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JPH1116354A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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Publication number
JPH1116354A
JPH1116354A JP9172296A JP17229697A JPH1116354A JP H1116354 A JPH1116354 A JP H1116354A JP 9172296 A JP9172296 A JP 9172296A JP 17229697 A JP17229697 A JP 17229697A JP H1116354 A JPH1116354 A JP H1116354A
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JP
Japan
Prior art keywords
potential
bit line
sense amplifier
circuit
precharge
Prior art date
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Application number
JP9172296A
Other languages
English (en)
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JP3399787B2 (ja
Inventor
Ayako Kitamoto
綾子 北本
Masato Matsumiya
正人 松宮
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP17229697A priority Critical patent/JP3399787B2/ja
Priority to US08/987,618 priority patent/US6049493A/en
Priority to KR1019980003796A priority patent/KR100272903B1/ko
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
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    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/12Bit line control circuits, e.g. drivers, boosters, pull-up circuits, pull-down circuits, precharging circuits, equalising circuits, for bit lines
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C2207/00Indexing scheme relating to arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C2207/12Equalization of bit lines

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Dram (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】ビット線プリチャージ電位を電源の1/2より
ずらした電位として、ビット線のレンファレンス電位を
生成してセンスアップを確実に駆動する。 【解決手段】最初にビット線を第一の電位に、センスア
ンプ回路を第二の電位にプリチャージし、両者を接続し
て、両者の容量比に応じた第三の電位にビット線のプリ
チャージ電位を設定し、ワード線を活性化してメモリセ
ルをビット線に接続する。メモリセル内の電位に応じて
ビット線に微小電圧が生成され、それをセンスアンプ回
路で検出して増幅する。例えば、第一の電位をグランド
電源にし、第二の電位を高電位側電源に設定すると、第
三の電位は、電源電位の1/2の電位よりもグランド電
位側にずれた電位となる。この電位はグランド電位より
も高い電位であるので、選択されたビット線には、第三
の電位より微小電圧分高いか、又は低い電位が生成され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイナミックラン
ダムアクセスメモリ(DRAM)等の半導体記憶装置に
関し、センスアンプの感度を上げることができ且つダミ
ーセルを利用したビット線レファレンス電圧の生成を不
要にした半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体記憶装置の一つであるDRAM
は、一般的には1トランジスタと1キャパシタからなる
メモリセルを有する。メモリセルのキャパシタに電荷を
蓄積するかしないかにより、情報を記録する。そして、
メモリセルのキャパシタの電位がビット線に読み出さ
れ、ビット線対に生成された微小な電位差がセンスアン
プにより検出され増幅される。
【0003】従来のDRAMでは、ビット線のプリチャ
ージレベルを高電位側電源の半分の電位にする方式が主
流である。高電位側電源をVccとすると、ビット線の
プリチャージ電位は、Vcc/2となる。そして、メモ
リセルの電位がキャパシタに電荷が蓄積されて高電位の
場合には、ビット線はそのプリチャージ電位から微小電
圧だけ上昇する。一方、メモリセルの電位がキャパシタ
に電荷が蓄積されずに低電位の場合には、ビット線はそ
のプリチャージ電位から微小電圧だけ下降する。そし
て、反対側のビット線の電位はプリチャージ電位のまま
であり、両ビット線に微小電圧の差が生成される。この
微小電圧が、センスアンプにより検出され増幅される。
【0004】上記した高電位側電源の半分の電位にプリ
チャージ電位を設定することで、ダミーセル等の対向ビ
ット線側にレファレンス電位を生成する為の回路が不要
になる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、近年の低消
費電力化に伴い、電源電圧が低電位化する傾向にある。
或いは、内部で外部電源から降圧した内部降圧電源を生
成して使用する傾向にある。その為、電源の1/2をビ
ット線プリチャージ電位に使用する場合、センスアンプ
回路の増幅トランジスタを駆動することが困難になると
いう問題を招いている。即ち、センスアンプ回路は、通
常ソース端子が共通接続された一対のトランジスタによ
る差動回路を構成するが、電源の1/2の電位をそれら
のゲート端子に印加しても、ゲート・ソース間電圧がト
ランジスタの閾値電圧に満たない或いはそれに近くなる
傾向にある。その為に、センスアンプ回路の感度が低下
してしまう、或いは最悪で駆動不能になる。
【0006】そこで、電源の1/2の電位をプリチャー
ジ電位とする方式の代わりに、ビット線のプリチャージ
電位を、グランド電位或いは高電位側電源の電位にする
ことが提案される。こうすることで、センスアンプ回路
のトランジスタを十分駆動させることができる。ビット
線のプリチャージ電位を、グランド電位或いは高電位側
電源の電位にすると、対向するビット線のレファレンス
電位を生成する為の回路が必要になる。例えば、上記し
た通りダミーセル等である。かかるダミーセル方式は、
余分な回路と共にダミーセルを駆動することによる余分
な消費電力を要するので、好ましくない。また、第三の
電位を生成してレファレンス電位に利用することも考え
られるが、かかる中間電位を安定に生成する回路は非常
に困難である。
【0007】そこで、本発明の目的は、ビット線プリチ
ャージ電位を電源の1/2よりずらした電位にするとと
もに、ダミーセル等を利用することなくビット線のレン
ファレンス電位を生成することができる半導体記憶装置
を提供することにある。
【0008】また、本発明の目的は、安定してビット線
プリチャージ電位を電源の1/2より低くまたは高くず
らした電位にすることができるプリチャージ回路を設け
た半導体記憶装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する為
に、本発明は、プリチャージ期間において、最初にビッ
ト線を第一の電位にプリチャージし、センスアンプ回路
を第二の電位にプリチャージする。その後、ビット線と
センスアンプ回路とをビット線トランスファーゲートに
より接続し、両者の容量比に応じた第三の電位にビット
線のプリチャージ電位を設定する。その後、ワード線を
活性化してメモリセルをビット線に接続する。メモリセ
ル内の電位に応じてビット線に微小電圧が生成され、そ
れをセンスアンプ回路で検出して増幅する。上記第一の
電位と第二の電位を異ならせることで、第三の電位を第
一の電位側に近い中間の電位にすることができる。例え
ば、第一の電位をグランド電源にし、第二の電位を高電
位側電源に設定すると、第三の電位は、電源電位の1/
2の電位よりもグランド電位側にずれた電位となる。こ
の電位はグランド電位よりも高い電位であるので、選択
されたビット線には、第三の電位より微小電圧分高いか
または低い電位が生成される。従って、センスアンプ
は、第三の電位をレファレンス電位(基準電位)として
利用することができる。
【0010】本発明は、複数のワード線と、複数のビッ
ト線と、それらの交差する位置に設けられる複数のメモ
リセルとを有する半導体記憶装置において、前記ビット
線に生成される電位を検出するセンスアンプ回路と、プ
リチャージ期間に前記ビット線を第一の電位にプリチャ
ージするビット線プリチャージ回路と、プリチャージ期
間に前記センスアンプ回路を第一の電位と異なる第二の
電位にプリチャージするセンスアンププリチャージ回路
と、前記ビット線とセンスアンプ回路がプリチャージさ
れる時に前記ビット線とセンスアンプ回路とを分離し、
該プリチャージが終了し前記ビット線及びセンスアンプ
回路が前記第一及び第二の電位から分離された後に前記
ビット線とセンスアンプ回路とを結合するビット線トラ
ンスファーゲート回路とを有し、前記ビット線トランス
ファーゲート回路が前記ビット線とセンスアンプ回路と
を結合してビット線が前記第一と第二の電位の間の第三
の電位になった後、前記ワード線が駆動されることを特
徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の例に
ついて図面に従って説明する。しかしながら、かかる実
施の形態例が本発明の技術的範囲を限定するものではな
い。
【0012】図1は、本発明の原理を説明する為の図で
ある。図2は、同様に本発明の原理を説明する為の図で
ある。図1(a)には、メモリの概略的構成が示され
る。メモリセルが接続されるビット線対10とセンスア
ンプ12とがビット線トランスファーゲート14により
接続させる。ビット線対10には第一の電位V1にビッ
ト線対10をプリチャージするビット線プリチャージ回
路16が、センスアンプ12にはセンスアンプ入力対を
第一の電位V1と異なる第二の電位V2にプリチャージ
するセンスアンププリチャージ回路18が、それぞれ設
けられる。
【0013】図1の例では、図1(b)に示される通
り、第一の電位V1が低く、第二の電位V2が高く設定
される。例えば、第一の電位V1は低電位側電源に、第
二の電位V2は高電位側電源に設定される。図1(b)
には、スタンバイ期間におけるビット線対10とセンス
アンプ入力対との電位が示される。そして、アクティブ
期間の前に、ビット線対10とセンスアンプ12とは、
それぞれのプリチャージ電源から切り離され、ビット線
トランスファーゲートのスイッチ14が閉じられる。そ
の結果、図1(c)に示される通り、ビット線対の電位
とセンスアンプ入力対の電位とは、両者の容量Cblと
Csaの比によってきまる第三の電位 (Cbl*V1+Csa*V2)/(Cbl+Csa) となる。
【0014】一般に、ビット線には多数のメモリセルが
接続されるため、その容量Cblは、センスアンプの入
力対の容量Csaよりも大きい。従って、図1(c)の
電位は、第一の電位V1と第二の電位V2との中間より
も第一の電位V1側にずれた基準電位(レファレンス電
位)となる。しかも、この電位は再現性良く安定的に生
成される。
【0015】今仮に、メモリセル内の記憶電圧が、第一
の電位V1の場合と第二の電位V2の場合であるとする
と、ワード線を立ち上げてメモリセルをビット線に接続
すると、ビット線の電位は、上記の基準電位より微小電
圧上昇または下降する。従って、基準電位をレファレン
ス電位として、センスアンプ12は微小電位差を検出す
ることができる。しかも、基準電位は第一の電位V1と
第二の電位V2の設定により、電源の1/2の電位から
下側にずらすことができるので、センスアンプ回路のト
ランジスタの駆動不良の問題はない。
【0016】図2は、第一の電位V1が高く、第二の電
位V2が低く設定されている点で図1と異なる。従っ
て、この場合は、スイッチ14を閉じると、ビット線対
10とセンスアンプ入力対の電位は、第一の電位V1に
近い中間の基準電位となる。従って、同様にして、この
基準電位をビット線のレファレンス電位として利用する
ことができる。
【0017】図3は、本発明の実施の形態例のメモリ回
路を示す図である。この例は、上記した図1の例に対応
する。図3中、左右に位置するビット線対側部分20、
24の間に、センスアンプ側部分22が設けられる。左
右のビット線対側部分20,24には、それぞれ複数の
メモリセルcellが設けられる。折り返しビット線方
式に配置されたビット線対BL0,/BL0とBL1,
/BL1と、それらに交差するワード線WL00,WL
01,WL10,WL11とが設けられる。ビット線と
ワード線との交差位置に、メモリセルcellが配置さ
れる。メモリセルは、図示される通り、1個のトランジ
スタと1個のキャパシタで構成される。
【0018】センスアンプ側部分22には、センスアン
プ31,32が設けられる。センスアンプ31,32
は、両側のビット線対BL0,/BL0及びBL1,/
BL1に、ビット線トランスファゲート29,30を介
して接続される。従って、図3の例では、いずれか一方
のビット線トランスファゲート29,30のトランジス
タを導通させて、左右一方のビット線対が、センスアン
プの入力対n00,n01に接続される。即ち、センス
アンプ31,32は、左右のビット線対に共用される。
【0019】センスアンプ31,32は、P型トランジ
スタ56,57とN型トランジスタ58,59を有し、
CMOSインバータ回路の入力と出力を交差接続した構
成である。センスアンプは、トランジスタの共通ソース
端子に与えられるセンスアンプ制御信号SAP,SAN
により活性化または非活性化される。ビット線トランス
ファゲート29,30は、それぞれN型トランジスタ5
0,51及び52,53で構成され、ビット線トランス
ファゲート選択信号ISO0、ISO1により一方が導
通される。
【0020】図3の回路では、図1で説明した様に、ビ
ット線対プリチャージ回路26,27,28は、スタン
バイ期間(プリチャージ期間)にビット線対BL0,/
BL0とBL1,/BL1とを第一の電位V1にプリチ
ャージする。また、センスアンププリチャージ回路33
は、スタンバイ期間(プリチャージ期間)にセンスアン
プの入力対n00,n01を第二の電位V2にプリチャ
ージする。回路26,27により、左側のビット線対が
プリチャージされ、回路26,28により、右側のビッ
ト線対がプリチャージされる。
【0021】ビット線プリチャージ回路26,27,2
8は、N型トランジスタ40乃至47で構成され、左右
のビット線プリチャージ信号BLP0,BLP1により
それぞれ制御される。また、ビット線プリチャージ回路
27,28は、ビット線対間を短絡する短絡トランジス
タ44,47を有し、イコライズ信号EQL0,EQL
1により制御される。ビット線プリチャージ信号BLP
0,BLP1とイコライズ信号EQL0,EQL1が共
にHレベルになると、ビット線対は第一の電位V1にプ
リチャージされる。
【0022】また、センスアンププリチャージ回路33
は、P型トランジスタ60,61で構成され、ビット線
プリチャージ信号PRE2により制御される。第二の電
位V2が高い電位であるので、センスアンプ入力対n0
0,n01を確実に第二の電位V2にプリチャージでき
るように、P型トランジスタが使用される。従って、N
型のトランジスタで構成されてもよい。N形トランジス
タの場合は、ビット線プリチャージ信号PRE2は逆極
性になる。図3の例では、プリチャージ期間においてビ
ット線プリチャージ信号PRE2がLレベルの時に、セ
ンスアンプの入力対n00,n01が第二の電位V2に
プリチャージされる。
【0023】図4は、図3のメモリ回路の変形例を示す
図である。図3と同じ部分には、同じ引用番号が与えら
れる。図4の回路例では、ビット線プリチャージ回路6
4,65が図3の回路と異なる。このビット線プリチャ
ージ回路64,65は、実質的に図3の回路27,28
と同じ構成である。但し、トランジスタ42,43はビ
ット線プリチャージ信号BLP0により制御され、トラ
ンジスタ44はイコライズ信号EQL0で制御される。
また、トランジスタ45,46はビット線プリチャージ
信号BLP1により制御され、トランジスタ47はイコ
ライズ信号EQL1で制御される。それ以外は、同様の
構成である。
【0024】図5は、図3及び図4に示したメモリ回路
の動作を説明するタイミングチャート図である。このタ
イミングチャート図は、単に各制御信号や端子の信号の
順番を示すだけであり、時間軸である横軸や電位軸であ
る縦軸のスケールは特に意味を与えるものではない。図
5の例では、第一の電位V1は低電位側電源、第二の電
位V2は高電位側電源に設定される。より具体的には、
第一の電位V1はグランド電位Vssであり、第二の電
位V2は内部で生成された内部降圧電源Viiレベルで
ある。一般に、内部降圧電源Viiは、外部電源Vcc
を所定電位だけ降下させた安定した電源である。
【0025】図5には、時間軸に沿ってスタンバイ期間
(プリチャージ期間)t1、アクティブ期間t2及びス
タンバイ期間t1が示される。まず、スタンバイ期間t
1では、ビット線トランスファゲート選択信号ISO
0、ISO1は、いずれもLレベルにあり、ビット線ト
ランスファゲート29,30はいずれも非導通状態にあ
る。したがって、ビット線対とセンスアンプとは電気的
に分離されている。このとき、イコライズ信号EQL
0,1及びビット線プリチャージ信号BLP0,1は共
にHレベルにあり、ビット線対は第一の電位V1にプリ
チャージされる。また、センスアンププリチャージ信号
PRE2はLレベルにあり、トランジスタ60,61が
導通し、センスアンプ入力対n00,n01は第二の電
位V2にプリチャージされる。その時、センスアンプ制
御信号SAP,SANは、それぞれLレベル(V1レベ
ル)、Hレベル(V2レベル)にされ、センスアンプの
プリチャージ電位V2によってはセンスアンプのトラン
ジスタが導通しない。
【0026】今、仮に左側のビット線対側回路20が選
択されるとする。アクティブ期間t2になる直前に、ま
ず、両プリチャージ信号BLP0,1とPRE2がそれ
ぞれLレベル及びHレベルに変化し、ビット線対を第一
の電位V1から切り離し、センスアンプ入力対n00,
n01を第二の電位V2から切り離す。その時、ビット
線対BL0,/BL0はトランジスタ44により短絡さ
れた状態であり、同じ電位に保たれる。そこで、選択さ
れた方の左側のビット線トランスファゲート信号ISO
0のみがHレベルになり、ビット線対BL0,/BL0
がセンスアンプ入力対n00,n01に接続される。そ
の結果、ビット線対とセンスアンプ入力対の電位は、両
者の容量CblとCsaの比によりきまる上記した中間
基準電位Vrefになる。一般に、多数のメモリセルが
接続されるビット線対の容量Cblはセンスアンプの容
量Csaよりも大きく、したがって、基準電位Vref
は、内部降圧電源ViiとグランドVssの間の1/2
の電位よりも低い中間電位に設定される。第二の電位V
2を内部電源Viiよりも低い電位にすることで、更に
基準電位Vrefをグランド電位に近い電位にすること
もできる。この時点では、センスアンプ制御信号SA
P,SANは、それぞれ基準電位Vrefより低い、高
い電位にあり、トランジスタは駆動されない。
【0027】さて、そこで、イコライズ信号EQL0が
Lレベルになり、ビット線対BL0,/BL0が分離さ
れる。その後、ワード線WL0#(#はいずれかの番
号)がHレベルに立ち上げられる。一般に、ワード線は
内部降圧電源Viiよりも更に高い昇圧電位にされる。
その結果、メモリセルの電圧がビット線に読み出され、
一方のビット線の電位が微小電位ΔVだけ下降または上
昇する。図5の例ではΔVだけ下降している。
【0028】ビット線対間に微小電圧が生成されると、
センスアンプ制御信号SAPとSANと がそれぞれH
レベルとLレベルに変化し、センスアンプ31,32が
活性化される。即ち、センスアンプのトランジスタのゲ
ートソース間にはその閾値電圧を越える電圧が印加され
て、駆動される。その結果、ビット線対の電位は大きく
増幅される。ここでは、ビット線対の基準電位Vref
がグランド電位Vss(この例では第一の電位V1)に
近い電位であるので、センスアンプ31、32のうち、
主にP型トランジスタ56,57側が最初に駆動され
る。従って、センスアンプ制御信号SAPのHレベルへ
の変化をセンスアンプ制御信号SANのLレベルへの変
化よりも、若干早くすることで、センスアンプの駆動を
スムーズに行うことができる。
【0029】センスアンプが増幅したノードn00,n
01の電位は、図示しないコラムゲートを介してデータ
バス線に出力される。それと共に、メモリセルに再書き
込みされ、ワード線は立ち下がる。そして、スタンバイ
期間t1では、ビット線トランスファー信号ISO0が
Lレベルになり、ビット線トランスファーゲート29が
非導通となる。更に、他の制御信号も、最初のスタンバ
イ状態のレベルになる。即ち、ビット線対は第一の電位
V1にプリチャージされ、センスアンプは第二の電位V
2にプリチャージされる。
【0030】以上が、図3,4のメモリ回路の動作であ
る。上記回路において、ビット線対の基準電位Vref
を電源Viiの1/2よりもグランド電位よりにするこ
とで、メモリセルのHレベルのリークに対しても、精度
よくセンスアンプによる微小電圧の検出を行うことがで
きる。即ち、メモリセル内のHレベルは、例えばセルト
ランジスタを介してのリークあるいはセルキャパシタを
介してのリークにより低下する傾向にある。その場合、
基準電位が電源の1/2であると、リークにより低下し
たHレベルと基準電位との差が少なくなり、ビット線に
生成される微小電圧も小さくなる。それに対して、上記
の実施の形態例では、ビット線の基準電位Vrefが、
電源の1/2よりもグランド側にずれているので、リー
クして低下したメモリセルのHレベルに対しても、ビッ
ト線には十分に大きな微小電圧が生成される。尚、メモ
リセルのLレベル側は、グランド電位であるので、リー
クによる変動は生じない。
【0031】図6には、本発明の他の実施の形態例のメ
モリ回路を示す図である。この例は、上記した図2の例
に対応する。この例では、図3と異なり、第一の電位V
1が第二の電位V2よりも高い場合である。従って、ビ
ット線対の基準電位Vrefは、高い方の第一の電位V
1側にずれたレベルとなる。この例では、典型的には第
一の電位V1は内部の電源Viiとなり、第二の電位V
2はグランド電位Vssとなる。或いは、第一の電位V
1は、内部電源Viiではなく、何らかの高い電位であ
っても良い。
【0032】図6には、図3と同じ部分には同じ引用番
号を付している。図3の回路と異なるところは、センス
アンププリチャージ回路66が、N型トランジスタ6
7,68で構成されていることである。第二の電位V2
が低い電位であるので、P型トランジスタではなく、N
型のトランジスタが使用される。それに伴い、センスア
ンププリチャージ信号PRE2は、図3の場合と逆極性
になる。ビット線プリチャージ回路26,27,28は
図3の回路と同様である。但し、第一の電位V1が高い
電位であるので、トランジスタ40,41,42,4
3,44などを制御する信号である、ビット線プリチャ
ージ信号BLP0,BLP1やイコライズ信号EQL
0,EQL1は、第一の電位V1よりもトランジスタの
閾値電圧だけ高い電位のHレベルに制御される。
【0033】図7は、図6の変形例を示す図である。図
7の回路は、図4と同じ部分には同じ引用番号を付して
いる。図7の回路では、図4と同様に、ビット線プリチ
ャージ回路64,65が、図6の場合と異なる。ビット
線プリチャージ回路64,65では、N型トランジスタ
42,43,45,46がビット線プリチャージ信号B
LP0,BLP1により制御され、ビット線短絡トラン
ジスタ44,47は、それぞれイコライズ信号EQL
0,1により制御される。図7のセンスアンププリチャ
ージ回路66は、図6と同様に、図4のプリチャージ回
路33とは異なり、N型トランジスタで構成される。
【0034】図8は、図6と図7の回路の動作を示すタ
イミングチャート図である。図8は、図5のタイミング
チャート図とほぼ同じであるが、上記した通りセンスア
ンププリチャージ信号PRE2の極性が逆になっている
点で異なる。更に、図5と異なり、図8の場合は、第一
の電位V1が高い電位であり、第二の電位V2が低い電
位であり、更に、ビット線の基準電位Vrefが高い電
位側にずれたレベルになっている。
【0035】そして、スタンバイ期間t1での動作、ア
クティブ期間t1での動作などは、図5と同様である。
簡単に説明すると、プリチャージ期間であるスタンバイ
期間t1では、ビット線対は内部の電源Viiである第
一の電位V1にプリチャージされ、センスアンプの入力
端子n00,n01はグランド電位Vssである第二の
電位V2にプリチャージされている。そこで、それぞれ
のプリチャージ信号BLP0,PRE2が共にLレベル
になり、ビット線対とセンスアンプが第一の電位V1と
第二の電位V2から分離される。仮に、左側のビット線
対側回路20が選択されたとすると、ビット線トランス
ファ信号ISO0がHレベルになり、センスアンプの入
力対n00,n01とビット線対BL0,/BL0とが
接続され、その入力対とビット線対は両者の容量比に応
じた基準電位Vrefになる。
【0036】そして、イコライズ信号EQL0をLレベ
ルにして、ビット線対BL0,/BL0を分離してか
ら、ワード線が立ち上がる。その結果、一方のビット線
に微小電圧ΔVが生成される。それをセンスアンプ3
1,32がセンスして増幅する。この例の場合は、ビッ
ト線基準電位Vrefが高い電位側にずれているので、
センスアンプの活性化信号SAPを先にHレベルにして
から、もう一つの活性化信号SANをLレベルにするこ
とで、センスアンプの動作をよりスムーズにすることが
できる。
【0037】そして、リセット期間t1では、ワード線
が立ち下げられ、最初のスタンバイ期間の状態に戻る。
【0038】図9は、図6の回路の変形例である。第一
の電位V1が高い電位であるので、ビット線プリチャー
ジ回路260,270,280がP型トランジスタ69
乃至76で構成される。従って、プリチャージ制御信号
BLP0,BLP1及びイコライズ信号EQL0,EQ
L1は、図6の場合と逆の極性になる。それ以外の部分
は同じ構成であるので、同じ引用番号を付した。
【0039】図10は、図7の回路の変形例である。第
一の電位V1が高い電位であるので、ビット線プリチャ
ージ回路670,680がP型トランジスタ69乃至7
4で構成される。従って、プリチャージ制御信号BLP
0,BLP1及びイコライズ信号EQL0,EQL1
は、図7の場合と逆の極性になる。それ以外の部分は同
じ構成であるので、同じ引用番号を付した。
【0040】図11は、図9と図10の動作を示すタイ
ミングチャート図である。上記した通り、図9と図10
はビット線プリチャージ信号BLP0,BLP1とイコ
ライズ信号EQL0,EQL1とが図6,7の回路の逆
極性である。従って、図11の両信号BLP0,BLP
1、EQL0,EQL1は、図8とは逆極性である。そ
れ以外の部分は同じである。従って、図11による動作
説明は省略する。
【0041】図12は、上記してきた実施の形態例の具
体的な電位の例を示す図である。図3〜5にて示した実
施の形態例では、ビット線対のプリチャージ電位V1が
低く、センスアンプのプリチャージ電位V2が高く設定
されている。そこで、その具体例として、第一の電位V
1がグランド電位Vssで第二の電位V2が内部降圧電
源Viiに設定した例が、図12に示される。内部降圧
電源Viiは、一般に外部から供給される高電位側電源
Vccから所定電圧降圧して生成される安定な内部電源
である。図12に示され通り、ビット線トランスファー
ゲートでセンスアンプとビット線対とが短絡されると、
ビット線対の基準電位Vref1は、内部電源Viiの
1/2とグランド電位との間の電位になる。その基準電
位Vref1の上下に、ビット線の電位は微小電圧ΔV
だけ上昇または下降する。
【0042】一方、図6〜11の実施の形態例では、ビ
ット線対のプリチャージ電位V1が高く、センスアンプ
のプリチャージ電位V2が低く設定されている。そこ
で、その具体例として、第一の電位V1が内部降圧電源
Viiで第二の電位V2がグランド電位Vssに設定し
た例が、図12に示される。この場合のビット線の基準
電位Vref2は、内部電源Viiとその1/2の電位
との間の電位になる。
【0043】第一の電位V1と第二の電位V2とは、必
ずしも電源電位である必要はない。ビット線基準電位V
refを最適の電位に設定できる様に、任意の電位が採
用され得る。
【0044】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、ビ
ット線のプリチャージ電位を電源の1/2の電位より高
くまたは低くした中間電位に設定することができるの
で、センスアンプの駆動動作を確実にすることができ
る。更に、ダミーセルやダミーキャパシタを利用してビ
ット線にレファレンスとなる基準電位を生成する特別の
回路を生成する必要はない。そして、ビット線プリチャ
ージ電位を電源の1/2の電位よりも低くする場合は、
メモリセルのHレベルがリークにより低下しても、ビッ
ト線には有効な微小電圧が検出され、読み出しを確実に
行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理を説明する為の図である。
【図2】本発明の原理を説明する為の図である。
【図3】本発明の実施の形態例のメモリ回路を示す図で
ある。
【図4】図3のメモリ回路の変形例を示す図である。
【図5】図3及び図4に示したメモリ回路の動作を説明
するタイミングチャート図である。
【図6】本発明の他の実施の形態例のメモリ回路を示す
図である。
【図7】図6のメモリ回路の変形例を示す図である。
【図8】図6及び図7に示したメモリ回路の動作を説明
するタイミングチャート図である。
【図9】図6の回路の変形例である。
【図10】図7の回路の変形例である。
【図11】図9と図10の動作を示すタイミングチャー
ト図である。
【図12】実施の形態例の具体的な電位の例を示す図で
ある。
【符号の説明】
WL ワード線 BL ビット線 26,27,28 ビット線プリチャージ回路 29,30 ビット線トランスファーゲート 31,32 センスアンプ回路 33,66 センスアンププリチャージ回路 64,65 ビット線プリチャージ回路 270,280 ビット線プリチャージ回路 640,650 ビット線プリチャージ回路 V1 第一の電位 V2 第二の電位

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のワード線と、複数のビット線と、そ
    れらの交差する位置に設けられる複数のメモリセルとを
    有する半導体記憶装置において、 前記ビット線に生成される電位を検出するセンスアンプ
    回路と、 プリチャージ期間に前記ビット線を第一の電位にプリチ
    ャージするビット線プリチャージ回路と、 プリチャージ期間に前記センスアンプ回路を第一の電位
    と異なる第二の電位にプリチャージするセンスアンププ
    リチャージ回路と、 前記ビット線とセンスアンプ回路がプリチャージされる
    時に前記ビット線とセンスアンプ回路とを分離し、該プ
    リチャージが終了し前記ビット線及びセンスアンプ回路
    が前記第一及び第二の電位から分離された後に前記ビッ
    ト線とセンスアンプ回路とを結合するビット線トランス
    ファーゲート回路とを有し、 前記ビット線トランスファーゲート回路が前記ビット線
    とセンスアンプ回路とを結合してビット線が前記第一と
    第二の電位の間の第三の電位になった後、前記ワード線
    が駆動されることを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】請求項1において、 前記センスアンプ回路は、ビット線対間に生成される電
    圧を検出し、 更に、前記プリチャージ期間に該ビット線対間を短絡
    し、前記ビット線対が前記第三の電位になった後、前記
    ワード線が駆動される前に、前記ビット線対間の短絡を
    解除するビット線短絡回路を有することを特徴とする半
    導体記憶装置。
  3. 【請求項3】請求項1において、 前記センスアンプ回路は、一対のCMOSインバータの
    入力対と出力対とを交差接続して構成され、 該CMOSインバータのP型トランジスタのソースに供
    給される第一のセンスアンプ制御信号は、前記プリチャ
    ージ期間において該P型トランジスタを非導通にする第
    四の電位に制御され、前記ビット線の電位を検出すると
    きは該P型トランジスタを活性化する第五の電位に制御
    され、 該CMOSインバータのN型トランジスタのソースに供
    給される第二のセンスアンプ制御信号は、前記プリチャ
    ージ期間において該N型トランジスタを非導通にする第
    六の電位に制御され、前記ビット線の電位を検出すると
    きは該N型トランジスタを活性化する第七の電位に制御
    されることを特徴とする半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】請求項3において、 前記第四の電位は前記第三の電位よりも低く、前記第六
    の電位は前記第三の電位よりも高いことを特徴とする半
    導体記憶装置。
  5. 【請求項5】請求項1において、 前記第一の電位はグランド電位であり、前記第二の電位
    は電源電位であることを特徴する半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】請求項1において、 前記第一の電位は電源電位であり、前記第二の電位はグ
    ランド電位であることを特徴する半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】請求項5または6において、 前記第三の電位は、前記電源電位の1/2の電位よりも
    グランド電位側または電源電位側にずれた電位であるこ
    とを特徴とする半導体記憶装置。
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