JPS60142203A - 微小距離測定装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明け、第一の部材の表面と、その第一〇部材から９
間的に近接した少なくともひとつの第二の導電性部材の
表面との間の距離を、動的かつ非接触に測定する装置お
よび方法に関する。特に、本発明は、発電機または水力
発電機のような回転機のエアキャップを、恒久的かつ比
較的ｆｔ８光々手法で測定するのに用いて効果のある１
、微小距離を動的かつ非接触に測定する装置および方法
に関するものである。

異常状態においては、発電機のエアギャップの動的測定
をするためにどうしても用い彦ければならない精密な手
段を考慮して、かかる測定をすればよいということが当
業者にはよく知られている。

既知のエアギャップ測定方法の多くハ、写真および光学
技術を必要とし、それらの技術では、測定装置を設置す
るのに比較的広いスペースを必要とし°Ｃいる。このス
ペースは、通常、発電機を開枚するだけの広さを必要と
し、このようなスペース上の要求により、エアギャップ
の測定が散発的にしかできない。従って、例えば、発電
様の回転子と固定子との間の接触を避けるのには恒久的
なコントロールが非常に有用であるのにも拘らず、その
ようなコントロールが不可能となる。

他の既知のエアギャップ測定方法では、渦電流の測定に
基づいたあるいはホール効果に基づいた動作原理の距離
センサを必要としている。そのようなタイプのセンサに
おいては、その動作原理によって、磁界の中では自然と
乱されてし寸う。繰り返すと、このタイプのセンサを用
いては、フ製発電機の通常動作中にエアギャップ測定が
できない。その上回転機のエアギャップ中に直接設置す
るのにｅま向いていないということは別としてもそのよ
うなセンサの読込み値は、メタルラミネーションによっ
て影響を受けて本来の値からは変ってしまう。

本発明の目的ｅま、上述した種々の欠点を除去した、互
いに空間的に近接した二つの導電性部材の表面間の距離
を測定する方法および装置を提供することにある。

詳述すれば、本発明は、発電機の回転子と固定子のよう
に、弘いに空間的に近接した二つの部材を？亀てている
距離を動的かつ非接触に測定する方法および装置に関す
る。ここで、一方の部材は導電性であるが、他方の部材
は必ずしも導電性でなくてもよい。このような装置およ
び方法は、太きな変更をするとと々く、また、極端に広
いスペースを必要とせずに恒久的に用いることができる
。

特に発電機の場合には、発電機を大幅に変更すること々
く、また極端に広いスペースを必便とすることなく、シ
かも、強い磁界の中ですら正確でかつ信頼性を保ちなが
ら、エアギャップ内に本発明装置を恒久的に設置〃する
ことができる。

本発明による装置および方法により、それらの利点を通
して、エアギャップの測定を基にした回転機のあらゆる
状態の研究がし易すくなる。

導電性または非導電性の第一の部材の表面を少なくとも
ひとつの導電性の第二０部材の表面から離間させた距離
を一動的かつ非接触に測定する本発明装置＃け、 互いに電気的に絶縁され、平行に重ね合わされた二枚の
プレートを含み、第一の部材の表面とけ平行となりかつ
その第一の部材の表面とは電気的に絶縁されるように１
例えば発電機の固定子のような第一０部材の表面に位置
決めされた少なくともひとつのセンサと、 センサの二枚のプレートに、５〜１００ボルトとするこ
とがで炒る同一の電圧値で好ましくけ１００キロヘルツ
〜１００メガヘルツの間の周波数の高周波信号を供給す
る手段と、 発電機の固定子の極でもよい第二の導電性部材の表面に
最つども近いセンサのプレートと第二の部材との間で高
周波信号により発生する電流であって、第二の部材の表
面を、第二の部材に最つとも近接しだセンサのプレート
の表面から離間させている距離の逆関数で変化する電流
を測定する手段と、 第一の部組を第二の部材から離間させている距離の値を
測定電流値の関数として決宇する処理手段とを具備した
ことを特徴とする。

−ト述したように１本発明に係る装置は、第二の導電性
部材に最つども近接しだセンサのプレートと第二の部材
との間で高周波信号により発生する電流を測定する手段
を有している。このようＫして測定された電流の強さは
次の方程式で与えられる。

ｊ　エωＣｖ ことで、υ＝２πｆ：ｆＶｉ出力信号の周波数、■は、
第二の導電性部材の表面に最つとも近接したセンサのプ
レートと第二の導電性部材との間の電位差、 Ｃ［、第二の導電性部材の表面に最一つとも近接したセ
ンサのプレートを第二の導電性部本」か６離間している
空間の容量であり、その容量は、第二の導電性部材の表
面に最つとも近接したプレートを第二の導電性部材から
離間している直線距離に逆比例する。

容易にわかるように、センサに供給される信号の周波数
が高くなればなるほどおよび電圧が高く々ればなるｔよ
と、発生電流は大きく々りかつ容易に検出可能となる。

実際上は、電流を発生させるのに用いられる信号Ｖｉ１
００キロヘルツ〜１０メガヘルツの周波数を含むように
選定するのが好ましい。その信号の周波数がこの範囲よ
り低い場合には、容易に測定するには電流の強さが小さ
くなりすぎる。また、周波数帯域が減少するので、信号
を動的に測定で画なくなる。その−Ｆ、発電機の場合に
は、周波数が低すき゛るとノイズが生ずる。一方、周波
数が高すぎ、上述［７だ範囲を越えると、高周波で信号
を処理可能とする増幅器がますます複雑になるという測
定上の問題が生じる。更にまだ、周波数が高すぎると接
地インピーダンスが無視でき々くなる。

理論上は、セ／すの二枚のプレートに印加される電圧は
、強い電流信号を発生するためにはできるだけ太きくＬ
ｌければならない。好ましくは、電圧を５〜１００ボル
トの範囲の値に制限する。

何故ならば、１００ボルト以上は絶縁の問題が生ずる惧
１ｔがある。

どんが場合でも、所定のセンサについては、−吹近似値
における検出電流が、第二の導電性部材に最つとも近接
したセンサのプレートを第二の導電性部材から離間させ
ている距離の逆関数であることを、上記の数式は明瞭に
示している。

Ｉ′１ｌ１１定における非線形性を考慮するために、セ
ンサの構成に対してなされる適切な校正により、測定さ
れた電流値の関数として、センサと第二の導電性部材と
の間の距離の値を決定で微る。この決定では、セ／すの
各タイプの種々の物理的パラメータを考慮している。電
流と距離との関係はコンピュータ内に予め定められてい
て、セ／すが位置決めされた第一の部材を第二の部材か
ら離間されている距離が、センサにより測定された電流
値から容易にわかる。

好ましくけ、高周波信号により発生する電流を測定する
手段は、高周波信号を供給する手段と第二の導電性部材
に最つとも近接したセンサのプレートとの間に直列に接
続された微小インビーダンスを有する。絶縁回路はその
微小インピーダンスに接続されて、そのインビーダ／ス
の両端間で高周波を圧信号を測定するとともに、その測
定信号から測定電流に比例しだ信号を抽出する。この絶
縁回路は、例えば、すべて直列に接続された、絶縁トラ
ンスと、増幅器と、フィルタと、振幅り調器とを有して
いる。

上述した点から容易にわかるように、本発明に係る装ｆ
ｉｌ忙使用されるセンサの動作方法は距離を定める二つ
の導電性表面の種類には関係が々い。

本発明に係る装＊ｈ従ってラミネーションに影譬されな
い。

更に、このセンサは二枚の導電性プレートから成り、二
枚のセンサの一方はその他方から絶縁材によね分離され
ている。そのセンサはできるだけ小さい容積と々るよう
に製造される。これＫより、回転機のエアギャップを測
定するために容易に回転機内に取付けることができる。

その構造から、本発明に係る装置内で用いられるセンサ
を、既存の回転機に修正を加えることなく取付けること
ができる。

事実、本発明に係る装荷は発電機にｌ限って用いられる
ものでｔｉｔ々い。それは、本装置が、理論上は、セン
サと他の導電性壁面との間の距離を測定できるからであ
る。

第一の部材の表面を、その第一の部材に空間的に近接し
た第二の導電性部材の表面から離間させている距離を動
的かつ非接触に測定する本発明方法は、 第一の部材上に上述したような少なくともひとつのセン
サを位置決めし、 二枚のプレートに同一電圧で同一の高周波信号を供給し
、 第二の導電性部材の表面圧最つとも近接したセンサのプ
レートと第二の導電性部材との間で高周波信号によって
発生する電流を測定し、第一の部材と第二の導電性部材
との間に延在する距離の値を、測定された電流値の関数
として決定することを特徴とする。

センサとあらゆる種類の導電性部材との間の距離の測定
が可能であるので、本方法もまだ発電機に限定されない
。

以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。

第１図を参照するに、符号１け、微小距離を動的かつ非
接触に測定する本発明による装置を示している。その装
＃１に、第一の部材の表面３と、第一の部材の表面とに
空間的に近接して置かれている少なくともひとつの第二
の導電性部材の表面５との間に延在している距離を測定
するようになっている。ここで、第一の部材は、導電性
あるいけ非導電性部材であり、例えば、発電機の固定子
のようなものである。第二の部材は必ず導電性であり、
例えば、第一の部材３が固定子である場合には、発電機
の回転子の磁極である。しかし々から、本発明は、一方
をセンタしたり、またに他方を七ノスするもの、すなわ
ち、固定子を発電子の回転子から離間させている距離、
または、その反対に、回転子を発電機の固定子から離間
させている距離を測定するどのようなものＫも用いるこ
とができるとするのが妥当である。

本発明に係る装置１は少なくともひとつのセンサ７を有
し、その七ノサ７ｔ−１導電性の平行に設けられた二枚
のプレート９および１１から成っていて、その二枚のプ
レート９お工び１１Ｖｉ、好適な絶縁材１３により互い
に電気的に絶縁されて重さね合されている。センサ７Ｖ
ｉ第一の部材の表面３−ヒに位置決めされ、二枚のプＶ
　−ト９および１１はその表面３と平行であり、しかも
その表面３からは電気的に絶縁されている。図示したよ
うに、プレート９および１１の電気的な絶縁は絶縁４′
Ａ１３により々されている。

表面３上でのセンサ７の位置決めは、簡単な接着あるい
は他の好適な手段によって行うことができる。発電機の
エアギャップを測定するために、発電機にセンサ７を取
付ける場合には、例えば第２図に示すようなくし状の表
面を得るために溝１５を導電性プレート９および１１０
表面に刻設し、それＫより、できるだけ渦電流を少なく
する。まだ、できるだけ寄生電流を少なくするためＫ　
ｓ　一方のプレートを他方のプレートに対して寸法を増
大させることＫよりプレート９および１１の表面の寸法
を変えてもよいし、あるいは、プレート９および１１を
離間している距離を変えてもよい。

その距離を小さくすれば寄生電流が少なく々ることかわ
かる。どのような場合にも、測定される距離の値を正確
に測定するだめには、各センサの線形曲線を測定するこ
ともやけり必要である。ここで、測定されだ即離の値は
、各センサの測定電流信号値の関数として示される。

本発明に係る装置ｌはまた、センサ７の二つのプレート
９および１１に、同一電圧の同一高周波信号を供給する
手段を有する。それら手段は、５〜１００ボルト、１０
０キロヘルツ〜１０メガヘルツの範囲で動作する高周波
信号発生器１７により構成することができる。１０ボル
ト、４５５キロヘルツでテストしたところ満足できる結
果が得られた。

本発明に係る装置１は、更に、第二の導電性部材の表面
５に最りとも近接しているプレート１１と表面５との間
で高周波信号により発生する電流を絶縁モードで測定す
る手段１９も有している。

￥に′−！た、本発明に係る装置は、第一の部材の表面
３を第二の導電性部材の表面５から離間させている距離
の値を、測定電流値の関数として決定する処理手段２１
をも有している。

上述したように、測定電流値は、第二の導電性部材の表
面５を、その第二の導電性部材に最つとも近接したセン
サ７のプレート１１の表面から離間させている距離の逆
関数として変化する。理論上、測定電流値は、プレート
１１を表面５から離間させている距離に逆比例すべ＾も
のである。しかしながら、実際上、検出電流値は、多く
のパラレル効果によって、第３図に示されるような第一
近似値である曲線ｉ　＝　ｆ　（ｖ）となる。処理装時
２１は、表面３および５を離間させている距呻ｄ　＋　
Ｄの値を測定電流の各測定値ｉについて得るために、セ
ンタの各タイプの構造によって決定される線形化曲線に
そのことを考慮している。

本発明によれば、異々りた導線を介して同一のパルス発
生器１７と電気的に接続されている二つの導電性プレー
ト９および１１によりセ／す７が構成されているという
ことが必須である。上で示したように１表面５に最りと
も近接しているプ１／−ト１１が所望の測定を達成する
のに専ら用いられ、そのプレート１１とパルス発生器１
７との間に直列に電流検出器１９が設けられている。プ
レート９はプレート１１のマスクとして供される必印の
機能を有し、ている。それにより、第一の部材が導電性
の場合にその第一の部材の表面３とセンサ７との間で高
周波信号によって発生する電流が、プレー１４１と第二
の導電性部材の表面５との間に発生する電流の所望の測
定を完全に歪めてしまうということが防止される。その
マスキング機能により、同一電圧の下で同一の高周波信
号をプレート９およびプレート１１に供給するというこ
とが何故必須であるかということが説明できる。所望の
電気的絶縁が得らられる場合には、絶縁材１３の選択が
イＩ′１１故重要でないかかについてもそのマスキング
機能により説明できる。

第４図に、本発明に係る装置に用い得る測定、検出およ
び補正回路の構成図を示す。この図においても、高周波
信号発生器１７が示されていて、その信号発生器１７け
、第一の部材の表面３と共に固定コンデンサＣｆを形成
するプレート９に高周波信号を供給する。プレート１１
ｆ′ｉ、第二の導電性部材の表面５と共に可変コンデン
サＣｖを形成する。各種のセンサに適した寄生コンデン
サＣｐも示されでいる。第二の導電性部材の表面５に最
つとも近接したセンサプレート１１と信号発生器１７と
の間に１ｈ列に敗付けられている微小インピーダンス２
３によって、変流器が効果的に構成されている。電流検
出器１９は同様に低インピーダンス２）３に接続されて
いる絶縁回路を有し、絶縁された状態で、この低インピ
ーダンスの両端で高周波電圧信号を測定し、そのように
して測定された信号から、検出電流に比例した信号を抽
出する。

この回路は絶縁トランス２５を有し、その一方の側は低
インピーダンスの両端に、他方の側は可訓髄利得増幅器
２７に接続されている。増幅器２７は既知のタイプの振
幅復調器２９に接続され、その振幅変調器２９ｔ−ｔフ
ィルタ３１を介して増幅器２７の信号を受信する。振幅
復調器２９け、検出電流に比例しだ要求信号を出力する
と共に、その要求信号を処理手段２１に送信する。処理
手段２１については後で詳述する。本装置の迅速かつ簡
便な校正を行うだめ、電流検出器１９が校正手段３３を
組込んでもいる。その校正手段Ｖｉ３３Ｈ１ｍ期間、可
変コンデンサＣｖを復帰可能である。校正手段３３けス
イッチ３５を介して接続可能であり、所定値の二つのイ
ンピーダンス３７および３９によって構成することがで
き、これにより、二つの基準信号（ハイキャリブレーシ
ョンおよびローキャリブレーション）を得ることが可能
となる。これらインピーダンス３７および３’ｌｔ、リ
レー３８により順次に接続が可能となる。各データを読
込むの罠先立って、利得やオフセットを簡単に決定でき
るように増幅器や発電機のいくりかの変形例を考慮する
ことができるようになるという意味で、この校正手段３
３を使用することは比較的重要である。

第５　Ｉ！２＋に示されるように、処理手段２１にＶｉ
電流検出器１９を介して七／す７から信号が供給される
。

本発明の第一実施例によれば、との処理手段２１け、セ
ンサ７によって測定された電流信号を要求されるまで格
納するようにされているマイクロプロセッサ４３を有す
る。要求時に、それら電流信号はマイクロプロセッサ４
３からコンピュータ４５に送出される。そのコンピュー
タ４５には、外部記憶装置４７（ディスクまたはその他
のもの）および視覚手段４９（プリ／りまたはその他の
もの）が設けられている。複数のセンサ７が用いられる
場合には、複数のセンサ７の各々に対応したマイクロプ
ロセッサ４３の各々の中に記憶された信号を個々に処理
できるように、コンピュータ４５を、各センサ７と対応
したマイクロプロセッサ４３に接続することもできる。

−例として、第５図の破線に示すように、他のマイクロ
プロセッサ４３への可能゛な接続が図示されている。各
測定電流の強さに対応した距離を得るために、コンピュ
ータ内に各センサに対応した線形化データを定めること
は研究室内でなすことができる。

上に示したように、増幅器および高周波信号発生器の利
得およびオフセットの変化を考慮に入れるために、各デ
ータの読込み以前に校正をすることか必要である。

本発明の他の実施例によれば、処理手段２１がアラーム
回路５１を有していて、そのアラーム回路はそれ単独で
も、あるいけ上述した回路と共にでも用いることができ
る。この回路５１を設けることにより１測定電流の値が
予め定めた臨界距離と等しくなりだ場合にすぐにアラー
ム信号を付与することがで作るという利点が得られる。

アラーム回路は容易に恒久的に接続可能であり、そのア
ラーム回路の使用は、発電機または他の回転機を連続的
におよび恒久的にコントロールする場合に主に効果があ
る。

〈−例〉 発電機のエアギャップを測定する本発明に従った装置の
プロトタイプは発明者等によって完成されてテストされ
た。そのために、くシ状型プレートセ／すが作成され、
発電機の回転子を分解することなくその固定子に接着さ
れた。このようにして取付けられたセンサの仕様および
テストが実行された種々の条件は下記の通りである。

センサの寸法　ｈ＝２００ｍｍ ｔ＝２５ｍｍ ｄ　＝　１１ＴＩＴｎ 最高温度　１２５℃ サンプリングの割合　１秒間に約５５００サンプル（−
磁極当り約４７サン プル、発電周波数６０キロ ヘルツ） 読込値の記憶　（約３０，０００サンプル）第一のテス
トモード　全サンプルの記憶（約６５０磁極） 第二のテストモード　各磁極の最小エアギャップの記憶
（約３ＱＯＯＯの読 込み） このように実行されたテストにより、種々の動作条件下
での４ミリメートル〜２５ミリメートルの範囲における
フルスケールで１チの全体精度を有する測定か行なわれ
た。この点において、これら槙−々の動作条件下で得ら
れた結果を、回転子上の同一の位置で正確にサンプリン
グを開始できるようＫした同期ボックスを使用すること
により、ひとつのテストから他のテストｔで直接に比較
した。このようにして実行したテストにより、発電機に
おける磁界や加速等のようなどのような乱れによっても
測定が影響を受けなかったことがわかった。

発明者等の結果を＠６図に示す。この場合、発明者等は
、固定子上の一点に対する検数の磁極の形状に注意しま
た。第７図の曲線も同様に発明者等の結果を示す。この
曲線は、被試験機の固定子を回転子の７４の磁極から離
間している最小距離を示している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る装置の原理を示す構成図、第２図
は、発電機のエアギャップを測定するだめの、本発明に
従って用いられるセンサの表面を示す平面図、第３図は
、センサを、それと対向する導電性プレートから離間さ
せている距離の関数として測定される電流の値を示す曲
線の図、第４図は、本発明の構成の中で用いられる、測
定、検出および校正の回路を示す回路図、第５図に、本
発明に係る装置の処理手段を示すブロック図、第６図は
、発電機の固定子上のボイノトに関する、発電機の回転
子のいくつかの磁極の形状の線図、第７図は、発１！機
の固定子上のボイ／トに関する、回転子の各磁極の最小
距離を示す線図である。 ３．５・・・第１及び第２の部材、７・・・センサ、９
．１１・・・導電性のプレート、１３・・・絶ＭＵ、１
５・・・溝、１７・・・高周波信号発生器、１９・・・
電流検出器、２１・・・処理手段、２３・・・低インピ
ダンス。 代理人　鵜　沼　辰　之 □ ■ 第１図 第３図 奪

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　第一の部材の表面と、該第−の部材と空間的に
   近接した少々くともひとつの導電性の第二の部材の表面
   との離間距離を動的かつ非接触に測定する微小距離測定
   装置において、 互いに電気的に絶縁され、平行に重ね合わされた二枚の
   プレートを含み、該二枚のプレートが、前記第一の部材
   の表面と電気的に絶縁され、かり、当該第一の部材の表
   面とけ平行となるようにしてその第一の部材の表面上に
   位置決めされた少なくともひとつのセンサと、 前記センサの二枚のプレートに、同一電圧で同一の高周
   波信号を供給する第一の手段と、前記第二の部材の表面
   に最りとも近接１〜た前記センサのプレートと前記第二
   の部材との間で前記高周波信号により発生する電流であ
   って、前記第二の部材の表面と、当該第二の部材に最と
   も近接した前記センサのプレートとの表面の離間距離の
   逆関数で変化する電流を測定する第二の手段と、測定さ
   れた電流値の関数として、前記第一の部材と前記第二の
   部材との離間距離の値を決定する処理手段とを具備した
   ことを特徴とする微小距離測定装置。 （２、特許請求の範囲第１項に記載の装置において、前
   記セフすに供給される高周波信号ａｉｏ。 キロヘルツ−１０メガヘルツの間の周波数であることを
   特徴とする微小距離測定装置。 （３）特許請求の範囲第１項に記載の装置において、前
   記二枚のプレートに印加される電圧Ｖ′ｉ５〜１００ボ
   ルトの間の値ゼあることを特徴とする微小距離測定装置
   。 （４）　特許請求の範囲第１項に記載の装置において、
   前記第二の手段は、 前記第二の部材に最つとも近接した前記センサのプレー
   トとｌ前記第一の手段との間に百列九接続された低イン
   ピーダンスと、 前記低インピーダンスに接続され、絶縁状態で、前記低
   インピーダンスの両端子における高層ｖｌ電Ｆｆ−信号
   を測定するとともに、その測定された信号から検出され
   た電流に比例した信号を抽出する絶縁回路とを有するこ
   とを特徴とする微小距離測定装置。 （５）特許請求の範囲＠４項に記載の装置において、前
   記絶縁回路は、その一方の側が前記低インピーダンスの
   両端子に接続され、他方の側が増幅器に接続された絶縁
   トランスと、振幅復調器とを有することを特徴とする微
   小距離測定装置。 （６）特許請求の範囲第５項に記載の装置において、前
   記増幅器は、可調整利得増幅器であり、該増幅器と前記
   振幅復調器との間にフィルタが設けられたことを＠徴と
   する微小距離測定装置。 （７）特ＩＰ［請求の範囲第１項に記載の装置において
   、前記処理手段は、前記センサの種々の物理的パラメー
   タの関数として予めプログラムされたコノピユータを有
   し、そのコノピユータは、前記センサに適した寄生効果
   であって、測定された電流信号の値に影響を与える寄生
   効果を考慮しながら、前記センサの測定電流信号の値に
   対応した実距離を決定することを特徴とする微小距離測
   定装置。 （８）特許請求の範囲第７項に記載の装置において、前
   記処理手段は、前記第二の手段と前記コノピユータとの
   間に接続されたマイクロプロセッサを有し、そのマイク
   ロプロセッサは、測定された電流信号が前記マイクロプ
   ロセッサに供給されるまでその電流信号を格納すること
   を特徴とする微小距離測定装置。 （９）特許請求の範囲第７項に記載の装置において、前
   記処理手段は、前記コンピュータにより決定された値を
   格納する手段と、その決定された値を視覚化する手段と
   を有することを特徴とする微小距離測定装置。 （１０）　特許請求の範囲第８項に記載の装置において
   、前記処理手段はアラーム回路を有し、そのアラーム回
   路は、前記センサと対応したマイクロプロセッサと並列
   に、各センサの前記第二の手段と接続されて、測定電流
   が予め定めた臨界値と一致した場合にアラーム信号を直
   ぐに付与することを特徴とする微小距離測定装置。 （１１）　特許請求の範囲第１項に記載の装置において
   、前記処理手段はアラーム回路を有し、測定電流が予め
   定めた臨界値と一致した場合にアラーム信号を直ぐに付
   写することを特徴とする微小距離測定装置。 （１２）　特許請求の範囲第１項に記載の装置において
   、前記センサをひとりだけ設けたことを特徴とする微小
   距離測定装置。 （１３）　％！ｌ′Ｆ稍求の範囲第１項に記載の装置に
   おいて、前記センサを少なくとも二つ設け、その二つの
   センサけ、前記第一の導電性部材上に、互いに間隙をお
   いて設けられたことを特徴とする微小距離測定装置。 （１４）　特許請求の範囲＠４項、第８項および第１１
   項のうちのいずれか一項に記載の装置において、前記第
   一および第二の導電性部材は発電機の回転子および固定
   子であり、測定距離は前記発電機のエアギャップの距離
   であり、前記センサの二枚のプレートの表面には溝が刻
   設されて渦電流の発生を減少するくし型表面を得ること
   を特徴とする微小距離測定装置。 （１５）　特許請求の範囲第４項、第１０項および第１
   １項のうちのいずれか一項に記載の装置において、前記
   第一および第二の導電性部材は発電機の回転子および固
   定子であり、測定距離は前記発電機のエアギャップであ
   ゆ、前記高周波信号は、ピークピーク値１０ボルト、周
   波数４５５キロヘルツであることを特徴とする微小距離
   測定装置。 （１６）　特許請求の範囲第４項〜第６項のいずれかノ
   項ニ記載の装置において、前記コンピュータに基準信号
   を供給する校正手段を更に有することを特徴とする微小
   距離測定装置。 （１７）　第一の部材の表面と、該第−の部材と空間的
   に近接した少なくともひとりの導電性の第二の部材の表
   面との離間距離を動的かつ非接触に測定するにあたり、 互いに電気的に絶縁され、平行に重ね合わされた二枚の
   グレートを含む少なくともひ七つのセンサを、当該二枚
   のプレートが、前記第一の部材の゛表面とｉｌｔ電気的
   に絶縁され、かつ、当該第一の部材の表面とは平行とな
   るようにしてその第一の部材の表面上に位置決めＬ２、 前記センナの二枚のプレートに、同一電圧で同一高周波
   信号を供給し、 前記第二の部材の表面に最つとも近接した前記セッサの
   プレートと前記第二の部材との間で前記高周波信号によ
   り発生するＭ１流であって、前記第二の部材の表面と、
   当該第二の部材に最とも近接し７た前記セッサのプレー
   トの表面との離間距離の逆関数で変化する電流を測定し
   、 測定された電流値の関数として、前記第一の部材と前記
   第二の部材との離間距離の値を決定することを特徴とす
   る微小距離測定方法。 （１８）　請求の範囲第１７項に記載の方法において、
   前記二枚のプレートに供給される高周波信号は、５〜１
   ００ボルトの電圧下で１００キロヘルツ〜１０メガヘル
   ツの間の周波数であることを特徴とする微小距離測定方
   法。 （１９）　４９　！Ｉ’Ｆ　請求の範囲第１７項に記載
   の方法において、高周波信号を出力する手段と前記第二
   の部材Ｖご最つとも近接したセッサのプ！ノートとの間
   ｒ（直列に接続された低イノビーダ／スの両端子におい
   て絶縁状態で高周波信号を測定し、そのようにして測定
   された信号から、検出された電流に比例した信号を抽出
   することにより電流測定を行うようにすることを特徴と
   する微小距離測定方法。 （２０）　特許請求の範囲第１７項に記載のｈ′法にお
   いて、前記セッサの種々の物理的パラメータの関数とし
   て予めプロゲラｌ、されたコンピュータにより、前記第
   一および第二の部材を離間させている距離の値を測定電
   流値の関数として決定して、前記センサに適（、た寄生
   効果であって、測定された電流信号の値に影響を与える
   寄生効果を考慮しながら、前記七／ザにより…１］定さ
   れた電流信号の値に対応した実距離の値を決定すること
   を特徴とする微小距離測定方法。 （２１）　特許請求の範囲第１７項に記載の方法におい
   て、各電流測定に先立つて、そのコンピュータに接続さ
   れた校正手段により測定装置を校正する一手順を付加し
   たことを特徴とする微小距離測定方法。 （２２）　特許請求の範囲第１７項に記載の方法におい
   て、前記第一および第二の部材は発電機の固定子および
   回転子であり、前記発Ｍ、機のエアギャップの距離を測
   定し、前記センサのプレートの表面にＶｉ溝が刻設され
   て渦電流の発生を減少することを特徴とする微小距離測
   定方法。 ０３）　特ＦＦ　請求の範囲第１７項に記載の方法にお
   いて、前記第一および第二の部材は発電機の固定子およ
   び回転子であり、前記発電機のエアギャップの距離を測
   定し、ビークビーク値１０ボルトで周波数４５５キロヘ
   ルツの高周波信号を用いることを特徴とする微小距離測
   定方法。