JPH11166597A - 回転導入機 - Google Patents
回転導入機Info
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- JPH11166597A JPH11166597A JP9331340A JP33134097A JPH11166597A JP H11166597 A JPH11166597 A JP H11166597A JP 9331340 A JP9331340 A JP 9331340A JP 33134097 A JP33134097 A JP 33134097A JP H11166597 A JPH11166597 A JP H11166597A
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Links
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
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- F16C33/6637—Special parts or details in view of lubrication with liquid lubricant
- F16C33/664—Retaining the liquid in or near the bearing
- F16C33/6644—Retaining the liquid in or near the bearing by a magnetic field acting on a magnetic liquid
-
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- F16H—GEARING
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- F16H49/001—Wave gearings, e.g. harmonic drive transmissions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16H57/00—General details of gearing
- F16H57/04—Features relating to lubrication or cooling or heating
- F16H57/0402—Cleaning of lubricants, e.g. filters or magnets
- F16H57/0404—Lubricant filters
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Retarders (AREA)
- General Details Of Gearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 撓み噛み合い式歯車機構を利用した回転導入
機の真空側に位置する被潤滑部分の潤滑を適切に行うこ
とにより、回転導入機の長寿命化と回転導入機からの塵
の発生を防止すること。 【解決手段】 回転導入機１は、撓み噛み合い式歯車機
構４を介して大気側空間１００から真空側空間２００に
回転を導入する。真空側の位置する回転出力軸５のボー
ルベアリング１３、１４の間には磁化された第１のスペ
ーサ１５が配置され、このスペーサ１５からボールベア
リング１３、回転出力軸の軸部分５１、ボールベアリン
グ１４を通る磁気回路が構成されている。ボールベアリ
ング１３、１４の部分を潤滑する潤滑剤として磁性流体
が充填されており、磁性流体は、磁気回路により発生し
ている磁力によってボールベアリング１３、１４の部分
に保持されるので、当該部分が常に適切に潤滑される。
また、当該部分に保持された磁性流体によって、ボール
ベアリング１３、１４から発生する摩耗粉等の塵が捕捉
され、真空側に漏れ出ることも防止される。
機の真空側に位置する被潤滑部分の潤滑を適切に行うこ
とにより、回転導入機の長寿命化と回転導入機からの塵
の発生を防止すること。 【解決手段】 回転導入機１は、撓み噛み合い式歯車機
構４を介して大気側空間１００から真空側空間２００に
回転を導入する。真空側の位置する回転出力軸５のボー
ルベアリング１３、１４の間には磁化された第１のスペ
ーサ１５が配置され、このスペーサ１５からボールベア
リング１３、回転出力軸の軸部分５１、ボールベアリン
グ１４を通る磁気回路が構成されている。ボールベアリ
ング１３、１４の部分を潤滑する潤滑剤として磁性流体
が充填されており、磁性流体は、磁気回路により発生し
ている磁力によってボールベアリング１３、１４の部分
に保持されるので、当該部分が常に適切に潤滑される。
また、当該部分に保持された磁性流体によって、ボール
ベアリング１３、１４から発生する摩耗粉等の塵が捕捉
され、真空側に漏れ出ることも防止される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、仕切り壁により気
密状態で仕切られた異なる作業環境の間で回転力等の動
力を伝達するための回転導入機に関するものである。
密状態で仕切られた異なる作業環境の間で回転力等の動
力を伝達するための回転導入機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置等においては、真空ポン
プによって高真空状態に保持された反応室内にウエハを
配置して反応ガスを導入してＣＶＤ法等によって薄膜の
形成を行なっている。反応室内でのワークの搬送は気密
状態のままで行う必要があり、そのための搬送機構にお
いては、反応室内においてワークを実際に把持するアー
ム部分と、反応室の外部からアーム部分に動力を伝達す
るための駆動機構との間が気密状態で完全に仕切られて
いる必要がある。また、反応室の側は塵等の発生を極力
抑える必要がある。このために、反応室内のアーム部分
の駆動機構は摩耗粉、潤滑剤のミスト等が発生しない機
構が望ましい。
プによって高真空状態に保持された反応室内にウエハを
配置して反応ガスを導入してＣＶＤ法等によって薄膜の
形成を行なっている。反応室内でのワークの搬送は気密
状態のままで行う必要があり、そのための搬送機構にお
いては、反応室内においてワークを実際に把持するアー
ム部分と、反応室の外部からアーム部分に動力を伝達す
るための駆動機構との間が気密状態で完全に仕切られて
いる必要がある。また、反応室の側は塵等の発生を極力
抑える必要がある。このために、反応室内のアーム部分
の駆動機構は摩耗粉、潤滑剤のミスト等が発生しない機
構が望ましい。
【０００３】従来において、完全に仕切られた異なる作
業空間の間で一方の側から他方の側に動力を伝達するた
めの機構としては、マグネットカップリングを用いた機
構、ベローズを用いた機構、磁気シールを用いた機構が
知られている。また、本願人の一方は、先に、実開平１
−１１６７９８号公報等において、撓み噛み合い式歯車
機構を利用した回転導入機を提案している。
業空間の間で一方の側から他方の側に動力を伝達するた
めの機構としては、マグネットカップリングを用いた機
構、ベローズを用いた機構、磁気シールを用いた機構が
知られている。また、本願人の一方は、先に、実開平１
−１１６７９８号公報等において、撓み噛み合い式歯車
機構を利用した回転導入機を提案している。
【０００４】この撓み噛み合い式歯車機構を利用した回
転導入機は、仕切られた作業空間の間で、高トルク・高
回転精度で回転力を伝達することができる。
転導入機は、仕切られた作業空間の間で、高トルク・高
回転精度で回転力を伝達することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、撓み
噛み合い式歯車機構を利用した回転導入機における被潤
滑部分の潤滑を長期間に渡って適切に行うことを可能と
し、以て、当該回転導入機の長寿命化を達成することに
ある。
噛み合い式歯車機構を利用した回転導入機における被潤
滑部分の潤滑を長期間に渡って適切に行うことを可能と
し、以て、当該回転導入機の長寿命化を達成することに
ある。
【０００６】また、本発明の課題は、撓み噛み合い式歯
車機構を利用した回転導入機における摩耗粉等の塵の発
生を抑制できる機構を提案することにある。
車機構を利用した回転導入機における摩耗粉等の塵の発
生を抑制できる機構を提案することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、第１の空間に配置された回転入力軸
と、第２の空間に配置された回転出力軸と、前記回転入
力軸を介して導入された回転運動を前記回転出力軸の側
に伝達する撓み噛み合い式歯車機構とを有し、当該撓み
噛み合い式歯車機構は、環状の剛性内歯歯車と、可撓性
外歯歯車と、前記可撓性外歯歯車を半径方向に撓めて前
記剛性内歯歯車に部分的に噛み合わせると共に噛み合わ
せ位置を円周方向に移動させる波動発生器とを備え、前
記波動発生器には前記回転入力軸が連結され、前記剛性
内歯歯車には前記回転出力軸が連結され、前記可撓性外
歯歯車が、前記第１および第２の空間を気密状態で仕切
っている仕切り壁の一部として用いられている回転導入
機において、前記回転出力軸を回転自在に支持している
軸受け機構と、この軸受け機構における被潤滑部分を潤
滑するための潤滑剤としての磁性流体と、当該磁性流体
を前記被潤滑部分に保持するための磁力を発生している
磁気回路とを有することを特徴としている。
めに、本発明は、第１の空間に配置された回転入力軸
と、第２の空間に配置された回転出力軸と、前記回転入
力軸を介して導入された回転運動を前記回転出力軸の側
に伝達する撓み噛み合い式歯車機構とを有し、当該撓み
噛み合い式歯車機構は、環状の剛性内歯歯車と、可撓性
外歯歯車と、前記可撓性外歯歯車を半径方向に撓めて前
記剛性内歯歯車に部分的に噛み合わせると共に噛み合わ
せ位置を円周方向に移動させる波動発生器とを備え、前
記波動発生器には前記回転入力軸が連結され、前記剛性
内歯歯車には前記回転出力軸が連結され、前記可撓性外
歯歯車が、前記第１および第２の空間を気密状態で仕切
っている仕切り壁の一部として用いられている回転導入
機において、前記回転出力軸を回転自在に支持している
軸受け機構と、この軸受け機構における被潤滑部分を潤
滑するための潤滑剤としての磁性流体と、当該磁性流体
を前記被潤滑部分に保持するための磁力を発生している
磁気回路とを有することを特徴としている。
【０００８】前記軸受け機構の典型的な構成は、前記回
転出力軸を回転自在に支持している第１および第２の転
がり軸受けと、これらの間隔を一定に保持するために当
該第１および第２の転がり軸受けの外輪の間に挿入され
た第１のスペーサとを備えたものである。この場合に
は、前記第１のスペーサは、回転導入機軸線方向に着磁
された磁石部材と、当該磁石部材と前記第１の転がり軸
受けの側の外輪の間に挿入された第１のスペーサ片と、
前記磁石部材と前記第２の転がり軸受けの側の外輪の間
に挿入された第２のスペーサ片とを備えた構成とされ
る。また、前記第１および第２の転がり軸受けと、少な
くとも前記第１および第２の転がり軸受けによって支持
されている前記回転出力軸の部分は、磁性体とされる。
この結果、前記磁気回路は、前記第１のスペーサから、
前記第１の転がり軸受けと、前記回転出力軸と、前記第
２の転がり軸受けを介して、当該第１のスペーサに戻る
経路に沿って形成される。
転出力軸を回転自在に支持している第１および第２の転
がり軸受けと、これらの間隔を一定に保持するために当
該第１および第２の転がり軸受けの外輪の間に挿入され
た第１のスペーサとを備えたものである。この場合に
は、前記第１のスペーサは、回転導入機軸線方向に着磁
された磁石部材と、当該磁石部材と前記第１の転がり軸
受けの側の外輪の間に挿入された第１のスペーサ片と、
前記磁石部材と前記第２の転がり軸受けの側の外輪の間
に挿入された第２のスペーサ片とを備えた構成とされ
る。また、前記第１および第２の転がり軸受けと、少な
くとも前記第１および第２の転がり軸受けによって支持
されている前記回転出力軸の部分は、磁性体とされる。
この結果、前記磁気回路は、前記第１のスペーサから、
前記第１の転がり軸受けと、前記回転出力軸と、前記第
２の転がり軸受けを介して、当該第１のスペーサに戻る
経路に沿って形成される。
【０００９】ここで、前記第１のスペーサは、前記磁石
部材と前記第１および第２のスペーサ片とが一体化され
た単一部材とすることもできる。
部材と前記第１および第２のスペーサ片とが一体化され
た単一部材とすることもできる。
【００１０】また、一般には、前記軸受け機構は、前記
第１および第２の転がり軸受けの内輪の間に挿入された
第２のスペーサも備えた構成とされる。この場合には、
前記第２のスペーサを磁性体とし、前記回転出力軸を非
磁性体とすることができる。この結果、前記磁気回路
は、前記第１のスペーサから、前記第１の転がり軸受け
と、前記第２のスペーサと、前記第２の転がり軸受けを
介して、当該第１のスペーサに戻る経路に沿って形成さ
れる。
第１および第２の転がり軸受けの内輪の間に挿入された
第２のスペーサも備えた構成とされる。この場合には、
前記第２のスペーサを磁性体とし、前記回転出力軸を非
磁性体とすることができる。この結果、前記磁気回路
は、前記第１のスペーサから、前記第１の転がり軸受け
と、前記第２のスペーサと、前記第２の転がり軸受けを
介して、当該第１のスペーサに戻る経路に沿って形成さ
れる。
【００１１】このように構成した本発明の回転導入機に
おいては、軸受け機構の被潤滑部分、例えば、軸受けの
転動体と軌道面との間の転がり接触部分は、磁性流体に
よって潤滑される。潤滑剤としての磁性流体は、磁気回
路によって、被潤滑部分に保持され、軸受け機構の転が
り運動によって転がり接触部分から排斥されることがな
いので、被潤滑部分を効率良く潤滑できる。この結果、
従来のように潤滑剤として真空グリースや固体潤滑剤を
用いる場合に比べて、長期に渡って充分な潤滑を行うこ
とが可能になり、回転導入機の長寿命化を実現できる。
おいては、軸受け機構の被潤滑部分、例えば、軸受けの
転動体と軌道面との間の転がり接触部分は、磁性流体に
よって潤滑される。潤滑剤としての磁性流体は、磁気回
路によって、被潤滑部分に保持され、軸受け機構の転が
り運動によって転がり接触部分から排斥されることがな
いので、被潤滑部分を効率良く潤滑できる。この結果、
従来のように潤滑剤として真空グリースや固体潤滑剤を
用いる場合に比べて、長期に渡って充分な潤滑を行うこ
とが可能になり、回転導入機の長寿命化を実現できる。
【００１２】また、磁気回路によって磁性流体が被潤滑
部分に保持されるので、被潤滑部分から発生する摩耗粉
等の塵は、被潤滑部分に保持されている磁性流体に捕捉
され、当該部分から他の部分に飛散あるいは流出するこ
とが無いという効果も得られる。
部分に保持されるので、被潤滑部分から発生する摩耗粉
等の塵は、被潤滑部分に保持されている磁性流体に捕捉
され、当該部分から他の部分に飛散あるいは流出するこ
とが無いという効果も得られる。
【００１３】本発明の回転導入機において、被潤滑部分
の潤滑性能を一層改善するためには、前記軸受け機構の
前記被潤滑部分の表面に、固体潤滑被膜を形成すること
が望ましい。
の潤滑性能を一層改善するためには、前記軸受け機構の
前記被潤滑部分の表面に、固体潤滑被膜を形成すること
が望ましい。
【００１４】一方、本発明の回転導入機は、上記の構成
に加えて、あるいは、上記の構成とは別個に、前記剛性
内歯歯車と前記可撓性外歯歯車の噛み合い部分を潤滑す
るための潤滑剤としての磁性流体と、当該磁性流体を前
記噛み合い部分に保持するための磁力を発生している第
２の磁気回路とを有することを特徴としている。この場
合においても、剛性内歯歯車と可撓性外歯歯車の噛み合
い部分に対する潤滑が長期間に渡って適切に行われる。
この結果、回転導入機の長寿命化を実現することができ
る。
に加えて、あるいは、上記の構成とは別個に、前記剛性
内歯歯車と前記可撓性外歯歯車の噛み合い部分を潤滑す
るための潤滑剤としての磁性流体と、当該磁性流体を前
記噛み合い部分に保持するための磁力を発生している第
２の磁気回路とを有することを特徴としている。この場
合においても、剛性内歯歯車と可撓性外歯歯車の噛み合
い部分に対する潤滑が長期間に渡って適切に行われる。
この結果、回転導入機の長寿命化を実現することができ
る。
【００１５】この場合においては、前記剛性内歯歯車、
前記可撓性外歯歯車、および前記波動発生器の転がり軸
受けの外輪のうちの少なくとも一つの部材を、回転導入
機軸線方向に着磁しておけば、前記第２の磁気回路が、
着磁された前記部材によって形成される。
前記可撓性外歯歯車、および前記波動発生器の転がり軸
受けの外輪のうちの少なくとも一つの部材を、回転導入
機軸線方向に着磁しておけば、前記第２の磁気回路が、
着磁された前記部材によって形成される。
【００１６】なお、剛性内歯歯車の内歯表面および可撓
性外歯歯車の外歯表面にも固体潤滑被膜を形成すれば、
両歯車の噛み合い部分の潤滑性能を一段と向上でき、ま
た、噛み合い部分からの発塵を一層抑制することができ
る。
性外歯歯車の外歯表面にも固体潤滑被膜を形成すれば、
両歯車の噛み合い部分の潤滑性能を一段と向上でき、ま
た、噛み合い部分からの発塵を一層抑制することができ
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
を適用した回転導入機を説明する。
を適用した回転導入機を説明する。
【００１８】（全体構成）図１には、本発明を適用した
回転導入機を半断面の状態で示してある。図示の回転導
入機１は、大気側である第１の空間１００と、真空側で
ある第２の空間２００とを気密状態に仕切っている仕切
り壁３００に装着されたものであり、第１の空間１００
の側に配置されている駆動源（図示せず）からの回転
を、減速して、第２の空間２００の側に導入するための
ものである。
回転導入機を半断面の状態で示してある。図示の回転導
入機１は、大気側である第１の空間１００と、真空側で
ある第２の空間２００とを気密状態に仕切っている仕切
り壁３００に装着されたものであり、第１の空間１００
の側に配置されている駆動源（図示せず）からの回転
を、減速して、第２の空間２００の側に導入するための
ものである。
【００１９】この回転導入機１は、中空のケーシング２
と、この中に回転導入機軸線１ａを中心として同軸状態
に配置された回転入力軸３、撓み噛み合い式歯車機構
４、および回転出力軸５とを有している。回転入力軸３
は撓み噛み合い式歯車機構４の波動発生器４３に連結さ
れており、回転出力軸５は撓み噛み合い式歯車機構４の
剛性内歯歯車４１に連結されている。ケーシング２は、
円筒状の胴部２１と、この胴部２１の前端を封鎖してい
る鍔広のフランジ２２と、胴部２１の他端を封鎖してい
る底壁２３とを備えている。フランジ２２は胴部２１に
一体形成されており、その外周側の部分には円周方向に
等角度間隔で複数のボルト孔２４が形成され、これらの
ボルト孔２４の内側にはＯリング２５が装着されてい
る。
と、この中に回転導入機軸線１ａを中心として同軸状態
に配置された回転入力軸３、撓み噛み合い式歯車機構
４、および回転出力軸５とを有している。回転入力軸３
は撓み噛み合い式歯車機構４の波動発生器４３に連結さ
れており、回転出力軸５は撓み噛み合い式歯車機構４の
剛性内歯歯車４１に連結されている。ケーシング２は、
円筒状の胴部２１と、この胴部２１の前端を封鎖してい
る鍔広のフランジ２２と、胴部２１の他端を封鎖してい
る底壁２３とを備えている。フランジ２２は胴部２１に
一体形成されており、その外周側の部分には円周方向に
等角度間隔で複数のボルト孔２４が形成され、これらの
ボルト孔２４の内側にはＯリング２５が装着されてい
る。
【００２０】ボルト孔２４に装着した締結用ボルト（図
示せず）によって当該フランジ２２を仕切り壁３００に
固定することにより、回転導入機１を仕切り壁３００に
装着することができる。装着状態においては、仕切り壁
３００およびフランジ２２に形成されている軸孔３０１
および２６に回転出力軸４が回転自在の状態で貫通し、
その出力軸４の先端側の部分が第２の空間２００の側に
突出した状態となる。また、Ｏリング２５によって、フ
ランジ２２と仕切り壁３００の間は気密シールされた状
態となる。
示せず）によって当該フランジ２２を仕切り壁３００に
固定することにより、回転導入機１を仕切り壁３００に
装着することができる。装着状態においては、仕切り壁
３００およびフランジ２２に形成されている軸孔３０１
および２６に回転出力軸４が回転自在の状態で貫通し、
その出力軸４の先端側の部分が第２の空間２００の側に
突出した状態となる。また、Ｏリング２５によって、フ
ランジ２２と仕切り壁３００の間は気密シールされた状
態となる。
【００２１】図２には、ケーシング２の内部に配置され
ている撓み噛み合い式歯車機構４と、回転入力軸３と、
ケーシング２の底壁２３を取り出して示してある。図１
および図２を参照して説明すると、ケーシング２の内部
に配置された撓み噛み合い式歯車機構４は、剛性内歯歯
車４１と、この内側に配置されている可撓性外歯歯車４
２と、この内側に嵌め込まれている波動発生器４３を備
えている。剛性内歯歯車４１は円環形状をしており、そ
の内周面に内歯４１ａが形成されている。
ている撓み噛み合い式歯車機構４と、回転入力軸３と、
ケーシング２の底壁２３を取り出して示してある。図１
および図２を参照して説明すると、ケーシング２の内部
に配置された撓み噛み合い式歯車機構４は、剛性内歯歯
車４１と、この内側に配置されている可撓性外歯歯車４
２と、この内側に嵌め込まれている波動発生器４３を備
えている。剛性内歯歯車４１は円環形状をしており、そ
の内周面に内歯４１ａが形成されている。
【００２２】この内側に同心状態に配置されている可撓
性外歯歯車４２は、円筒状の胴部４２ａと、この円筒状
の胴部４２ａの一端を封鎖している円板状端壁部分４２
ｂと、円筒状の胴部４２ａの他端側に連続していると共
に底壁２３の側に向けてラッパ状に広がっているラッパ
状部分４２ｃと、このラッパ状部分４２ｃの開口縁に取
りつけた円環状端板部分４２ｄとを備えており、円筒状
の胴部４２ａの外周面に外歯４２ｅが形成されている。
この外歯４２ｅは内歯４１ａと噛み合い可能であり、一
般的には、内歯４１ａに比べて２ｎ枚（ｎは整数）だけ
歯数が少ない。
性外歯歯車４２は、円筒状の胴部４２ａと、この円筒状
の胴部４２ａの一端を封鎖している円板状端壁部分４２
ｂと、円筒状の胴部４２ａの他端側に連続していると共
に底壁２３の側に向けてラッパ状に広がっているラッパ
状部分４２ｃと、このラッパ状部分４２ｃの開口縁に取
りつけた円環状端板部分４２ｄとを備えており、円筒状
の胴部４２ａの外周面に外歯４２ｅが形成されている。
この外歯４２ｅは内歯４１ａと噛み合い可能であり、一
般的には、内歯４１ａに比べて２ｎ枚（ｎは整数）だけ
歯数が少ない。
【００２３】本例では、円筒状の胴部４２ａとラッパ状
部分４２ｃとが一体物として形成されており、円板状端
壁部分４２ｂは溶接等によって胴部４２ａの開口縁に対
して気密状態で接合され、円環状端板部分４２ｄも溶接
等によってラッパ状部分４２ｃの開口縁に対して気密状
態で接合されている。また、本例では、外歯４２ｅの歯
数は内歯４１ａに対して２枚少ない歯数とされている。
部分４２ｃとが一体物として形成されており、円板状端
壁部分４２ｂは溶接等によって胴部４２ａの開口縁に対
して気密状態で接合され、円環状端板部分４２ｄも溶接
等によってラッパ状部分４２ｃの開口縁に対して気密状
態で接合されている。また、本例では、外歯４２ｅの歯
数は内歯４１ａに対して２枚少ない歯数とされている。
【００２４】可撓性外歯歯車４２における外歯４２ｅが
形成されている部分の内側には、波動発生器４３が嵌め
込まれている。本例の波動発生器４３は、楕円形の輪郭
をした剛性カム板４３ａと、この剛性カム板４３ａの外
周面と可撓性外歯歯車の胴部４２ａの内周面の間に嵌め
込まれたボールベアリング４３ｂとを備えている。剛性
カム板４３ａの中心には、回転入力軸３の端部を差し込
み固定可能な連結用の軸孔４３ｃが形成されており、こ
こに回転入力軸３が同軸状態で連結固定されている。
形成されている部分の内側には、波動発生器４３が嵌め
込まれている。本例の波動発生器４３は、楕円形の輪郭
をした剛性カム板４３ａと、この剛性カム板４３ａの外
周面と可撓性外歯歯車の胴部４２ａの内周面の間に嵌め
込まれたボールベアリング４３ｂとを備えている。剛性
カム板４３ａの中心には、回転入力軸３の端部を差し込
み固定可能な連結用の軸孔４３ｃが形成されており、こ
こに回転入力軸３が同軸状態で連結固定されている。
【００２５】回転入力軸３は、波動発生器４３からケー
シング２の底壁２３を貫通して、第１の空間１００の側
に突出している。ケーシング２の底壁２３は、ケーシン
グ２の胴部２１に取り付け固定されている円環状のフラ
ンジ２３ａと、このフランジ２３ａの内側に同心状に装
着固定された円筒状のホルダ２３ｂとを備えている。ホ
ルダ２３ｂの中心には回転入力軸３を通すための軸孔２
３ｃが形成されており、ここを貫通して延びる回転入力
軸３は、一対のボールベアリング１１、１２によって、
ホルダ２３ｂの側に回転自在に支持されている。また、
フランジ２３ａの内側の環状の端面２３ｄには、その内
周縁から軸線方向１ａに延びる薄肉の円筒状部分２３ｅ
が形成されており、この円筒状部分２３ｅの先端部分の
外周縁には、上記構成の可撓性外歯歯車４２の円環状端
板部分４２ｄの内周縁に形成した折り曲げ部分４２ｆに
気密状態で接合されている。
シング２の底壁２３を貫通して、第１の空間１００の側
に突出している。ケーシング２の底壁２３は、ケーシン
グ２の胴部２１に取り付け固定されている円環状のフラ
ンジ２３ａと、このフランジ２３ａの内側に同心状に装
着固定された円筒状のホルダ２３ｂとを備えている。ホ
ルダ２３ｂの中心には回転入力軸３を通すための軸孔２
３ｃが形成されており、ここを貫通して延びる回転入力
軸３は、一対のボールベアリング１１、１２によって、
ホルダ２３ｂの側に回転自在に支持されている。また、
フランジ２３ａの内側の環状の端面２３ｄには、その内
周縁から軸線方向１ａに延びる薄肉の円筒状部分２３ｅ
が形成されており、この円筒状部分２３ｅの先端部分の
外周縁には、上記構成の可撓性外歯歯車４２の円環状端
板部分４２ｄの内周縁に形成した折り曲げ部分４２ｆに
気密状態で接合されている。
【００２６】次に、再び図１を参照して、剛性内歯歯車
４１に連結されている回転出力軸５の側の構成を説明す
る。回転出力軸５におけるケーシング２の内部に配置さ
れている軸部分５１の端には、その中心に円形断面の可
撓性外歯歯車挿入用の盲孔５３が形成されている。この
盲名５３には、可撓性外歯歯車４２の円筒状の胴部４２
ａにおける外歯形成部分を除く部分が差し込まれてい
る。また、当該盲孔５３を取り囲んでいる円環状の端面
には、剛性内歯歯車４１が締結用ボルト５５によって締
結固定されいる。このようにして、当該剛性内歯歯車４
１の内歯４１ａと可撓性外歯歯車４２の外歯４２ｅとが
噛み合い可能な状態で対峙しており、当該外歯４２ｅが
形成されている部分の内側に楕円形の波動発生器４３が
嵌め込まれている。
４１に連結されている回転出力軸５の側の構成を説明す
る。回転出力軸５におけるケーシング２の内部に配置さ
れている軸部分５１の端には、その中心に円形断面の可
撓性外歯歯車挿入用の盲孔５３が形成されている。この
盲名５３には、可撓性外歯歯車４２の円筒状の胴部４２
ａにおける外歯形成部分を除く部分が差し込まれてい
る。また、当該盲孔５３を取り囲んでいる円環状の端面
には、剛性内歯歯車４１が締結用ボルト５５によって締
結固定されいる。このようにして、当該剛性内歯歯車４
１の内歯４１ａと可撓性外歯歯車４２の外歯４２ｅとが
噛み合い可能な状態で対峙しており、当該外歯４２ｅが
形成されている部分の内側に楕円形の波動発生器４３が
嵌め込まれている。
【００２７】回転出力軸５の軸部分５１の外周側には、
軸線方向１ａに一定の間隔を開けて第１および第２のボ
ールベアリング１３、１４が配置されており、これらの
ボールベアリング１３、１４によって回転出力軸５は、
ケーシング２の内周面に対して回転自在に支持されてい
る。これら第１および第２のボールベアリング１３、１
４の外輪１３ａ、１４ａの間には円環状の第１のスペー
サ１５が挟まれており、第２のボールベアリングの外環
１４ａとケーシングの底壁２３の間にも、同じく円環状
の第３のスペーサ１６が挟まれている。さらに、第１の
ボールベアリング１３の外輪１３ａはケーシング２の内
周面に形成した円環状段面２ａに当接している。このよ
うに、第１および第３のスペーサ１５、１６、並びに円
環状段面２ａによって第１および第２のボールベアリン
グ１３、１４の外輪１３ａ、１４ａの軸線方向の位置が
規定されている。
軸線方向１ａに一定の間隔を開けて第１および第２のボ
ールベアリング１３、１４が配置されており、これらの
ボールベアリング１３、１４によって回転出力軸５は、
ケーシング２の内周面に対して回転自在に支持されてい
る。これら第１および第２のボールベアリング１３、１
４の外輪１３ａ、１４ａの間には円環状の第１のスペー
サ１５が挟まれており、第２のボールベアリングの外環
１４ａとケーシングの底壁２３の間にも、同じく円環状
の第３のスペーサ１６が挟まれている。さらに、第１の
ボールベアリング１３の外輪１３ａはケーシング２の内
周面に形成した円環状段面２ａに当接している。このよ
うに、第１および第３のスペーサ１５、１６、並びに円
環状段面２ａによって第１および第２のボールベアリン
グ１３、１４の外輪１３ａ、１４ａの軸線方向の位置が
規定されている。
【００２８】これに対して、ボールベアリング１３、１
４の内輪１３ｂ、１４ｂの間には円環状の第２のスペー
サ１７が挟まれており、第２のボールベアリングの内輪
１４ｂは回転出力軸５の軸部分５１の端に形成した円環
状段面５１ａに当接しており、さらに、第１のボールベ
アリングの内輪１３ｂは回転出力軸５の軸部分５１の外
周に固定したナット１８に当接している。このように、
第２のスペーサ１７、円環状段面５１ａ、およびナット
１８によって、第１および第２のボールベアリング１
３、１４の内輪１３ｂ、１４ｂの軸線方向の位置が規定
されている。
４の内輪１３ｂ、１４ｂの間には円環状の第２のスペー
サ１７が挟まれており、第２のボールベアリングの内輪
１４ｂは回転出力軸５の軸部分５１の端に形成した円環
状段面５１ａに当接しており、さらに、第１のボールベ
アリングの内輪１３ｂは回転出力軸５の軸部分５１の外
周に固定したナット１８に当接している。このように、
第２のスペーサ１７、円環状段面５１ａ、およびナット
１８によって、第１および第２のボールベアリング１
３、１４の内輪１３ｂ、１４ｂの軸線方向の位置が規定
されている。
【００２９】このように、本例では、回転出力軸５の軸
受け機構は、第１および第２のボールベアリング１３、
１４と、第１および第２のスペーサ１５、１７を含む構
成となっている。
受け機構は、第１および第２のボールベアリング１３、
１４と、第１および第２のスペーサ１５、１７を含む構
成となっている。
【００３０】上記のように構成された本例の回転導入機
１では、仕切り壁３００に取りつけたケーシング２と、
ケーシング２に取りつけたフランジ２３と、このフラン
ジ２３に取りつけた可撓性外歯歯車４２によって、回転
入力軸３の側の空間１００と、回転出力軸５の側の空間
２００とが完全に気密状態で仕切られている。
１では、仕切り壁３００に取りつけたケーシング２と、
ケーシング２に取りつけたフランジ２３と、このフラン
ジ２３に取りつけた可撓性外歯歯車４２によって、回転
入力軸３の側の空間１００と、回転出力軸５の側の空間
２００とが完全に気密状態で仕切られている。
【００３１】回転入力軸３がモータ等によって高速回転
すると、撓み噛み合い式歯車機構４によって減速された
回転が剛性内歯歯車４１を介して回転出力軸５の側に導
入される。撓み噛み合い式歯車機構４の減速原理は公知
であるので本明細書ではその説明を省略する。
すると、撓み噛み合い式歯車機構４によって減速された
回転が剛性内歯歯車４１を介して回転出力軸５の側に導
入される。撓み噛み合い式歯車機構４の減速原理は公知
であるので本明細書ではその説明を省略する。
【００３２】（潤滑機構）次に、上記のように構成され
ている本例の回転導入機１における潤滑機構について説
明する。回転導入機１のケーシング２の内部には潤滑剤
としての磁性流体が充填され、被潤滑部分に対する潤滑
が行われる。回転出力軸５の側（空間２００の側）の被
潤滑部分としては、第１および第２のボールベアリング
１３、１４の部分と、剛性内歯歯車４１の内歯４１ａと
可撓性外歯歯車４２の外歯４２ｅとの噛み合い部分が含
まれる。また、回転入力軸３の側（空間１００の側）の
被潤滑部分としては、ボールベアリング１１、１２の部
分と、波動発生器４３のボールベアリング４３ｂの部分
が含まれる。
ている本例の回転導入機１における潤滑機構について説
明する。回転導入機１のケーシング２の内部には潤滑剤
としての磁性流体が充填され、被潤滑部分に対する潤滑
が行われる。回転出力軸５の側（空間２００の側）の被
潤滑部分としては、第１および第２のボールベアリング
１３、１４の部分と、剛性内歯歯車４１の内歯４１ａと
可撓性外歯歯車４２の外歯４２ｅとの噛み合い部分が含
まれる。また、回転入力軸３の側（空間１００の側）の
被潤滑部分としては、ボールベアリング１１、１２の部
分と、波動発生器４３のボールベアリング４３ｂの部分
が含まれる。
【００３３】ここで、本例では、真空側の被潤滑部分で
ある第１および第２のボールベアリング１３、１４の部
分と、剛性内歯歯車４１と可撓性外歯歯車４２の噛み合
い部分の潤滑を長期間に渡って適切に行うことができる
ようにするために、磁性流体をこれらの部分に保持する
磁気回路が構成されている。
ある第１および第２のボールベアリング１３、１４の部
分と、剛性内歯歯車４１と可撓性外歯歯車４２の噛み合
い部分の潤滑を長期間に渡って適切に行うことができる
ようにするために、磁性流体をこれらの部分に保持する
磁気回路が構成されている。
【００３４】この磁気回路を構成するために、第１のス
ペーサ１５はフェライト系あるいはマルテンサイト系ス
テンレス等の強磁性体から形成されている。また、図１
に示すように、軸線方向１ａの端がＮ極、Ｓ極となるよ
うに着磁されている。さらに、回転出力軸５の少なくと
も軸部分５１は磁性体から形成されている。これに加え
て、ボールベアリング１３、１４も一般的に使用されて
いる金属製のものであり、磁性体である。これに対し
て、第２のスペーサ１７は非磁性体とされている。
ペーサ１５はフェライト系あるいはマルテンサイト系ス
テンレス等の強磁性体から形成されている。また、図１
に示すように、軸線方向１ａの端がＮ極、Ｓ極となるよ
うに着磁されている。さらに、回転出力軸５の少なくと
も軸部分５１は磁性体から形成されている。これに加え
て、ボールベアリング１３、１４も一般的に使用されて
いる金属製のものであり、磁性体である。これに対し
て、第２のスペーサ１７は非磁性体とされている。
【００３５】従って、本例では、図３（ａ）に示すよう
に、磁束が矢印で示す方向に流れる磁気回路が構成され
る。すなわち、永久磁石である第１のスペーサ１５か
ら、ボールベアリング１３、回転出力軸５の軸部分５
１、ボールベアリング１４を経由して、再び第１のスペ
ーサ１５に戻る磁気回路が構成される。この結果、図３
（ｂ）に示すように、各ボールベアリング１３、１４の
各ボール１３ｃ、１４ｃと、外輪１３ａ、１４ａおよび
内輪１３ｂ、１４ｂの軌道面との点接触部分近傍の磁束
密度が高くなり、磁性流体が点接触部分の近傍に捕捉さ
れた状態が形成される。
に、磁束が矢印で示す方向に流れる磁気回路が構成され
る。すなわち、永久磁石である第１のスペーサ１５か
ら、ボールベアリング１３、回転出力軸５の軸部分５
１、ボールベアリング１４を経由して、再び第１のスペ
ーサ１５に戻る磁気回路が構成される。この結果、図３
（ｂ）に示すように、各ボールベアリング１３、１４の
各ボール１３ｃ、１４ｃと、外輪１３ａ、１４ａおよび
内輪１３ｂ、１４ｂの軌道面との点接触部分近傍の磁束
密度が高くなり、磁性流体が点接触部分の近傍に捕捉さ
れた状態が形成される。
【００３６】このように、本例の回転導入機１では、そ
の真空側の被潤滑部分であるボールベアリング１３、１
４の接触部分に潤滑剤としての磁性流体を磁力によって
保持している。従って、ボールベアリング１３、１４の
転がり運動によって当該部分から潤滑剤が排斥されるこ
とがなく、充分な潤滑剤を常に接触部分に供給する状態
が形成される。よって、ボールベアリングの長寿命化、
ひいては回転導入機１の長寿命化を実現できる。
の真空側の被潤滑部分であるボールベアリング１３、１
４の接触部分に潤滑剤としての磁性流体を磁力によって
保持している。従って、ボールベアリング１３、１４の
転がり運動によって当該部分から潤滑剤が排斥されるこ
とがなく、充分な潤滑剤を常に接触部分に供給する状態
が形成される。よって、ボールベアリングの長寿命化、
ひいては回転導入機１の長寿命化を実現できる。
【００３７】また、ボールベアリング１３、１４の接触
部分の周囲が磁性流体で覆われた状態が形成されるの
で、当該接触部分で発生した微小な摩耗粉等の塵が磁性
流体によって捕捉され、周囲に飛散することがない。こ
の結果、塵等が回転導入機１の側から真空側の空間２０
０に漏れ出ることが防止される。
部分の周囲が磁性流体で覆われた状態が形成されるの
で、当該接触部分で発生した微小な摩耗粉等の塵が磁性
流体によって捕捉され、周囲に飛散することがない。こ
の結果、塵等が回転導入機１の側から真空側の空間２０
０に漏れ出ることが防止される。
【００３８】一方、剛性内歯歯車４１と可撓性外歯歯車
４２の噛み合い部分の潤滑機構も同様に構成できる。す
なわち、剛性内歯歯車４１、可撓性外歯歯車４２、ある
いは波動発生器４３のボールベアリング４３ｂの外輪４
３ｅを、軸線方向１ａに着磁する。このようにすれば、
両歯車の噛み合い部分に磁性流体が磁力により吸引され
保持される。この結果、噛み合い部分に対して常に充分
な潤滑剤を供給でき、また、噛み合い部分から発生する
微小な塵が磁性流体によって捕捉され、真空側の空間２
００に流出することが防止される。
４２の噛み合い部分の潤滑機構も同様に構成できる。す
なわち、剛性内歯歯車４１、可撓性外歯歯車４２、ある
いは波動発生器４３のボールベアリング４３ｂの外輪４
３ｅを、軸線方向１ａに着磁する。このようにすれば、
両歯車の噛み合い部分に磁性流体が磁力により吸引され
保持される。この結果、噛み合い部分に対して常に充分
な潤滑剤を供給でき、また、噛み合い部分から発生する
微小な塵が磁性流体によって捕捉され、真空側の空間２
００に流出することが防止される。
【００３９】（磁気回路の別の例）上述したボールベア
リング１３、１４の部分の磁気回路は次のように構成し
てもよい。
リング１３、１４の部分の磁気回路は次のように構成し
てもよい。
【００４０】まず、上記の例では回転出力軸５の軸部分
５１を磁性体とし、第２のスペーサ１７を非磁性体とし
てあるが、この逆に、軸部分５１を非磁性体とし、第２
のスペーサ１７を磁性体としてもよい。
５１を磁性体とし、第２のスペーサ１７を非磁性体とし
てあるが、この逆に、軸部分５１を非磁性体とし、第２
のスペーサ１７を磁性体としてもよい。
【００４１】また、図４に示すように、第１のスペーサ
１５を直接に磁化する代わりに、当該第１のスペーサ１
５を、第１および第１２のスペーサ片１５ａ、１５ｂ
と、これらのスペーサ片の間に挟み込んだ永久磁石１５
ｃの三部材から構成してもよい。
１５を直接に磁化する代わりに、当該第１のスペーサ１
５を、第１および第１２のスペーサ片１５ａ、１５ｂ
と、これらのスペーサ片の間に挟み込んだ永久磁石１５
ｃの三部材から構成してもよい。
【００４２】（その他の実施の形態）なお、上記構成の
回転導入機においては、軸受け機構の被潤滑部分の表面
に、固体潤滑被膜を形成してもよい。例えば、第１およ
び第２のボールベアリングのボール表面、軌道面等にＰ
ＴＦＥ等の固体潤滑被膜を形成すれば、潤滑性能を一段
と向上させることができ、また、当該部分からの発塵も
抑制できる。
回転導入機においては、軸受け機構の被潤滑部分の表面
に、固体潤滑被膜を形成してもよい。例えば、第１およ
び第２のボールベアリングのボール表面、軌道面等にＰ
ＴＦＥ等の固体潤滑被膜を形成すれば、潤滑性能を一段
と向上させることができ、また、当該部分からの発塵も
抑制できる。
【００４３】同様に、剛性内歯歯車と可撓性外歯歯車の
歯部の表面に固体潤滑被膜を形成した場合にも同様な効
果が得られる。
歯部の表面に固体潤滑被膜を形成した場合にも同様な効
果が得られる。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の撓み噛み
合い式歯車機構を利用した回転導入機は、潤滑剤として
磁性流体を利用すると共に、磁性流体を被潤滑部分に保
持するための磁力を発生する磁気回路を備えた構成とな
っている。従って、被潤滑部分を構成している部材の転
がり接触運動等により潤滑剤が当該部分から排斥される
ことなく、当該被潤滑部分に対して常に充分な潤滑を行
うことができる。よって、被潤滑部分の長寿命化、ひい
ては回転導入機の長寿命化を実現できる。
合い式歯車機構を利用した回転導入機は、潤滑剤として
磁性流体を利用すると共に、磁性流体を被潤滑部分に保
持するための磁力を発生する磁気回路を備えた構成とな
っている。従って、被潤滑部分を構成している部材の転
がり接触運動等により潤滑剤が当該部分から排斥される
ことなく、当該被潤滑部分に対して常に充分な潤滑を行
うことができる。よって、被潤滑部分の長寿命化、ひい
ては回転導入機の長寿命化を実現できる。
【００４５】また、このように磁性流体を磁力によって
被潤滑部分に保持しているので、磁性流体によって被潤
滑部分が覆われた状態が形成される。この結果、被潤滑
部分から発生する微小な摩耗粉等の塵が磁性流体によっ
て捕捉され、外部に放出されることも防止できる。
被潤滑部分に保持しているので、磁性流体によって被潤
滑部分が覆われた状態が形成される。この結果、被潤滑
部分から発生する微小な摩耗粉等の塵が磁性流体によっ
て捕捉され、外部に放出されることも防止できる。
【図１】本発明を適用した回転導入機を半断面の状態で
示す概略構成図である。
示す概略構成図である。
【図２】図１の回転導入機における撓み噛み合い式歯車
機構、回転入力軸およびケーシングの底壁の部分を取り
出して示す概略構成図である。
機構、回転入力軸およびケーシングの底壁の部分を取り
出して示す概略構成図である。
【図３】図１の回転導入機における磁気回路が構成され
ている被潤滑部分を示す説明図、およびボールベアリン
グの点接触部分を示す説明図である。
ている被潤滑部分を示す説明図、およびボールベアリン
グの点接触部分を示す説明図である。
【図４】図３に示す磁気回路の別の例を示す説明図であ
る。
る。
１ 回転導入機 ２ ケーシング ２３ 底壁 ３ 回転入力軸 ４ 撓み噛み合い式歯車機構 ４１ 剛性内歯歯車 ４１ａ 内歯 ４２ 可撓性外歯歯車 ４２ｅ 外歯 ４３ 波動発生器 ５ 回転出力軸 ５１ 軸部分 １３，１４ ボールベアリング １３ａ，１４ａ 外輪 １３ｂ，１４ｂ 内輪 １３ｃ，１４ｃ ボール １５ 第１のスペーサ １５ａ 第１のスペーサ片 １５ｂ 第２のスペーサ片 １５ｃ 永久磁石 １７ 第２のスペーサ １００ 大気側の空間 ２００ 真空側の空間 ３００ 仕切り壁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 澤田 幸夫 長野県南安曇郡穂高町大字牧1856−１ 株 式会社ハーモニック・ドライブ・システム ズ穂高工場内 (72)発明者 山口 好夫 千葉県松戸市秋山389−９
Claims (10)
- 【請求項１】 第１の空間に配置された回転入力軸と、
第２の空間に配置された回転出力軸と、前記回転入力軸
を介して導入された回転運動を前記回転出力軸の側に伝
達する撓み噛み合い式歯車機構とを有し、当該撓み噛み
合い式歯車機構は、環状の剛性内歯歯車と、可撓性外歯
歯車と、前記可撓性外歯歯車を半径方向に撓めて前記剛
性内歯歯車に部分的に噛み合わせると共に噛み合わせ位
置を円周方向に移動させる波動発生器とを備え、前記波
動発生器には前記回転入力軸が連結され、前記剛性内歯
歯車には前記回転出力軸が連結され、前記可撓性外歯歯
車が、前記第１および第２の空間を気密状態で仕切って
いる仕切り壁の一部として用いられている回転導入機に
おいて、 前記回転出力軸を回転自在に支持している軸受け機構
と、この軸受け機構における被潤滑部分を潤滑するため
の潤滑剤としての磁性流体と、当該磁性流体を前記被潤
滑部分に保持するための磁力を発生している磁気回路と
を有することを特徴とする回転導入機。 - 【請求項２】 請求項１において、前記軸受け機構は、
前記回転出力軸を回転自在に支持している第１および第
２の転がり軸受けと、これらの間隔を一定に保持するた
めに当該第１および第２の転がり軸受けの外輪の間に挿
入された第１のスペーサとを備えており、 前記第１のスペーサは、回転導入機軸線方向に着磁され
た磁石部材と、当該磁石部材と前記第１の転がり軸受け
の側の外輪の間に挿入された第１のスペーサ片と、前記
磁石部材と前記第２の転がり軸受けの側の外輪の間に挿
入された第２のスペーサ片とを備えており、 前記第１および第２の転がり軸受けと、少なくとも前記
第１および第２の転がり軸受けによって支持されている
前記回転出力軸の部分は、磁性体であり、 前記磁気回路は、前記第１のスペーサから、前記第１の
転がり軸受けと、前記回転出力軸と、前記第２の転がり
軸受けを介して、当該第１のスペーサに戻る経路に沿っ
て形成されていることを特徴とする回転導入機。 - 【請求項３】 請求項２において、前記第１のスペーサ
は、前記磁石部材と前記第１および第２のスペーサ片と
が一体化された単一部材であることを特徴とする回転導
入機。 - 【請求項４】 請求項２または３において、前記第１お
よび第２の転がり軸受けの内輪の間に挿入された第２の
スペーサを備え、 前記第２のスペーサは磁性体であり、前記回転出力軸は
非磁性体であり、 前記磁気回路は、前記第１のスペーサから、前記第１の
転がり軸受けと、前記第２のスペーサと、前記第２の転
がり軸受けを介して、当該第１のスペーサに戻る経路に
沿って形成されていることを特徴とする回転導入機。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のうちの何れかの項に
おいて、前記軸受け機構の前記被潤滑部分の表面には、
固体潤滑被膜が形成されていることを特徴とする回転導
入機。 - 【請求項６】 請求項１ないし５のうちの何れかの項に
おいて、前記剛性内歯歯車と前記可撓性外歯歯車の噛み
合い部分を潤滑するための潤滑剤としての磁性流体と、
当該磁性流体を前記噛み合い部分に保持するための磁力
を発生している第２の磁気回路とを有することを特徴と
する回転導入機。 - 【請求項７】 請求項６において、 前記波動発生器は、前記可撓性外歯歯車の内側に嵌め込
まれた転がり軸受けを備えており、 前記剛性内歯歯車、前記可撓性外歯歯車、および前記波
動発生器の転がり軸受けの外輪のうちの少なくとも一つ
の部材が、回転導入機軸線方向に着磁されており、 前記第２の磁気回路は、着磁された前記部材によって形
成されていることを特徴とする回転導入機。 - 【請求項８】 第１の空間に配置された回転入力軸と、
第２の空間に配置された回転出力軸と、前記回転入力軸
を介して導入された回転運動を前記回転出力軸の側に伝
達する撓み噛み合い式歯車機構とを有し、当該撓み噛み
合い式歯車機構は、環状の剛性内歯歯車と、可撓性外歯
歯車と、前記可撓性外歯歯車を半径方向に撓めて前記剛
性内歯歯車に部分的に噛み合わせると共に噛み合わせ位
置を円周方向に移動させる波動発生器とを備え、前記波
動発生器には前記回転入力軸が連結され、前記剛性内歯
歯車には前記回転出力軸が連結され、前記可撓性外歯歯
車が、前記第１および第２の空間を気密状態で仕切って
いる仕切り壁の一部として用いられている回転導入機に
おいて、 前記剛性内歯歯車と前記可撓性外歯歯車の噛み合い部分
を潤滑するための潤滑剤としての磁性流体と、当該磁性
流体を前記噛み合い部分に保持するための磁力を発生し
ている磁気回路とを有することを特徴とする回転導入
機。 - 【請求項９】 請求項８において、 前記波動発生器は、前記可撓性外歯歯車の内側に嵌め込
まれた転がり軸受けを備えており、 前記剛性内歯歯車、前記可撓性外歯歯車、および前記波
動発生器の転がり軸受けの外輪のうちの少なくとも一つ
の部材が、回転導入機軸線方向に着磁されており、 前記磁気回路は、着磁された前記部材によって形成され
ていることを特徴とする回転導入機。 - 【請求項１０】 請求項８または９において、前記剛性
内歯歯車の内歯表面および前記可撓性外歯歯車の外歯表
面には、固体潤滑被膜が形成されていることを特徴とす
る回転導入機。
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| JP9331340A JPH11166597A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 回転導入機 |
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| JP9331340A JPH11166597A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 回転導入機 |
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| JPH11166597A true JPH11166597A (ja) | 1999-06-22 |
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