JPS59109810A - 長さ測定装置 - Google Patents
長さ測定装置Info
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- JPS59109810A JPS59109810A JP58220826A JP22082683A JPS59109810A JP S59109810 A JPS59109810 A JP S59109810A JP 58220826 A JP58220826 A JP 58220826A JP 22082683 A JP22082683 A JP 22082683A JP S59109810 A JPS59109810 A JP S59109810A
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は二つの対象物の相対的位置の測定又は調整のだ
めの長さ測定装置、特にカプセルに入った長さ測定装置
にして、支持体に配設された測定尺を備え、測定尺は目
盛と目盛担体とから成り、かつ熱に依存する長さ変化の
際に実質上支持体とは無関係に測定方向に僅かに移動可
能であり、そして測定尺の支持体は固定要素を介して測
定されるべき対象物と結合している長さ測定装置に関す
るものである。
めの長さ測定装置、特にカプセルに入った長さ測定装置
にして、支持体に配設された測定尺を備え、測定尺は目
盛と目盛担体とから成り、かつ熱に依存する長さ変化の
際に実質上支持体とは無関係に測定方向に僅かに移動可
能であり、そして測定尺の支持体は固定要素を介して測
定されるべき対象物と結合している長さ測定装置に関す
るものである。
測定尺の目盛担体は例えば弾性接着層を介して測定尺の
だめの支持体と結合されている不可撓ガラス尺又は測定
尺のための支持体の溝にプ杉状拘束的に、しかし実質上
応力なく配設されている可撓性金属帯材から形成される
ことができる。
だめの支持体と結合されている不可撓ガラス尺又は測定
尺のための支持体の溝にプ杉状拘束的に、しかし実質上
応力なく配設されている可撓性金属帯材から形成される
ことができる。
西独国特許出願公告公報2643504から二つの対象
物の相対的位置の測定のためのカプセルに入った長さ測
定装置が公知であり、その際目盛のだめの目盛担体は中
空形材の内方で縦溝の縁に載っておりかつその中央で非
常に小さい弾性率の接着剤によってまた別の個所では高
い弾性率の接着剤によって固定されている。中空形材は
その端に溝の形の弱い個所を備えた各一つの固定要素を
有し、被測定対象物の構成面上の中空形材の固定の際の
応力は回避されるべきである。この測定装置では目盛と
目盛担体から成る測定尺はその中央に中空形材に関する
固定点(ゼロ点)を有する、しかし中空形材と被測定対
象物の相異なる熱膨張の際に被測定対象物への両端での
中空形材の剛固な固定のために固定点の移動、従って測
定精度の低下につらなりうる測定方向の縦力(強制力)
が生ずる。
物の相対的位置の測定のためのカプセルに入った長さ測
定装置が公知であり、その際目盛のだめの目盛担体は中
空形材の内方で縦溝の縁に載っておりかつその中央で非
常に小さい弾性率の接着剤によってまた別の個所では高
い弾性率の接着剤によって固定されている。中空形材は
その端に溝の形の弱い個所を備えた各一つの固定要素を
有し、被測定対象物の構成面上の中空形材の固定の際の
応力は回避されるべきである。この測定装置では目盛と
目盛担体から成る測定尺はその中央に中空形材に関する
固定点(ゼロ点)を有する、しかし中空形材と被測定対
象物の相異なる熱膨張の際に被測定対象物への両端での
中空形材の剛固な固定のために固定点の移動、従って測
定精度の低下につらなりうる測定方向の縦力(強制力)
が生ずる。
西独国特許公開公報2855771から長さ測定装置が
公知であυ、そのノ・ウジングは両端で固定要素を介し
て被測定対象物に結合されている。一方ハウジングの一
端は直接第一固定要素と結合されているので、ハウジン
グの他端と第二固定要素との間には長さ補償要素がハウ
ジングの端で並進自由度を以ってハウジングの長手方向
に支承されているように配設されている。
公知であυ、そのノ・ウジングは両端で固定要素を介し
て被測定対象物に結合されている。一方ハウジングの一
端は直接第一固定要素と結合されているので、ハウジン
グの他端と第二固定要素との間には長さ補償要素がハウ
ジングの端で並進自由度を以ってハウジングの長手方向
に支承されているように配設されている。
温度の変化があった場合にハウジングの内方に格納され
た測定尺のハウジングに対するゼロ点移動のないように
するために、この長さ測定装置では測定尺がハウジング
を直接固定要素と結合しているその一端でハウジングと
固定されるべきである。
た測定尺のハウジングに対するゼロ点移動のないように
するために、この長さ測定装置では測定尺がハウジング
を直接固定要素と結合しているその一端でハウジングと
固定されるべきである。
これに対して測定尺がその全長に亘って例えばハウジン
グに弾性接着層によって固定されておりかつ一端では固
定されて々い場合、測定尺は熱による長さの変化がある
場合、実質上ノ・ウジングとは無関係に測定方向に運動
可能であり、固定点(ゼロ点)はノ・ウジングに関して
測定尺の略中夫に生ずる。しかし第一固定要素への・・
ウジングの一端の直接的固定のためニノ・ウシング自体
の熱による長さ変化があるとノ・ウジング及び被測定対
象物の熱膨張係数が異々る場合に被測定対象に対する測
定尺の全ての点の多かれ少なかれ移動が行われる。
グに弾性接着層によって固定されておりかつ一端では固
定されて々い場合、測定尺は熱による長さの変化がある
場合、実質上ノ・ウジングとは無関係に測定方向に運動
可能であり、固定点(ゼロ点)はノ・ウジングに関して
測定尺の略中夫に生ずる。しかし第一固定要素への・・
ウジングの一端の直接的固定のためニノ・ウシング自体
の熱による長さ変化があるとノ・ウジング及び被測定対
象物の熱膨張係数が異々る場合に被測定対象に対する測
定尺の全ての点の多かれ少なかれ移動が行われる。
本発明は上記の種類の長さ測定装置において被測定対象
物に関する測定尺の位置が温度変化があっても実質上不
変であるように測定尺の支持体のための固定部を付与す
ることを課題の基礎とする。
物に関する測定尺の位置が温度変化があっても実質上不
変であるように測定尺の支持体のための固定部を付与す
ることを課題の基礎とする。
この課題(ti本発明によれば特許請求の範囲第1項の
特徴部によって解決される。
特徴部によって解決される。
本発明によって得られる利点はこの沖の長さ測定装置で
、支持体及び被測定対象物が相異なる熱膨張率を有する
材料から成ることができ、しかも温度変化があっても測
定精度が壇されないことにある。測定尺の一端が追加的
手段によってハウジングに固着される必要なしに、例え
ば簡単な方法で均一な弾性液M層を介して支持体に固定
されることができる。
、支持体及び被測定対象物が相異なる熱膨張率を有する
材料から成ることができ、しかも温度変化があっても測
定精度が壇されないことにある。測定尺の一端が追加的
手段によってハウジングに固着される必要なしに、例え
ば簡単な方法で均一な弾性液M層を介して支持体に固定
されることができる。
ヨハン・)・イデン/・イン社の文献[測定技術情報j
8 、1980年6月発行中の53頁にアルフオン
エルムースト氏の「工作技術のための路程測定システム
」の記載中に長さ測定装置があり、その)−ウジングは
第1図〜第3図によれば両端で固定要素を介して被測定
対象物と結合されている。測定長が大きい場合、その自
由度のだめのノ・ウジングのたるみの回避のためにハウ
ジングの端の固定要素の間に71ウジングのだめの他の
固定アングルが配設されている。
8 、1980年6月発行中の53頁にアルフオン
エルムースト氏の「工作技術のための路程測定システム
」の記載中に長さ測定装置があり、その)−ウジングは
第1図〜第3図によれば両端で固定要素を介して被測定
対象物と結合されている。測定長が大きい場合、その自
由度のだめのノ・ウジングのたるみの回避のためにハウ
ジングの端の固定要素の間に71ウジングのだめの他の
固定アングルが配設されている。
本発明の有利な構成は実施態様項が棺握される。
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明する。
第1図において優先的なカプセルに包まれだ長さ測定装
置が示されており、その撓み剛固な長い中空型材の形の
測定尺2のだめの支持体は例えばアルミニウムから形成
されている。ノ・ウジンダ1の内方には測定尺2の目盛
2bのための目盛担体2aが弾性接着層3によってノ・
つ・ジンク1の内面4上に固定されておシ、測定尺2の
目盛2bは公知の方法で二つの対象物(例えばベッドと
往復台)の相対位置の測定のだめの図示しない走査ユニ
ットによって走査される。
置が示されており、その撓み剛固な長い中空型材の形の
測定尺2のだめの支持体は例えばアルミニウムから形成
されている。ノ・ウジンダ1の内方には測定尺2の目盛
2bのための目盛担体2aが弾性接着層3によってノ・
つ・ジンク1の内面4上に固定されておシ、測定尺2の
目盛2bは公知の方法で二つの対象物(例えばベッドと
往復台)の相対位置の測定のだめの図示しない走査ユニ
ットによって走査される。
一方走査ユニットは図示しない方法で一方の対象物と結
合されておシ、ハウジング1は例えば鋳物から成る対象
物5に固定されている。
合されておシ、ハウジング1は例えば鋳物から成る対象
物5に固定されている。
本発明によればハウジング1は略その中央で第一固定要
素6を介して直接被測定対象物5にねじ13.14によ
って結合されている。更にハウジング1はその両端7で
長さ補償要素8を介して他の固定要素10と結合してお
り、固定要素は一方ではねじ11によって各一つのボー
ルジヨイント12を介して対象物5に固定され−ている
。
素6を介して直接被測定対象物5にねじ13.14によ
って結合されている。更にハウジング1はその両端7で
長さ補償要素8を介して他の固定要素10と結合してお
り、固定要素は一方ではねじ11によって各一つのボー
ルジヨイント12を介して対象物5に固定され−ている
。
長さ補償要素8は固定要素10と一体の構成部分でちり
かつ測定方向X (/・ウジング1の長手方向)に対し
て略垂直の平面内に経過するじくざく状のスリット9に
よって形成されている。
かつ測定方向X (/・ウジング1の長手方向)に対し
て略垂直の平面内に経過するじくざく状のスリット9に
よって形成されている。
長さ補償要素8を備えた固定要素10はノ・ウジング1
の端7の測定方向Xにおける並進運動可能な支承を可能
にする。
の端7の測定方向Xにおける並進運動可能な支承を可能
にする。
ハウジング1と対象物5の熱膨張率の相違にも拘らず、
略その中央で対象物5に第1固定要素6を介してハウジ
ング1を直接剛固に固定すること及び対象物5への測定
方向Xにおけるハウジング1の端7の運動可能な固定に
よって被測定対象物5に関する測定尺2の位置が温度変
化の際に実質上保持される、そのわけはハウジング1も
測定尺2もその長さ変化は中央に対して対称に測定方向
Xにおける両方向に向って行われるからであり、その結
果測定尺中央には固定した測定基準点(固定点)が保持
され、それによって精度が向上する。ノ・ウジング1の
端7の運動可能な支承のために対象物5に関するノ・ウ
ジング1の温度に依存した長さ変化の際に縦力も発生し
えず従って測定尺2の中央で測定基準点の移動も生じ得
ない。
略その中央で対象物5に第1固定要素6を介してハウジ
ング1を直接剛固に固定すること及び対象物5への測定
方向Xにおけるハウジング1の端7の運動可能な固定に
よって被測定対象物5に関する測定尺2の位置が温度変
化の際に実質上保持される、そのわけはハウジング1も
測定尺2もその長さ変化は中央に対して対称に測定方向
Xにおける両方向に向って行われるからであり、その結
果測定尺中央には固定した測定基準点(固定点)が保持
され、それによって精度が向上する。ノ・ウジング1の
端7の運動可能な支承のために対象物5に関するノ・ウ
ジング1の温度に依存した長さ変化の際に縦力も発生し
えず従って測定尺2の中央で測定基準点の移動も生じ得
ない。
弾性接着層3は例えばガラス製の測定尺2の目盛担体2
aと、アルミニウム製のノ・ウジング1との間の相異な
る熱的長さ変化を補償し、その結果測定尺2の全ての部
分がその位置における被測定対象物5の対応した部分に
所属している。
aと、アルミニウム製のノ・ウジング1との間の相異な
る熱的長さ変化を補償し、その結果測定尺2の全ての部
分がその位置における被測定対象物5の対応した部分に
所属している。
図示しない方法で測定尺の目盛担体が可撓金属バンドか
らも成ることができ、金属バンドは測定尺のための担体
の溝に形状拘束的にし7かし実質上無力に配設されてい
る。
らも成ることができ、金属バンドは測定尺のための担体
の溝に形状拘束的にし7かし実質上無力に配設されてい
る。
第2図においてハウジング1aの端7aは閉鎖蓋15に
よって閉鎖されており、閉鎖蓋は長さ補償要素8aを介
して、被測定物5aに配設された固定要素10aによっ
て二つのばねジョイン) 8 a’と結合されている。
よって閉鎖されており、閉鎖蓋は長さ補償要素8aを介
して、被測定物5aに配設された固定要素10aによっ
て二つのばねジョイン) 8 a’と結合されている。
固定要素10a。
と補償要素8aは二重り形に形成されておりかつ閉鎖蓋
15と一体である。両ばねジヨイント8 a’は測定方
向Xに対して垂直に経過する各一つの回転軸を有する。
15と一体である。両ばねジヨイント8 a’は測定方
向Xに対して垂直に経過する各一つの回転軸を有する。
図示し晩い方法で長さ補償要素は測定方向Xに対して垂
直に経過する回転軸線を備、エタ相互に結合さねた二つ
の回転ジヨイントからも成ることができる。更に長さ補
償要素は西独国特許公開公報2853771によるばね
要素又は縦支承部(縦案内部)によって形成されること
ができる。
直に経過する回転軸線を備、エタ相互に結合さねた二つ
の回転ジヨイントからも成ることができる。更に長さ補
償要素は西独国特許公開公報2853771によるばね
要素又は縦支承部(縦案内部)によって形成されること
ができる。
ボールジヨイント12は固定要素10では対象物5の平
坦でない取付面へのノ・ウジング1の応力のない取付に
役立つ。長さ補償要素8が測定方向Xに対して平行かつ
対象物5の取付面に対して垂直な平面内においてはノ・
ウジング1の僅かな角運動を可能にし、ボールジヨイン
ト12は省略されることもできる。固定要素10は同時
にハウジング1のだめの閉鎖蓋として役立つ。
坦でない取付面へのノ・ウジング1の応力のない取付に
役立つ。長さ補償要素8が測定方向Xに対して平行かつ
対象物5の取付面に対して垂直な平面内においてはノ・
ウジング1の僅かな角運動を可能にし、ボールジヨイン
ト12は省略されることもできる。固定要素10は同時
にハウジング1のだめの閉鎖蓋として役立つ。
第1図は本発明による特徴を備えた長さ測定装置の側面
図、そして 第2図は長さ測定装置のノ・ウジング端のための固定要
素を示す。 図中符号 1 支持体 2 測定尺 5 被測定対象物 6 固定要素 7 両端 8 長さ補償要素 10 固定要素 代理人 江 崎 光 好 代理人 江 崎 光 史
図、そして 第2図は長さ測定装置のノ・ウジング端のための固定要
素を示す。 図中符号 1 支持体 2 測定尺 5 被測定対象物 6 固定要素 7 両端 8 長さ補償要素 10 固定要素 代理人 江 崎 光 好 代理人 江 崎 光 史
Claims (9)
- (1)二つの対象物の相対的位置の測定又は調整のだめ
の長さ測定装置、特にカプセルに入った長さ測定装置に
して、支持体に配設された測定尺を備え、測定尺は目盛
と目盛担体とから成り、かつ熱に依存する長さ変化の際
に実質上支持体とは無関係に測定方向に僅かに移動可能
であり、そして測定尺の支持体は固定要素を介して測定
されるべき対象物と結合している長さ測定装置において
、 測定尺(2)の支持体(1)は略その中央で第1固定要
素(6)を介して直接、被測定対象物(5)にかつ両端
(7)で被測定対象物(5)に配設された別の固定要素
(10)と支持体(1)の端(7)の測定方向(X’)
における並進運動可能の支承のだめの各一つの長さ補償
要素(8)を介して、結合されていることを特徴とする
長さ測定装置。 - (2)固定要素(10)と長さ補償要素(8)とが一体
になっている特許請求の範囲第1項記載の長さ測定装置
。 - (3)長さ補償要素(8)が固定要素(10)において
測定方向Xに対して略垂直の平面内に経過するじぐざぐ
状のスリット(9)の形に形成されている、特許請求の
範囲第1項記載の長さ測定装置。 - (4)長さ補償要素(8a)と固定要素(10a)
とが共に二重り形アングルから形成されている、特許請
求の範囲第2項記載の長さ測定装置。 - (5)長さ補償要素(8a)が測定方向Xに対して垂直
に経過する回転軸線を備えた相互に結合された二つのば
ねジョイン)(8a”)から形成されている、特許請求
の範囲第1項又は第4項記載の長さ測定装置。 - (6)長さ補償要素が測定方向Xに対して垂直に経過す
る回転軸線を備えた相互に結合された二つの回転ジヨイ
ントから形成されている、特許請求の範囲第1項記載の
長さ測定装置。 - (7)長さ補償要素がばね要素から形成されている、特
許請求の範囲第1項記載の長さ測定装置。 - (8)長さ補償要素が縦支承部によって形成されている
、特許請求の範囲第1項記載の長さ測定装置。 - (9)支持体(1)が測定尺(2)の収容のだめの中空
形材として形成されており、その目盛(2b)のだめの
目盛担体(2a)が弾性接着層(6)を介して測定尺(
2)のだめの中空形材に固定されており、中空形材は略
その中央において第一固定要素(6)を介して測定対象
物(5)と直接、そして両端ではそれぞれ長さ補償要素
(8)を介して測定対象物(5)に配設された別の固定
要素(10)と結合されている、特許請求の範囲第1項
記載の測定装置。 00) 固定要素(10)が同時に中空形材(1)の
閉鎖蓋である、特許請求の範囲第9項記載のαD ハウ
ジング(1)の端(7)で少なくとも一つの固定要素(
10)がボールジヨイント(12)を介して被測定対象
(5)と結合されている、特許請求の範囲第1項記載の
測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823243966 DE3243966A1 (de) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | Laengenmesseinrichtung |
DE32439660 | 1982-11-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59109810A true JPS59109810A (ja) | 1984-06-25 |
JPH0332001B2 JPH0332001B2 (ja) | 1991-05-09 |
Family
ID=6179228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58220826A Granted JPS59109810A (ja) | 1982-11-27 | 1983-11-25 | 長さ測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4530157A (ja) |
EP (1) | EP0110059B1 (ja) |
JP (1) | JPS59109810A (ja) |
AT (1) | ATE31455T1 (ja) |
DE (2) | DE3243966A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63252213A (ja) * | 1987-03-20 | 1988-10-19 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 2つの対称物の相対位置の決定のための測定装置 |
JPS63256807A (ja) * | 1987-04-02 | 1988-10-24 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 長さ又は角度測定装置 |
JPS63317711A (ja) * | 1987-06-11 | 1988-12-26 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置 |
JPH02179409A (ja) * | 1988-12-29 | 1990-07-12 | Mitsutoyo Corp | 直線変位検出器 |
JPH0664231A (ja) * | 1992-06-23 | 1994-03-08 | Oce Nederland Bv | 電気光学ヘッド組立体 |
Families Citing this family (27)
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US4649648A (en) * | 1984-08-31 | 1987-03-17 | Sony Magnescale Incorporation | Linear scale |
DE3625795A1 (de) * | 1986-07-30 | 1988-02-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmesseinrichtung |
JPS6358107A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-12 | Sony Magnescale Inc | スケ−ル装置の保持機構 |
DE3637628C1 (de) * | 1986-11-05 | 1988-02-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Herstellung einer Massverkoerperung |
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ATE121533T1 (de) * | 1991-03-25 | 1995-05-15 | Rsf Elektronik Gmbh | Längenmesssystem. |
DE4212970A1 (de) * | 1992-04-18 | 1993-10-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung |
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DE4406798C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-27 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
DE4406799C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
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