JPS6090879A - セラミツクと金属を接合する方法 - Google Patents
セラミツクと金属を接合する方法Info
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- JPS6090879A JPS6090879A JP19922883A JP19922883A JPS6090879A JP S6090879 A JPS6090879 A JP S6090879A JP 19922883 A JP19922883 A JP 19922883A JP 19922883 A JP19922883 A JP 19922883A JP S6090879 A JPS6090879 A JP S6090879A
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- JP
- Japan
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- ceramic
- metal
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- treatment
- joining
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、セラミックと金属を接合する方法に関し、特
にセラミックの割れを防止して金属と接合することので
きる方法に関する。
にセラミックの割れを防止して金属と接合することので
きる方法に関する。
従来、セラミックと金属の接合方法として、(1)接着
剤法、(2)メタライジング法、(3)溶射法等が知ら
れているが、それぞれ次のような欠点がある。
剤法、(2)メタライジング法、(3)溶射法等が知ら
れているが、それぞれ次のような欠点がある。
(1)接着剤法は最も簡便々方法であるが、高温におけ
る接着強度が低い。
る接着強度が低い。
(2) メタライジング法はM□ 、 Mo−Mn等の
金属粉末をセラミック上にメタライジングし、その上に
N1 メッキを施した後、ろう付で金属と接合するとい
った方法であるが、セラミックの種類によって適用が難
しい欠点がある。
金属粉末をセラミック上にメタライジングし、その上に
N1 メッキを施した後、ろう付で金属と接合するとい
った方法であるが、セラミックの種類によって適用が難
しい欠点がある。
(3) 溶射法はセラミック粉末を溶融し、金属に吹き
つけて接着させるが、接合強度が低く、セラミックが多
孔質になるという欠点がある。
つけて接着させるが、接合強度が低く、セラミックが多
孔質になるという欠点がある。
この様に従来法では接合強度が低く、適用セラミック材
質に制約がある等の欠点がおった。
質に制約がある等の欠点がおった。
本発明は、斯る欠点を排除するためになされたもので、
81sN4.810系セラミツクと金属を接合する方法
において、前記セラミックにN1、N1 を50%以上
含有するN1 合金、Ou、Ouを50−以上含有する
Ou 合金のいずれか1つをインサート材としてイオン
ブレーティング又は溶射法で密着固定した後、加熱反応
促進処理して両者を強固に冶金的接合させ、次いで該イ
ンサート材面と前記金属とを該インサート材の融点よシ
低い融点をもつろう材を用いてろう付することを特徴と
するセラミックと金属を接合する方法に関するものであ
る。
81sN4.810系セラミツクと金属を接合する方法
において、前記セラミックにN1、N1 を50%以上
含有するN1 合金、Ou、Ouを50−以上含有する
Ou 合金のいずれか1つをインサート材としてイオン
ブレーティング又は溶射法で密着固定した後、加熱反応
促進処理して両者を強固に冶金的接合させ、次いで該イ
ンサート材面と前記金属とを該インサート材の融点よシ
低い融点をもつろう材を用いてろう付することを特徴と
するセラミックと金属を接合する方法に関するものであ
る。
本発明方法によれば、セラミックと金属を良好に接合し
、且つセラミックの接合で常に問題となるセラミックの
割れ防止に極めて有効である。
、且つセラミックの接合で常に問題となるセラミックの
割れ防止に極めて有効である。
本発明は、ガスタービン部品、車両部品、その他各種の
ものに適用でき、例えば、セラミックと金属の平面重ね
継手溶接はもとより、スリーブ継手溶接、金属内筒の内
外面へのセラミック溶接、その他複雑形状の接合に適用
できる。
ものに適用でき、例えば、セラミックと金属の平面重ね
継手溶接はもとより、スリーブ継手溶接、金属内筒の内
外面へのセラミック溶接、その他複雑形状の接合に適用
できる。
第1図(A)〜(C)は本発明方法の一実施態様例を工
程順に示す図である。
程順に示す図である。
図中、1はSi3N、 、 SiO系セラミック、2は
接合金属、5はN1 又はN1 を50チ以上含有する
N1 合金(例えば、Ni−0r 、 Ni −Ou
、 N1−P 。
接合金属、5はN1 又はN1 を50チ以上含有する
N1 合金(例えば、Ni−0r 、 Ni −Ou
、 N1−P 。
N1−B 、 Ni−0r−B等)又はOu 又はOu
を504以上含有するOu 合金(例えば、ou−p
、 0u−Ni 。
を504以上含有するOu 合金(例えば、ou−p
、 0u−Ni 。
0u−At 、 Nu−Zn 、0u−8i 等) +
7)f 7f−)材、4はインサート材の融点より低融
点のろう材(ハンダ、At ろう、Ag ろう、au
ろう、N1ろう等)である。
7)f 7f−)材、4はインサート材の融点より低融
点のろう材(ハンダ、At ろう、Ag ろう、au
ろう、N1ろう等)である。
先ず、第1図(A)において、セラミック1上にインサ
ート金属5をイオングレーライングまたは溶射し、サブ
アセンブリを作る。次いで、第1図(B)において、ア
センブリを加熱反応促進処理したあと、第1図(0)に
おいて接合金M2とろう材4でろう付する。
ート金属5をイオングレーライングまたは溶射し、サブ
アセンブリを作る。次いで、第1図(B)において、ア
センブリを加熱反応促進処理したあと、第1図(0)に
おいて接合金M2とろう材4でろう付する。
その際、第1図(A)のイオングレーティングは、イン
サート材5がN1 又はCu の単金属の場合はるつぼ
一個で、N1 金属又はOu 合金の場合は構成元素を
各々別個のるつぼで蒸発させ、既知のイオンブレーティ
ング施工条件で行い、セラミック1上に密着固定させる
。一方、溶射の場合は、プラズマ溶射等を採用するが、
その際は非酸化雰囲気中で上記インサート材5を浴射し
、セラミック1上に密着固定させる。
サート材5がN1 又はCu の単金属の場合はるつぼ
一個で、N1 金属又はOu 合金の場合は構成元素を
各々別個のるつぼで蒸発させ、既知のイオンブレーティ
ング施工条件で行い、セラミック1上に密着固定させる
。一方、溶射の場合は、プラズマ溶射等を採用するが、
その際は非酸化雰囲気中で上記インサート材5を浴射し
、セラミック1上に密着固定させる。
第1図(B)の加熱反応促進処理はイオンブレーティン
グ又は溶射されたインサート材5とセラミック1の接合
強度を上昇させるために行うもので、インサート材の融
点の115以上の温度(上限はインサートの融点)で不
活性ガス又は真空中で5分以上加熱する。また、熱間静
水圧加圧処理(以下、H工P処理)を行うこともでき、
その際は上記温度、時間で、Ar 等のガス圧CL 0
1 kg/wm”以上を負荷する。
グ又は溶射されたインサート材5とセラミック1の接合
強度を上昇させるために行うもので、インサート材の融
点の115以上の温度(上限はインサートの融点)で不
活性ガス又は真空中で5分以上加熱する。また、熱間静
水圧加圧処理(以下、H工P処理)を行うこともでき、
その際は上記温度、時間で、Ar 等のガス圧CL 0
1 kg/wm”以上を負荷する。
尚、温度をインサート材の融点の15以上とするのは、
これ以下ではインサート材とセラミックの接合反応が極
めて緩やかで長時間の処理が必要となり、工業的に好ま
しくないためである。上限はインサート材が溶融すると
流出してしまうため、その防止の点よりインサート材の
融点以下としている。
これ以下ではインサート材とセラミックの接合反応が極
めて緩やかで長時間の処理が必要となり、工業的に好ま
しくないためである。上限はインサート材が溶融すると
流出してしまうため、その防止の点よりインサート材の
融点以下としている。
処理時間を5分以上とするのは、5分以下では同様にイ
ンサート材とセラミックの接合が不十分であるためであ
る。
ンサート材とセラミックの接合が不十分であるためであ
る。
次に、第1図(0)のろう付であるが、インサート材3
の融点よシ低融点のろう材4を用い、インサート材と接
合金属2をろう付する。低融点のろう材(4を用いるの
は、ろう付施工時にセラミック1と接合金属2間の熱膨
張係数差によシ発生する熱応力を小さくし、セラミック
1の割れを防止するためである。
の融点よシ低融点のろう材4を用い、インサート材と接
合金属2をろう付する。低融点のろう材(4を用いるの
は、ろう付施工時にセラミック1と接合金属2間の熱膨
張係数差によシ発生する熱応力を小さくし、セラミック
1の割れを防止するためである。
以上詳述した本発明方法による作用効果′f:まとめる
と、次の通りである。
と、次の通りである。
(Il 811N4 、 EIIOと金属は物質構造が
異なるため(1llt、N4. B10は共有結合金I
JJ4は金属結合)、その接合は極めて困難を伴う。
異なるため(1llt、N4. B10は共有結合金I
JJ4は金属結合)、その接合は極めて困難を伴う。
本発明はインサート材としてNl 、 Nj金合金Ou
、 Ou 合金を用いることにより、S’1N4s8
10と本インサート材がすぐれた冶金的接合性を示し、
良好な継手を得ることができる。
、 Ou 合金を用いることにより、S’1N4s8
10と本インサート材がすぐれた冶金的接合性を示し、
良好な継手を得ることができる。
即ち、8i、N、 、 810には遊離81 が存在す
るが、その81 とMl、 Ml 合金、cu、cu金
合金高温高圧下で互いに拡散すると共に、SlはMl
、 N1 合金、au、cu 合金中に固溶しく Hl
中の81 およびOu 中の81 の固静度はいずれ
も常温において約5 wt%ある)、脆化層を生成せず
、良好な継手を生成する。
るが、その81 とMl、 Ml 合金、cu、cu金
合金高温高圧下で互いに拡散すると共に、SlはMl
、 N1 合金、au、cu 合金中に固溶しく Hl
中の81 およびOu 中の81 の固静度はいずれ
も常温において約5 wt%ある)、脆化層を生成せず
、良好な継手を生成する。
一方、インサート材のN4 、 N4 合金、at、。
Ou 合金と接合金属2はいずれも金属でちゃ、その溶
接性は基本的に極めてすぐれておシ、良好な継手を形成
する。
接性は基本的に極めてすぐれておシ、良好な継手を形成
する。
(2) 本発明は本インサート材を先ずイオンブレーテ
ィング又は溶射によシセラミックに密着せしめるが、イ
オンブレーティング、溶射を採用することによシ、セラ
ミックの形状が如何に複雑でも、これにインサート材を
密着固定することができる(箔等では困lI)。
ィング又は溶射によシセラミックに密着せしめるが、イ
オンブレーティング、溶射を採用することによシ、セラ
ミックの形状が如何に複雑でも、これにインサート材を
密着固定することができる(箔等では困lI)。
(3)本発明は上記(2)の後に加熱反応促進処理(前
述した加熱処理またはH工P処理)を行うが、これによ
シ、下記のような作用効果がある。
述した加熱処理またはH工P処理)を行うが、これによ
シ、下記のような作用効果がある。
■ 81.N4. SiOに含有される81 とインサ
ート材が高温加熱によシ十分拡散し、冶金的接合が成就
する。特に、H工P処理を行う際は圧力負荷(3次元の
ガス圧負荷)により、本インサート材のセラミック界面
での微少ボイド(イオンブレーティング又は溶射時に生
成する微少ボイド)をクリープ変形および塑性変形で消
滅させ、接合性をよシ高める。
ート材が高温加熱によシ十分拡散し、冶金的接合が成就
する。特に、H工P処理を行う際は圧力負荷(3次元の
ガス圧負荷)により、本インサート材のセラミック界面
での微少ボイド(イオンブレーティング又は溶射時に生
成する微少ボイド)をクリープ変形および塑性変形で消
滅させ、接合性をよシ高める。
■ セラミックの形状が如何に複雑でもH工P処理が可
能で、本インサート材をセラミックに冶金的拡散反応で
強固に接合しうる。
能で、本インサート材をセラミックに冶金的拡散反応で
強固に接合しうる。
即ち、H工P処理の場合においては、高温でガス圧が5
次元に均等にかかるため、セラミック界面が如何に複雑
でも施工が可能で、ツクの割れが全く生じないしく一次
元加圧の場合は、偏加圧が発生しやすく、緻密な施工管
理を行って靭性のないセラミックの割れを防止する必要
がある)、また単なる加熱処理は当然加圧しないので、
当該セラミック割れの懸念はない。更に、インサート材
は溶融させないので、インサート材厚に大きな減肉がな
いという利点も有している。
次元に均等にかかるため、セラミック界面が如何に複雑
でも施工が可能で、ツクの割れが全く生じないしく一次
元加圧の場合は、偏加圧が発生しやすく、緻密な施工管
理を行って靭性のないセラミックの割れを防止する必要
がある)、また単なる加熱処理は当然加圧しないので、
当該セラミック割れの懸念はない。更に、インサート材
は溶融させないので、インサート材厚に大きな減肉がな
いという利点も有している。
(4)上記の(3)で、加熱反応促進処理されたサブア
センブリのインサート材面と接合金属を、インサート材
の融点よシ低い融点を持つろう材を用いて、ろう付し、
接合を完了するが、この際の作用効果として以下の事項
が皐げられる。
センブリのインサート材面と接合金属を、インサート材
の融点よシ低い融点を持つろう材を用いて、ろう付し、
接合を完了するが、この際の作用効果として以下の事項
が皐げられる。
■ 一般に、セラミック1と接合金属2は両者の熱膨張
係数差によシ、接合後の冷却過程で発生する熱応力でセ
ラミックに割れを発生する。これに対し、本発明は低融
点ろう材を用いることによシ、冷却温度幅が減少し、発
生熱応力を低減せしめて、セラミックの割れ防止効果が
著しい。
係数差によシ、接合後の冷却過程で発生する熱応力でセ
ラミックに割れを発生する。これに対し、本発明は低融
点ろう材を用いることによシ、冷却温度幅が減少し、発
生熱応力を低減せしめて、セラミックの割れ防止効果が
著しい。
■ インサート材と接合金属2はいずれも金属であシ、
当然ながら金属間の溶接は基本的に極めてすぐれており
、前述のろう材を用いて良好な継手を形成することがで
きる。
当然ながら金属間の溶接は基本的に極めてすぐれており
、前述のろう材を用いて良好な継手を形成することがで
きる。
実施例1
板厚2111+の8j、N4中にN1 を20μイオン
ブレーテイングしたあと、温度1200℃、Arガス圧
20kg/sw”、処理時間50分のHIP処理を行っ
た。次いで、接合金属である板厚3101の8841板
を、上記Ni 面と対向させ、その間をAg ろうを用
い、ろう付温度850℃、ろう何時間10分でAr 雰
囲気でろう付した。
ブレーテイングしたあと、温度1200℃、Arガス圧
20kg/sw”、処理時間50分のHIP処理を行っ
た。次いで、接合金属である板厚3101の8841板
を、上記Ni 面と対向させ、その間をAg ろうを用
い、ろう付温度850℃、ろう何時間10分でAr 雰
囲気でろう付した。
その結果、8i、N4に割れ発生がなく、全面に亘って
非接合部のない良好な継手が得られた。
非接合部のない良好な継手が得られた。
実施例2
10日φ×20■長さのSi3N、丸棒にその外面にN
i−50tS%Ou i50 /Jイオンプレーテイン
クしたあと、温度1050℃、Ar ガス圧20に9/
■冨、処理時間15分のH工P処理を行った。次いで、
接合金属である内径1α25鱈φ、外径16.25mφ
、20目長さのコバール円筒に、ペースト状Ag ろう
を塗布した上記Si、N、丸棒を挿入し、ろう付温度8
00℃、ろう何時間10分で、Ar 雰囲気でろう付し
た。
i−50tS%Ou i50 /Jイオンプレーテイン
クしたあと、温度1050℃、Ar ガス圧20に9/
■冨、処理時間15分のH工P処理を行った。次いで、
接合金属である内径1α25鱈φ、外径16.25mφ
、20目長さのコバール円筒に、ペースト状Ag ろう
を塗布した上記Si、N、丸棒を挿入し、ろう付温度8
00℃、ろう何時間10分で、Ar 雰囲気でろう付し
た。
その結果、813N4に割れ発生がなく、円筒継手金面
に亘って非接合部のない良好な継手が得られた。
に亘って非接合部のない良好な継手が得られた。
実施例3
内径20■φ、外径25簡φ、長さ50mのSiC円筒
にその外径表面にNi−15%Or−!i、5%B合金
を10μイオンプレーテイ/グしたあと、温度1000
℃、Ar ガス圧20に97m”、処理時間10分のH
工P処理を行った。次いで、接合金属である内径25.
25+o+φ、外径4525覇φ、長さ50鱈のAt
円筒に、ノーンダ(5n−Pb−Zn系)を塗布した上
記s1c円筒を挿入し、ノ・ンダ付温度550℃、時間
1分でノ・ンダ付した。
にその外径表面にNi−15%Or−!i、5%B合金
を10μイオンプレーテイ/グしたあと、温度1000
℃、Ar ガス圧20に97m”、処理時間10分のH
工P処理を行った。次いで、接合金属である内径25.
25+o+φ、外径4525覇φ、長さ50鱈のAt
円筒に、ノーンダ(5n−Pb−Zn系)を塗布した上
記s1c円筒を挿入し、ノ・ンダ付温度550℃、時間
1分でノ・ンダ付した。
その結果、slcに割れ発生がなく、円筒継手全面に亘
って非接合部のない良好な継手が得られた。
って非接合部のない良好な継手が得られた。
実施例4
内径20mφ 、外径25w+Iφ、長さ20.のs、
lc円筒にその外径表面にcu−10% Az合金を1
00μプラズマ溶射したあと、Ar 雰囲気中で温度1
000℃、時間60分の加熱反応処理を行った。次いで
、接合金属である内径25.25蝉φ、外径45.25
畷φ、長さ20■のAt 円筒(内面にAt ろう(A
z−sI系)を塗布)に前記SaC円筒を挿入し、ろう
付温度600℃、時間2分で真空ろう付した。
lc円筒にその外径表面にcu−10% Az合金を1
00μプラズマ溶射したあと、Ar 雰囲気中で温度1
000℃、時間60分の加熱反応処理を行った。次いで
、接合金属である内径25.25蝉φ、外径45.25
畷φ、長さ20■のAt 円筒(内面にAt ろう(A
z−sI系)を塗布)に前記SaC円筒を挿入し、ろう
付温度600℃、時間2分で真空ろう付した。
その結果、slaに割れ発生がなく、円筒継手全面に亘
って非接合部のない良好な継手が得られた。
って非接合部のない良好な継手が得られた。
第1図(A)〜(0)は本発明方法の一実施態様例を工
程順に示す図である。 復代理人 内 1) 明 復代理人 萩 原 亮 −
程順に示す図である。 復代理人 内 1) 明 復代理人 萩 原 亮 −
Claims (1)
- 811N4.810系セラミツクと金属を接合する方法
において、前記セラミック11(Ml、N1 を50−
以上含有するN1 合金、Ou ’% Ou を50チ
以上含有するOu 合金のいずれか1つをインサート材
としてイオンブレーティング又は溶射法で密着固定した
後、加熱反応促進処理して両者を強固に冶金的接合させ
、次いで該インサート材面と前記金属とを該インサート
材の融点より低い融点をもつろう材を用いてろう付する
ことを特徴とするセラミックと金J4を接合する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19922883A JPS6090879A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | セラミツクと金属を接合する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19922883A JPS6090879A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | セラミツクと金属を接合する方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6090879A true JPS6090879A (ja) | 1985-05-22 |
Family
ID=16404277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19922883A Pending JPS6090879A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | セラミツクと金属を接合する方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6090879A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61183179A (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-15 | 株式会社東芝 | 窒化ケイ素セラミツクスと金属の接合方法 |
US4730765A (en) * | 1984-12-06 | 1988-03-15 | Tomlinson Peter N | Method of bonding by use of a phosphorus containing coating |
JPS63103874A (ja) * | 1986-10-21 | 1988-05-09 | 北海道 | 溶射皮膜を用いた金属とセラミックスの接合方法 |
US4801067A (en) * | 1986-08-29 | 1989-01-31 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Method of connecting metal conductor to ceramic substrate |
US4942999A (en) * | 1987-08-31 | 1990-07-24 | Ngk Insulators, Inc. | Metal-ceramic joined composite bodies and joining process therefor |
JPH0333090A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-13 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | 丸鋸刃用セラミックス製複合チップ及びその製造方法 |
US5035959A (en) * | 1987-04-20 | 1991-07-30 | Ngk Spark Plub Co., Ltd. | Steel body having ceramic tip soldered thereto |
-
1983
- 1983-10-26 JP JP19922883A patent/JPS6090879A/ja active Pending
Cited By (9)
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