JPS5857700B2 - 非球面レンズの測定装置 - Google Patents
非球面レンズの測定装置Info
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- JPS5857700B2 JPS5857700B2 JP52007230A JP723077A JPS5857700B2 JP S5857700 B2 JPS5857700 B2 JP S5857700B2 JP 52007230 A JP52007230 A JP 52007230A JP 723077 A JP723077 A JP 723077A JP S5857700 B2 JPS5857700 B2 JP S5857700B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- measured
- rotation angle
- movable base
- measuring device
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims 1
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 5
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B7/345—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は非球面レンズの形状を測定する装置に関する。
従来の非球面レンズの測定装置ｌこ於ては、被測定レン
ズを保持する部材をレンズの光軸と直交する軸回りｌこ
所定回転角度揺動させ、該回転角を検出し、被測定レン
ズｌこ係接するスタイラスを保持する移動台をレンズの
光軸方向ｌこ摺動可能に設け、被測定レンズの揺動運動
時ρこ生じるスタイラスとの接点の光軸方向への移動に
よって前記移動台を変位させ、該変位量と前記回転角と
から非球面レンズの特性を求めていた。
ズを保持する部材をレンズの光軸と直交する軸回りｌこ
所定回転角度揺動させ、該回転角を検出し、被測定レン
ズｌこ係接するスタイラスを保持する移動台をレンズの
光軸方向ｌこ摺動可能に設け、被測定レンズの揺動運動
時ρこ生じるスタイラスとの接点の光軸方向への移動に
よって前記移動台を変位させ、該変位量と前記回転角と
から非球面レンズの特性を求めていた。
ところがこのような従来の装置は、常Ｉこ被測定レンズ
表面とスタイラスとを接触させておく必要があり、この
接触させるための付勢力が弱いと測定誤差が発生の原因
となり、付勢力が強過ぎるとスタイラスによってレンズ
表面を損傷する恐れがあった。
表面とスタイラスとを接触させておく必要があり、この
接触させるための付勢力が弱いと測定誤差が発生の原因
となり、付勢力が強過ぎるとスタイラスによってレンズ
表面を損傷する恐れがあった。
本発明はこれらの欠点を解決し、測定誤差のきわめて小
さい非球面レンズの測定装置を得ることを目的とする。
さい非球面レンズの測定装置を得ることを目的とする。
本発明は被測定レンズを保持する部材の揺動運動の瞬時
に於ける回転角を連続的に検出し、揺動基準位置方向に
於ける被測定レンズの光軸方向ｌこ摺動可能な移動台を
設け、揺動時９こ揺動基準位置を通過する被測定レンズ
の表面の所定の（計算上の）形状特性９こ一致する量だ
け前記移動台を前記回転角に対応して摺動させ、前記揺
動基準位置におけるレンズ表面と移動台との距離の変化
を読み取ることによって被測定レンズを測定するもので
ある。
に於ける回転角を連続的に検出し、揺動基準位置方向に
於ける被測定レンズの光軸方向ｌこ摺動可能な移動台を
設け、揺動時９こ揺動基準位置を通過する被測定レンズ
の表面の所定の（計算上の）形状特性９こ一致する量だ
け前記移動台を前記回転角に対応して摺動させ、前記揺
動基準位置におけるレンズ表面と移動台との距離の変化
を読み取ることによって被測定レンズを測定するもので
ある。
次９こ本発明の一実施例について詳述する。
図に於いて、１は被測定物取付は部材で、一端に被測定
レンズ２を取付けるための取付は部１ａが形成されてい
る。
レンズ２を取付けるための取付は部１ａが形成されてい
る。
３は前記被測定レンズ２の光軸と直交する中心軸で一端
に前記被測定物取付は部材１が固設され、装置本体４１
こ回転可能９こ設置されている。
に前記被測定物取付は部材１が固設され、装置本体４１
こ回転可能９こ設置されている。
該中心軸３は図示なき駆動源９こより所定回転角度往復
回転し、前記被測定レンズ２と後述のアラサ計７のヘッ
ド７ａとの係接範囲で揺動する如く構成されている。
回転し、前記被測定レンズ２と後述のアラサ計７のヘッ
ド７ａとの係接範囲で揺動する如く構成されている。
５は回転角検出器で、前記中心軸３の回転角度を常時検
出する如く構成されている。
出する如く構成されている。
６は移動台で、装置本体４１こ前記被測定レンズの揺動
基準位置方向ρこ於ける光軸方向と同一方向（矢印方向
）へ摺動可能に設けられている。
基準位置方向ρこ於ける光軸方向と同一方向（矢印方向
）へ摺動可能に設けられている。
７は電気マイクロメータ等のアラサ計で、前記移動台６
９こ固設され先端に前記被測定レンズ２９こ常時係接す
る如く付勢されたヘッド７ａを有し、該接触端と前記移
動台との間の距離の微小変位を検出する如く設けられて
いる。
９こ固設され先端に前記被測定レンズ２９こ常時係接す
る如く付勢されたヘッド７ａを有し、該接触端と前記移
動台との間の距離の微小変位を検出する如く設けられて
いる。
そして前記接触端は被測定レンズ２の揺動時ｌこ必ず光
軸上を通過する如く構成されている。
軸上を通過する如く構成されている。
８は縮小レバーで、一端は装置本体４１こ支軸９９こよ
り回転可能ｌこ軸支されており、前記移動台６の一端と
係接するローラ１０が回転可能（こ軸支され、他端には
後述のアクチュエータ１４ｃこ連動して矢印方向に摺動
する連動片１２と係接するローラ１１が回転可能ｌこ軸
支されている。
り回転可能ｌこ軸支されており、前記移動台６の一端と
係接するローラ１０が回転可能（こ軸支され、他端には
後述のアクチュエータ１４ｃこ連動して矢印方向に摺動
する連動片１２と係接するローラ１１が回転可能ｌこ軸
支されている。
縮小レバー８、支軸９、ローラｉｏ、１ｉ、連動片１２
は、後述のアクチュエータ１４によって与えられる変位
量を縮小して前記移動台６に伝達する連動部材を構成し
ている。
は、後述のアクチュエータ１４によって与えられる変位
量を縮小して前記移動台６に伝達する連動部材を構成し
ている。
１３はコンピュータで、前記回転角検出器５から与えら
れた検出信号に基づいて前記被測定レンズ２が所定の（
計算上の）非球面形状を有する場合の前記アラサ計ヘッ
ド７ａとの接触点と前記移動台との距離が、前記揺動時
ｌこ常ｌこ一定になる如く前記移動台を摺動させるため
に、予め組み込まれたプログラムに従って前記検出信号
によるデータを計算し、その結果をパルス信号として発
する如く設けられている。
れた検出信号に基づいて前記被測定レンズ２が所定の（
計算上の）非球面形状を有する場合の前記アラサ計ヘッ
ド７ａとの接触点と前記移動台との距離が、前記揺動時
ｌこ常ｌこ一定になる如く前記移動台を摺動させるため
に、予め組み込まれたプログラムに従って前記検出信号
によるデータを計算し、その結果をパルス信号として発
する如く設けられている。
更９こ該コンピュータ１３は前記アラサ計７によって検
出された微小変位量を表示する如く構成されている。
出された微小変位量を表示する如く構成されている。
１４はパルスモータによって、駆動するアクチュエータ
で、前記コンピュータ１３からのパルス信号を受信し、
前記連動片１２４こ往復直線運動を与える如く構成され
ている。
で、前記コンピュータ１３からのパルス信号を受信し、
前記連動片１２４こ往復直線運動を与える如く構成され
ている。
１５はレーザー干渉測長器であり、前記移動台６の変位
量を常時測定し、同時に測定データを前記コンピュータ
１３１こ伝達する如く設けられている。
量を常時測定し、同時に測定データを前記コンピュータ
１３１こ伝達する如く設けられている。
かくの如き構造であるから、非球面レンズを測定するに
は、被測定物取付は部材１を被測定レンズ２と共９こ中
心軸３を中心に所定回転角度揺動し、該揺動ｌこおける
回転の角度を回転角検出器５Ｉこよって連続的ｌこ測定
し、そのデータをコンピュータ１３に伝達する。
は、被測定物取付は部材１を被測定レンズ２と共９こ中
心軸３を中心に所定回転角度揺動し、該揺動ｌこおける
回転の角度を回転角検出器５Ｉこよって連続的ｌこ測定
し、そのデータをコンピュータ１３に伝達する。
コンピュータ１３は該データから計算して中心軸３の回
転の角度ｌこ対応するパルス信号を発し、アクチュエー
タ１４を作動させ、前記連動部材７〜１１を介して移動
台６を矢印方向へ移動する。
転の角度ｌこ対応するパルス信号を発し、アクチュエー
タ１４を作動させ、前記連動部材７〜１１を介して移動
台６を矢印方向へ移動する。
且つまた同時９こ移動台６の変位量をレーザー干渉測長
器１５によって常時測定してコンピュータ１３にフィー
ドバックし、コンピュータ１３は前記算出結果とレーザ
ー干渉測長器１５Ｉこよる測定結果とを比較して誤差が
あれはアクチュエータ１４の作動を修正する。
器１５によって常時測定してコンピュータ１３にフィー
ドバックし、コンピュータ１３は前記算出結果とレーザ
ー干渉測長器１５Ｉこよる測定結果とを比較して誤差が
あれはアクチュエータ１４の作動を修正する。
アラサ計７は被測定レンズ２と常ρこ接触するヘッド７
ａの接触端から移動台６までの距離の変化を検出して該
検出データをコンピュータ１３１こ伝え、コンピュータ
１３がこれを表示する。
ａの接触端から移動台６までの距離の変化を検出して該
検出データをコンピュータ１３１こ伝え、コンピュータ
１３がこれを表示する。
従って移動台６は被測定レンズが所定非球面形状を有す
る場合に前記ヘッド７ａとの接触端から移動台６までの
距離を常ｌこ一定ｌこする如く正体９こ摺動するため、
被測定レンズが所定形状からの誤差を有する非球面レン
ズである場合ｌこはレンズの揺動５こ応じて前記距離が
変化し、アラサ計７によって検出される。
る場合に前記ヘッド７ａとの接触端から移動台６までの
距離を常ｌこ一定ｌこする如く正体９こ摺動するため、
被測定レンズが所定形状からの誤差を有する非球面レン
ズである場合ｌこはレンズの揺動５こ応じて前記距離が
変化し、アラサ計７によって検出される。
以上述べた如く本発明ｌこよれば、被測定レンズ面によ
って移動台を摺動させることがないためｌこレンズ面を
損傷させることがなく、且つきわめて誤差の少ない超精
密な非球面測定を威すことができる。
って移動台を摺動させることがないためｌこレンズ面を
損傷させることがなく、且つきわめて誤差の少ない超精
密な非球面測定を威すことができる。
更ｌこ連動部材７〜１１に縮小機構を設けることｌこよ
つで、アクチュエータｌこよる変位量に介在する誤差を
も縮小し、精度をより向上させることができる。
つで、アクチュエータｌこよる変位量に介在する誤差を
も縮小し、精度をより向上させることができる。
図面は本発明の１実施例の概略的側面図である。
主要部分の符号の説明、１・・・・・・被測定物取付は
部材、２・・・・・・被測定レンズ、５・・・・・・回
転角検出器、６・・・・・・移動台、７・・・・・・ア
ラサ計、８・・・・・・縮小レバー、１２・・・・・・
連動片、１３・・・・・・コンピュータ、１４・・・・
・・アクチュエータ、１５・・・・・レーザー干渉測長
器。
部材、２・・・・・・被測定レンズ、５・・・・・・回
転角検出器、６・・・・・・移動台、７・・・・・・ア
ラサ計、８・・・・・・縮小レバー、１２・・・・・・
連動片、１３・・・・・・コンピュータ、１４・・・・
・・アクチュエータ、１５・・・・・レーザー干渉測長
器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定レンズを取付ける如く形成され該被測定レン
ズの光軸と直交する軸を中心に所定回転角度揺動可能に
設けられた被測定物取付は部材と、該被測定物取付は部
材の揺動基準位置σこおいて前記被測定レンズの光軸方
向に摺動可能に設けられた移動台と、前記被測定物取付
は部材の揺動における回転角を連続的ｌこ検出する回転
角検出部材と、前記回転角に対応する前記被測定レンズ
の所定の形状特性Ｉこ従って前記移動台を摺動させるた
めの予め与えられたプログラムに基づいて前記回転角検
出部材からの検出信号入力として算出した制御信号を発
する制御部材と、該制御信号ｌこ従って前記移動台を変
位させる作動部材と、前記移動台の変位量を測定し前記
制御部材に該測定データを伝える測定部材と、前記被測
定レンズに常に係接する針部を有し該針部の接触端と前
記移動台との間の距離の変化を検出する如く前記移動台
ｌこ設けられたアラサ計とを有し、前記制御部材が前記
測定データに基づいて前記制御信号を修正し、前記回転
角検出部材及びアラサ計からの検出信号等から前記被測
定レンズの特性を算出・表示する手段を設けたことを特
徴とする非球面レンズの測定装置。 ２ 前記作動部材は変位量を与えるための駆動部と該変
位量を縮小して前記移動台に伝えるための連動部とから
形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の測定装置。 ３ 前記算出・表示する手段は前記制御部材であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の
測定装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52007230A JPS5857700B2 (ja) | 1977-01-27 | 1977-01-27 | 非球面レンズの測定装置 |
| US05/872,033 US4151654A (en) | 1977-01-27 | 1978-01-24 | Device for measuring axially symmetric aspherics |
| GB3023/78A GB1588603A (en) | 1977-01-27 | 1978-01-25 | Device for measuring axially symmetric aspherics |
| DE19782803194 DE2803194A1 (de) | 1977-01-27 | 1978-01-25 | Vorrichtung zum messen axial-symmetrischer asphaerischer flaechen |
| FR7802198A FR2379049A1 (fr) | 1977-01-27 | 1978-01-26 | Dispositif de mesure d'elements a surface aspherique a symetrie axiale |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52007230A JPS5857700B2 (ja) | 1977-01-27 | 1977-01-27 | 非球面レンズの測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5393048A JPS5393048A (en) | 1978-08-15 |
| JPS5857700B2 true JPS5857700B2 (ja) | 1983-12-21 |
Family
ID=11660180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52007230A Expired JPS5857700B2 (ja) | 1977-01-27 | 1977-01-27 | 非球面レンズの測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4151654A (ja) |
| JP (1) | JPS5857700B2 (ja) |
| DE (1) | DE2803194A1 (ja) |
| FR (1) | FR2379049A1 (ja) |
| GB (1) | GB1588603A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6170434A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-11 | Hoya Corp | 非球面レンズの検査装置 |
| JPH0639048B2 (ja) * | 1985-05-28 | 1994-05-25 | 株式会社トプコン | レンズ形状測定装置 |
| AUPP976699A0 (en) * | 1999-04-15 | 1999-05-06 | Australian Centre For Advanced Medical Technology Ltd | *3d rotary digital scanner |
| US7091412B2 (en) | 2002-03-04 | 2006-08-15 | Nanoset, Llc | Magnetically shielded assembly |
| US7162302B2 (en) | 2002-03-04 | 2007-01-09 | Nanoset Llc | Magnetically shielded assembly |
| CN102305582B (zh) * | 2011-08-08 | 2013-06-05 | 株洲时代新材料科技股份有限公司 | 利用机械式装置测量弹性体转动中心轨迹的方法及装置 |
| US10142621B2 (en) * | 2015-08-10 | 2018-11-27 | Oren Aharon | Mass production MTF testing machine |
| CN111765836B (zh) * | 2020-07-15 | 2022-04-19 | 东莞宇龙通信科技有限公司 | 一种弧度检测装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US965211A (en) * | 1908-08-28 | 1910-07-26 | Kennedy Optical Company | Instrument for measuring and determining the axes of lenses. |
| US3481043A (en) * | 1967-12-12 | 1969-12-02 | Bendix Corp | Gaging machine |
| US3741659A (en) * | 1970-06-19 | 1973-06-26 | Fellows Gear Shaper Co | Bias corrected measuring instrument |
-
1977
- 1977-01-27 JP JP52007230A patent/JPS5857700B2/ja not_active Expired
-
1978
- 1978-01-24 US US05/872,033 patent/US4151654A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-01-25 DE DE19782803194 patent/DE2803194A1/de not_active Withdrawn
- 1978-01-25 GB GB3023/78A patent/GB1588603A/en not_active Expired
- 1978-01-26 FR FR7802198A patent/FR2379049A1/fr active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2803194A1 (de) | 1978-08-03 |
| US4151654A (en) | 1979-05-01 |
| JPS5393048A (en) | 1978-08-15 |
| FR2379049B1 (ja) | 1982-05-28 |
| GB1588603A (en) | 1981-04-29 |
| FR2379049A1 (fr) | 1978-08-25 |
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