JPS6094162A - 純水の静電浄化装置 - Google Patents
純水の静電浄化装置Info
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- JPS6094162A JPS6094162A JP20310783A JP20310783A JPS6094162A JP S6094162 A JPS6094162 A JP S6094162A JP 20310783 A JP20310783 A JP 20310783A JP 20310783 A JP20310783 A JP 20310783A JP S6094162 A JPS6094162 A JP S6094162A
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- purification device
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 16
- 238000000746 purification Methods 0.000 title claims description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 19
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000001471 micro-filtration Methods 0.000 description 2
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 2
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electrostatic Separation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は純水中の微粒子を静電的に除去する装置に関し
、より具体的には超純水の処理に最適な純水の静電浄化
装置に関する。
、より具体的には超純水の処理に最適な純水の静電浄化
装置に関する。
現在、半導体生産工程で洗浄に使用されている超純水は
、コースポイント（超純水の実際の使用箇所を云う）で
、比抵抗が１８ＭΩ以上、微粒子数が５０個／−以下で
あることが条件として要求されている。超純水製造装置
内の微粒子除去装置としては、一般的に限外ろ過膜、精
密ろ過膜等が、使用されており、これ等の膜は装置出口
において？１純水中の微粒子数を５０個／ ｍｅ以下に
低下させる。然しこの超純水が装置出口から数６乃至数
千ｍの配管中を通過してユースポイントに至る間に、該
水中には配管の各１％で汚染物等が取り込まれ、従って
ユースポイントにおいては、超純水中の微粒子数は上記
条件値よりも尚（なってしまう。そこで現在は、ユース
ポイントに別途限外ろ過膜、精密ろ過膜等を設置し、超
純水中の微粒子の除去を行うようにし又いる。然しこれ
等の膜では、配管圧を常にある一定値以上、例えば３に
？／Ｃｄ以上に維持しなければ充分な流量を得ることが
出来ないという欠点があった。
、コースポイント（超純水の実際の使用箇所を云う）で
、比抵抗が１８ＭΩ以上、微粒子数が５０個／−以下で
あることが条件として要求されている。超純水製造装置
内の微粒子除去装置としては、一般的に限外ろ過膜、精
密ろ過膜等が、使用されており、これ等の膜は装置出口
において？１純水中の微粒子数を５０個／ ｍｅ以下に
低下させる。然しこの超純水が装置出口から数６乃至数
千ｍの配管中を通過してユースポイントに至る間に、該
水中には配管の各１％で汚染物等が取り込まれ、従って
ユースポイントにおいては、超純水中の微粒子数は上記
条件値よりも尚（なってしまう。そこで現在は、ユース
ポイントに別途限外ろ過膜、精密ろ過膜等を設置し、超
純水中の微粒子の除去を行うようにし又いる。然しこれ
等の膜では、配管圧を常にある一定値以上、例えば３に
？／Ｃｄ以上に維持しなければ充分な流量を得ることが
出来ないという欠点があった。
上記問題を解決する方法として、上記ろ過膜に代えて静
電浄化装置を用いる方法が考えられる。
電浄化装置を用いる方法が考えられる。
然し、絶縁性液体例えば油等の中のＳ！核粒子静電的に
浄化する従来の装置は、繊維賀或いは多孔性物質を充填
した電極間に液体を通過させ微粒子を除去するよプな構
造をなしく実開Ｂｒ５５７−１８７６５８号公報参照ン
、このような構造の装置乞超純水中の微粒子除去に適用
すると、充填物自体がうｇｌ、粒子が流出し、また充填
物及び電極板からの溶解物の溶出によって超純水の比抵
抗値が低下するという問題が生ずる。
浄化する従来の装置は、繊維賀或いは多孔性物質を充填
した電極間に液体を通過させ微粒子を除去するよプな構
造をなしく実開Ｂｒ５５７−１８７６５８号公報参照ン
、このような構造の装置乞超純水中の微粒子除去に適用
すると、充填物自体がうｇｌ、粒子が流出し、また充填
物及び電極板からの溶解物の溶出によって超純水の比抵
抗値が低下するという問題が生ずる。
また従来のコットレル式の静電ろ過装置は、油中の微水
滴を合体させ大きな水滴にする為、ｌｌｋ間距離を３．
５乃至２０ｃｆｎとし、且つ３乃至３０ＫＶの高電圧を
ＩＩ健に印加しているにも拘らず、微粒子の除去をする
ことは出来ない。
滴を合体させ大きな水滴にする為、ｌｌｋ間距離を３．
５乃至２０ｃｆｎとし、且つ３乃至３０ＫＶの高電圧を
ＩＩ健に印加しているにも拘らず、微粒子の除去をする
ことは出来ない。
本発明は斯かる状況を鑑みてなされたものであり、既設
の超純水のユースポイントに設置出来、而も確実に微粒
子を除去することが可能な純水の静電浄化装置を提供す
ることを目的とする。
の超純水のユースポイントに設置出来、而も確実に微粒
子を除去することが可能な純水の静電浄化装置を提供す
ることを目的とする。
上記目的を達成する為本発明においては、静電浄化装置
の電極板として、導電性セラミックスまたはイオン化順
向の低い材料で表面コーティング処理を行ったステンレ
ス鋼の何れかを用いた。
の電極板として、導電性セラミックスまたはイオン化順
向の低い材料で表面コーティング処理を行ったステンレ
ス鋼の何れかを用いた。
この構成により、既設の超純水のユースポイントに容易
に設置出来、また電極板からの微粒子或・は溶解物のＯ
ＩＬ出を未然に防ぐことにより確実な微粒子床去を行う
ことか「１」舵となる。
に設置出来、また電極板からの微粒子或・は溶解物のＯ
ＩＬ出を未然に防ぐことにより確実な微粒子床去を行う
ことか「１」舵となる。
〔う６すＪの実施６・リ 」
第１図は、面留時間を１秒にし、電極板間距離に比ｖｌ
ｌシて１Ｌ界強度を鎖めた場合の、超純水中の微粒子の
除去年の夏化乞芙験した軸朱ケ示ず図である。同図に示
すように、電極板間距離を太き（すると、乱流の影響に
より微粒子の除去率が低下することが判る。
ｌシて１Ｌ界強度を鎖めた場合の、超純水中の微粒子の
除去年の夏化乞芙験した軸朱ケ示ず図である。同図に示
すように、電極板間距離を太き（すると、乱流の影響に
より微粒子の除去率が低下することが判る。
また第１衣は、電極板の携賀と超純水の比抵抗の低下と
の関係を検討した結果を示す表である。
の関係を検討した結果を示す表である。
同表に示すように、長時間の使用後においては、炭素鋼
やステンレス鋼の場合には、鉄の溶出や腐食等の影響に
より比抵抗が低下する傾向が見られるが、導電性セラミ
ックス（酸化ビスマス、タングステンカーバイドが好ま
しい）或いはイオン化＋＋Ｓ向の低い材料で表面コーテ
ィング処理を行ったステンレス鋼の場合には、比抵抗の
低下は殆んど見られない。
やステンレス鋼の場合には、鉄の溶出や腐食等の影響に
より比抵抗が低下する傾向が見られるが、導電性セラミ
ックス（酸化ビスマス、タングステンカーバイドが好ま
しい）或いはイオン化＋＋Ｓ向の低い材料で表面コーテ
ィング処理を行ったステンレス鋼の場合には、比抵抗の
低下は殆んど見られない。
尚電極板に付着した粒子は、電極板に逆電荷を１印加し
たり、超音波照射等、剥Ｒ機能を促進する装置を用いる
と除去出来る。
たり、超音波照射等、剥Ｒ機能を促進する装置を用いる
と除去出来る。
第２図及び第３図は、上記検討結果に基づいて構成した
本発す」に係る純水のｎ型浄化装置の一実施例を示す図
である。装置全体は絶縁体１０によって囲まれた管状を
なし、その一方の側に超純水の流入口１２が、また他方
の側に流出ロエ４が形成されている。図示実施例におい
ては、流入口１２及び流出口１４の径が夫々２５ｍ、ま
た中央の膨径部１６の径が５０鰭となっている。上記膨
径部１６即ち装置内部には、円筒状で長さ力；５００ｍ
の４亀性セラミツクス製の正電極板１８と負電極板２０
とが、管の軸方向に沿って４ｍｉ間噛で交互に配列され
る。各電極板１８．２０は中空の絶縁性支持棒２２によ
って両端を支持さノｔ、該支持俸２２内部に配置された
端子から夫々正負の電荷を父げるー 上記装置において、支持棒２２内部の端子を電源に接続
すると、両電極板１８．２０間に電場力ｌ生じ、この間
を超純水を通過させると該水中の微Ｐ子は負のイ片屯体
となり、正電極へ移動して付層−する。この様にして超
純水中の微粒子は連ヤかに除去される。
本発す」に係る純水のｎ型浄化装置の一実施例を示す図
である。装置全体は絶縁体１０によって囲まれた管状を
なし、その一方の側に超純水の流入口１２が、また他方
の側に流出ロエ４が形成されている。図示実施例におい
ては、流入口１２及び流出口１４の径が夫々２５ｍ、ま
た中央の膨径部１６の径が５０鰭となっている。上記膨
径部１６即ち装置内部には、円筒状で長さ力；５００ｍ
の４亀性セラミツクス製の正電極板１８と負電極板２０
とが、管の軸方向に沿って４ｍｉ間噛で交互に配列され
る。各電極板１８．２０は中空の絶縁性支持棒２２によ
って両端を支持さノｔ、該支持俸２２内部に配置された
端子から夫々正負の電荷を父げるー 上記装置において、支持棒２２内部の端子を電源に接続
すると、両電極板１８．２０間に電場力ｌ生じ、この間
を超純水を通過させると該水中の微Ｐ子は負のイ片屯体
となり、正電極へ移動して付層−する。この様にして超
純水中の微粒子は連ヤかに除去される。
第４図は、上記装置を超純水ノくイロットプラントの末
端に取付け、１００１ｄ間連杭Ｈソに微粒子除去を行っ
た結果を示す凶である。条件は、亀佐間の電圧が４５０
■、電界強度か１７０ Ｖ／、：ｒｎ、 ８１回超音波
照射による電極板の微粒子除去を行ったものである。同
図から判るように、長時間の使用に亘ってユースポイン
トで超純水中の微粒子数５０個／ｄ以下を維持すること
が出来る。
端に取付け、１００１ｄ間連杭Ｈソに微粒子除去を行っ
た結果を示す凶である。条件は、亀佐間の電圧が４５０
■、電界強度か１７０ Ｖ／、：ｒｎ、 ８１回超音波
照射による電極板の微粒子除去を行ったものである。同
図から判るように、長時間の使用に亘ってユースポイン
トで超純水中の微粒子数５０個／ｄ以下を維持すること
が出来る。
向上記実施例においては、電極板として導電性セラミッ
クスを用いたか、この代りに前記の表面コーティング処
理を行ったステンレス鋼を用いても、前述の検討結果か
らして同様な効果が得られることは明らかである。また
電極板の形状及び配列については独々の設計変更が可能
であり、例えば、平板′電極を多層に配列したり、線状
の被電極と平板電極とを平行に置くような形としてもよ
い〔発明の効果〕 成上の如く本発明に係る純水の静電浄化装置によれは、
構造が単純である為既設の超純水のユースポイントに容
易に設置出来、また電極板からの微粒子等の流出を未然
に防ぐ為確実な微粒子除去を行うことが可能となる。
クスを用いたか、この代りに前記の表面コーティング処
理を行ったステンレス鋼を用いても、前述の検討結果か
らして同様な効果が得られることは明らかである。また
電極板の形状及び配列については独々の設計変更が可能
であり、例えば、平板′電極を多層に配列したり、線状
の被電極と平板電極とを平行に置くような形としてもよ
い〔発明の効果〕 成上の如く本発明に係る純水の静電浄化装置によれは、
構造が単純である為既設の超純水のユースポイントに容
易に設置出来、また電極板からの微粒子等の流出を未然
に防ぐ為確実な微粒子除去を行うことが可能となる。
第１図は微粒子除去に及ぼす′電極板間の距離の影響を
示す図、第２図は本発明に係る純水の静電浄化装置の一
実施例を示す断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線に沿っ
た断面図、第４図は同装置の連続運転結果を示す図であ
る。 ｌＯ・・・絶縁体、１２・・・流入口、１４・・・流出
口、１６・・・膨径部、１８・・・正電極板、２０・・
・負電極板、２２・・・支持棒。 出１如人 １１立ブラ、１）Ｉ一般１４＋Ｊ、’ｖ会社
第１図 第３図 第４図 イ史弔哨藺 （ロ）
示す図、第２図は本発明に係る純水の静電浄化装置の一
実施例を示す断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線に沿っ
た断面図、第４図は同装置の連続運転結果を示す図であ
る。 ｌＯ・・・絶縁体、１２・・・流入口、１４・・・流出
口、１６・・・膨径部、１８・・・正電極板、２０・・
・負電極板、２２・・・支持棒。 出１如人 １１立ブラ、１）Ｉ一般１４＋Ｊ、’ｖ会社
第１図 第３図 第４図 イ史弔哨藺 （ロ）
Claims (2)
- （１） 電圧を印加した電極板間に液体を通し、該液体
中の浮遊微粒子を静電的に除去する装置において、 上記電極板として、導電性セラミックスまたはイオノ化
傾向の低い材料で表面コーティング処理を行ったステン
レス鋼の何れかを用いたことを特許とする純水の静電浄
化装置。 - （２）前記電極板間の距離が１ｃｒｎ以下である特許請
求の範囲第（ＩＪ項に記載の純水の静電浄化装置。 （３Ｊ 前記ステンレス鋼の表面コーティング処理材料
が、白金、金、銀、高分子化合物の何れかである特許請
求の範囲第（１）項に記載の純水の静電浄化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20310783A JPS6094162A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 純水の静電浄化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20310783A JPS6094162A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 純水の静電浄化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6094162A true JPS6094162A (ja) | 1985-05-27 |
Family
ID=16468504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20310783A Pending JPS6094162A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 純水の静電浄化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6094162A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325111U (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-19 | ||
| JPS63296885A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Nec Corp | 水溶液中の微粒子の除去方法 |
| JP2016027616A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-02-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液供給方法、処理液供給装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
-
1983
- 1983-10-28 JP JP20310783A patent/JPS6094162A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325111U (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-19 | ||
| JPS63296885A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Nec Corp | 水溶液中の微粒子の除去方法 |
| JP2016027616A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-02-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液供給方法、処理液供給装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
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