JPH11197576A

JPH11197576A - 塗布装置及び塗布方法

Info

Publication number: JPH11197576A
Application number: JP232698A
Authority: JP
Inventors: Shigehisa Kawabe; 川邉　　茂寿; Hiroyuki Aizawa; 宏行相沢
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1998-01-08
Filing date: 1998-01-08
Publication date: 1999-07-27
Also published as: EP0928636A2; EP0928636A3

Abstract

(57)【要約】【課題】被塗布物の部分的な弛みやツレ等の変形の影
響が無く、スジ故障も発生しない安定な高速・薄膜塗布
と均一な塗布膜厚を得ることを可能にし、さらに、バッ
クロールの真円度や被塗布物のバタツキ・ツレ、コータ
ー先端の真直度・たわみ等が塗布膜厚へ殆ど影響しない
ようにし、装置コストの低減、管理の容易化、操作性・
作業性の容易化を可能にした塗布装置及び塗布方法を提
供する。【解決手段】コーターを構成する少なくとも２本以上
のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜状に噴
出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接触に設
置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜状に噴
出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布装置におい
て、前記コーターの塗布液と接する面のうち所定の部分
が塗布液を撥水する部材より構成されていることを特徴
とする塗布装置及びそれを用いる塗布方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は塗布方法及び装置に
関し、特に、相対的に移動する被塗布物表面に向けて連
続的に吐出した塗布液を、被塗布物表面に均一な厚さを
もって高速薄膜塗布するコーターヘッドを用いた塗布方
法及び塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より所定の塗布液を可撓性の被塗布
物表面に塗布する方法が種々検討され、行われている。
その各種塗布方式の中で、例えば移動中の被塗布物表面
に向けて連続的に押し出した塗布液を、被塗布物表面に
均一な厚さをもって高速薄膜塗布するエクストルージョ
ン型塗布装置は、他の例えばリバースロール、キスロー
ル、グラビヤロール等のロール型塗布方式に対して、塗
布の均一性、薄膜性、塗布可能速度範囲で優れた点が多
い。またエクストルージョン型塗布方式はいわゆるウエ
ット−オン−ウエットによる同時重層塗布が可能であ
り、最近の高付加価値の高い塗布製品の製法用途にコス
ト及び性能面で非常に有効である。一方その多層化を達
成するためには例えば特開昭５１−１１９２０４号、同
５２−５１９０８号及び同５３−１６６０４号公報等に
開示されている様に、被塗布物上に一層ずつ塗布液を塗
布・乾燥することにより多層の前記塗布層を形成する方
法が従来行われていた。しかしながら、この方法では、
塗布、乾燥等の工程を繰り返すため生産性が悪いことや
最上層の薄膜化が難しい等の問題があり、特開昭４８−
９８８０３号や特開昭６１−１１１１６８号にウエット
−オン−ウエットの同時重層塗布による磁気記録媒体の
製造方法が開示されているが、両方式ともバックロール
上に保持された連続的に走行する前記被塗布物上に予め
重層された塗布液を塗布する方法であり、バックロール
の回転ブレ精度が不十分で塗布長手方向に塗布ムラが生
じやすく、被塗布物とコーター先端との距離も狭められ
ず高速や薄膜の塗布が困難で、最適な磁気記録媒体が製
造しにくかった。

【０００３】そこで、特開昭６２−１２４６３１号に開
示されている様な単層の押し出しコーターをバックロー
ルの保持なしに被塗布物上に下層が湿潤状態のままで上
層を塗布する方法や、特開昭６３−８８０８０号や特開
平２−２５１２６５号に開示されているような二つの塗
布液が導出されるスリットを有したコーターヘッドが提
案されている。しかしこの様なエクストルージョン型塗
布方法の問題点はコーターのエッジ先端部に異物や塗布
液の乾燥した物等が引っかかり生ずる塗布方向に沿って
発生するいわゆるスジ故障と呼ばれる故障を皆無に出来
ない点である。

【０００４】またバックロールにしっかり保持された被
塗布物上に塗布を行なうのではなく、二本のサポートロ
ール間で塗布を行う場合は、その被塗布物の幅方向や長
手方向の撓みがコーターの方向に対する圧力分布とな
り、幅手及び長手の方向の膜厚分布となり塗布品質の大
きな劣化を引き起こす事となる。これに対して特開平１
−２０３０７５号や特開平６−２５４４６６号に開示さ
れている様な押し出しコーターの直前または直後のサポ
ートロールの直径を変化させ、幅方向の被塗布物のツレ
に対抗する方法や、また特開平１−２２４０７１号に開
示されている様な、ツレている被塗布物の裏面より流体
加圧手段を設け、そのツレた部分を均一化する方法も考
案されている。しかしながら、この様な方法では、大き
な周期のツレには対応できるが、例えば数十センチ以下
のツレに関しては、追従が難しい為、実質的には数メー
トル周期のツレにのみ対応可能である。またそれ以外に
は特開平６−５０８５７１号の様に押し出しコーターの
ポケット部とスリット部分の形状を幅方向で変化させ、
塗布液流量の幅方向での均一化を計る方法も提案されて
いるが、前記のように長手方向で周期的に変動するツレ
に対しては、やはり効果が全く期待できない。

【０００５】このような欠点への対応として、バックロ
ールで被塗布物を保持しながら下向きに設置したコータ
ーで塗布液膜を落下させて塗布するエクストルージョン
型コーターにおいて、スリットが塗布液吐出側に向けて
斬減している塗布装置を使用して圧力損失を低下し、比
較的狭いスリットでもある程度高粘度の液の塗布を可能
とした装置が特開昭６３−２００７０号に開示されてい
る。しかしこの先端部の斬減による構成では、より高速
に塗布を行う場合や、より高粘度の塗布液を塗布する際
には圧力が高すぎ、先端の鋭角部分の精度が十分に得ら
れないため膜厚分布が均一ではなく、さらにはコーター
先端部と被塗布物の距離が、実際には他のエクストルー
ジョン型コーター同様にあまり広げられないため、筋故
障が発生する、等の問題を皆無にすることは出来ない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、以上
のような従来技術の問題点を解決して、押し出し塗布方
式の利点を生かしつつ、被塗布物のツレ等の影響を受け
ず、周辺部のゴミや塗布液中にある凝集物等による塗布
スジ発生の無い薄膜塗布を、塗布速度に限定されること
なく可能にする塗布方法及びその塗布装置を提供するこ
とにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的は次の技術手段
（１）〜（１８）項の何れか１項によって達成される。

【０００８】（１）コーターを構成する少なくとも２
本以上のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜
状に噴出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接
触に設置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜
状に噴出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布装
置。

【０００９】（２）コーターを構成する少なくとも２
本以上のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜
状に噴出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接
触に設置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜
状に噴出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布装置
において、前記コーターの塗布液と接する面のうち所定
の部分が塗布液を撥水する部材より構成されていること
を特徴とする塗布装置。

【００１０】（３）前記コーターの塗布液と接する面
のうち所定の部分が、塗布液との接触角が４５°以上の
部材より構成されたことを特徴とする（２）項に記載の
塗布装置。

【００１１】（４）コーターを構成する少なくとも２
本以上のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜
状に噴出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接
触に設置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜
状に噴出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布装置
において、前記コーターの塗布液と接する面のうち所定
の部分が表面粗さＲｍａｘがＲｍａｘ≦０．８（μｍ）
を満たす面で構成されていることを特徴とする塗布装
置。

【００１２】（５）前記スリットの間隙が塗布液の入
口側が広く出口側が狭まっており、かつスリット出口間
隙ｄがｄ≦５×１０^-5［ｍ］であることを特徴とする
（１）、（２）、（４）の何れか１項に記載の塗布装
置。

【００１３】（６）前記スリットの出口部にスリット
が平行な部分を有することを特徴とする（５）項に記載
の塗布装置。

【００１４】（７）スリット間隙が最も狭い部分を、
ビッカース硬度が２８０以上の部材で構成することを特
徴とする（５）項に記載の塗布装置。

【００１５】（８）前記コーターの塗布液と接する面
のうち所定の部分が金属、セラミックス、樹脂、ガラス
のうちの少なくとも１種以上で構成されていることを特
徴とする（２）又は（４）項に記載の塗布装置。

【００１６】（９）前記コーターの塗布液と接する面
のうち所定の部分が被覆により撥水性を付与されている
ことを特徴とする（２）項に記載の塗布装置。

【００１７】（１０）前記コーターの塗布液と接する
面のうち所定の部分が表面粗さＲｍａｘ≦０．８（μ
ｍ）の部材により被覆されていることを特徴とする
（４）項に記載の塗布装置。

【００１８】（１１）前記コーターの塗布液と接する
面のうち所定の部分がフッ素系樹脂、シリコン系樹脂、
セラミックのうちの少なくとも１種以上で被覆されてい
ることを特徴とする（９）又は（１０）項に記載の塗布
装置。

【００１９】（１２）前記コーターの塗布液と接する
面のうち所定の部分が研磨等による鏡面仕上げであるこ
とを特徴とする（２）又は（４）項に記載の塗布装置。

【００２０】（１３）前記コーターの塗布液と接する
面のうち所定の部分が、少なくとも１つの前記コーター
を構成するバーの少なくともスリット出口部分を含むス
リット面であることを特徴とする（２）又は（４）項に
記載の塗布装置。

【００２１】（１４）前記コーターの塗布液と接する
面のうち所定の部分が、少なくとも１つの前記コーター
を構成するバーの少なくともエッジ及びエッジから外側
に向かった部分であることを特徴とする（２）又は
（４）項に記載の塗布装置。

【００２２】（１５）前記コーターの塗布液と接する
面のうち所定の部分が、少なくとも１つの前記コーター
を構成するバーの少なくともスリット出口部分を含むス
リット面及びエッジ及びエッジから外側に向かった部分
であることを特徴とする（２）又は（４）項に記載の塗
布装置。

【００２３】（１６）コーターを構成する少なくとも
２本以上のバーにより形成されるスリットから塗布液を
膜状に噴出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非
接触に設置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記
膜状に噴出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布方
法。

【００２４】（１７）コーターを構成する少なくとも
２本以上のバーにより形成されるスリットから塗布液を
膜状に噴出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非
接触に設置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記
膜状に噴出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布方
法において、前記コーターの塗布液と接する面のうち所
定の部分が塗布液を撥水する部材より構成されている塗
布装置を用いて塗布することを特徴とする塗布方法。

【００２５】（１８）コーターを構成する少なくとも
２本以上のバーにより形成されるスリットから塗布液を
膜状に噴出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非
接触に設置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記
膜状に噴出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布方
法において、前記コーターの塗布液と接する面のうち所
定の部分が表面粗さＲｍａｘがＲｍａｘ≦０．８（μ
ｍ）を満たす面で構成されている塗布装置を用いて塗布
することを特徴とする塗布方法。

【００２６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１のコー
ターの側断面図を用いて説明する。

【００２７】本発明者らは、コーターのスリット出口間
隙を５０μｍ以下望ましくは１８μｍ以下と、従来のエ
クストルージョン型コーターよりもはるかに狭くするこ
とで、塗布液を極めて薄い膜状に噴出させ、従来のエク
ストルージョン型コーターよりも広い距離に離間して搬
送あるいは保持される被塗布物にこの噴出した塗布液膜
を衝突させて塗布を行うことで、ゴミ等がコーターの先
端と被塗布物の間に引っかからなくなってスジの発生が
なく、さらには被塗布物が可撓性の場合にはそのツレの
影響も受けずに、薄膜塗布が可能なことを見いだした。
また、この塗布方法においては、噴出液膜さえ形成され
れば、塗布速度によらず塗布可能となり、従来の塗布方
法とは逆に、高速塗布になるほど液膜が引き延ばされて
薄膜化することも判明した。

【００２８】さらに、高速化以外での従来のコーターよ
り薄膜での塗布を可能にするための条件について鋭意検
討した結果、本発明の塗布方法においては被塗布物への
単位幅当たりの塗布液噴出量Ｑ（ｍ³/ｍ・分）と塗布さ
れたウエット膜厚Ｈｗ（ｍ）、被塗布物の搬送速度Ｕ
（ｍ／分）の間にはＨｗ×Ｕ＝Ｑの関係が成り立ち、薄
膜塗布のためには噴出量Ｑを低下させること、すなわ
ち、塗布液の噴出速度低下か噴出膜厚の低下が必要で、
コーターの塗布液に接する部分を塗布液との接触角が大
きい部材で構成したり表面を鏡面仕上げとすることで塗
布液をコーターから撥水させ、塗布液をコーターより離
間しやすくすることが重要であることを見出した。

【００２９】コーターと塗布液の接触角は概ね４５°以
上であれば撥水性は良好で、薄い噴出膜の形成が可能で
あるが、塗布液に低表面張力化等のために活性剤等が添
加されている場合や、溶剤系の塗布液の場合には、塗布
液自体の表面張力が低くはじきにくいため、より低いコ
ーター表面張力にする必要がある。

【００３０】塗布液を撥水させるコーターの場所は、塗
布液と接する部分のみで充分だが、特に、液の流出通路
であるスリットの出口付近のスリット間隙が最も狭まっ
ている部分が、塗布液流速がスリット面との接触によっ
て低下させられるのを低減でき、薄い噴出膜を形成しや
すくなり有効である。また、液がコーターから離れて噴
出し始めるエッジ部近傍を撥水させる事も薄い噴出膜を
形成には効果的である。

【００３１】コーターを塗布液に対して撥水させる手段
としては、コーター自体を撥水性の高いセラミックスや
テフロン、シリコン、アクリル等の樹脂、ガラス等の部
材で構成するほか、フッ素系やシラン等他のシリコン系
樹脂等のコーティングや、バフ・ラップ等の研磨による
鏡面化加工等の方法があるが、本発明はこれに限定され
るものではなく、同様の効果がえられるものならば何で
も良い。

【００３２】特に、コーターが金属で構成される場合に
は、表面研磨等により、表面粗さＲｍａｘが０．８μｍ
以下、望ましくは０．１μｍ以下とすることで概ね接触
角を４５°以上とすることが可能である。

【００３３】３つ以上のバーで構成された、スリットを
２つ以上持ついわゆる重層塗布用のコーターにおいて
も、本発明の効果は同様に得られる。その場合、コータ
ーの被塗布物に対して最上流側のフロントエッジと最下
流側のバックエッジはもちろん、これらの中間に位置す
る１つ以上のセンターエッジでも、適用可能である。

【００３４】本発明によれば、コーター先端部が完全に
被塗布物から離間しているため、被塗布物が可撓性の場
合にも撓みやツレによる塗布液の圧力分布が発生せず、
極めて均一な塗布膜厚を得ることが可能となった。本発
明は、バックロールを用いて塗布部近傍での可撓性被塗
布物を平らに伸ばした方が好ましいが、バックロール無
しでも高めの張力で被塗布物のツレがある程度に伸ばさ
れていれば良好な塗布が可能である。

【００３５】高粘度液においては、本発明のような狭い
スリット出口間隙ではスリット抵抗が非常に大きくな
り、すなわち圧力損失大のため、非常に大きな送液圧力
が必要となり、通常用いているギヤポンプ等の送液手段
では流量の低下や脈動、ポンプの故障等の原因となっ
た。この解決策としては、スリット出口側間隙を狭めた
代わりに、スリットの塗布液入口側間隙を広げて、スリ
ットが入側から出側に向かって縮小する形状とすること
が有効である。薄膜塗布のためにはスリット出口側間隙
は５０μｍ以下が必要で望ましくは１８μｍ以下であ
り、その際スリット入口側間隙は圧力低下のために１０
０μｍ以上と広くすることが望ましい。

【００３６】この縮小の方法は従来テーパーで漸減させ
て形成しているが、この方法ではスリット出口でコータ
ーの先端部が鋭角となり、例えば単層塗布用のコーター
ではフロントバー側の先端とバックバー側の先端との高
さや平行度等を高精度に製作することが困難で、塗布幅
方向の膜厚分布を悪化させていた。しかし、スリット出
口部分にフロントバーのスリット面とバックバーのスリ
ット面がテーパーではなく平行な部分を設けることで、
加工が容易で真直精度が向上し、より均一な噴出膜を形
成可能となり、塗布膜厚の塗布幅方向分布を良好にでき
る。

【００３７】スリット出口間隙を従来のエクストルージ
ョン型コーターより狭めることにより、塗布液中に研磨
剤や金属粉等が含有される場合、これらがスリット内を
高速で流れることでスリット内壁が削られて荒れてしま
い、膜厚分布の悪化や筋故障の原因となり、コーターの
寿命を早めることが判明した。しかし、スリットの材質
を、スリット出口近傍のスリット間隙が最も狭い部分に
は、硬度の高い部材を使用することでこれを防止出来る
ことを見出した。この硬度は使用する塗布液にもよるが
実用上ビッカース硬度が２８０以上あれば充分である。
また、スリットの全面をこの硬度で構成するのが望まし
いが、実用上はスリットの狭まっているスリット出口平
行部分のみをすべてビッカース硬度が２８０以上の部材
で構成すれば良い。さらに、前記平行部分の最もスリッ
ト出口側のみをビッカース硬度が２８０以上の部材で構
成してもある程度は削れによる膜厚分布の悪化や塗布ム
ラが防止可能である。高硬度化の加工が高価な場合はこ
のようにする事でコスト低下が可能である。また、その
目的上、１つのスリットを構成する２本のバーの両スリ
ット面をビッカース硬度２８０以上の部材で構成するこ
とが望ましい。

【００３８】本発明の塗布装置あるいは塗布方法は、被
塗布物としてＰＥＴやＴＡＣ、ＰＥＮ、ペーパー、アル
ミ板等の可撓性支持体やガラス板等の非可撓性支持体へ
の直接塗布に有効であるのはもちろん、塗布ロールやベ
ルト等へ間接的に塗布液を塗布し、これを支持体等へ転
写する場合にも適用可能である。また、被塗布物がある
程度平面性の無いものであっても塗布可能である。

【００３９】

【実施例】実施例１被塗布物：厚さ１００μｍ，幅１０００ｍｍのＰＥＴの
支持体ウエブを使用コーター：図１の側断面図に示すものを用いたｄ＜５０
μｍで、スリットが段差で縮小し、スリット面の出口近
傍部分が平行コーターと被塗布物の距離：０．３ｍｍ塗布液：下記磁性塗料（表面張力約３０ｄｙｎ／ｃｍ、
粘度約５０ｃｐ・密度約１０００ｋｇ／ｍ³）塗布長さ：１００００ｍ磁性塗料の組成Ｃｏ−γ−Ｆｅ₂Ｏ₃（Ｈｃ：９００エルステット，ＢＥＴ値：４５ｍ²／ｇ）：１０部ジアセチルセルロース：１００部 α−アルミナ（平均粒径：０．２μｍ）：５部ステアリン酸：３部カルナバワックス：１０部シクロヘキサノン：１００部アセトン：２００部以上の条件で、コーター接液面の部材の材質を種々変更
して、塗布速度の違いでの膜厚と膜厚分布を測定し薄膜
塗布限界を確認した。

【００４０】その結果を表１に示す。

【００４１】

【表１】

【００４２】結果は、コーターに撥水性をもたせた場合
に薄膜塗布可能となり膜厚分布も良好と判明した。

【００４３】なお、全条件でスジ故障・塗布ムラも発生
せず良好であった。

【００４４】

【発明の効果】本発明の関係式に基づいて塗布条件を設
定することで、被塗布物の部分的な弛みやツレ等の変形
の影響が無く、スジ故障も発生しない塗布方法による安
定な高速・薄膜塗布が可能となった。また、本発明のコ
ータースリット形状とすることで、容易に均一な塗布膜
厚を得ることも可能となった。さらに、バックロールの
真円度や被塗布物のバタツキ・ツレ、コーター先端の真
直度・たわみ等の塗布膜厚への影響がほとんど無いた
め、これらの精度が関係なく、装置コストの低減、管理
の容易化、操作性・作業性の容易化が可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に用いたコーターの側断面図。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】コーターを構成する少なくとも２本以上
のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜状に噴
出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接触に設
置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜状に噴
出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布装置。
【請求項２】コーターを構成する少なくとも２本以上
のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜状に噴
出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接触に設
置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜状に噴
出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布装置におい
て、前記コーターの塗布液と接する面のうち所定の部分が塗
布液を撥水する部材より構成されていることを特徴とす
る塗布装置。
【請求項３】前記コーターの塗布液と接する面のうち
所定の部分が、塗布液との接触角が４５°以上の部材よ
り構成されたことを特徴とする請求項２に記載の塗布装
置。
【請求項４】コーターを構成する少なくとも２本以上
のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜状に噴
出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接触に設
置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜状に噴
出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布装置におい
て、前記コーターの塗布液と接する面のうち所定の部分が表
面粗さＲｍａｘがＲｍａｘ≦０．８（μｍ）を満たす面
で構成されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項５】前記スリットの間隙が塗布液の入口側が
広く出口側が狭まっており、かつスリット出口間隙ｄが
ｄ≦５×１０^-5［ｍ］であることを特徴とする請求項
１、２、４の何れか１項に記載の塗布装置。
【請求項６】前記スリットの出口部にスリットが平行
な部分を有することを特徴とする請求項５に記載の塗布
装置。
【請求項７】スリット間隙が最も狭い部分を、ビッカ
ース硬度が２８０以上の部材で構成することを特徴とす
る請求項５に記載の塗布装置。
【請求項８】前記コーターの塗布液と接する面のうち
所定の部分が金属、セラミックス、樹脂、ガラスのうち
の少なくとも１種以上で構成されていることを特徴とす
る請求項２又は４に記載の塗布装置。
【請求項９】前記コーターの塗布液と接する面のうち
所定の部分が被覆により撥水性を付与されていることを
特徴とする請求項２に記載の塗布装置。
【請求項１０】前記コーターの塗布液と接する面のう
ち所定の部分が表面粗さＲｍａｘ≦０．８（μｍ）の部
材により被覆されていることを特徴とする請求項４に記
載の塗布装置。
【請求項１１】前記コーターの塗布液と接する面のう
ち所定の部分がフッ素系樹脂、シリコン系樹脂、セラミ
ックのうちの少なくとも１種以上で被覆されていること
を特徴とする請求項９又は１０に記載の塗布装置。
【請求項１２】前記コーターの塗布液と接する面のう
ち所定の部分が研磨等による鏡面仕上げであることを特
徴とする請求項２又は４に記載の塗布装置。
【請求項１３】前記コーターの塗布液と接する面のう
ち所定の部分が、少なくとも１つの前記コーターを構成
するバーの少なくともスリット出口部分を含むスリット
面であることを特徴とする請求項２又は４に記載の塗布
装置。
【請求項１４】前記コーターの塗布液と接する面のう
ち所定の部分が、少なくとも１つの前記コーターを構成
するバーの少なくともエッジ及びエッジから外側に向か
った部分であることを特徴とする請求項２又は４に記載
の塗布装置。
【請求項１５】前記コーターの塗布液と接する面のう
ち所定の部分が、少なくとも１つの前記コーターを構成
するバーの少なくともスリット出口部分を含むスリット
面及びエッジ及びエッジから外側に向かった部分である
ことを特徴とする請求項２又は４に記載の塗布装置。
【請求項１６】コーターを構成する少なくとも２本以
上のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜状に
噴出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接触に
設置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜状に
噴出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布方法。
【請求項１７】コーターを構成する少なくとも２本以
上のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜状に
噴出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接触に
設置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜状に
噴出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布方法にお
いて、前記コーターの塗布液と接する面のうち所定の部分が塗
布液を撥水する部材より構成されている塗布装置を用い
て塗布することを特徴とする塗布方法。
【請求項１８】コーターを構成する少なくとも２本以
上のバーにより形成されるスリットから塗布液を膜状に
噴出させ、所定の間隙を隔てて前記コーターと非接触に
設置あるいは搬送される被塗布物に対して、前記膜状に
噴出された塗布液を衝突させて塗布を行う塗布方法にお
いて、前記コーターの塗布液と接する面のうち所定の部分が表
面粗さＲｍａｘがＲｍａｘ≦０．８（μｍ）を満たす面
で構成されている塗布装置を用いて塗布することを特徴
とする塗布方法。