JPS6038619A - 風量感知回路 - Google Patents
風量感知回路Info
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- JPS6038619A JPS6038619A JP59142492A JP14249284A JPS6038619A JP S6038619 A JPS6038619 A JP S6038619A JP 59142492 A JP59142492 A JP 59142492A JP 14249284 A JP14249284 A JP 14249284A JP S6038619 A JPS6038619 A JP S6038619A
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- 239000003570 air Substances 0.000 claims description 27
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 3
- 230000002277 temperature effect Effects 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 235000006693 Cassia laevigata Nutrition 0.000 description 1
- 241000522641 Senna Species 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 229940124513 senna glycoside Drugs 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
- 210000004243 sweat Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
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- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、固体センサを川いる、風量感知回路て関し、
特に、関数温度補償校正に適した風量感知回路に関する
。
特に、関数温度補償校正に適した風量感知回路に関する
。
これまで、ワイヤ、箔又は固体集積回路等の熱素子を用
いる風力測定法により、風量全6}1[定する提案がな
されてきたが、何れも、測定に及ぼす温度作用を補償す
る特殊な回路部品が必要とされる。温度の変動は、主に
、温度に伴う、空気の熱伝導率変化に起因するが、回路
自体に原因がある温度作用も少なくない。
いる風力測定法により、風量全6}1[定する提案がな
されてきたが、何れも、測定に及ぼす温度作用を補償す
る特殊な回路部品が必要とされる。温度の変動は、主に
、温度に伴う、空気の熱伝導率変化に起因するが、回路
自体に原因がある温度作用も少なくない。
従って、空気温度に左右されずに、正確かっ信頼できる
結果が得られる、風量感知回路を設けることが望ましい
。このことは、温度差が激しい環境での使用が多く、シ
かも風量を正確に読取り、こ扛に基づいて燃料調整する
必要がある自動車の内燃機関に吸入される風量を測定す
る回路の場台は、特に重要な特徴である。
結果が得られる、風量感知回路を設けることが望ましい
。このことは、温度差が激しい環境での使用が多く、シ
かも風量を正確に読取り、こ扛に基づいて燃料調整する
必要がある自動車の内燃機関に吸入される風量を測定す
る回路の場台は、特に重要な特徴である。
従って、本発明の第1の目的・ハ、固体センサ及び関数
温度補償調整能力を初1jえる、風量測定回路全提供す
ること圧ある。本発明の別の目的は、臨界温度制御する
ことなく、容易に関数校正できる、風量測定回路を提供
することにある。本発明の更に別の目的は、回路が及ぼ
す種々の温度作用、及び空気の可変熱伝導率を補償する
、風量測定回路全提供することにある。
温度補償調整能力を初1jえる、風量測定回路全提供す
ること圧ある。本発明の別の目的は、臨界温度制御する
ことなく、容易に関数校正できる、風量測定回路を提供
することにある。本発明の更に別の目的は、回路が及ぼ
す種々の温度作用、及び空気の可変熱伝導率を補償する
、風量測定回路全提供することにある。
本発明は、周囲空気温度及び加熱された空気の流量を感
知する固体センサ、各センサと直列する電流源、風量セ
ンサと直列する抵抗器、センサと抵抗器に発生する電圧
に応答して、出力信号を発生すると共に、風量センサの
温度を制御する比較器、及び一方のセンサに抵抗接続さ
れて、センサ′市流を関数調整することによシ、温度変
動作用を補償する第3電流#を含む校正回路網を用いて
風量測定する回路を設けることにより実施される。
知する固体センサ、各センサと直列する電流源、風量セ
ンサと直列する抵抗器、センサと抵抗器に発生する電圧
に応答して、出力信号を発生すると共に、風量センサの
温度を制御する比較器、及び一方のセンサに抵抗接続さ
れて、センサ′市流を関数調整することによシ、温度変
動作用を補償する第3電流#を含む校正回路網を用いて
風量測定する回路を設けることにより実施される。
次に添伺図面を参照して、本発明の詳細を説明する。
熱素子式風力測定には、周囲空気温度に感応するセンサ
と、周囲温度以上の背定温度に加熱され、周囲温度以上
の所定温度増分の保持に′要する入力量に応じて、風量
を測定するセンナとが必一要とされる。従って、これら
の2個のセンサに類似の特性を持たせることにより、落
差が敞しい温度範囲で同様に機能できる様にすることが
望ましい。近年のシリコン集積回路技術の著しい進歩に
エリ、周囲温度センサ及び風量センサとして使用できる
感温素子が開発サ汎ている。特にシリコンダイオードは
、一定電流における、温度に伴う電圧変化の直線性に優
nており、しかも整合特性を持たせて、容易に製造する
ことができる。
と、周囲温度以上の背定温度に加熱され、周囲温度以上
の所定温度増分の保持に′要する入力量に応じて、風量
を測定するセンナとが必一要とされる。従って、これら
の2個のセンサに類似の特性を持たせることにより、落
差が敞しい温度範囲で同様に機能できる様にすることが
望ましい。近年のシリコン集積回路技術の著しい進歩に
エリ、周囲温度センサ及び風量センサとして使用できる
感温素子が開発サ汎ている。特にシリコンダイオードは
、一定電流における、温度に伴う電圧変化の直線性に優
nており、しかも整合特性を持たせて、容易に製造する
ことができる。
本発明用途では、4個の直列ダイオード、及びこれらダ
イオードと伝熱結合きれるが、電気的には絶縁された、
加熱抵抗器を備える、シリコン集積回路(IC)チップ
を用いることが好1しい。j風量せンサとして用いる揚
台は、加熱抵抗器を制御回路に接続することにより、ダ
イオードを昇温する。周囲温度センサとして、類似チッ
プを用いるが、チップ上の抵抗器は、ダイオードが周囲
空気温度をおびる様r1不活性状態、すなわち回路に接
続しないでおく。
イオードと伝熱結合きれるが、電気的には絶縁された、
加熱抵抗器を備える、シリコン集積回路(IC)チップ
を用いることが好1しい。j風量せンサとして用いる揚
台は、加熱抵抗器を制御回路に接続することにより、ダ
イオードを昇温する。周囲温度センサとして、類似チッ
プを用いるが、チップ上の抵抗器は、ダイオードが周囲
空気温度をおびる様r1不活性状態、すなわち回路に接
続しないでおく。
第1図に示す様に、風量センサ回路は、夫々電圧源B十
と大地との間に接続された、周囲温度ブランチ10と風
量ブランチ12とから成っている。ブランチ10は、チ
ップ15上のシリコンダイオード14で構成されている
が、該ダイオードは、4個の直列ダイオード全単一ダイ
オードとして図示したものであリ、本文中では「ダイオ
ード」又は「ダイオードセンサ」としておく。チップ1
5上の加熱抵抗器が不活性であるため、ダイオード14
は、周囲空気温度センサの役目をする。
と大地との間に接続された、周囲温度ブランチ10と風
量ブランチ12とから成っている。ブランチ10は、チ
ップ15上のシリコンダイオード14で構成されている
が、該ダイオードは、4個の直列ダイオード全単一ダイ
オードとして図示したものであリ、本文中では「ダイオ
ード」又は「ダイオードセンサ」としておく。チップ1
5上の加熱抵抗器が不活性であるため、ダイオード14
は、周囲空気温度センサの役目をする。
またタイオード14は、接合点16で、定電流線18と
直列接続されている。)風量ブランチ12は、風量セン
サの役目をするダイオード20、及び該ダイオードの温
度を、周囲7z度以上にする様に、回路内に接続された
、抵抗ヒータ32を備える、実質的にチップ15と等1
曲のチップ19紫有している。ダイオード20は、加減
抵抗器22、及び接合点26C1抵抗器22に接続され
た定電流源24と直列接続されている。電流源24は、
好適にt」1、電流源18と同一の゛電流定格を有して
いる。入力端が、接合点16及び26に接続されている
演算増幅器28は、接合点電圧全比較して、線30に風
計全表わす電圧信号を出力する。抵抗ヒータ32の一端
がB+に接続され、他端が直列抵抗器33を介して、出
力線30に接続されているため、増幅52Bは、ヒータ
32に供給される電力全制御)hlする。ヒータ32の
電力を、温度変化に左右されない、線30上の出力の関
数とすることが望ましい。
直列接続されている。)風量ブランチ12は、風量セン
サの役目をするダイオード20、及び該ダイオードの温
度を、周囲7z度以上にする様に、回路内に接続された
、抵抗ヒータ32を備える、実質的にチップ15と等1
曲のチップ19紫有している。ダイオード20は、加減
抵抗器22、及び接合点26C1抵抗器22に接続され
た定電流源24と直列接続されている。電流源24は、
好適にt」1、電流源18と同一の゛電流定格を有して
いる。入力端が、接合点16及び26に接続されている
演算増幅器28は、接合点電圧全比較して、線30に風
計全表わす電圧信号を出力する。抵抗ヒータ32の一端
がB+に接続され、他端が直列抵抗器33を介して、出
力線30に接続されているため、増幅52Bは、ヒータ
32に供給される電力全制御)hlする。ヒータ32の
電力を、温度変化に左右されない、線30上の出力の関
数とすることが望ましい。
直列抵抗器33の値をヒータの公称値と等しくすること
により、ヒータ32抵抗の温度係数に起因する電力変動
を最少限に保つ。ダイオードセンサ14の電圧降下を、
ダイオードセンサ20と抵抗器22との電圧降下と比較
し、こ肛らの降下が平衡する1で、ヒータ32全流ルる
電流の流量を調整する。抵抗器22が存在しない場合、
ダイオードは同一特性を有するため、電流の流量が等し
いとすると、同一温度における電圧降下値は同一になる
。従って、抵抗器22がある場合は、ダイオード温度を
微分して電圧降下を平衡させる必要があり、抵抗器の電
圧値が、2つのセンサの公称温度差全決定する。
により、ヒータ32抵抗の温度係数に起因する電力変動
を最少限に保つ。ダイオードセンサ14の電圧降下を、
ダイオードセンサ20と抵抗器22との電圧降下と比較
し、こ肛らの降下が平衡する1で、ヒータ32全流ルる
電流の流量を調整する。抵抗器22が存在しない場合、
ダイオードは同一特性を有するため、電流の流量が等し
いとすると、同一温度における電圧降下値は同一になる
。従って、抵抗器22がある場合は、ダイオード温度を
微分して電圧降下を平衡させる必要があり、抵抗器の電
圧値が、2つのセンサの公称温度差全決定する。
センサ回路には、温度全補償する第3回路ブランチ34
が設けら扛ているが、これは、13+と大地との間に直
列接続された第3定電流源36及び加減オフセット抵抗
器38を備えている。電流源36と抵抗器38との接合
点40は、加減利得抵抗器42と通常開じているジャン
パ44とを介しで、ブランチ10の接合点16に接続さ
れている。従って、抵抗器42に流れる電流を校正でき
る様に、抵抗器38及び42を調整することにより、セ
ンサ14に流れる電流會変えることができる。
が設けら扛ているが、これは、13+と大地との間に直
列接続された第3定電流源36及び加減オフセット抵抗
器38を備えている。電流源36と抵抗器38との接合
点40は、加減利得抵抗器42と通常開じているジャン
パ44とを介しで、ブランチ10の接合点16に接続さ
れている。従って、抵抗器42に流れる電流を校正でき
る様に、抵抗器38及び42を調整することにより、セ
ンサ14に流れる電流會変えることができる。
本発明は、好適には、ダイオードセンサを形成する小型
シリコンダイオード、0.4mAに定格された定電流源
18.24.0.87?ZAに定格された電流源36、
および夫々1.0.2.8及び4にオームの公称値に定
格されると共に、回路校正できる様に、高値にレザート
リムされた厚膜抵抗器22.38.42で構成されてい
る。
シリコンダイオード、0.4mAに定格された定電流源
18.24.0.87?ZAに定格された電流源36、
および夫々1.0.2.8及び4にオームの公称値に定
格されると共に、回路校正できる様に、高値にレザート
リムされた厚膜抵抗器22.38.42で構成されてい
る。
回路を分析するため、l眠流源24及び18を通る電流
を、それぞれ11及びI2とすると共に、利得抵抗器4
2を通って接合点40に流れる電流を13とする。接汗
点26の電圧が接合点16と等しくなる様に、ダイオー
ドセンサ20を加熱すると、Va金センサ14の電圧降
下とし、Vsiセンサ20の電圧降下とすると共に、R
k抵抗器22の抵抗としり場合、Va= Vs 十i
、 Rとなる。
を、それぞれ11及びI2とすると共に、利得抵抗器4
2を通って接合点40に流れる電流を13とする。接汗
点26の電圧が接合点16と等しくなる様に、ダイオー
ドセンサ20を加熱すると、Va金センサ14の電圧降
下とし、Vsiセンサ20の電圧降下とすると共に、R
k抵抗器22の抵抗としり場合、Va= Vs 十i
、 Rとなる。
第2図は、ダイオード特性、即ちダイオード電流とダイ
オード順方向電圧との山間性をグラフに表わしたもので
あり、各曲線は、所定温度のダイオード特性を表わして
いるが、ダイオード特性は同一であるため、何れのせン
サにも該当する。ダイオードは、ダイオード電流が、何
れの漏れ電流よりはるかに多いが、ダイオードを加熱し
ても無視できる程少ない範囲で作動される。特性電圧は
、一定ダイオード電流に対して、温度の上昇て従って実
質的に直線的に低下する。従って、4曲線50.52.
54及び56は、ラベル表示の様に、温度20℃、80
℃、100℃及び158℃1(おけるダイオード特性を
表わしてい乙。捷次第2図は、周囲温度が20℃で、周
囲温度せンサと風量センサとの公称温度差が60℃であ
る場合、皿、−12となり、ム3−〇となる好適事例に
おける装置の動作状態を例示している。従って、曲線5
0及び52は、夫々、周囲温度が20℃である。部会の
周囲温度センサ14及び80℃、になる風量センサ20
に該当する。選定電流II及び1゜は、夫々曲線50及
び52の電圧降下Va及びVs金決定する。va =v
s +r、Rであるため、点VsとVaとの間の水平距
離ばi+Rt2tiわtoこれ(ri、一定電流に対し
て、抵抗Rが2センサ間の温度差を決定する点を示して
いる。
オード順方向電圧との山間性をグラフに表わしたもので
あり、各曲線は、所定温度のダイオード特性を表わして
いるが、ダイオード特性は同一であるため、何れのせン
サにも該当する。ダイオードは、ダイオード電流が、何
れの漏れ電流よりはるかに多いが、ダイオードを加熱し
ても無視できる程少ない範囲で作動される。特性電圧は
、一定ダイオード電流に対して、温度の上昇て従って実
質的に直線的に低下する。従って、4曲線50.52.
54及び56は、ラベル表示の様に、温度20℃、80
℃、100℃及び158℃1(おけるダイオード特性を
表わしてい乙。捷次第2図は、周囲温度が20℃で、周
囲温度せンサと風量センサとの公称温度差が60℃であ
る場合、皿、−12となり、ム3−〇となる好適事例に
おける装置の動作状態を例示している。従って、曲線5
0及び52は、夫々、周囲温度が20℃である。部会の
周囲温度センサ14及び80℃、になる風量センサ20
に該当する。選定電流II及び1゜は、夫々曲線50及
び52の電圧降下Va及びVs金決定する。va =v
s +r、Rであるため、点VsとVaとの間の水平距
離ばi+Rt2tiわtoこれ(ri、一定電流に対し
て、抵抗Rが2センサ間の温度差を決定する点を示して
いる。
空気の熱伝導率は高温になるほど高くなるため、高温時
のセンサ温度差を小さくして、熱1′バ導率変化を補償
するのが通例である。従つ゛C1曲線54及び56で示
す様に、周囲温!Wセンサの温度が100℃であるとす
ると、風量センサの温度は、158℃、即ち丁度60℃
の温度差より2度低い数値になる。周囲温度が20℃以
外である場合は、電流I3を流せば電圧降下Vaはダイ
オード14の・特性に沿って移動し、曲線54に示す様
に、l3−0の場合ニジ高いさらに右側に移る。この様
にすると、’Iは定値であるため、Va−VS間の水平
距離11Rは一定てなυ、風量センサチップは、点Vs
が点Vaから一定距離i、Rだけ離れている曲線56を
描く様に加熱される(温度が周囲温度より約58℃高い
場甘っ)この様に温度調整すると、空気の熱伝導率の変
化が及ぼす作用が補償されるばかりでなく、回路内の多
数の根源から起るその池の種々の温度作用も補償される
。周囲温度が上昇]−1一定亀流時の電圧降下yaが低
減するに従って、接合点16における電位が」1昇する
ため、電流13 も、温度範囲に比例する量だけ増加す
る。従って、第2図に示す様に1電位■aは、負荷線5
8に沿って移動する。
のセンサ温度差を小さくして、熱1′バ導率変化を補償
するのが通例である。従つ゛C1曲線54及び56で示
す様に、周囲温!Wセンサの温度が100℃であるとす
ると、風量センサの温度は、158℃、即ち丁度60℃
の温度差より2度低い数値になる。周囲温度が20℃以
外である場合は、電流I3を流せば電圧降下Vaはダイ
オード14の・特性に沿って移動し、曲線54に示す様
に、l3−0の場合ニジ高いさらに右側に移る。この様
にすると、’Iは定値であるため、Va−VS間の水平
距離11Rは一定てなυ、風量センサチップは、点Vs
が点Vaから一定距離i、Rだけ離れている曲線56を
描く様に加熱される(温度が周囲温度より約58℃高い
場甘っ)この様に温度調整すると、空気の熱伝導率の変
化が及ぼす作用が補償されるばかりでなく、回路内の多
数の根源から起るその池の種々の温度作用も補償される
。周囲温度が上昇]−1一定亀流時の電圧降下yaが低
減するに従って、接合点16における電位が」1昇する
ため、電流13 も、温度範囲に比例する量だけ増加す
る。従って、第2図に示す様に1電位■aは、負荷線5
8に沿って移動する。
2センサ間の公称電圧差及び負荷線58の偏倚と傾斜を
設定するには、回路を校正する必要がある。本発明によ
る風量センサ回路は、センサ特性の正確な知識を必要と
せず、関数校正テストによって、温度特性を定め、てい
る。
設定するには、回路を校正する必要がある。本発明によ
る風量センサ回路は、センサ特性の正確な知識を必要と
せず、関数校正テストによって、温度特性を定め、てい
る。
校iEテストには、2つの異なる温度における既知風量
が必要である。温lit正確に制御する必要はないが、
風量を正確にすることが肝要である。校正手順としては
、先ずジャンパ44を開いた状態で、センサ20℃(又
は室温)でフロー試験する。抵抗器22をトリミングし
て、線30の出力電圧をその風量に相当する所定値に設
定すると共に、オフセット抵抗器38をトリミングして
、接合点16及び40間の電圧をセロホルトにすること
により、IIII線50」二〇点yaにおける、周囲温
度f〕荷線58のオフセット又は枢支点を設定する。次
に、高温(即ち100℃)及び第1試験と同一の風量に
し、ジャンパ44を閉じた状態で、センサーをフロー試
験する。利得抵抗器42をトリミングして、線3oの出
力電圧信号を第1試験と同一にすることにょシ、負荷線
58の傾斜を設定すると共に、試験点におけるセンチ及
び回路の全温度作用を考慮する。回路の温度作用が直線
状になるほど、回路は、上記全作用に対して補償される
。
が必要である。温lit正確に制御する必要はないが、
風量を正確にすることが肝要である。校正手順としては
、先ずジャンパ44を開いた状態で、センサ20℃(又
は室温)でフロー試験する。抵抗器22をトリミングし
て、線30の出力電圧をその風量に相当する所定値に設
定すると共に、オフセット抵抗器38をトリミングして
、接合点16及び40間の電圧をセロホルトにすること
により、IIII線50」二〇点yaにおける、周囲温
度f〕荷線58のオフセット又は枢支点を設定する。次
に、高温(即ち100℃)及び第1試験と同一の風量に
し、ジャンパ44を閉じた状態で、センサーをフロー試
験する。利得抵抗器42をトリミングして、線3oの出
力電圧信号を第1試験と同一にすることにょシ、負荷線
58の傾斜を設定すると共に、試験点におけるセンチ及
び回路の全温度作用を考慮する。回路の温度作用が直線
状になるほど、回路は、上記全作用に対して補償される
。
上記の通シ本発明の詳細な説明したが、本発明回路の形
状は非常に簡単であり、寸た簡単なフロー試験及び抵抗
器トリミング手順に従って校正すれば、広範の温度変動
を補償できることが理解されよう。
状は非常に簡単であり、寸た簡単なフロー試験及び抵抗
器トリミング手順に従って校正すれば、広範の温度変動
を補償できることが理解されよう。
第1図は、本発明による風量測定回路の概略図1.及び
第2図は、本発明による関数校正効宋を説明するダイオ
ード特性図である。 〈主要部分の符号の説明〉 14・・・ダイオード、16・・・接合点、18・・・
定電流源、 20・ダイオード、22・・・抵抗器、
24・・・定電流源、28・・・演算増幅器、32・・
・抵抗ヒータ、34・・・第3回路ブランチ、36・・
・定電流源、38・・・抵抗器、40・・・接合点、4
2・・・抵抗器、 ヒータ手段・・32 第1の固体素子・20 第1の抵抗器・・22 第1の定電流源・・・24 第2の電流源・・・18 決定する手段・・・22 調整する手段・・・34
ード特性図である。 〈主要部分の符号の説明〉 14・・・ダイオード、16・・・接合点、18・・・
定電流源、 20・ダイオード、22・・・抵抗器、
24・・・定電流源、28・・・演算増幅器、32・・
・抵抗ヒータ、34・・・第3回路ブランチ、36・・
・定電流源、38・・・抵抗器、40・・・接合点、4
2・・・抵抗器、 ヒータ手段・・32 第1の固体素子・20 第1の抵抗器・・22 第1の定電流源・・・24 第2の電流源・・・18 決定する手段・・・22 調整する手段・・・34
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 被測定空気流の作用を受けると共に夫々その温度及
び通過電流に応じて電圧降下を生ずる固体風量感知素子
及び固体温度補償君子から成る風量感知回路において、
前記回路が側副温度に加熱するヒータ手段に熱的に結合
された第1固体素子;前記第1の素子と直列接続された
第1抵抗器と第1定電流源、第2定電流源と直列接続さ
れると共に空気流の周囲温度に保たれた第2固体素子、
AiJ記第1素子と第1抵抗器との直列灰続部の電圧降
下と、第2素子の電圧降下とを比1咬し−C1出力信号
を出すと共に、前記ヒータ手段をf=J勢することにょ
シ前記電圧降1;を均等にして前記第1素子の電圧時F
を制御することによって、一定風量に対rる出力信号と
、第1及び第2素子間の公称温度差とを、第1抵抗器の
値により決定する手段、前記温度差を調整して、空気の
温度作用を補償すると共に、前記素子の一方又は抵抗器
に接続されて、周囲空気温度の変化に応じて、前記温度
差を調整する手段とを含むことを特徴とする。 2、特許請求の範囲第1項に記載の回路において前記第
1及び第2固体素子がダイオード手段であり、また前記
調整する手段が可変抵抗器を介して、mJ記第2ダイオ
ード手段に接続され、周囲空気温度の変化に応じて、前
記温度差を変更する第3定亀流源で構成されることを特
徴とする回路。 3 特許請求の範囲第2項に記載の回路において、前記
第1抵抗器及び第15’sl’dL流源と直列接続され
た前記第1ダイオード手段が電圧源に接続さ扛、前記第
2ダイオード手段が接合点で、前記第2定電流源に直夕
1]接続さnlかつ前記源と共に前記電圧源に接続され
、前記可変抵抗器手段が、前記電圧源の前後において、
接合点で+jiJ記第3定電流源と直列接続されると共
に、前記第2接合点で等電位が得られる様な低試験温度
に調整さ、I″1.たオフセット抵抗器と、前記接合点
間に接続されると共に、一定風量に対して、前記低試験
温度時と同一の出力信号が碍られる様な高試験温度に調
整された利得抵抗器とで構成されることを特徴とする回
路。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US512551 | 1983-07-11 | ||
US06/512,551 US4487063A (en) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | Solid state mass air flow sensor |
Publications (2)
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JPS6038619A true JPS6038619A (ja) | 1985-02-28 |
JPH0349374B2 JPH0349374B2 (ja) | 1991-07-29 |
Family
ID=24039589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59142492A Granted JPS6038619A (ja) | 1983-07-11 | 1984-07-11 | 風量感知回路 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4487063A (ja) |
JP (1) | JPS6038619A (ja) |
CA (1) | CA1213448A (ja) |
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