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JPS60131874A - セラミツクと金属との接合方法 - Google Patents

セラミツクと金属との接合方法

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JPS60131874A
JPS60131874A JP58237986A JP23798683A JPS60131874A JP S60131874 A JPS60131874 A JP S60131874A JP 58237986 A JP58237986 A JP 58237986A JP 23798683 A JP23798683 A JP 23798683A JP S60131874 A JPS60131874 A JP S60131874A
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ceramic
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joining
melting point
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JP58237986A
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深谷　保博
章三 平井
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
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Priority to EP84730140A priority patent/EP0146493A3/en
Priority to US06/681,020 priority patent/US4624404A/en
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Publication of JPH0367985B2 publication Critical patent/JPH0367985B2/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、セラミックと金属との接合方法に関し、特に
セラミックの割れを防止して金属と接合すえことのでき
る方法に関する。
従来、セラミックとｉＭの接合方法として、（１）接ｍ
剤法、（２）メタライジング法、（３）ｆＪ射法等が知
られているが、それぞれ次のような欠点があった。
（１）　接着剤法は最も簡便な方法であるが、高温にお
ける接着強度が低い〇 （２）　メタライジング法はＭｏ、　Ｍｏ−Ｍｎ　等の
Ｍ。
系金属粉末をセラミック上に載置し、加湿雰囲気中で加
熱してメタライジングし、その上にＮ１　メッキを施し
た後、ろう付で金属と接合する方法であるが、セラミッ
クの種類にょつて適用が難しい欠点がある。また、メタ
ライジング温度が高いため、七ラミックに冷却時大きな
熱応力がががシ、割れが発生しゃすい欠点がある。
（３）　溶射法はセラミック粉末を溶融し、金属に吹き
つけて接着させるが、接合強度が低く、セラミックが多
孔質になるという欠点がある。
このように従来法では接合強度が十分でなく、セラミッ
クに割れが発生しゃすいことや、適用セラミック材質に
制約がある等の欠点があった。
本発明は斯る欠点を解消するためになされたもので、 （１）　Ｓｉ３Ｎ４　、　ＳｉＣ系セラミックと金属を
接合する方法において、前記セラミックにＮ１　と金属
酸化物又は窒化物又は炭化物、もしくはＣｕと金属酸化
物又は窒化物又は炭化物をインサート材としてイオンブ
レーティング又ハ溶射法で密着固定した後、加熱反応促
進処理して両者を強固に冶金的接合させ、次いで該イン
サート材面と前記金属とを該インサート材の融点よシ低
い融点をもつろう材を用いでろう付することを特徴とす
るセラミックと金属との接合方法。
（２）　Ｓｉ３Ｎ４．　ＳｉＣ系セラミックと金属を接
合する方法において、前記セラミックにＮｉ　と金属酸
化物又は窒化物又は炭化物、もしくはＣｕと金属酸化物
又は窒化物又は炭化物をインサート材トしてイオンブレ
ーティング又は溶射法で密着固定した後、加熱反応促進
処理して／ 両者を強固に冶金的接合させ、次いで該インサート材面
と前記金属とを該インサート材の融点より低い温度で拡
散接合することを特徴とするセラミックと金属との接合
方法。
に関するものである。
本発明におけるインテート材は、Ｎｉと、Ｎｉｐ。
Ａ１．２０ｓ　、　Ｚｒ０ｚ　等の金属酸化物、又はＴ
ｉＮ、　８ｉ３　Ｎ４等の金属酸化物、又はＴｉＣ，Ｗ
Ｃ，ＳｉＣ等の金属炭化物とからなる複合材、あるいは
Ｃｕ　と、Ｃ−０ｒ　Ｍｌ！　Ｏ３、ｚｒ　Ｏ２等の金
属酸化物、又はＴｉＮ。
Ｓｉ３Ｎ４等の金属窒化物、又はＴｉＣ，ＷＣ，ＳｉＣ
等の金属炭化物とからなる複合材が用いられる。
このような複合インサート材を用い、Ｓ　ｉ３　Ｎ４　
＊ＳｉＣ系セラミックと金属との接合に先立ち、該セラ
ミックに該複合インサート材をイオンプレーチーインク
又は溶射法で密着後、加熱反応促進処理で強固な接合を
成就し、最終的にインサート材と金属を低融点ろう材を
用いたろう付、又はインサート材の融点より低い温度で
拡散溶接で接合を完了せしめることにょル、セラミック
と金属の平面重ね継手接＠はもとより、スリープ継手接
合、金属円筒の内外面へのセラミック接合、その他複雑
形状の接合を、セラミックの゛割れが発生することなく
、シかも高い接合強度をもって行うことができる。
第１図（Ａ）〜（Ｃ）は本発明方法の一実施態様例を工
程順に示す図である。
図中、１は８１３　Ｎ４　、　Ｓ　ｉＣ系セラミック、
２は接合金鵬、３はＮ１ｏ＋Ｎ１′！！′たはＣｕ２Ｏ
＋Ｃｕ　０５１合インサート材（いずれも金属成分を５
’！６以上含有）、４はインサート材の融点よシ低融点
のろう材（ハンダ、ＡＡろう、八２ろう、ｃｕろう、Ｎ
１ろう等）である。
先ず、第１図（Ａ）において、セラミック１上に複合イ
ンサート材３をイオンブレーティングまたは溶射してサ
ブアセンブリを作る。次いで、第１図（Ｂ）において、
このすブアセンフ゛すを刃口熱反応促進処理した後、第
１図（Ｃ）において、接合金属２とろう付する。
第１図（Ａ）のイオンブレーティングは下記方法によシ
行う。
１、　酸化物子Ｎｉ　（又はＣｕ）インサート１−１．
酸化物がＮｉ　（又はＣｕ　）の酸化物の場合（第１の
方法）るつはＫＮｉ　（又はＣｕ）　を挿入し、溶解蒸
発せしめて行うが、その際雰囲 気を篩真空膠囲気と酸素雰囲気を交番 させて行う（原則として初層および最 終層線真空雰囲気）ｏｆｆｕち、真空雰囲気ではＮｉ　
（又はＣｕ、）が、＃素雰囲気ではＮｉ　（又はＣｕ）
　が酸化されＮｉＯ（又＋ｔｃｕｚｏ）となシ、セラミ
ック上にＮｉＯ十Ｎ１（又はＣｕ２Ｏ＋Ｃｕ）の積層構
造の複合インサート材が密着固定される。
（第２の方法）るつほにＮ１　（又はＣｕ）を挿入し、
溶解蒸発せしめて行うが、その際、真 空排気後、一定の酸素量を室内に流入 し、加熱蒸発したＮ１（又はＣｕ）り一部を酸化させ、
所定量の′比率をもった ＮｉＯ＋Ｎｉ（又はｃｕ２０　＋　Ｃｕ　）　の複合イ
ンサー）１がセラミック上に密着固定さ れる。
１−２．　酸化物がＮｉＯ，Ｃｕ２′Ｏ以外の場合（ｍ
２ｏ３゜ＺｒＯ２等） るつほを２個用い、一方に酸化物構成 金属（Ｍ、　Ｚｒ等）、他方にＮｉ　（又はＣｕ）を入
れ、溶解蒸発せしめて行う。その際、雰囲気を高真空雰
囲気と酸素雰囲気を交番させて行う（原則として初層お
よび最終層は真空雰囲気）。即ち、真空雰囲気ではＮ１
（またはＣｕ　）　が、酸素雰囲気ではｒＪ　Ｚｒ等が
゛酸化され、Ａ１２０３　、　Ｚｒ０ｚ等となシ、セラ
ミック上にｕ、、ｏａ　＋　Ｎｉ、　ＡｋＯｓ＋Ｃｕ、
　ＺｒＯ２＋阻、　Ｚ＜０２＋Ｃｕ　等の積層構造の複
合インサート材が密着固定される。
２、　窒化物子Ｎ１（又はＣｕ）インサート（第１の方
法）窒化物構成金属（ｓｉ、Ｔ１等）とＮ１（又はＣｕ
　）　との合金（Ｎｉ−Ｓｉ合金、　Ｃｕ−Ｓｉ合金、
　Ｎｉ−Ｔｉ合金、　Ｃｕ−Ｔｉ合金等）をるつぼに入
れて真空排気後、窒素ガスを室内に流入して加熱蒸発せ
しめる。
すなわち、Ｎｉ　−Ｓｉ合金では蒸発した＄１が窒素と
の親和力が極めて強いため１ ３　ｉｓ　Ｎ４　となシ、Ｎ１　は蓋止がおこらないた
め、そのま−変化せず、セラミックに飛んで行き、セラ
ミック上にＳｉ３Ｎ４＋Ｎｉが密着固定される０ 同様に、Ｃｕ−Ｓｉ合金ではＳｌ　が窒化され、Ｃｕ　
は窒化がおこらないためセラミック上にＳｉ３Ｎ４　＋
　Ｃｕが密着固定される。
Ｎｉ−Ｔｉ合金では蒸発したＴ１　が窒素との親和力が
極めて強いためＴｉＮとなシ、Ｎ１　は窒化がおこらな
いため、セラミック上にＴｉＮ＋Ｎｉが密着固定される
。
Ｃｕ−Ｔｉ合金ではＴ１　が窒化され、Ｃｕは窒化がお
こらないため、セラミック上にＴｉＮ＋Ｃｕが密着固定
されＺｏ （第２の方法）るつは２個用い、一方に窒化物構成金属
（Ｓｉ、Ｔｉ等）、他方にＮｉ　（又はＣｕ）を入れ、
雰囲気を高真空雰囲気と窒素ガス雰囲気を交番させて溶
解、蒸発させる（原則として初層および最終層は真空雰
囲気）。すなわち高真空雰囲気ではＮ１（又はＣＵ　）
　を、窒素ガス雰囲気では８１゜Ｔ１　等をイオンブレ
ーティングし、セラミック上にＳｉ３’Ｎ４　＋Ｎｉ、
Ｓｉ３Ｎ４　＋　Ｃｕ、　ＴｉＮ＋Ｎｉ、ＴｉＮ＋Ｃ！
ｕ等の積層構造の複合インサート材が密着固定される。
３、　炭化物子Ｎ１（又はＣｕ　）インサート（第１の
方法）炭化物構成金属（Ｓｔ、Ｗ％）とＮ１（又はｃｕ
　）　との合金（Ｎｉ−Ｓｉ合金、　Ｃｕ−Ｓｉ合金、
　Ｎ１−Ｗ合金、　Ｃｕ−Ｗ合金＠）をるつｔ”ｔに入
れて真空排気後、一定のアセチレンガスを室内に流入し
て、加熱蒸発せしめる。
すなわち、Ｎｉ−Ｓｉ合金では蒸発したＳｌがアセチレ
ンよシ分解したＣとの親和力が極めて強いため、ＳｉＣ
とな９、Ｎ１は炭化がお仁らないため、そのま＼変化せ
ず、セラミックに飛んで行き、セラミック上にＳｉＣ＋
　Ｎｉが密着固定される。
同様に、Ｃｕ、−Ｓｉ合金ではＳｌ　が炭化され、Ｃｕ
　は炭化がおこら女いためセラミック上にＳｉＣ＋　Ｃ
ｕを密着固定することができる。
Ｎ１−Ｗ合金では蒸発したＷがＣの親和力が極めて強い
ため、ｗｅ　となシ、Ｎ１は炭化がおこらないため、セ
ラミック上にＷＣ＋Ｎｉ　が密着固定される。
Ｃｕ−Ｗ合金ではＷが炭化され、Ｃｕ　は炭化がおこら
ないため、セラミック上にＷＣ＋Ｃｕ　が密着固定され
る。
（第２の方法）るつは２個用い、一方に炭化物構成金属
（ｓｉ、　ｗ等）、　他方にＮｉ（又はＣｕ）を入れ、
雰囲気を高真空雰囲気とアセチレンガス雰囲気を交番さ
せて、溶解、蒸発させる（原則として初層および最終層
は真空界囲気）０すなわち、高真空雰囲気ではＮｉ　（
又はＣｕ　）を、アセチレンガス雰囲気ではＳｉ、　Ｗ
等をイオンブレーティングし、セラミック上にＳｉＣ＋
Ｎｉ、　８ｉＣ十Ｃｕ、　ＷＣ＋Ｎｉ、　ＷＣ＋Ｃｕ等
の積層構造の複合インサート材が密着固定される。
なお、複合インサート材を溶射する場 合は、単に上記した粉末の混合組合せを変えるだけでも
良い。溶射法は、プラズマ溶射等が採用される。そして
、イオンブレーティング、溶射等で得られた複合インサ
ート材の融点は酸化物、窒化物、炭化物の融点とＮｉ、
　Ｃｕ　の融点を比較し、低い方をその融点とする。共
晶反応等のある場合は、その共晶融点も考慮し、最も低
い温度をその融点とする。
第１図（Ｂ）の加熱反応促進処理は、イオンブレーティ
ングまたは溶射された複合インサート材とセラミックの
接合強度を上昇させるために行うもので、複合インサー
ト材の融点（ＮｉＯ十Ｎ１　インサートではＮ１　の融
点が１４５６℃。
ＮｉＯの融点が１９５７℃、　ＮｉＯとＮ１　の共晶の
融点が１４３８℃であるので、Ｎｉ０　＋　Ｎｉ　イン
サートの融点としては１４３８℃となる００ｕ２０十Ｃ
ｕ　インサートではＣｕ　の融点が１０８３℃。
Ｃｕ２Ｏの融点が１２３０℃、Ｃｕ２ＯとＣｕの共晶の
融点が１０６５℃であるので、ｃｕ２ｏ　＋　Ｃｕイン
サートの融点としては１０６５℃となる）の５以上の温
度（上限は複合インサート材の融点）で、不活性ガスま
たは真空中で、５分以上加熱する。また、熱間静水圧加
圧（以下、ＨＩＰ処理）を行っても良く、その際は上記
温度１時間でＡｒ等のガス圧０．０１　ｋｇ７ｎｕｎ２
以上を負荷する。
尚、温度をインサート材の融点の５以上とするのは、こ
れ以下では複合インサート材とセラミックの接合反応が
極めて緩やかで長時間の処理が必狭となシ、工業的に好
ましくないためである。上限はインサート材が溶融する
と流出してしまうため、その防止の点よル複合インサー
ト材の融点未満とする。処理時間を５分以上とするのは
、５分以下では複合インサート材とセラミックの接合が
不十分であるためである。
次に、第１図（Ｃ）のろう付であるが、インサート材の
融点よル低融点のろう材を用い、インサート材と接合金
属をろう付する。低融点のろう材を用いるのけ、ろう付
施工時に、セラミック１と接合金属２間の熱膨張係数差
によ多発生する熱応力を小さくし、セラミックの割れを
防止するためである。
また、複合インサート材（ＮｉＯ＋Ｎｉ、Ｃ顯０＋Ｃｕ
）　において金属成分を５チ以上としたのけ、これ以下
では金属成分が少くなりすぎ、セラミック１との接合性
が低下すると共に、インサート材自身の延性がなくなシ
、インサート材に割れを発生しやすくなるためである。
以上の本発明方法による作用効果をまとめると、次の通
シである。
（１）　５ｉ３Ｎｉ　、　ＳｉＣと金属は物質構造が異
なるため（Ｓｉ３Ｎ４　、　Ｓ’ｉＣは共有結合、金属
は金属結合）、その−接合は極めて困難を伴う０またも
う一つの問題点は８１３Ｎ４．　ＳｉＣが靭性に乏しい
ため、仮に接合しても発生する熱応力でＳｊ、３Ｎ４　
、　ＳｉＣに割れを発生しやすい点にある０本発明はイ
ンサート材として、酸化物＋金属のサーメットであるＮ
ｉＯ＋　Ｎｉ　またはＣｕ２Ｏ＋　Ｃｕ　を用いること
によシ、 ■　複合インサート中の金属成分である吋１゜Ｃｕ　が
８ｉａＮｎ、　ＳｉＣとすぐれた冶金的長合性を示し、
良好な継手を得ることができるＯ即ち、５ｉｓＮａ、　
、８１Ｃには遊離Ｓｉ　が存在するが（Ｓｉｓ、Ｎａ　
では約１０００℃以上の加熱で、一部分解が始まシ、Ｓ
ｌ　を生成するが、これも利用）、そのＳｌ　とＮｉ　
又はＣｕ　が高温加熱下で互いに拡散すると共に、Ｓｉ
はＮ１　およびＣｕ　中に固溶しくＮｉ　中の８１およ
びＣｕ　中の８１　の固溶度はいずれも常温において約
５　ｗｔ係　ある）、脆化層を生成せず、良好な継手を
生成する。
■　一方、このＮｉ、　Ｃｕ　と接合金属２はいずれも
金属であシ、その溶接性は基本的に極めてすぐれておシ
、良好な継手を形成する。
■　また、複合インサート材のＮｉＯ，−Ｃｕ２Ｏの役
割であるが、単にＮｉ、　Ｃｕ　をインサート拐として
用いた時にはＳｉ３Ｎ４．　Ｓｉ’Ｃにイオンブレーテ
ィングもしくは溶射したあと、次工程〔第１図（Ｂ）の
工程〕で加熱反応促進処理した時の冷却過程でＳｉ３Ｎ
４．　ＳｉＣとＮｉ、　Ｃｕ　間の熱膨張係数差に起因
して大きな熱応力を発生し、Ｓｉ３Ｎ４．　ＳｉＣの割
れ発生錨率が高く、その防止に緻密な施工管理が必要と
なる。これに対し、本発明では、Ｎｉ、　Ｃｕ　Ｉｃ　
Ｎｉｐ、　Ｃｕ、Ｏを添加しであるので、サーメットの
状態となシ、熱膨張係数が小さくなシ、発生する熱応力
を低下せしめて、Ｓｉ３Ｎ４．　ＳＬ’Ｃの上記割れ発
生を防止できる（熱膨張係数：　Ｓｉ３Ｎ４．　ＳｉＣ
・・・約３〜４×１ｏ−６／℃、　Ｎ１・・・約１３× １ｏ−’／℃、　Ｃｕ　＋＋ｅ約１７×１ｏ−’／℃）
０ ■　また、単に阻、　Ｃｕ　をインサート材として用い
た時に比べ、強度の高いＮｉｐ、　Ｃｕ２Ｏを添加する
ことによシ、サーメットとなジインサート材の強度が上
昇し、継手強度を上昇せしめうる。
■　複合インサート材中の酸化物（Ｎｉｐ、　Ｃｕ２Ｏ
他）はＳｉ３Ｎ４．　ＳｉＣ系セラミック中に微量含ま
れる５１０２　および焼結助剤として用いられるＭｙｏ
、　Ａｌ１２０３　＋　Ｙ２０ａ等（Ｓｉ３Ｎ４の場合
）。
Ａｇ、Ｏ，、ＢｅＯ（ＳｉＣの場合）と同じ酸化物であ
シ、結晶構造もイオン結合が主体をなすことよシ、複合
インサート材とセラミックは高温加熱で互いに酸化物反
応をおこして接合にを与する。
（２）本発明は、複合インサート材を先ずイオンブレー
ティング又は溶射等により、セラミックに密着させるが
イオンブレーティング、溶射等を採用することによシ、
セラミックの形状が如何に複雑でもこれに本インサート
材を密着固定することができる（箔等では困難）０（３
）　本１ｉ’４１ｒ＄、次いで加熱反応促進処理（前述
した加熱処理またはＨＩＰ処理）を行うがこれによシ、
下記作用効果がある。
■　Ｓｉ３Ｎ４．　ＳｉＣ等に含有されるＳｉ　とイン
サート材中のＮｉ、　Ｃｕ　が、高温加熱によシ十分拡
散し、冶金的接合が成就する。とくにＨＩＰ処理を行う
際は、圧力負荷によシ、本インサート材のセラミック界
面での微少ボイド（イオンブレーティング又は溶射時に
生成する微少ボイド）をクリープ変形および、塑性変形
で消滅させ、接合性をよυ高める。
■　セラミックの形状が如何に複雑でも、本処理が可能
で本インサート材をセラミックに冶金的拡散反応で強固
に接合しうる。とくに［（ＩＰ処理の場合においては、
高温でガス圧が３次元に均等にか＼るため、セラミック
形状が如何に複雑でも施工が可能で良好な接合を行いう
る利点をもつ。また、加圧が３次元にか＼るため、セラ
ミックの割れ発生の懸念が全くないという長所もある。
（４）　次いで加熱反応促進処理されたサブアセンブリ
のインサート材と接合金属をインサート材の融点よシ低
い融点を持つろう材を用いて、ろう付１−１接合を完了
するが、この際の作用効果として以下の事項が挙けられ
る。
■　一般にセラミック１と接合金属２は両者の熱膨張係
数差に」２り接合後の冷却過程で発生する熱応力でセラ
ミックに割九を発生する。本発明は低融点ろう材を用い
ることにより、冷却温度幅が減少し、発生熱応力を低減
せしめて、セラミックの割れ防止効果が著しい。
■　インサート材中の金属成分と接合金属はいずれも金
属であり、当然ながら、金八間の溶接は基本的に極めて
すぐれており、前述のろう材を用いて良好な継手を形成
することができる。
また本発明方法においては、上述のＮ１０＋Ｎｉ、　Ｃ
’ｕ２０　＋　Ｃｕ　の複合インサート材におけるＮｉ
ｐ、　Ｃｕ２Ｏの酸化物の代シに他の金属酸化物（Ａｌ
！２０３　、　ＺｒＯ２等）あるいは金属窒化物（Ｔｉ
Ｎ。
Ｓｉ３Ｎ４等）、　金属炭化物（Ｔｊ−Ｃ，ＷＣ，Ｓｉ
Ｃ等）を用いることができる。
その際、イオンブレーティングではるつは数を増加させ
、金属酸化物では酸素ガス、金属窒化物では窒素ガスを
雰囲気ガスとして用い、前述したと同様の施工を行う。
例えばＮ１＋　ＴｉＮ複合インサート材では、Ｎ１　と
Ｔ１　のるつばを用い、真空雰囲気中でＮｉ、　墾素ガ
ス雰囲気でＴ１　を両者交番させてイオンブレーティン
グするとＮｉ　＋　ＴｉＮ　の複合インサートがイオン
ブレーティングされる。一方、溶射においては単に粉末
の混合組合せを変えるだけで良い。なお、これらのイン
サート材の融点は、酸化物、菫化物、炭化物の融点とＮ
ｉ。
Ｃｕ　の融点を比較し、低い方をその融点とする。共晶
反応のある場合はその共晶融点も考慮し、最も低い温度
をその融点とする。
この複合インサート材中の窒化物は８１３Ｎ＊セラミツ
クと同じ窒化物、炭化物はＳｉＣセラミックと同じ炭化
物であシ、はｙ同じ結晶構造をとるため、高温加熱で複
合インサート材とセラミックが拡散反応を起こして接合
にを与する。
更に本発明方法においては、上述のインサート材と接合
金属のろう付に代って、拡散溶接を用いることもできる
。
その際は、ろう付の時と同様、インサート材の融点よシ
低い温度で拡散溶接し、セラミックに発生する熱応力を
低減せしめてセラミックの割れを防止する。拡散溶接の
条件は通常の条件を用いれば良く、加圧力０．１〜５に
９／調２．接合時間５分〜５時間が適切である。
接合はインサート材の金属成分（Ｎｉ、　Ｃｕ　）と接
合金属がいずれも金属であることよシすぐれた接合性を
得ることができる。
実施例１ 板厚２調のＳ　ｉ３　Ａ４にＮｉ（＞＋Ｎｉ（重量比で
Ｎ１５０％、Ｎ１０５０係）を２０μイオンブレーテイ
ングしたあと、真空雰囲気で温度１２００℃。
時間３０分の加熱反応処理を行った。次いで、接合金属
である板厚３＋１ＩＩＩＩのＳＳ　、４１　板を上記の
ＮｉＯ＋　Ｎｉ　面と対向させ、その間をＡ１　ろうを
用い、ろう付温度８５０℃、ろう何時間１０分でろう付
した。
その結果、３１３Ｎ４　に割れ発生がなく、全面に亘っ
て非接合部のない良好な継手が得られた。
実施例２ 板厚２酎の１３ｉｃ　ＶｃＣｕ２０　＋　Ｃｕ　（重量
比でＣｕ７０％、ｃｕ２ｏ３ｏ％）を１００μプラズマ
溶射したあと、Ａｒ　ｆｌ囲気中で温度１０３０℃２時
ＩＨＪ　３０分の加熱反応処理を行った。次いで、接合
金属である板厚５４リコパール板をＣｕ２Ｏ＋　Ｃｕ而
と対向させ、その間をＡＰ　ろうを用い、ろう付温度８
５０℃、ろう何時間１０分でろう付した０ その結果、ＳｉＣに割れ発生がなく、全面に亘って非接
合部のない良好な継手が得られた０実施例３ １０■φ　Ｘ２１１１ｍｍ長さの８１３Ｎ４　丸棒に、
その外面にＮ１０＋Ｎｉ（重量比でＮ１９０チ、　Ｎｉ
ｏｌｏ％）をｓｏμイオンブレーティングしたあと、温
度１１５０℃、Ａｒ　ガス圧１５　ｋｇ／ｍｍ２゜処理
時間３０分のＨＩＰ処理を行った。次いで、接合金属で
ある内径１０．２５ｔＲｍφ、外径１６．２５寵ψ、長
さ２０Ｗｍ１のコパール円筒に、ペースト状Ａ２　ろう
を塗布した上記Ｓｉ３．Ａ４　丸棒を挿入し、ろう付温
度８５０℃、ろう何時間１０分でろう付した。
その結果、Ｓｉ、、Ａ４　に割れ発生がなく、円筒継手
全面に亘って非接合部のない良好な継手が得られた。
実施例４ 内径２０鰭φ、外径２５膿ψ、長さ５０咽のｓ１ｃ円筒
に、その外径表面にＡｂＯｓ　＋　Ｎｉ　（重量比でＮ
ｉ　８０　％、　ＪＶ２Ｃｈ　２０　％　）を２０μイ
オンブレーテイングしたあと、温度１１００℃。
Ａｒ　ガス圧１０１（ｇ／ｍ２．処理時間１５分のＨＩ
Ｐ処理を行った。次いで、接合金属である内径２５．２
５＋ａφ、外径４５．２５ｍｍφ、長さ５ｏ、。
のＭ円筒に、ハンダ（Ｓ、ｎ−Ｐｂ系）を塗布した上記
ＳｉＣ円筒を挿入し、ハンダ伺温度２５０℃。
時間３分でハンダ付した。
その結果、ＳｉＣに割れ発生がなく、円筒継手全面に亘
って非接合部のない良好な継手が得られた。
実施例５ 板厚２解のＳｉ３Ｎ４　にＮｔｏ＋Ｎｉ　Ｃｔｗｉｔ比
でＮ１８０係、Ｎｉ０２０係）を２０μイオンブレーテ
イングしたあと、真空雰囲気で、温度１１５０℃１時間
６０分の加熱反応促進処理を行った。
次いで、接合金属の板厚３聴のコバール板をＮｉＯ＋　
Ｎｉ　面と対向させ、真空雰囲気で、接合温度９００℃
、加圧力２　ｋｌ？／＋ｍ”　、接合時間１時間で拡散
溶接した。
その結果、Ｓ　ｉ３　Ｎ４　に割れ発生がなく、全面に
亘って非接合部のない良好な継手が得られた。
実施例６ 板厚２閣のＦ３　ｉ３　Ｎ４にＳｉ３Ｎ４　＋　Ｎｉ　
（重量比で５１３Ｎ４．３０チ、Ｎｉ７０％）を２０μ
イオンブレーテイングしたあと、真空雰囲気で１２００
℃１時間１５分の加熱反応処理を行った。次いで、接合
金属の板厚４霜の５ＳｄＩ板をＳｉ３Ｎ４＋Ｎｉ　面と
対向させ、真空雰囲気で接合温度１０００℃、加圧力０
．３　ｋｇ７ｍｍ２．接合時間１時間で拡散溶接した。
その結果、Ｓ　ｉ３　Ｎ４　に割れ発生がなく、全面に
亘って、非接合部のない良好な継手が得られた。
実施例７ 板厚１　＋ｗｍ　（ＤＳｉＣＫＳｉＣ’＋　Ｎｉ　（昆
ｆｊ（比で５ｉＣ４０％、Ｎ１６０ｑｂ）を１００μプ
ラズマ溶射したあと、真空雰囲気中で温度１１００℃２
時間３０分で加熱反応処理を行った。次いで、接合金属
の板厚５ｔのコバール板をＳｉＣ＋　Ｎｉ　面と対向さ
せ、真空雰囲気で接合温度１０００℃。
加圧力肌５に９７ｍ”、接合時間１時間で拡散溶接した
。その結果、ＳｉＣに割れ発生がなく、全面に亘って、
非接合部のない良好な継手が得られた。
【図面の簡単な説明】
第１図（Ａ）〜（Ｃ）は本発明方法の一実施態様例を工
程順に示す図である。 復代理人　内　１）　明 後代理人　萩　原　亮　− 第１図 （α） （ｂ） （Ｃ）

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）　Ｓｉ３Ｎ４．　ＳｉＣ系セラミックと金属を接
    合する方法において、前記セラミックにＮ１　と金属酸
    化物又は窒化物又は炭化物、もしくはＣｕと金属酸化物
    又は窒化物又は炭化物をインサート材としてイオンブレ
    ーティング又は溶射法で密着固定した後、加熱反応促進
    処理して両者を強固に冶金的接合させ、次いで該インサ
    ート材面と前記金属とを該インサート材の融点よシ低い
    融点をもつろう材を用いてろう付することを特徴とする
    セラミックと金属との接合方法。
  2. （２）　Ｓｉ３　Ｎ４　、８　ｉＣ糸セラミックと金属
    を接合する方法において、前記セラミックにＮ１　と金
    属酸化物又は窒化物又は炭化物、もしくはＣｕ金属酸化
    物又は窒化物又は炭化物をインサート材としてイオンブ
    レーティング又は溶射法で密着固定した後、加熱反応促
    進処理して両省を強固に冶金的接合させ、次いで該イン
    サート月面と前記金属とを該インサート材の融点より低
    い温度で拡散接合することを特徴とするセラミックと金
    塊との接合方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62197363A (ja) * 1986-02-25 1987-09-01 マツダ株式会社 窒化珪素部材と金属部材との接合方法
JP2010530838A (ja) * 2007-06-23 2010-09-16 フラウンホファー ゲセルシャフト ツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー．ファオ． ガラスろう又は金属ろうでろう付けすることにより２つの部材を恒久的に結合する方法

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5744252A (en) * 1989-09-21 1998-04-28 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Flexible ceramic-metal insulation composite and method of making
EP0480470B1 (en) * 1990-10-12 1995-03-29 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Insulating member and electric parts using the same
JP3291827B2 (ja) * 1993-03-18 2002-06-17 株式会社日立製作所 羽根車及びディフューザ、並びにその製作方法
US5777259A (en) * 1994-01-14 1998-07-07 Brush Wellman Inc. Heat exchanger assembly and method for making the same
EP0667640A3 (en) * 1994-01-14 1997-05-14 Brush Wellman Multi-layer laminate product and its manufacture.
US5490627A (en) * 1994-06-30 1996-02-13 Hughes Aircraft Company Direct bonding of copper composites to ceramics
US6022426A (en) * 1995-05-31 2000-02-08 Brush Wellman Inc. Multilayer laminate process
US6269714B1 (en) * 1996-05-30 2001-08-07 Kakoh Kiki Co., Ltd. Cutter knife for thermoplastic resin pelletizer and production method of said cutter knife
US5953511A (en) * 1997-04-08 1999-09-14 National Instruments Corporation PCI bus to IEEE 1394 bus translator
JP3792440B2 (ja) * 1999-06-25 2006-07-05 日本碍子株式会社 異種部材の接合方法、および同接合方法により接合された複合部材
US6332568B1 (en) * 2000-01-14 2001-12-25 Sandia Corporation Wafer scale micromachine assembly method
JP4252231B2 (ja) * 2001-09-05 2009-04-08 日本碍子株式会社 半導体ウェハー支持部材接合体の製造方法および半導体ウェハー支持部材接合体
WO2004079762A2 (en) * 2003-03-03 2004-09-16 Koninklijke Philips Electronics N.V. X-ray tube cathode assembly and interface reaction joining process
US7857194B2 (en) * 2007-05-01 2010-12-28 University Of Dayton Method of joining metals to ceramic matrix composites
JP4471002B2 (ja) * 2008-01-23 2010-06-02 セイコーエプソン株式会社 接合体の形成方法
JP4471004B2 (ja) * 2008-01-23 2010-06-02 セイコーエプソン株式会社 接合体の形成方法
JP4471003B2 (ja) * 2008-01-23 2010-06-02 セイコーエプソン株式会社 接合体の形成方法
CH700774A1 (de) * 2009-03-31 2010-10-15 Alstom Technology Ltd Doppellotelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendungen desselben.
DE102015224464A1 (de) * 2015-12-07 2017-06-08 Aurubis Stolberg Gmbh & Co. Kg Kupfer-Keramik-Substrat, Kupferhalbzeug zur Herstellung eines Kupfer-Keramik-Substrats und Verfahren zur Herstellung eines Kupfer-Keramik-Substrats
US11167363B2 (en) * 2017-05-10 2021-11-09 Board Of Trustees Of Michigan State University Brazing methods using porous interlayers and related articles

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2857663A (en) * 1954-02-09 1958-10-28 Gen Electric Metallic bond
US3226822A (en) * 1961-09-27 1966-01-04 Eitel Mccullough Inc Art of bonding ceramic to metal
US3324543A (en) * 1965-03-26 1967-06-13 Charles I Mcvey Pressure bonded ceramic-to-metal gradient seals
US3399076A (en) * 1965-04-08 1968-08-27 Mallory & Co Inc P R Method of wetting silicon nitride
US3813759A (en) * 1971-09-09 1974-06-04 English Electric Co Ltd Method of brazing
DE2533524C3 (de) * 1975-07-26 1978-05-18 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zur Herstellung eines Belages aus Kupfer oder einer Kupferlegierung auf einem Trägerkörper
JPH0233677B2 (ja) * 1981-11-28 1990-07-30 Toyota Motor Co Ltd Chitsukakeisoseramitsukusutokinzokutonosetsugohoho
JPS5895671A (ja) * 1981-11-30 1983-06-07 トヨタ自動車株式会社 セラミツクスと金属との接合方法
US4452389A (en) * 1982-04-05 1984-06-05 The Bendix Corporation Method for welding with the help of ion implantation
GB2136720B (en) * 1982-11-17 1985-12-18 Ae Plc Joining silicon nitride to metals
JPS59137379A (ja) * 1983-01-24 1984-08-07 工業技術院長 複合焼結セラミクスと金属との接着方法
JPS59218263A (ja) * 1983-05-25 1984-12-08 Showa Alum Corp アルミニウム材と異種金属材との接合方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62197363A (ja) * 1986-02-25 1987-09-01 マツダ株式会社 窒化珪素部材と金属部材との接合方法
JP2010530838A (ja) * 2007-06-23 2010-09-16 フラウンホファー ゲセルシャフト ツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー．ファオ． ガラスろう又は金属ろうでろう付けすることにより２つの部材を恒久的に結合する方法

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Publication number Publication date
KR890000912B1 (ko) 1989-04-13
EP0146493A2 (en) 1985-06-26
JPH0367985B2 (ja) 1991-10-24
KR850004738A (ko) 1985-07-27
EP0146493A3 (en) 1986-10-22
US4624404A (en) 1986-11-25

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