JPH11138472A - 水平多関節ロボット - Google Patents
水平多関節ロボットInfo
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- JPH11138472A JPH11138472A JP32228697A JP32228697A JPH11138472A JP H11138472 A JPH11138472 A JP H11138472A JP 32228697 A JP32228697 A JP 32228697A JP 32228697 A JP32228697 A JP 32228697A JP H11138472 A JPH11138472 A JP H11138472A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高さの低い水平多関節ロボットを提供する。
【解決手段】 中空状の胴体部２と、胴体部２の上方に
設けた第１のアーム４、第２のアーム５および第３のア
ーム６と、これらのアームを駆動する駆動モータ３を胴
体部２の中に収納した水平多関節ロボットにおいて、胴
体部２の上面の第１のアーム４の動作に干渉しない位置
に突出させたモータ取付部２２を設け、モータ取付部２
２に駆動モータ３を配置したものである。これにより、
胴体部２の底から第３のアーム６の上面までの高さを低
く抑えることができる。
設けた第１のアーム４、第２のアーム５および第３のア
ーム６と、これらのアームを駆動する駆動モータ３を胴
体部２の中に収納した水平多関節ロボットにおいて、胴
体部２の上面の第１のアーム４の動作に干渉しない位置
に突出させたモータ取付部２２を設け、モータ取付部２
２に駆動モータ３を配置したものである。これにより、
胴体部２の底から第３のアーム６の上面までの高さを低
く抑えることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置な
どに使用される水平多関節ロボットに関し、とくに最終
アームの先端が直進するものに関する。
どに使用される水平多関節ロボットに関し、とくに最終
アームの先端が直進するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、最終アームの先端が直進するよう
にしたの水平多関節ロボットは、例えば図５に示すよう
に構成されている。すなわち、旋回し得るベース１の上
に胴体部２を載置し、胴体部２の内部にモータ軸３１を
上方に向けた駆動モータ３を設け、胴体部２の上面には
貫通穴２１を設けてある。モータ軸３１はカップリング
３２、減速機３３を介して中空の出力軸３４に連結し、
出力軸３４は貫通穴２１を通して胴体部２の上面から突
出させてある。出力軸３４には水平方向に伸びる第１の
アーム４の一方端を固定してある。出力軸３４の中空部
には、軸受３５を介して固定軸３６を設け、一方端を胴
体部２に固定し、他方端には第１のプーリ４１を固定し
てある。第１のアーム４の他方端には軸受４２を介して
支持した第１の旋回軸４３を設け、第１の旋回軸４３の
第１のアーム４側に第２のプーリ４４を固定し、第１の
プーリ４１と第２のプーリ４４とには第１のベルト４５
を巻き掛けてある。第１の旋回軸４３には水平方向に伸
びる第２のアーム５の一方側を固定してあるとともに、
第２のアーム５側には第３のプーリ５１を固定してあ
る。第２のアーム５の他方端には軸受５２を介して支持
した第２の旋回軸５３を設け、第２の旋回軸５３の第２
のアーム５側に第４のプーリ５４を固定し、第３のプー
リ５１と第４のプーリ５４とには第２のベルト５５を巻
き掛けてある。また、第２の旋回軸５３には水平方向に
伸びる第３のアーム６の一方端を固定してある。第３の
アーム６の他方端にはワークＷを把持する把持装置６３
を設けてある。この場合、上記各プーリと各ベルトによ
って第３のアーム６が平行リンク機構によって動作する
場合と同様の動作をするようにしてある。すなわち、第
１のアーム４の旋回角度にかかわらず、第３のアーム６
は常に一定の方向を維持しながら移動する
にしたの水平多関節ロボットは、例えば図５に示すよう
に構成されている。すなわち、旋回し得るベース１の上
に胴体部２を載置し、胴体部２の内部にモータ軸３１を
上方に向けた駆動モータ３を設け、胴体部２の上面には
貫通穴２１を設けてある。モータ軸３１はカップリング
３２、減速機３３を介して中空の出力軸３４に連結し、
出力軸３４は貫通穴２１を通して胴体部２の上面から突
出させてある。出力軸３４には水平方向に伸びる第１の
アーム４の一方端を固定してある。出力軸３４の中空部
には、軸受３５を介して固定軸３６を設け、一方端を胴
体部２に固定し、他方端には第１のプーリ４１を固定し
てある。第１のアーム４の他方端には軸受４２を介して
支持した第１の旋回軸４３を設け、第１の旋回軸４３の
第１のアーム４側に第２のプーリ４４を固定し、第１の
プーリ４１と第２のプーリ４４とには第１のベルト４５
を巻き掛けてある。第１の旋回軸４３には水平方向に伸
びる第２のアーム５の一方側を固定してあるとともに、
第２のアーム５側には第３のプーリ５１を固定してあ
る。第２のアーム５の他方端には軸受５２を介して支持
した第２の旋回軸５３を設け、第２の旋回軸５３の第２
のアーム５側に第４のプーリ５４を固定し、第３のプー
リ５１と第４のプーリ５４とには第２のベルト５５を巻
き掛けてある。また、第２の旋回軸５３には水平方向に
伸びる第３のアーム６の一方端を固定してある。第３の
アーム６の他方端にはワークＷを把持する把持装置６３
を設けてある。この場合、上記各プーリと各ベルトによ
って第３のアーム６が平行リンク機構によって動作する
場合と同様の動作をするようにしてある。すなわち、第
１のアーム４の旋回角度にかかわらず、第３のアーム６
は常に一定の方向を維持しながら移動する
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、第１のアーム４の下面から下方に形成された胴
体部２の中にアーム駆動用の駆動モータ３、カップリン
グ３２、減速機３３等を収納しているため、胴体部２の
底から第３アーム６の上面までの高さＨが高くなり、ロ
ボット全体の大きさが大きくなるという問題があった。
本発明は、胴体部の形状を変えて、高さの低い水平多関
節ロボットを提供することを目的とする。
術では、第１のアーム４の下面から下方に形成された胴
体部２の中にアーム駆動用の駆動モータ３、カップリン
グ３２、減速機３３等を収納しているため、胴体部２の
底から第３アーム６の上面までの高さＨが高くなり、ロ
ボット全体の大きさが大きくなるという問題があった。
本発明は、胴体部の形状を変えて、高さの低い水平多関
節ロボットを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、中空状の胴体部と、前記胴体部の上面に
設けた貫通穴と、前記胴体部の内部に設けた駆動モータ
と、前記駆動モータによって駆動され、前記胴体部の貫
通穴から上方に突出した中空状の出力軸と、前記出力軸
の中空部に通した固定軸と、前記出力軸に一方端を固定
した水平方向に伸びる第１のアームと、前記固定軸の他
方端に固定した第１のプーリと、前記第１のアームの他
方端に軸受を介して支持した第１の旋回軸と、前記第１
の旋回軸の前記第１のアーム側に固定した第２のプーリ
と、前記第１のプーリと前記第２のプーリとに巻き掛け
た第１のベルトと、前記第１の旋回軸に一方側を固定し
た水平方向に伸びる第２のアームと、前記第１の旋回軸
の前記第２のアーム側に固定した第３のプーリと、前記
第２のアームの他方端に軸受を介して支持した第２の旋
回軸と、前記第２の旋回軸の前記第２のアーム側に固定
した第４のプーリと、前記第３のプーリと前記第４のプ
ーリとに巻き掛けた第２のベルトと、前記第２の旋回軸
に一方端を固定した水平方向に伸びる第３のアームと前
記第３アームの先端に設けた把持装置とを備えた水平多
関節ロボットにおいて、前記胴体部は、前記貫通穴の横
方向に間隔を置いて上方に突出させたモータ取付部を備
え、前記駆動モータは前記モータ取付部に下方に向けて
配置したものである。また、前記駆動モータと、前記出
力軸と、前記固定軸と、前記第１のアームと、前記第１
のプーリと、前記第１の旋回軸と、前記第２のプーリ
と、前記第１のベルトと、前記第２のアームと、前記第
３のプーリと、前記第２の旋回軸と、前記第４のプーリ
と、前記第２のベルトと、前記第３のアームと、前記把
持装置とからなるアーム駆動機構を二組設け、前記二組
のアーム駆動機構を前記把持装置の移動軌跡を中心線と
して対称の位置に配置したものである。また、前記モー
タ取付部の高さは、前記第２アームの下面の高さより僅
かに低くしてあるものである。また、前記モータ取付部
は、前記第１のアームの所定旋回角度の範囲を超えた位
置に設けたものである。これにより、胴体部の底から第
３のアームの上面までの高さを低く抑えることができ
る。
め、本発明は、中空状の胴体部と、前記胴体部の上面に
設けた貫通穴と、前記胴体部の内部に設けた駆動モータ
と、前記駆動モータによって駆動され、前記胴体部の貫
通穴から上方に突出した中空状の出力軸と、前記出力軸
の中空部に通した固定軸と、前記出力軸に一方端を固定
した水平方向に伸びる第１のアームと、前記固定軸の他
方端に固定した第１のプーリと、前記第１のアームの他
方端に軸受を介して支持した第１の旋回軸と、前記第１
の旋回軸の前記第１のアーム側に固定した第２のプーリ
と、前記第１のプーリと前記第２のプーリとに巻き掛け
た第１のベルトと、前記第１の旋回軸に一方側を固定し
た水平方向に伸びる第２のアームと、前記第１の旋回軸
の前記第２のアーム側に固定した第３のプーリと、前記
第２のアームの他方端に軸受を介して支持した第２の旋
回軸と、前記第２の旋回軸の前記第２のアーム側に固定
した第４のプーリと、前記第３のプーリと前記第４のプ
ーリとに巻き掛けた第２のベルトと、前記第２の旋回軸
に一方端を固定した水平方向に伸びる第３のアームと前
記第３アームの先端に設けた把持装置とを備えた水平多
関節ロボットにおいて、前記胴体部は、前記貫通穴の横
方向に間隔を置いて上方に突出させたモータ取付部を備
え、前記駆動モータは前記モータ取付部に下方に向けて
配置したものである。また、前記駆動モータと、前記出
力軸と、前記固定軸と、前記第１のアームと、前記第１
のプーリと、前記第１の旋回軸と、前記第２のプーリ
と、前記第１のベルトと、前記第２のアームと、前記第
３のプーリと、前記第２の旋回軸と、前記第４のプーリ
と、前記第２のベルトと、前記第３のアームと、前記把
持装置とからなるアーム駆動機構を二組設け、前記二組
のアーム駆動機構を前記把持装置の移動軌跡を中心線と
して対称の位置に配置したものである。また、前記モー
タ取付部の高さは、前記第２アームの下面の高さより僅
かに低くしてあるものである。また、前記モータ取付部
は、前記第１のアームの所定旋回角度の範囲を超えた位
置に設けたものである。これにより、胴体部の底から第
３のアームの上面までの高さを低く抑えることができ
る。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す正断
面図、図２はその平面図、図３は側面図で、一部を断面
で示してある。図において、１はベース、２は中空状の
胴体部、２１は上面に設けた貫通穴、２２は貫通穴２１
の横方向に間隔を置いて上方に突出させたモータ取付部
である。３はモータ取付部２２の下側に配置した駆動モ
ータで、モータ軸３１を下方に向けてある。３２Ａは中
間軸で、モータ軸３１とベルト３２Ｂにより連結されて
いる。３３は中間軸３２Ａに入力側歯車３３Ａを固定し
た減速機、３４は中空状の出力軸で、胴体部２の貫通穴
２１から上方に突出させてあり、減速機３３の出力側歯
車３３Ｂを固定してある。３６は出力軸３４の中空部に
通した固定軸で、軸受３５を介して支持し、一方端を胴
体部２の底面に固定してある。４は出力軸３４に一方端
を固定した、水平方向に伸びる第１のアームである。な
お、モータ取付部２２の高さを決めるときは、第２アー
ム５の下面の高さより僅かに低くなるようにしてある。
４１は固定軸３６の他方端に固定した第１のプーリであ
る。４２は第１のアーム４の他方端に設けた軸受、４３
は軸受４２を介して支持した第１の旋回軸、４４は第１
の旋回軸４３の第１のアーム４側に固定した第２のプー
リ、４５は第１のプーリ４１と第２のプーリ４４とに巻
き掛けた第１のベルトである。５は第１の旋回軸４３に
一方側を固定した水平方向に伸びる第２のアーム、５１
は第１の旋回軸４３の第２のアーム５側に固定した第３
のプーリである。５２は軸受、５３は第２のアーム５の
他方端に軸受５２を介して支持した第２の旋回軸であ
る。５４は第２の旋回軸５３の第２のアーム５側に固定
した第４のプーリである。５５は第３のプーリ５１と第
４のプーリ５４とに巻き掛けた第２のベルトである。６
は第２の旋回軸５３に一方端を固定した水平方向に伸び
る第３のアームである。なお、第３アーム６は、第１の
アーム４と第２のアーム５を直線状になるように配置し
たとき、第２のアーム５と平行になるように配置した中
間部６１と、中間部６１を第２アーム５の先端に設けた
第２の旋回軸５３から垂直方向にオフセットするように
中間部６１から垂直に伸びる基部６２とで構成してあ
る。６３は第３のアーム６の中間部６１の先端に設けた
ワークＷを把持する把持装置である。
いて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す正断
面図、図２はその平面図、図３は側面図で、一部を断面
で示してある。図において、１はベース、２は中空状の
胴体部、２１は上面に設けた貫通穴、２２は貫通穴２１
の横方向に間隔を置いて上方に突出させたモータ取付部
である。３はモータ取付部２２の下側に配置した駆動モ
ータで、モータ軸３１を下方に向けてある。３２Ａは中
間軸で、モータ軸３１とベルト３２Ｂにより連結されて
いる。３３は中間軸３２Ａに入力側歯車３３Ａを固定し
た減速機、３４は中空状の出力軸で、胴体部２の貫通穴
２１から上方に突出させてあり、減速機３３の出力側歯
車３３Ｂを固定してある。３６は出力軸３４の中空部に
通した固定軸で、軸受３５を介して支持し、一方端を胴
体部２の底面に固定してある。４は出力軸３４に一方端
を固定した、水平方向に伸びる第１のアームである。な
お、モータ取付部２２の高さを決めるときは、第２アー
ム５の下面の高さより僅かに低くなるようにしてある。
４１は固定軸３６の他方端に固定した第１のプーリであ
る。４２は第１のアーム４の他方端に設けた軸受、４３
は軸受４２を介して支持した第１の旋回軸、４４は第１
の旋回軸４３の第１のアーム４側に固定した第２のプー
リ、４５は第１のプーリ４１と第２のプーリ４４とに巻
き掛けた第１のベルトである。５は第１の旋回軸４３に
一方側を固定した水平方向に伸びる第２のアーム、５１
は第１の旋回軸４３の第２のアーム５側に固定した第３
のプーリである。５２は軸受、５３は第２のアーム５の
他方端に軸受５２を介して支持した第２の旋回軸であ
る。５４は第２の旋回軸５３の第２のアーム５側に固定
した第４のプーリである。５５は第３のプーリ５１と第
４のプーリ５４とに巻き掛けた第２のベルトである。６
は第２の旋回軸５３に一方端を固定した水平方向に伸び
る第３のアームである。なお、第３アーム６は、第１の
アーム４と第２のアーム５を直線状になるように配置し
たとき、第２のアーム５と平行になるように配置した中
間部６１と、中間部６１を第２アーム５の先端に設けた
第２の旋回軸５３から垂直方向にオフセットするように
中間部６１から垂直に伸びる基部６２とで構成してあ
る。６３は第３のアーム６の中間部６１の先端に設けた
ワークＷを把持する把持装置である。
【０００６】ここで、本発明が従来例と異なるのは、胴
体部２の貫通穴２１の横方向に間隔を置いて上方に突出
させたモータ取付部２２を設け、モータ取付部２２に駆
動モータ３を下方に向けて配置した点である。ただし、
モータ取付部２２は第１のアームの動作に干渉しない位
置に設けてある。ここで第１の実施例の動作を説明す
る。駆動モータ３により第１のアーム４を旋回すると、
図２（ａ）に示した第３のアーム６が胴体部２から最も
離れた位置から、図２（ｂ）に示すように、第２のアー
ム５が第１のアーム４と逆方向に旋回し、更に第３のア
ーム６は第２のアーム５と逆方向に旋回し、第３のアー
ム６は常に平行に、かつ直線的に移動して胴体部２に近
づく。更に第１のアーム４を旋回すると、図２（ｃ）に
示すように、第３のアーム６が胴体部２を通り過ぎる位
置まで移動する。なお、第３のアーム６の先端に取り付
けた把持装置６３は第２のアーム５の先端に設けた第２
の旋回軸５３から基部６２の長さだけオフセットされて
いるので、把持装置６３は、中間部６１に平行で第２の
旋回軸５３から基部６２の長さだけオフセットされた移
動軌跡上を移動する。第１のアーム４とモータ取付部２
２はほぼ同じ高さに配置されているが、第１のアーム４
が旋回しても、モータ取付部２２に干渉しないので第３
のアーム６の移動動作には影響を与えない。このような
構成により、駆動モータ３は胴体部２の貫通穴２１の横
方向に間隔を置いて上方に突出させたモータ取付部２２
に配置するので、駆動モータ３の取付位置は第１のアー
ム４とほぼ同じ高さになり、第１のアーム４の下面から
胴体部２の底面までの高さを低くすることができる。し
たがって、胴体部２の底から第３のアーム６の上面まで
の高さＨを低く抑えることができる。
体部２の貫通穴２１の横方向に間隔を置いて上方に突出
させたモータ取付部２２を設け、モータ取付部２２に駆
動モータ３を下方に向けて配置した点である。ただし、
モータ取付部２２は第１のアームの動作に干渉しない位
置に設けてある。ここで第１の実施例の動作を説明す
る。駆動モータ３により第１のアーム４を旋回すると、
図２（ａ）に示した第３のアーム６が胴体部２から最も
離れた位置から、図２（ｂ）に示すように、第２のアー
ム５が第１のアーム４と逆方向に旋回し、更に第３のア
ーム６は第２のアーム５と逆方向に旋回し、第３のアー
ム６は常に平行に、かつ直線的に移動して胴体部２に近
づく。更に第１のアーム４を旋回すると、図２（ｃ）に
示すように、第３のアーム６が胴体部２を通り過ぎる位
置まで移動する。なお、第３のアーム６の先端に取り付
けた把持装置６３は第２のアーム５の先端に設けた第２
の旋回軸５３から基部６２の長さだけオフセットされて
いるので、把持装置６３は、中間部６１に平行で第２の
旋回軸５３から基部６２の長さだけオフセットされた移
動軌跡上を移動する。第１のアーム４とモータ取付部２
２はほぼ同じ高さに配置されているが、第１のアーム４
が旋回しても、モータ取付部２２に干渉しないので第３
のアーム６の移動動作には影響を与えない。このような
構成により、駆動モータ３は胴体部２の貫通穴２１の横
方向に間隔を置いて上方に突出させたモータ取付部２２
に配置するので、駆動モータ３の取付位置は第１のアー
ム４とほぼ同じ高さになり、第１のアーム４の下面から
胴体部２の底面までの高さを低くすることができる。し
たがって、胴体部２の底から第３のアーム６の上面まで
の高さＨを低く抑えることができる。
【０００７】図４は本発明の第２の実施例を示す（ａ）
平面図および（ｂ）側面図である。この場合、第１の実
施例で説明した第３のアーム６に設けた把持装置６３の
移動軌跡を中心線Ｃとしたとき、中心線Ｃに対して対称
の位置に駆動モータ３、中間軸３２Ａ、減速機３３，出
力軸３４、固定軸３６、第１のアーム４、第２のアーム
５および第３のアーム６からなる二組のアーム駆動機構
７Ａ，７Ｂを設けたものである。ここで、二つの第３ア
ーム６は互いに干渉しないように、第２アーム５の上面
からの高さを変えてある。なお、上記第１および第２の
実施例では、駆動モータ３と出力軸３４との間に中間軸
３２Ａを設けた例について説明したが、駆動モータ３と
減速機３３とを直接結合したものでもよく、また、駆動
モータ３を低速高トルクモータで構成し、駆動モータ３
のモータ軸３１を直接出力軸３４として用いてもよい。
平面図および（ｂ）側面図である。この場合、第１の実
施例で説明した第３のアーム６に設けた把持装置６３の
移動軌跡を中心線Ｃとしたとき、中心線Ｃに対して対称
の位置に駆動モータ３、中間軸３２Ａ、減速機３３，出
力軸３４、固定軸３６、第１のアーム４、第２のアーム
５および第３のアーム６からなる二組のアーム駆動機構
７Ａ，７Ｂを設けたものである。ここで、二つの第３ア
ーム６は互いに干渉しないように、第２アーム５の上面
からの高さを変えてある。なお、上記第１および第２の
実施例では、駆動モータ３と出力軸３４との間に中間軸
３２Ａを設けた例について説明したが、駆動モータ３と
減速機３３とを直接結合したものでもよく、また、駆動
モータ３を低速高トルクモータで構成し、駆動モータ３
のモータ軸３１を直接出力軸３４として用いてもよい。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、胴
体部の貫通穴の横方向で、第１のアームが旋回しても干
渉しない位置に間隔を置いて上方にモータ取付部を突出
させて設け、そのモータ取付部に駆動モータを配置して
あるので、駆動モータの取付位置は第１のアームとほぼ
同じ高さになり、第１のアームの下面から胴体部の底面
までの高さを低くすることができる。したがって、胴体
部の底から第３のアームの上面までの高さを低く抑える
ことができ、高さの低い水平多関節ロボットを提供でき
る効果がある。
体部の貫通穴の横方向で、第１のアームが旋回しても干
渉しない位置に間隔を置いて上方にモータ取付部を突出
させて設け、そのモータ取付部に駆動モータを配置して
あるので、駆動モータの取付位置は第１のアームとほぼ
同じ高さになり、第１のアームの下面から胴体部の底面
までの高さを低くすることができる。したがって、胴体
部の底から第３のアームの上面までの高さを低く抑える
ことができ、高さの低い水平多関節ロボットを提供でき
る効果がある。
【図１】 本発明の第１の実施例を示す側断面図であ
る。
る。
【図２】 本発明の第１の実施例を示す平断面図で、第
３アームの移動動作を示している。
３アームの移動動作を示している。
【図３】 本発明の第１の実施例を示す正面図である。
【図４】 本発明の第２の実施例を示す（ａ）平面図お
よび（ｂ）正面図である。
よび（ｂ）正面図である。
【図５】 従来例を示す平面図である。
１：ベース、２：胴体部、２１：貫通穴、２２：モータ
取付部、３：駆動モータ、３１：モータ軸、３２Ａ：中
間軸、３２Ｂ：ベルト、３３：減速機、３４：出力軸、
３５：軸受、３６：固定軸、４：第１のアーム、４１：
第１のプーリ、４２：軸受、４３：第１の旋回軸、４
４：第２のプーリ、４５：第１のベルト、５：第２のア
ーム、５１：第３のプーリ、５２：軸受、５３：第２の
旋回軸、５４：第４のプーリ、５５：第２のベルト、
６：第３のアーム、６１：中間部、６２：基部、６３：
把持装置、Ｗ：ワーク
取付部、３：駆動モータ、３１：モータ軸、３２Ａ：中
間軸、３２Ｂ：ベルト、３３：減速機、３４：出力軸、
３５：軸受、３６：固定軸、４：第１のアーム、４１：
第１のプーリ、４２：軸受、４３：第１の旋回軸、４
４：第２のプーリ、４５：第１のベルト、５：第２のア
ーム、５１：第３のプーリ、５２：軸受、５３：第２の
旋回軸、５４：第４のプーリ、５５：第２のベルト、
６：第３のアーム、６１：中間部、６２：基部、６３：
把持装置、Ｗ：ワーク
Claims (4)
- 【請求項１】 中空状の胴体部と、前記胴体部の上面に
設けた貫通穴と、前記胴体部の内部に設けた駆動モータ
と、前記駆動モータによって駆動され、前記胴体部の貫
通穴から上方に突出した中空状の出力軸と、前記出力軸
の中空部に通した固定軸と、前記出力軸に一方端を固定
した水平方向に伸びる第１のアームと、前記固定軸の他
方端に固定した第１のプーリと、前記第１のアームの他
方端に軸受を介して支持した第１の旋回軸と、前記第１
の旋回軸の前記第１のアーム側に固定した第２のプーリ
と、前記第１のプーリと前記第２のプーリとに巻き掛け
た第１のベルトと、前記第１の旋回軸に一方側を固定し
た水平方向に伸びる第２のアームと、前記第１の旋回軸
の前記第２のアーム側に固定した第３のプーリと、前記
第２のアームの他方端に軸受を介して支持した第２の旋
回軸と、前記第２の旋回軸の前記第２のアーム側に固定
した第４のプーリと、前記第３のプーリと前記第４のプ
ーリとに巻き掛けた第２のベルトと、前記第２の旋回軸
に一方端を固定した水平方向に伸びる第３のアームと、
前記第３アームの先端に設けた把持装置とを備えた水平
多関節ロボットにおいて、 前記胴体部は、前記貫通穴の横方向に間隔を置いて上方
に突出させたモータ取付部を備え、前記駆動モータは前
記モータ取付部に下方に向けて配置したことを特徴とす
る水平多関節ロボット。 - 【請求項２】 前記駆動モータと、前記出力軸と、前記
固定軸と、前記第１のアームと、前記第１のプーリと、
前記第１の旋回軸と、前記第２のプーリと、前記第１の
ベルトと、前記第２のアームと、前記第３のプーリと、
前記第２の旋回軸と、前記第４のプーリと、前記第２の
ベルトと、前記第３のアームと、前記把持装置とからな
るアーム駆動機構を二組設け、前記二組のアーム駆動機
構を前記把持装置の移動軌跡を中心線として対称の位置
に配置したことを特徴とする請求項１記載の水平多関節
ロボット。 - 【請求項３】 前記モータ取付部の高さは、前記第２の
アームの下面の高さより僅かに低くしてある請求項１ま
たは２記載の水平多関節ロボット。 - 【請求項４】 前記モータ取付部は、前記第１のアーム
の所定旋回角度の範囲を超えた位置に設けたことを特徴
とする請求項１から３までのいづれか１項に記載の水平
多関節ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32228697A JPH11138472A (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | 水平多関節ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32228697A JPH11138472A (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | 水平多関節ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11138472A true JPH11138472A (ja) | 1999-05-25 |
Family
ID=18141947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32228697A Pending JPH11138472A (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | 水平多関節ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11138472A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004535072A (ja) * | 2001-07-13 | 2004-11-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置 |
| EP1498228A1 (en) * | 2003-07-14 | 2005-01-19 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Articulated robot |
| KR101367454B1 (ko) * | 2005-12-05 | 2014-02-25 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로보트 |
-
1997
- 1997-11-07 JP JP32228697A patent/JPH11138472A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004535072A (ja) * | 2001-07-13 | 2004-11-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置 |
| JP2011082532A (ja) * | 2001-07-13 | 2011-04-21 | Brooks Automation Inc | 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置 |
| EP1498228A1 (en) * | 2003-07-14 | 2005-01-19 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Articulated robot |
| US7383751B2 (en) | 2003-07-14 | 2008-06-10 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Articulated robot |
| KR101367454B1 (ko) * | 2005-12-05 | 2014-02-25 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로보트 |
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