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JPS60187954A - 磁性薄膜記録媒体 - Google Patents

磁性薄膜記録媒体

Info

Publication number
JPS60187954A
JPS60187954A JP4190484A JP4190484A JPS60187954A JP S60187954 A JPS60187954 A JP S60187954A JP 4190484 A JP4190484 A JP 4190484A JP 4190484 A JP4190484 A JP 4190484A JP S60187954 A JPS60187954 A JP S60187954A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
recording medium
kinds
magnetic
thin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4190484A
Other languages
English (en)
Inventor
Senji Shimanuki
島貫 専治
Katsutaro Ichihara
勝太郎 市原
Koichiro Inomata
浩一郎 猪俣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP4190484A priority Critical patent/JPS60187954A/ja
Publication of JPS60187954A publication Critical patent/JPS60187954A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/10582Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
    • G11B11/10586Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、光磁気記録、熱転写記録などに用いられ、レ
ーザー光等の熱および光を用いて情報の記録、再生を行
う磁性薄膜記録媒体に関するものである。特に、膜面と
垂直な方向に磁化容易軸を有し、安定した円形あるいは
任意の形状の反転磁区を形成することにより、信頼性の
すぐれた情報の記録、再生を行うことが出きる磁性薄膜
記録媒体に関するものである。
〔発明の技術的背景と゛その問題点〕
一般に、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、かつ温
室よシ高いキューリ一温度を有する磁性薄膜はレーザー
光等の光ビームを照射することによって数μm以下の情
報を記録、再生することが出来るので高密度の光磁気記
録媒体として使用することが可能である。現在、このよ
うな光磁気記録媒体として、MnB i 、MnAzG
e等の多結晶金属薄膜、GdCoおよびGdFe等の精
工類−鉄族の非晶質合金薄膜、 GdIG(ガドリニウ
鉄ガーネット)に代表される化合物単結晶薄膜などの膜
面に垂直な方向に磁化容易軸を有する強磁性薄膜が知ら
れている。
MnB1に代表される多結晶金属薄膜は、キー−り温度
を利用して書き込みが行われ、特にKerr回転角が大
きく、且つ室温で数KOeという大きな保磁力を有して
おり、光磁気記録媒体として優れているが、キー−9温
度が高い(MnBlではTe=360℃ぐらい)ために
大きな書き込みエネルギーが必要とする欠点がある。又
、多結晶体であるため化学量論的な組成の薄膜を作製す
る必要があるが、その薄膜の作製が技術的に難しいとい
う欠点がある。一方GdIGに代表される化合物単結晶
では、 GGGLガドリニウガリウムガーネノト単結晶
基板上に磁性単結晶薄膜が形成されるため、単結晶基板
の不均一性に磁気特性の影響を受けやすいこと、又、大
面積の単結晶基板の作製が難しいという欠点がある。
GdCo 、Gd、Feなどのような希工類(RE)−
鉄族(TM)の非晶質金属薄膜では前記のような結晶質
の磁性薄膜と異なり非晶質であるため任意の基体上に大
面積の磁性薄膜を作製することが可能であること、非晶
質金紗薄膜の組成制御が容易であること、および結晶粒
子がないので再生SZN比の良い信号が得られること々
どの優れた利点があることが知られている。膜面に垂直
方向に容易磁化軸を有するGdCo 、GdFeの非晶
質金属薄膜はキー−リ温度或いは、磁気補償温度を利用
して書き込みを行うことが出来る。
例えば、 GdCo、GdFeの非晶質金属薄膜の膜面
に局部的に焦点を合せてレーザ光ytOt当て、それぞ
れの膜物質の補償温度或いはキューり温度付近の温度ま
で加熱する。次にその膜の加熱領域に対して膜面に垂直
に記録したい方向に外部磁場を印加し、その上冷却する
とその部分において反転磁区が形成され、情報が記録さ
れる。この場合膜の保磁力は膜の磁気的に変化する領域
、即ち反転磁区を安定させるのに十分大きいものである
ことが必要である。ところが、 GdCo 、GdFe
の非晶質金属薄膜は室温における保磁力が小さく (5
0uoe以下)、記録された情報が不安定であるという
欠点を有する。そのためGdO代シに一部或いは大部分
子bc置挿して保磁力を大きく シ(IKoe以上にな
る)記録された情報を安定化することが行われている。
しかしTbを置控したため記録した情報検するのに必要
な膜の磁気光学ファラデー効果とカー効果は小゛Sくな
るという欠点があった。
例えばGdFeのファラデー回転角(DF)およびカー
回転角(Dk )は波長633m+の可視光線で測定す
るとθF=1.8X10’ンー、θに=0.35°、 
TbFeではθF=1,0X10!ム、θに=0.25
°である。
従って、検出信号と雑音との比(S/N)が低下してし
まうという問題があった。
〔発明の目的〕
本発明は、か\る点に鑑みなされたもので、上記のよう
な従来の膜面に垂直が方向に磁化容易軸を有する希工類
−鉄族非晶質合金薄膜の欠点を解決した高密度及び高感
度の光磁気メモリに適したファラデー効果およびカー効
果の優れた磁性薄膜記録媒体を提供することを目的とす
る。
〔発明の概要〕
本発明は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、Rx
(Fex−a、bMnaxb)t−x(大中、RはTb
、Gd、Dy、Ho。
Erの少くとも1種からなる重希工類元素、TはFe。
Co、Njの少くとも1種からなる遷移金属、XはTn
Sn、Sb、Pb、Bl 、As、Ga、Atの少くと
も1種からなる元素であり、Xa、bはそれぞれ0.1
<X<0.5 、0.01<a<0.15 、0.01
(b<0.15 、0.02<a+b<0.2の関係を
満足する数である。)の組成から々る非晶質膜を具備し
たことを特徴とする磁性薄膜記録媒体である。
本発明の磁性薄膜記録媒体において、MnとX(In、
Sn、Sb、Pb、Bl、A、s、Ga、At)は77
ラデイ一回転角の増加に寄与する成分であjll、Mn
のみ或いはXのみでは効果が小さいのでMnとXは同時
に含まれることが必要である。この場合、そり包含され
る@a、bはそれぞれ原子比で表示して、o、oiくa
くα15 、0.Oi<b<o、i 5および0.02
くa+bく0.2を満足するように設定される。aが0
.01未満、 blが0.01未満、a+bが002未
満のいずれかでちっても磁性薄膜記録媒における上記し
た効果は小さく、又aが0.25.bが0.15.a+
bが02を超えるとキ、 +7一温度が室温以下となシ
書き込みが111来なくなる。また、RはTb 、Gd
 、Dy 、I−To 、Erのづ〉くとも1種からな
る重希工類元素であり、このような元素を含む場合、膜
面に垂直な方向に磁化邸易軸をもった非晶質合金膜が得
られる。
この凡の含有f#XH0,1以上05未満であることが
必要である。この組成範囲においてのみ膜面と垂直な方
向に磁化容易軸を有する磁性薄膜記録媒体が得られる。
本発明においては、非晶質合金膜の作製は蒸着法で行う
ことが好ましい。蒸発法としては例えば、高周波スパッ
タリング法、直流スパッタリング法。
マクネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタ
リング法、イオンブレーティング法、電子ビーム蒸着法
、真空蒸着法などが挙げられる。又非晶質合金膜は上記
の蒸着法により非磁性基板上に2,0QOA以下の厚さ
に形成され光磁気記録としての磁性薄膜記録媒体に供さ
れる。この非磁性基板は100℃以下の温度に保持する
ことが好ましい。
100℃以上では結晶化しゃすく非晶質合金膜が得にく
いからである。
〔発明の実施例〕
以下1本発明を実施例に基づいて説明する。
(実施例1) 第1表に示した組成の非、品質合金膜7は第1図に示す
高周波スパッタリング装置を用いてガラス基板1上に形
成されるが、それは次のようにして行われる。高周波電
源2を接続したFeターゲットの上にMn、Tb、X、
(Bl 、Sn、Sb、In、Pb、As、Ga、At
)の薄いチップを所定の組成になるよう、所定の数iを
置いた複合ターゲット3t−用いる。そして、スパッタ
リング装置のガス導入バルブ4と排気パルプ5r設けた
チャンバー6内の真空設をlXl0 T。
rrJ上にした後、チャンバー6内に高純度のアルゴン
を導入して3X10−2Torrの圧力でスパシリング
を行い、上記複合ターゲット3に対向して配置されたガ
ラス基板工に200λ〜2oooAの合金膜7を作製し
た。このように作製した合金膜7をX線回折で調べたと
ころ非晶質であった。又、組成を分析した結果、TMa
(Feo9oMno、osBlo、os)7tであった
つ又、試料振動形磁力計を用い磁気特性を調べたところ
、この非晶質合金膜膜面に垂直方向に磁化容易軸を有す
ることが分った。父、この非晶質合金膜よりなる記録媒
のカー効果による再生SN比の値を調べたところMnと
Blf、含まない場合より再生S/N比が最大35%程
度増加することが分った。
上記組成以外の例について第1表に非晶質合金膜より成
る磁性薄膜記録媒体の結果を示した。尚、比較例として
第2図にMnとXを含まない磁性薄膜記録媒体の結果も
併記した。第2図中aは(Mn+73 + ) +bは
(Mn)、cは(Bi )である。同様にXとしてSn
Sb 、 In 、Pb 、As 、Ga 、Atをそ
れぞれ選択し、同様な測定を行ったところBiと同様な
結果が得られた。
第1表 以″F−g、日 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明の非晶質合金膜よシ成る磁
性薄膜記録媒体は、膜面に垂直方向に磁化容易軸k ’
If L、 、 M nとX (Bi 、Sb 、8n
 、 In 、Pb 、As 。
Ga、、AAを同時に含むため、かつファラデー効果お
よびカー効果が大きく、その結果再生S/Nの優れた光
磁気記録媒体或いは熱転写記録媒体金供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は高周波スパッタ装置の概略図、第2図はS/N
特性曲線図。 1・・・基板、2・・高周波電源、3・・ガス導入バル
ブ、4・・・排気パルプ、5・・・真空チャンバー、6
・・・ターゲット、7・・・非晶質合金膜

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有しRx(TI−a−
    bMnaXb) 1−x(但し、RはTb、、I’ld
     、Dy 、Ho 、Erの少くとも1種からなる重希
    工類元素、TはFe、Co、Nlの少くとも1種からな
    る遷移金属、XはBl、In、Sn、Sb。 Pb 、As 、Ga 、Atの少なシとも1種からな
    る元素でありI X l a、bはそれぞれ0.1 <
    X<0.5 、0.01<:a(0,15、0,01<
    b<:0.15 、0.01<:a+b<0.2の関g
    fを満足する数である。)の組成からなる非晶質台金膜
    を具備したことを特徴とする磁性薄膜記録媒体。
JP4190484A 1984-03-07 1984-03-07 磁性薄膜記録媒体 Pending JPS60187954A (ja)

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JP4190484A JPS60187954A (ja) 1984-03-07 1984-03-07 磁性薄膜記録媒体

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JP (1) JPS60187954A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60194505A (ja) * 1984-03-16 1985-10-03 Kyocera Corp 光磁気記録媒体
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