブ光６及び励起光源１０から出射されてチオツバ−１
２を経た励起光１１を、例えばビームスプリッタ−やハ
ーフミラ−等の光路分割手段！？で分割した後、ミラー
等の光路ＦＡ整手段１８を用いて液面３と３′に同時に
プローブ光６と励起光１１を送る。そして、液面３．３
′に対応するプローブ光６の偏向量を各々の検出器７で
検知し、両者の差から測定を行うものである。このよう
にすると、薄８４の有無による差が測定でき、他の影響
を相殺することができるめで、高精度の測定が可能とな
る。

更に、第５図に示されるように、プローブ光６を、液面
３付近に設けた、例えばニオブ酸リチウム結晶、酸化チ
タン結晶、二酸化ケイ素結晶、ガラス、プラスチック等
の屈折率変化の大きな媒体ｌｓ中に通すこともできる。

即ち、液面３上の薄膜４の光吸収によって発生した熱を
、薄膜４近傍に液面３と平行に配置した熱屈折率変化の
大きな媒体１３に作用させて屈折率変化に変換し、その
媒体ｌＳ中をプローブ光６を通過させ、プローブ光６の
偏向量を拡大し、高感度検出を図ることができる。

本発明による光吸収特性の測定は、液槽ｌｔ−第６図及
び第７図に示されるようなものとして、単分子累積膜の
取得時に利用すると有益である。

発明者にちなんでラングミュア・ブロジｚ’ｌト法と呼
ばれる単分子膜累積法（以下ＬＢ法という。

新実験化学講座１８巻４３８頁〜５０７頁丸善参照）に
おいては、液面３上に形成した単分子膜を基板２０の表
面上に移し取り、１枚ずつ重ねて超薄膜を作るため、液
面３上の薄膜の特性が重要である。　ＬＢ法により基板
２０上に移し取った累積膜の構造や分子配向が液面３上
の展開単分子膜の状態を基にしていることは轟然である
が、その状態がそのまま基板２０上に移されているかど
うかには問題がある０本発明は、液面３上に展開された
単分子膜がそのままの状態で基板２０上に移し取れるか
どうかを分析するのに利用できるものである。以下に。

単分子累積膜を得るための液槽ｌ及びその手順を説明す
る。

第６図及び第７図に示されるように、液体２が収容され
た浅くて広い角型の液槽１の内側に、例えばポリプロピ
レン製等の内枠２１が水平に釣ってあり、水面３．３′
を仕切っている。液体２としては、通常純水が用いられ
る。内枠２１の内側には１例えばやはりポリプロピレン
製等の成膜枠２２が浮かべられている。成膜枠２２は１
幅が内枠２１の内幅より僅かに短かい直方体で、図中左
右方向に二次元ピストン運動可能なものとなっている。

成膜枠２２には、成膜枠２２を図中右方に引張るための
重錘２３が滑車２４を介して結び付けられている。また
、成膜枠２２上に固定された磁石２５と、成膜枠２２の
上方で図中左右に移動可能で磁石２５に接近すると互に
反撥し合う対磁石２Ｂとが設けられていて、これによっ
て成膜枠２２は図中左右への移動並びに停止が可能なも
のとなっている。このような！ｌＩ錘２３や一組の磁石
２５．２１３の代りに１回転モーターやプーリーを用い
て直接成膜枠２２を移動させるものもある。

内枠２１内の両側には、吸引パイプ２７を介して吸引ポ
ンプ（図示されていない）に接続された吸引ノズル２８
が並べられている。この吸引ノズル２８は、単分子膜や
単分子累積膜内に不純物が混入してしまうのを防止する
ために、液面３．３′上の不要になった前工程の単分子
膜等を迅速に除去するのに用いられるものである。尚、
２０は基板ホルダ２９に取付けられて垂直に上下される
基板である。

まず、成膜枠２２を移動させて、液面３．３′上の不要
となった単分子膜等を掃き寄せながら吸引ノズル２Ｂか
らすすり出し、液面３．３′を浄化する。こうして清浄
化された液面３．３′の左端に成膜枠２２を寄せて１例
えば、〜５Ｘ１０−）■ａｎ／１（７）Ｗ度でベンゼン
、クロロホルム等の揮発性溶媒に溶かした膜構成物質の
溶液を、スポイト等で数滴液面３上にたらす、この溶液
が液面３上に広がり、溶媒が揮発すると、単分子膜が液
面３上に残されることになる。

上記単分子膜は、液面３上で二次元系の挙動を示す０分
子の面密度が低いときには二次元気体の気体膜と呼ばれ
、一分子当りの占有面積と表面圧との間に二次元理想気
体の状態方程式が成立する。

次いで、この気体膜の状態から、徐々に成膜枠２２を右
方に動かし、単分子膜が展開している液面３の領域を次
第に縮めて面密度を増してやると、分子間相互作用が強
まり、二次元液体の液体膜を経て二次元固体の固体膜へ
と変わる。この固体膜となると１分子の配列配向はきれ
いに揃い、高度の秩序性及び均一な超薄膜性を持つに至
る。そして、このときに基板２０の表面に当該固体膜と
なった単分子膜を付着させて移し取ることが可能となる
。また、同一の基板に複数回単分子膜を重ねて移し取る
ことによって、単分子累積膜を得ることができる。尚、
基板２０としては１例えばガラス、合成樹脂、セラミッ
ク、金属等が使用されている。

単分子膜を液面３上から基板２ｏの表面に移し取る方法
は大別して２種類ある。−は垂直浸漬法で他は水平付着
法である。垂直浸漬法とは、液面３上の単分子膜に累積
操作に好適な一定の表面圧をかけながら、膜を横切る方
向、即ち、垂直方向に基板２Ｇを上下させることにより
単分子膜を移し取る方法である。水平付着法とは、基板
２０を水平に保ちながら上から液面３にできるだけ近づ
け、わずかに傾けて一端から単分子膜に触れて付着する
方法である。

上記基板２０へ移し取るのに好適な単分子膜の状態下に
おいて占該移し取り操作を行うべく、単分子膜の表面圧
を計測することが行われている。一般に、移し取るのに
好適な単分子膜の表面圧は１５〜３０ｄｙｎ／ｃ■とさ
れている。この範囲外では、分子の配列配向が乱れたり
膜の剥れを生じやすくなる。もっとも、特別の場合１例
えば、膜構成物質の化学構造、温度条件等によっては、
好適な表面圧の値が上記範囲からはみ出ることもあるの
で、上記範囲は一応の目安である。

上記単分子膜の表面圧は１表面圧測定器（図示されてい
ない）によって自動的かつ継続的に計測されるものであ
る０表面圧の測定器としては、単分子膜に覆われていな
い液面３′と、単分子膜に覆われた液面３との表面張力
の差から間接的に求める方法を応用したものや、単分子
膜に覆われていない液面３′と、単分子膜に覆われた液
面３とを区切って浮ぶことになる成膜枠２２に加わる二
次元的圧力を直接測定するもの等があり、各々特色があ
る。また１通常、表面圧と共に単分子膜の一分子当りの
占有面積及びその変化量も計測される。占有面積及びそ
の変化量は、成膜枠２２の左右の動きから求められる。

前述した成膜枠２２の動きは、上記測定器によって計測
される単分子膜の表面圧に基づいて制御されるものであ
る。即ち、移し取り操作に好適な範囲内で選ばれた一定
の表面圧を単分子膜が常に維持するよう、対磁石２６を
左右に移動させる駆動装置（図示されていない）が表面
圧測定器により計測された単分子膜の表面圧に基づいて
制御される。この成膜枠２２の移動制御は、１！！！構
成物質の溶液滴下後、単分子膜の移し取り操作開始塩だ
けでなく、移し取り操作中も継続して成されるものであ
る０例えば、移し取り操作において、単分子膜が基板２
０に移し取られて行くに従って、液面３上の単分子膜分
子の面密度は低下し１表面圧も低下することになる。従
って、成膜枠２２を移動させて単分子膜の展開面積を縮
小し、その表面圧低下分を補正して一定表面圧を維持す
ることが必要となる。

上述のように、単分子累積膜を得るには種々の微妙な調
整が要求されるものである。しかし、これまでどのよう
な条件が最適条件となるかは種々の実験によらなければ
ならず、また液面３上の単分子膜が累積に適した状態と
なっているか否かは１表面圧等で間接的に確認すること
しかできず、正確さに欠けているのである。ところで１
本発明を前記表面圧測定器の代りに利用すれば、液面３
上の単分子膜の特性をその場で検知でき、その都度最適
条件下で累積させて行くことが可能となるものである。

次に、単分子膜分子の取得時に本発明を利用するに適し
た実施例を第８図で説明する。

液体２が収容された液槽ｌの一側に支持柱３０が立上げ
られており、そこに基板２０を保持した基板ホルダ２９
が取付けられていて、基板２０を液面３に向って上下に
垂直移動できるようになっている。

液槽ｌ内の底部には昇降波Ｊ３１が設けられていて、そ
の上に計測ユニット３２が設置されている。

計測ユニット３２は、ドーナツ状に中抜きとなった略口
形を成すもので、その内周側底辺部は鏡面１８となって
いて、この鏡面１３が液面３の直ぐ下方で平行に位置す
るよう昇降装置ｉ３１で位置が調節されている。この計
測ユニット３２内には、プローブ光源５．検出器７．プ
ローブ光源５から出射されたプローブ光６を液面３と鏡
面１３の間を通して検出器７へと導く光路調整手段１８
ａ　−１８ｃ　、励起光源１０．励起光源から出射され
た励起光１１を断続光とするチ、、ツバー１２．吸収体
１４及び励起光１１を液面３と鏡面１８の間で複数回反
射させて吸収体１４へと導く光路調整手段１８ｄ、　１
８ｅが設けられている。

また、計測ユニット３２の内周側両側面下部は、計測ユ
ニット３２内を液体２かも仕切った状態でプローブ光６
と励起光１Ｇを通過させる窓部３３となっている。尚、
２２は、単分子膜である薄Ｈ４の表面圧を調整するため
の成膜枠である。

上記実施例によれば薄ａ４の光吸収特性を高感度で測定
できることは第１図で説明した通りである。特に本実施
例によれば、薄１９４を単分子膜としてこれを形成しつ
つ光吸収特性を測定でき、これから形成されている単分
子膜の特性を容易に分析できるので、基板２２に累積さ
れる単分子累積膜をより高精度のものとすることができ
る。また、二ニア）化されているので、測定系に外界か
ら与えられる影響を減少させることができ、液槽ｌへの
直脱も容易である。

［発明の効果］ 本発明によれば、液面上に展開されている薄膜の光吸収
特性の測定に当り１反射光及び透過光の影響並びに励起
ビームを空気中に通すことによる悪影響を排除でき、高
感度、高精度の測定が可能となるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２図ないし
第５図は各々他の実施例の説明図、第６図及び第７図は
単分子累積膜を得る場合の液槽及び手順の説明図、第８
図は単分子累積膜の取得時に利用するに適した実施例の
説明図、第９図（ａ）。 （ｂ）は従来技術の説明図である。 １：液槽、２：液体、３．３’：液面、４：薄膜、５ニ
ブローブ光源。 ６：プローブ光、７：検出器。 ８ニドライバー、９：ロックインアンプ、１０：励起光
源、１１：励起光、１２：チョツノ々−１１３：鏡面、
１４：吸収体、１５：測定制御器、ＩＢ＝仕切枠、１７
：光路分割、 １８、１８ａ　〜１８ｅ　：光路調整手段、１９：媒体
。 ２０：基板、２１：内枠、２２：成膜枠、２３：重錘。 ２４：滑車、２５：磁石、２６二対磁石。 ２７：吸収パイプ、２８：吸引ノズル。 ２３：基板ホルダ、３０：支持柱、３１：昇降装置。 ３２：計測ユニット、３３：！！部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）液面上に展開された薄膜の測定部位に断続的に励起
   光を照射しつつこの測定部位又はその近傍にプローブ光
   を照射し、このプローブ光の偏向量から光吸収特性を測
   定するに際し、前記励起光を、第一の測定部位の液面で
   全反射される入射角で液体側から照射すると共に、この
   反射光を液面下で少なくとも第二の測定部位の液面で全
   反射される角度に反射させることを特徴とする薄膜の光
   吸収特性測定方法。