JPS59185028A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS59185028A JPS59185028A JP58059664A JP5966483A JPS59185028A JP S59185028 A JPS59185028 A JP S59185028A JP 58059664 A JP58059664 A JP 58059664A JP 5966483 A JP5966483 A JP 5966483A JP S59185028 A JPS59185028 A JP S59185028A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- layer
- film
- thin film
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録媒体に関し、更に詳細には、耐候性の
改良された金属薄膜型磁気記録媒体に関する。
改良された金属薄膜型磁気記録媒体に関する。
磁気記録媒体の多くは非磁性支持体上に、酸化物磁性粉
末あるいは合金磁性粉末等から成る磁性体粉末を塩化ビ
ニル−酢酸ビニル共重合体、スチレン−ブタジェン共重
合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂等のバインダー
と共に塗布、乾燥して得らnる。
末あるいは合金磁性粉末等から成る磁性体粉末を塩化ビ
ニル−酢酸ビニル共重合体、スチレン−ブタジェン共重
合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂等のバインダー
と共に塗布、乾燥して得らnる。
近年、高密度記録に適する磁気記録媒体が一層強く望ま
−i′1.6に至り、前述したバインダーケ使用せfに
真空蒸着、スパッタリング、イオンブレーティング、メ
ッキ等の方法により強磁性金属薄膜を支持体上に形成し
た薄膜型磁気記録媒体が着目さnている。
−i′1.6に至り、前述したバインダーケ使用せfに
真空蒸着、スパッタリング、イオンブレーティング、メ
ッキ等の方法により強磁性金属薄膜を支持体上に形成し
た薄膜型磁気記録媒体が着目さnている。
しかし、強磁性金属薄膜は腐食しゃすい欠点がある。こ
の欠点全解決するために、従来がらイ:flj、々の改
良が提案さnている。例えば、94開昭よθ−7o<t
to2号には、磁性金属薄膜上に。・0.2μmから0
.o7μmocr203膜を設けろことが開示さnてい
る。1だ、特lm45E!r/ ’17’l。
の欠点全解決するために、従来がらイ:flj、々の改
良が提案さnている。例えば、94開昭よθ−7o<t
to2号には、磁性金属薄膜上に。・0.2μmから0
.o7μmocr203膜を設けろことが開示さnてい
る。1だ、特lm45E!r/ ’17’l。
7号には、磁性金属薄膜をクロム化合物葡含有丁ゐ溶液
で処理することにニジクロムの酸化物層を設けることが
開示されている。
で処理することにニジクロムの酸化物層を設けることが
開示されている。
しかしながら、約309λ以上のCr金桟を強磁性金属
薄膜上にオーバーコートした場合、滑性が劣化する(特
開昭66−73732号〕。1だ、イオンブレーティン
グ、スパッター、蒸漕法等の手段で作製さrt、た磁性
金属γ埠膜盆陪液などに浸す処理は、工程上でも袂雑に
なり、ピンホール等の欠陥を住じゃすくするために後の
処理も同イ浄な具全技術を利用した処理法が望まnる。
薄膜上にオーバーコートした場合、滑性が劣化する(特
開昭66−73732号〕。1だ、イオンブレーティン
グ、スパッター、蒸漕法等の手段で作製さrt、た磁性
金属γ埠膜盆陪液などに浸す処理は、工程上でも袂雑に
なり、ピンホール等の欠陥を住じゃすくするために後の
処理も同イ浄な具全技術を利用した処理法が望まnる。
本発明は、従来における以上のような点を鑑みなさ扛た
ものである。
ものである。
本発明の目的は耐候性の優れた強磁性金塊薄膜型磁気記
録媒体を提供するにある。
録媒体を提供するにある。
本発明の上記の目的は、非磁性支持体上に、表面近傍に
酸素を多く含む磁性金属薄膜及びその上に10λ〜/2
0λの膜厚のCr化合物層を形成させることによって達
成さ几る。
酸素を多く含む磁性金属薄膜及びその上に10λ〜/2
0λの膜厚のCr化合物層を形成させることによって達
成さ几る。
本発明の磁気記録媒体は非磁性支持体とその上に設けら
lf″1.に強磁性金属薄膜より戚っている。本発明に
用いらnる支持体としてはポリエチレンテレフタレート
、ポリイミド、ポリアミド。ポリ塩化ビニル、三酢酸セ
ルロース、ポリカーボネート、ポリエチレンナフタレー
トのようなプラスチックフィルムが好ましいが、At、
Cu、5LIS等の非磁性金属、又はガラス、セラミッ
クス等無機質の支持体も使用でき心。こnらの支持体に
は、強磁性金属薄膜を形成する而と反対の面に無似物籾
子及びバインダーを含有する層を設けてもよい無機物粒
子として(グ炭酸カルシウム、カーボンブラック粒子等
があり、バインダーとしては、ニトロセルロース、ポリ
ウレタン、イソシアイ・−ト、ポリエステル、又はこ扛
らの混合物が好ましい。
lf″1.に強磁性金属薄膜より戚っている。本発明に
用いらnる支持体としてはポリエチレンテレフタレート
、ポリイミド、ポリアミド。ポリ塩化ビニル、三酢酸セ
ルロース、ポリカーボネート、ポリエチレンナフタレー
トのようなプラスチックフィルムが好ましいが、At、
Cu、5LIS等の非磁性金属、又はガラス、セラミッ
クス等無機質の支持体も使用でき心。こnらの支持体に
は、強磁性金属薄膜を形成する而と反対の面に無似物籾
子及びバインダーを含有する層を設けてもよい無機物粒
子として(グ炭酸カルシウム、カーボンブラック粒子等
があり、バインダーとしては、ニトロセルロース、ポリ
ウレタン、イソシアイ・−ト、ポリエステル、又はこ扛
らの混合物が好ましい。
支持体がプラスチックフィルムである場合は、表面粗さ
くRa)が00012μm以下であることが好ましい。
くRa)が00012μm以下であることが好ましい。
本発明に用いらfLる磁性金桃材4Cトとしてぽ・Fe
、Co、Ni等の金属、あゐいid F e −Co、
Fe−N i、 c、 −N ib Fe−Co −N
1sFe−Cu、Co−Cu、Ni−Cu、I’e−
Ur、Co−Cr、N1−Ur、Fe−Co−(、:r
、1〜1−C□−Cr%Fe−Co−Ni−Ur %
k王取分とする強磁性合金である。特に好ましいのはC
OあるいはCoを7!崖量係含有するような合金である
。
、Co、Ni等の金属、あゐいid F e −Co、
Fe−N i、 c、 −N ib Fe−Co −N
1sFe−Cu、Co−Cu、Ni−Cu、I’e−
Ur、Co−Cr、N1−Ur、Fe−Co−(、:r
、1〜1−C□−Cr%Fe−Co−Ni−Ur %
k王取分とする強磁性合金である。特に好ましいのはC
OあるいはCoを7!崖量係含有するような合金である
。
更に、添加物としてW、IVio、’f I、+′v1
g、5IAt等を少蓋含んでもよい。
g、5IAt等を少蓋含んでもよい。
本発明の金属薄膜は、前記の螢h4ヶ酸系芥囲気中で支
持体上に斜め蒸着して得らn/)。この淘膜は<t−o
o〜コoooo人が好ましい。
持体上に斜め蒸着して得らn/)。この淘膜は<t−o
o〜コoooo人が好ましい。
金属を支持体に斜め蒸着する際に、支持体の走行側にあ
る魚着部分に酸素全供給すると、強磁性金属薄膜の表面
近傍に酸素がより多く含有さj、る。
る魚着部分に酸素全供給すると、強磁性金属薄膜の表面
近傍に酸素がより多く含有さj、る。
酸素含有量のプロファイルの/例1l−1′第1図に示
さ九る。第1図はス/?ツタ一時間と薄膜中の成分量の
関係を示すグラフで、オージェ電子分光法により測定し
たものである。
さ九る。第1図はス/?ツタ一時間と薄膜中の成分量の
関係を示すグラフで、オージェ電子分光法により測定し
たものである。
強磁性金属薄膜層上に形成されるクロム化合物層は、C
r、Cr−0あるbはこ几らの一方又は両方とFe、N
i、Mnb Siなどの不純物全含み、膜厚は70〜
1.2OAである。)g厚が/、tOAより大きくなる
と耐候特性は引き続き向上するが、スペースロスの増及
((よ、bt磁変換特性の劣化が生じ、寸だ磁気記録媒
体の滑性が悪く々る。
r、Cr−0あるbはこ几らの一方又は両方とFe、N
i、Mnb Siなどの不純物全含み、膜厚は70〜
1.2OAである。)g厚が/、tOAより大きくなる
と耐候特性は引き続き向上するが、スペースロスの増及
((よ、bt磁変換特性の劣化が生じ、寸だ磁気記録媒
体の滑性が悪く々る。
走行特性、スチル耐久特性を向上させるために、本発明
による磁気記録媒体上に更に、潤滑層を設けてもよい。
による磁気記録媒体上に更に、潤滑層を設けてもよい。
前記のCr化合物層上に形成さf’L /)@滑層は高
級力旨肪酸、脂肪酸エステル、又はこ−nらの組合せを
含有する。具体的には、高級脂肪酸としては、ラウリン
敢、ミリスチン酸、ノξルミチン酸、ステアリン酸、ベ
ヘン酸、オレイン酸、リノール酸、リルン酸、アラキド
ン酸等があり、脂肪酸エステルとしては、ステアリン酸
メチル、ノミルミチン酸エチル、ステアリン限モノグリ
セリド等かあ/)。潤滑層は蒸倉法、イオンブレーティ
ング法又は通常の塗布法を用いて形成さn2ても良い。
級力旨肪酸、脂肪酸エステル、又はこ−nらの組合せを
含有する。具体的には、高級脂肪酸としては、ラウリン
敢、ミリスチン酸、ノξルミチン酸、ステアリン酸、ベ
ヘン酸、オレイン酸、リノール酸、リルン酸、アラキド
ン酸等があり、脂肪酸エステルとしては、ステアリン酸
メチル、ノミルミチン酸エチル、ステアリン限モノグリ
セリド等かあ/)。潤滑層は蒸倉法、イオンブレーティ
ング法又は通常の塗布法を用いて形成さn2ても良い。
本発明によnば、表面近傍に酸素を多く含む金ハ磁性薄
膜(例えばCOもしくはCoを含有すゐ合金)上に膜厚
10−/2OAのクロム化合1′〃層全形成したもので
あり、この島朱、従来例に児ら几た様に他の欠点をlセ
じすに、;する共τ大巾に減少することができる。
膜(例えばCOもしくはCoを含有すゐ合金)上に膜厚
10−/2OAのクロム化合1′〃層全形成したもので
あり、この島朱、従来例に児ら几た様に他の欠点をlセ
じすに、;する共τ大巾に減少することができる。
即ち、従来のオーバーコート何強Ge性金属薄膜では、
オーバーコートの111」隙紮辿って侵入した水酸基が
磁性金属薄膜層に直接接触して魂しく爬賞を進行させた
。
オーバーコートの111」隙紮辿って侵入した水酸基が
磁性金属薄膜層に直接接触して魂しく爬賞を進行させた
。
こf′Lに対して、不発明では、白味1住に↑オ几たC
r化合物層が表面近傍に多く酸素全含有した金す4イム
性薄膜上に強固に万一バーコートをfI−でいろこと、
磁性金属薄膜表面が耐候性の優nた酸化層で被覆されて
いるという、!京の効果により、水酸基の侵入が防止さ
nるとともに、磁性金丸薄N/mにたとえ侵入しても腐
食はほとんど進行しなくなり、仮に生じても非常に長い
時+Mjk要する。以下実施例に従って説明する。
r化合物層が表面近傍に多く酸素全含有した金す4イム
性薄膜上に強固に万一バーコートをfI−でいろこと、
磁性金属薄膜表面が耐候性の優nた酸化層で被覆されて
いるという、!京の効果により、水酸基の侵入が防止さ
nるとともに、磁性金丸薄N/mにたとえ侵入しても腐
食はほとんど進行しなくなり、仮に生じても非常に長い
時+Mjk要する。以下実施例に従って説明する。
実施例1
ポリエチレンテレフタレートフィルム(J123μm)
に!×/θ torrの112素雰囲気下で組成Co
、6Niα2の合金全入射角≠50で斜方入射蒸着し、
第7図に示さ1−るCe、Ni、0分布を有する厚さ/
4t00Aの磁性金属薄M層ケ形成しθ 罠。その後、該層上にCイを1.どX / 0 ’t
orrの真空度で蒸着し、厚さ30Aのクロム層會形成
した。
に!×/θ torrの112素雰囲気下で組成Co
、6Niα2の合金全入射角≠50で斜方入射蒸着し、
第7図に示さ1−るCe、Ni、0分布を有する厚さ/
4t00Aの磁性金属薄M層ケ形成しθ 罠。その後、該層上にCイを1.どX / 0 ’t
orrの真空度で蒸着し、厚さ30Aのクロム層會形成
した。
以上説明し罠媒体を用いて耐候特性の評価全行なった。
計1曲はtooc、りθ%RHのサーモ装置内に2週間
保持し′fc後の腐食全観察することにより行なったが
、錆の発生は認めら庇なかった。
保持し′fc後の腐食全観察することにより行なったが
、錆の発生は認めら庇なかった。
実施例2
実施例1と同様な方法により形成さfl−た金族磁針
性薄膜上に、酸系ガスf / 005CCf−流して乙
×/ 0 ’ torrの真空度の菌系汀囲気下で1
3゜!乙μHzの高周波電力全200wattコイルに
印加させて、放電を生じさせ/こ亦囲気下でしrの蒸着
2行なって5膜厚zOAのCr2O3膜;曽葡形成した
。
×/ 0 ’ torrの真空度の菌系汀囲気下で1
3゜!乙μHzの高周波電力全200wattコイルに
印加させて、放電を生じさせ/こ亦囲気下でしrの蒸着
2行なって5膜厚zOAのCr2O3膜;曽葡形成した
。
この媒体を用いて実施例1と同様なriot欲特性の評
価を行なったところ、実施例1と1し」様錆のう自生は
ほとんどにめら1しなかつ罠。−まπ、Cr 2(J3
膜層についてはESCA測定から1宝はこの組成である
ことが確めらル罠。
価を行なったところ、実施例1と1し」様錆のう自生は
ほとんどにめら1しなかつ罠。−まπ、Cr 2(J3
膜層についてはESCA測定から1宝はこの組成である
ことが確めらル罠。
比較例1
.23μ>n 厚ポリエチレンテレフタレートフィルム
ベース上にAX/ 0 ” torr(D共免度の下
でC□、6Ni O,2の組成の合金全入射角t3°で
斜刃入射蒸着全行ない厚み/≠ooAt、i)爺祠嶽ぜ
待膜層3?形成した。その後、肢ルl上にCrτJ×1
0−10−5t+7)X窒にで膜厚≠jAのCrノmk
形at、7こ〇 この媒体を用いて実施例1と同様な耐候特性の評価を行
なったところ、発錆が認めらfした。1だ、上記の評価
を行なう前後の飽和磁化の減少率(減磁第3)を求め、
実施例1〜2の試料と合せて表−/に示した。
ベース上にAX/ 0 ” torr(D共免度の下
でC□、6Ni O,2の組成の合金全入射角t3°で
斜刃入射蒸着全行ない厚み/≠ooAt、i)爺祠嶽ぜ
待膜層3?形成した。その後、肢ルl上にCrτJ×1
0−10−5t+7)X窒にで膜厚≠jAのCrノmk
形at、7こ〇 この媒体を用いて実施例1と同様な耐候特性の評価を行
なったところ、発錆が認めらfした。1だ、上記の評価
を行なう前後の飽和磁化の減少率(減磁第3)を求め、
実施例1〜2の試料と合せて表−/に示した。
表−/
第1図はオージェ電子分光法にょシ測だし7こ強磁性金
属薄膜中の成分量とスパッタ一時間の関係?示すグラフ
である。 特、ff出願人 富士写真フィルム株式会付第1図 スハーシターM聞(a、u) 手続補正書 − 昭和31年を月/f1 特許庁長官殿 1、事件の表示 昭和sr年 特願第 jりAA
4’号2、発明の名称 磁気記録媒体 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人性 所 神奈
川県南足柄市中沼210番地名 称(520)富士写真
フィルム株式会社生 補正の対象 明細書の1発明の
詳細な説明」の欄 五 補正の内容 (1)明細書筒!頁20行「含有する。」ヲ「含有して
もよい。」と補正する。 (2)同書第7頁10行(CO,1NiO,2Jf[C
oO,lN10.jJと補正する。 (3)同書第ざ頁16行[COlざNiO,2Jf 「
Co O、ざNiO,コ」と補正する。
属薄膜中の成分量とスパッタ一時間の関係?示すグラフ
である。 特、ff出願人 富士写真フィルム株式会付第1図 スハーシターM聞(a、u) 手続補正書 − 昭和31年を月/f1 特許庁長官殿 1、事件の表示 昭和sr年 特願第 jりAA
4’号2、発明の名称 磁気記録媒体 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人性 所 神奈
川県南足柄市中沼210番地名 称(520)富士写真
フィルム株式会社生 補正の対象 明細書の1発明の
詳細な説明」の欄 五 補正の内容 (1)明細書筒!頁20行「含有する。」ヲ「含有して
もよい。」と補正する。 (2)同書第7頁10行(CO,1NiO,2Jf[C
oO,lN10.jJと補正する。 (3)同書第ざ頁16行[COlざNiO,2Jf 「
Co O、ざNiO,コ」と補正する。
Claims (1)
- 非磁性支持体上に強磁性金属薄膜とクロム化合物層をこ
の順に有し、該強磁性金属薄膜は表面近傍に酸素を多く
含有し、且つ前記クロム化合物層の厚さがlO〜ハ20
Aであることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58059664A JPS59185028A (ja) | 1983-04-05 | 1983-04-05 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58059664A JPS59185028A (ja) | 1983-04-05 | 1983-04-05 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59185028A true JPS59185028A (ja) | 1984-10-20 |
Family
ID=13119686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58059664A Pending JPS59185028A (ja) | 1983-04-05 | 1983-04-05 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59185028A (ja) |
-
1983
- 1983-04-05 JP JP58059664A patent/JPS59185028A/ja active Pending
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