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JP2002184834A - 基板搬送用ロボット - Google Patents

基板搬送用ロボット

Info

Publication number
JP2002184834A
JP2002184834A JP2000381449A JP2000381449A JP2002184834A JP 2002184834 A JP2002184834 A JP 2002184834A JP 2000381449 A JP2000381449 A JP 2000381449A JP 2000381449 A JP2000381449 A JP 2000381449A JP 2002184834 A JP2002184834 A JP 2002184834A
Authority
JP
Japan
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arm
fork
substrate
transfer robot
substrate transfer
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000381449A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuo Suzuki
健生 鈴木
Masaru Ogasawara
勝 小笠原
Toshio Komata
敏雄 小俣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP2000381449A priority Critical patent/JP2002184834A/ja
Priority to PCT/JP2001/008078 priority patent/WO2002049099A1/ja
Priority to US10/450,652 priority patent/US6893204B1/en
Priority to TW090124566A priority patent/TW516154B/zh
Publication of JP2002184834A publication Critical patent/JP2002184834A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のフォークを有していても、アームを縮
めた状態における最小旋回半径が小さく、設置面積を最
小にすることができる基板搬送用ロボットを提供する。 【解決手段】 固定ベースと、固定ベースに旋回可能に
連結された第１アームと、第１アームに旋回可能に連結
された第２アームと、第２アームに旋回可能に連結され
たフォークとを有し、フォークを、それぞれ独立した第
１フォークおよび第２フォークからなる複数のフォーク
で構成し、第１フォークおよび第２フォークを、第２ア
ームの先端部に、上下２段に同軸で、かつそれぞれ独立
して旋回可能に取り付けるとともに、第１フォーク駆動
用モータおよび第２フォーク駆動用モータを第２アーム
の内部に設けて構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
で用いられる基板搬送用ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７（ａ）に示すように、半導体ウェハ
や液晶ガラス基板など薄板状の基板を搬送する従来の一
般的な基板搬送用ロボット１Ａは、固定ベース２Ａと、
前記固定ベース２Ａに旋回可能に連結された第１アーム
３Ａと、前記第１アーム３Ａに旋回可能に連結された第
２アーム４Ａと、前記第２アーム４Ａに旋回可能に連結
された基板載置用のフォーク５Ａとから構成されてい
た。このような基板搬送用ロボットを、同時に２つの基
板を載置することができるようにする場合は、図７
（ｂ）に示すように、中央部が旋回可能に支持されると
ともに、一方端に処理済の基板を載置する処理済基板載
置部５Ａａを形成し、他方端に未処理の基板を載置する
未処理基板載置部５Ａｂを形成したフォーク５Ａを、前
記第２アーム４Ａの先端部に旋回可能に連結するように
していた（例えば特開平７−１４２５５１号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな２つの基板を同時に保持することができる従来の基
板搬送用ロボットにおいては、１本の長いフォークを用
いるため、アームを縮めた状態においても基板搬送用ロ
ボットの最小旋回半径が大きく、ロボットの設置面積が
大きくなるという問題があった。本発明は、このような
問題を解消するためになされたもので、複数のフォーク
を有していても、アームを縮めた状態における最小旋回
半径が小さく、設置面積を最小にすることができる基板
搬送用ロボットを提供することを目的とするものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、固定ベースと、前記固定ベースに旋回可
能に連結された第１アームと、前記第１アームに旋回可
能に連結された第２アームと、前記第２アームに旋回可
能に連結されたフォークとを有する基板搬送ロボットに
おいて、前記フォークを、それぞれ独立した第１フォー
クおよび第２フォークからなる複数のフォークで構成
し、前記第１フォークおよび第２フォークを、前記第２
アームの先端部に、上下２段に同軸で、かつそれぞれ独
立して旋回可能に取り付けるとともに、前記第１フォー
ク駆動用モータおよび前記第２フォーク駆動用モータを
ロボットの内部、例えば前記第２アームの内部に設けて
構成するようにしたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の実施例における基板搬送
用ロボットにおいてアームを伸ばした状態を示し、
（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図である。図２は本
発明の実施例における基板搬送用ロボットにおいてアー
ムを縮めた状態を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）は
側面図である。図３はアーム部の構成を示す側断面図、
図４は図３におけるＡ−Ａ線に沿う断面図、図５は図３
における２台のモータをＢ方向から見た図、図６は本発
明の基板搬送用ロボットの作動を示す平面図で、（ａ）
は処理済基板を取り出すところを示し、（ｂ）は未処理
基板を載置するところを示している。図１（ａ）、
（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明
の基板搬送用ロボット１は、固定ベース２と、前記固定
ベース２に旋回可能に連結された第１アーム３と、前記
第１アーム３に旋回可能に連結された第２アーム４と、
前記第２アーム４に旋回可能に連結された第１フォーク
５および第２フォーク６とからなっている。なお、第１
アーム３は、固定ベース２内に設けた図示しない昇降機
構により上下動が可能となっている。前記第１アーム
３、第２アーム４、第１フォーク５、および第２フォー
ク６は、図３ないし図６に示すように構成される。第１
アーム３と第２アーム４の駆動用モータは、それぞれ固
定ベース２の内部に設置され（図示せず）、その出力軸
は同心２軸で構成されている。同心２軸の外側の軸は第
１アーム駆動用の出力軸７で、第１アーム３の下部に直
接連結される。また、内側の軸は第２アーム駆動用の出
力軸８で、第１アーム３内に突出するとともに、先端部
にプーリ９が取り付けられ、第２アーム４の下部に連結
されたプーリ１０とベルト１１で結ばれて、第２アーム
４と連結される。第２アーム４の先端部には、それぞれ
独立した第１フォーク５と第２フォーク６が、上下２段
に同軸で、かつそれぞれ独立して旋回可能に取り付けら
れている。前記第１フォーク５および前記第２フォーク
６を支持する軸は同心２軸で構成されている。上側の第
１フォーク５は内側の軸１２に連結され、下側の第２フ
ォーク６は外側の軸１３に連結されている。前記内側の
軸１２および外側の軸１３は、それぞれ下部に高さ位置
を異ならせてプーリ１４、１５を取り付けている。ま
た、第１フォーク５と第２フォーク６の駆動用のモータ
１６、１７は、第２アーム４の旋回中心部付近に並べて
設置されるとともに、図６に示すように、プーリ１８、
１９の高さ位置を異ならせている。前記プーリ１４とプ
ーリ１８をベルト２０で結ぶとともに、前記プーリ１５
とプーリ１９をベルト２１で結むが、両ベルト２０、２
１が干渉することはない。このような構成における基板
搬送用ロボットで基板の搬送を行うときは、図６
（ａ）、（ｂ）のようにする。まず、図６（ａ）に示す
ように、未処理基板Ｗｂの把持用に設定した第２フォー
ク（第１フォーク５でもよい）６を、未処理基板Ｗｂを
把持したまま後ろ側に旋回移動させて作業の邪魔になら
ない位置で待機させ、この状態のままで、第１フォーク
５（または第２フォーク６）で、処理済基板載置台２２
の上に載置された処理済基板Ｗａを把持して取り出す。
次に、図６（ｂ）に示すように、今度は、先程の処理済
基板Ｗａを把持した第１フォーク５を処理済基板Ｗａを
把持したまま後ろ側に旋回移動させて作業の邪魔になら
ない位置で待機させるとともに、未処理基板Ｗｂを把持
した第２フォーク６を前方に旋回および直線移動させ、
未処理基板Ｗｂを未処理基板載置台２３の上に載置す
る。この場合、アームは１本であり、かつ第１フォーク
５および第２フォーク６とも、第２アーム４の先端部か
ら短く突出して、第２アーム４の先端部を中心にして旋
回するのみであるので、動作中も、第１アーム３および
第２アーム４を縮めた状態においても、動きが他の固定
物体と干渉する範囲は極めて少ない。したがって、基板
搬送ロボット１の設置面積は狭くてすむ。本発明におい
ては、基板搬送用ロボット１のアームの動作のみで、処
理済基板Ｗａおよび未処理基板Ｗｂの搬送を行う場合に
限ることなく、図示しない直線移動装置に基板搬送用ロ
ボット１を取り付け、基板搬送ロボット１のアーム動作
と直線移動装置の直線移動とを組み合わせて処理済基板
Ｗａおよび未処理基板Ｗｂの搬送を行わせるようにして
もよい。また、前記第１フォーク駆動用モータ１６およ
び前記第２フォーク駆動用モータ１７を前記第２アーム
４の内部でなく、前記第１アーム３の内部に設けるよう
にしてもよいし、あるいは、前記固定ベース２内に設け
るようにしてもよい。前記固定ベース２内に設ける場合
は、第１アーム３および第２アーム４の駆動用モータの
同心２軸の出力軸７、８の例えば内側に、さらに同心で
２つのフォーク駆動用出力軸を配置するようにする。な
お、本発明は、固定ベースに昇降機構を有しない基板搬
送用ロボットにおいても同様に適用することができる
し、例えば２本のアームを備えた基板搬送用ロボットに
おいても同様に適用することができる。さらに、フォー
クの数は、２個に限られることはなく、４個等でも構わ
ない。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、複
数個のフォークを有していても、アームを縮めた状態に
おける最小旋回半径が小さく、設置面積を最小にできる
基板搬送用ロボットを提供することができる大きな効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例における基板搬送用ロボットを
示す側面図で、（ａ）はアームを縮めた状態示し、
（ｂ）はアームを伸ばした状態を示している。
【図２】図１における基板搬送用ロボットの平面図で、
（ａ）はアームを縮めた状態示し、（ｂ）はアームを伸
ばした状態を示している。
【図３】アーム部の構成を示す側断面図である。
【図４】図３におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図５】図３における２台のモータをＣ方向から見た図
である。
【図６】本発明の基板搬送用ロボットの作動を示す平面
図で、（ａ）は処理済基板を取り出すところを示し、
（ｂ）は未処理基板を載置するところを示している。
【図７】従来の基板搬送用ロボットを示す平面図で、
（ａ）はフォークを１つ有する基板搬送用ロボットの
例、（ｂ）はフォークを２つ有する基板搬送ロボットの
例を示している。
【符号の説明】
１ 基板搬送用ロボット、 ２ 固定ベース、 ３ 第１アーム、 ４ 第２アーム、 ５ 第１フォーク、 ６ 第２フォーク、 ７ 第１アーム駆動用の出力軸、 ８ 第２アーム駆動用の出力軸、 ９、１０ プーリ、 １１ ベルト、 １２ 内側の軸、 １３ 外側の軸、 １４、１５ プーリ、 １６ 第１フォーク駆動用モータ、 １７ 第２フォーク駆動用モータ、 １８、１９ プーリ、 ２０、２１ ベルト、 ２２ 処理済基板載置台、 ２３ 未処理基板載置台、 Ｗａ 処理済基板、 Ｗｂ 未処理基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 DS01 ES00 EV05 NS09 NS17 3F060 AA07 DA10 EB02 EB12 EC02 EC12 FA03 3F061 AA01 BA00 BE05 DB04 DB06 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA07 GA03 GA43 GA49 GA50 LA07 PA30

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 固定ベースと、前記固定ベースに旋回可
    能に連結された第１アームと、前記第１アームに旋回可
    能に連結された第２アームと、前記第２アームに旋回可
    能に連結されたフォークとを有する基板搬送用ロボット
    において、 前記フォークを、それぞれ独立した第１フォークおよび
    第２フォークからなる複数のフォークで構成し、 前記第１フォークおよび第２フォークを、前記第２アー
    ムの先端部に、上下２段に同軸で、かつそれぞれ独立し
    て旋回可能に取り付けるとともに、前記第１フォーク駆
    動用モータおよび前記第２フォーク駆動用モータをロボ
    ットの内部に設けたことを特徴とする基板搬送用ロボッ
    ト。
  2. 【請求項２】 前記第１フォーク駆動用モータおよび前
    記第２フォーク駆動用モータを前記第２アームの内部に
    設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送用ロ
    ボット。
  3. 【請求項３】 前記第１フォーク駆動用モータおよび前
    記第２フォーク駆動用モータを前記第１アームの内部に
    設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送用ロ
    ボット。
  4. 【請求項４】 前記第１フォーク駆動用モータおよび前
    記第２フォーク駆動用モータを前記固定ベース内に設け
    たことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送用ロボッ
    ト。
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