JPS6032125Y2 - 単結晶製造装置 - Google Patents
単結晶製造装置Info
- Publication number
- JPS6032125Y2 JPS6032125Y2 JP260081U JP260081U JPS6032125Y2 JP S6032125 Y2 JPS6032125 Y2 JP S6032125Y2 JP 260081 U JP260081 U JP 260081U JP 260081 U JP260081 U JP 260081U JP S6032125 Y2 JPS6032125 Y2 JP S6032125Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- sphere
- crystal manufacturing
- manufacturing equipment
- quartz tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、単結晶製造装置に関し、更に詳しくは、エレ
クトロニクス材料として注目されているオルソフェライ
ト等の良質な単結晶を製造する集中加熱形の単結晶製造
装置に関する。
クトロニクス材料として注目されているオルソフェライ
ト等の良質な単結晶を製造する集中加熱形の単結晶製造
装置に関する。
第１図は、単結晶製造装置の従来例の原理説明図であり
、図中、１はハロゲンランプ、２は内壁面が金めつきさ
れた楕円体状の回転楕円面鏡、３は試料の多結晶素材棒
、４は種子結晶、５は溶融帯域、６は石英管である。
、図中、１はハロゲンランプ、２は内壁面が金めつきさ
れた楕円体状の回転楕円面鏡、３は試料の多結晶素材棒
、４は種子結晶、５は溶融帯域、６は石英管である。
同図において、回転楕円面鏡２の一方の焦点に設置され
たハロゲンランプ１は熱源として作用し、その放射熱は
回転楕円面鏡２で集光して回転楕円面鏡２の他方の焦点
に相当する石英管６の所定箇所を集中的に加熱する。
たハロゲンランプ１は熱源として作用し、その放射熱は
回転楕円面鏡２で集光して回転楕円面鏡２の他方の焦点
に相当する石英管６の所定箇所を集中的に加熱する。
一方、石英管６の中には上から吊り下げられた多結晶素
材棒３と下に支えられた種子結晶４が入れられるととも
に、石英管６内の雰囲気は可変であり普通必要なガスが
流されている。
材棒３と下に支えられた種子結晶４が入れられるととも
に、石英管６内の雰囲気は可変であり普通必要なガスが
流されている。
而して、ハロゲンランプ１に電力が供給されると、多結
晶素材棒３と種子結晶４の間に溶融帯域５ができる。
晶素材棒３と種子結晶４の間に溶融帯域５ができる。
この状態で、多結晶素材棒３と種子結晶４が互いに逆方
向に回転させられるとともに全体的に上から下へゆっく
りと下降させられてゆくと、単結晶が成長する。
向に回転させられるとともに全体的に上から下へゆっく
りと下降させられてゆくと、単結晶が成長する。
然し乍ら、上記従来例においては、石英管６内の雰囲気
に対する制限事項がなくてあらゆる気体が使えるほか熱
源としてのハロゲンランプ１の安定性も高い等の利点を
有する反面、回転楕円面鏡２の製作が極めて難しい上、
該回転楕円面鏡２の高温雰囲気中にノｚｏゲンランプ１
が設置されている構成であるためハロゲンランプ１の寿
命が短くなる等の欠点があった。
に対する制限事項がなくてあらゆる気体が使えるほか熱
源としてのハロゲンランプ１の安定性も高い等の利点を
有する反面、回転楕円面鏡２の製作が極めて難しい上、
該回転楕円面鏡２の高温雰囲気中にノｚｏゲンランプ１
が設置されている構成であるためハロゲンランプ１の寿
命が短くなる等の欠点があった。
本考案は、かかる欠点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は、上記欠点が全て取り除かれた製作容易な集中
加熱形の単結晶製造装置を提供するにある。
の目的は、上記欠点が全て取り除かれた製作容易な集中
加熱形の単結晶製造装置を提供するにある。
本考案の特徴は、良質な単結晶を製造する集中加熱形の
単結晶製造装置において、外側に高周波コイルが周設さ
れた筒状の石英保護管に内設され、且つ外殻表面に金若
しくは白金がメッキされるとともに内壁面は全反射面を
形成している球体に対して、回転可能であり且つ内部に
試料が収納される石英管を貫通するようにして設けたこ
とにある。
単結晶製造装置において、外側に高周波コイルが周設さ
れた筒状の石英保護管に内設され、且つ外殻表面に金若
しくは白金がメッキされるとともに内壁面は全反射面を
形成している球体に対して、回転可能であり且つ内部に
試料が収納される石英管を貫通するようにして設けたこ
とにある。
以下、本考案について図を用いて詳細に説明する。
第２図は、本考案実施例の原理説明図であり、図中、１
１は高周波コイル、１２は筒状の石英保護管、１３は試
料の多結晶素材棒、１４は種子結晶、１５は溶融帯域、
１６は石英管、１７は石英等の材料でなり内壁面が全反
射面を形成している球体、１８は金若しくは白金等であ
り球体１７の外殻表面に所定の厚さく例えば約１００μ
）でメッキ（若しくは蒸着）された被膜である。
１は高周波コイル、１２は筒状の石英保護管、１３は試
料の多結晶素材棒、１４は種子結晶、１５は溶融帯域、
１６は石英管、１７は石英等の材料でなり内壁面が全反
射面を形成している球体、１８は金若しくは白金等であ
り球体１７の外殻表面に所定の厚さく例えば約１００μ
）でメッキ（若しくは蒸着）された被膜である。
上記構成からなる本考案の実施例において、高周波コイ
ル１１に高周波電流が流されると、被膜１８の表面に表
皮効果による電流が流れて球体１７が発熱し、該熱は球
体１７の内壁面で全反射しながら石英管１６の所定部分
を集中的に加熱する。
ル１１に高周波電流が流されると、被膜１８の表面に表
皮効果による電流が流れて球体１７が発熱し、該熱は球
体１７の内壁面で全反射しながら石英管１６の所定部分
を集中的に加熱する。
一方、石英管１６の中には上から吊り下げられた多結晶
素材棒１３と下に支えられた種子結晶１４が入れられて
おり、石英管１６の所定部分の加熱に伴ない多結晶素材
棒１３と種子結晶１４の間に溶融帯域１５ができる。
素材棒１３と下に支えられた種子結晶１４が入れられて
おり、石英管１６の所定部分の加熱に伴ない多結晶素材
棒１３と種子結晶１４の間に溶融帯域１５ができる。
この状態で、多結晶素材棒１３と種子結晶１４が互いに
逆方向に回転させられるとともに全体的に上から下へゆ
っくりと下降させられてゆき、単結晶が成長する。
逆方向に回転させられるとともに全体的に上から下へゆ
っくりと下降させられてゆき、単結晶が成長する。
以上詳しく説明したような本考案の実施例によれば、外
部の高周波コイルに流れる高周波電流による表面効果を
利用して球体を発熱させるとともに、該熱を球体の内壁
面で全反射させる構成であるために、試料が収納された
石英管を熱損失少なく効率のよい加熱ができるという利
点を有している。
部の高周波コイルに流れる高周波電流による表面効果を
利用して球体を発熱させるとともに、該熱を球体の内壁
面で全反射させる構成であるために、試料が収納された
石英管を熱損失少なく効率のよい加熱ができるという利
点を有している。
また、本考案の実施例によれば、前記従来例のような回
転楕円面鏡やハロゲンランプが不要であるために、これ
に伴なう前記従来例の欠点も解消され、単結晶製造装置
をより簡単且つ容易に製作できるという利点も有してい
る。
転楕円面鏡やハロゲンランプが不要であるために、これ
に伴なう前記従来例の欠点も解消され、単結晶製造装置
をより簡単且つ容易に製作できるという利点も有してい
る。
尚、本考案の他の実施例として、第２図の球体１７を熱
伝導率の小さいセラミック等からなる耐熱性材料で作る
とともに、球体１７の内壁面にも金若しくは白金をメッ
キする等して鏡面仕上げし、他は上記本考案実施例と同
一にしたものがある。
伝導率の小さいセラミック等からなる耐熱性材料で作る
とともに、球体１７の内壁面にも金若しくは白金をメッ
キする等して鏡面仕上げし、他は上記本考案実施例と同
一にしたものがある。
この場合、球体１７からの熱損失が上記本考案実施例の
場合に比して更に少なく経済的利益が出る等、若干の新
たな更なる利点も有する。
場合に比して更に少なく経済的利益が出る等、若干の新
たな更なる利点も有する。
第１図は、単結晶製造装置の従来例の原理説明図、第２
図は、本考案実施例の原理説明図である。 １・・・・・・ハロゲンランプ、２・・・・・・回転楕
円面鏡、３．１３・・・・・・多結晶素材棒、４，１４
・・・・・・種子結晶、５，１５・・・・・・溶融帯域
、６，１６・・・・・・石英管、１１・・・・・・高周
波コイル、１２・・・・・・石英保護管、１７・・・・
・・球体、１８・・・・・・被膜。
図は、本考案実施例の原理説明図である。 １・・・・・・ハロゲンランプ、２・・・・・・回転楕
円面鏡、３．１３・・・・・・多結晶素材棒、４，１４
・・・・・・種子結晶、５，１５・・・・・・溶融帯域
、６，１６・・・・・・石英管、１１・・・・・・高周
波コイル、１２・・・・・・石英保護管、１７・・・・
・・球体、１８・・・・・・被膜。
Claims (1)
- エレクトロニクス材料としての良質な単結晶を製造する
集中加熱形の単結晶製造装置において、外殻表面に金若
しくは白金がメッキされるとともに内壁面は全反射面を
形成している球体と、該球体を貫通するように設けられ
るとともに回転可能であり且つ内部に試料が入れられた
石英管と、前記球体を内設するとともに外側に高周波コ
イルが周設された筒状の石英保護管とを具備することを
特徴とする単結晶製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP260081U JPS6032125Y2 (ja) | 1981-01-12 | 1981-01-12 | 単結晶製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP260081U JPS6032125Y2 (ja) | 1981-01-12 | 1981-01-12 | 単結晶製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57116776U JPS57116776U (ja) | 1982-07-20 |
| JPS6032125Y2 true JPS6032125Y2 (ja) | 1985-09-25 |
Family
ID=29801035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP260081U Expired JPS6032125Y2 (ja) | 1981-01-12 | 1981-01-12 | 単結晶製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6032125Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-01-12 JP JP260081U patent/JPS6032125Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57116776U (ja) | 1982-07-20 |
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