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JPH1090620A - 光走査光学装置 - Google Patents

光走査光学装置

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Publication number
JPH1090620A
JPH1090620A JP26130796A JP26130796A JPH1090620A JP H1090620 A JPH1090620 A JP H1090620A JP 26130796 A JP26130796 A JP 26130796A JP 26130796 A JP26130796 A JP 26130796A JP H1090620 A JPH1090620 A JP H1090620A
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JP
Japan
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lens
optical
curvature
scanned
scanning
Prior art date
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Application number
JP26130796A
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English (en)
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JP3486508B2 (ja
Inventor
Hiroshi Saito
博 齋藤
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Publication of JPH1090620A publication Critical patent/JPH1090620A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 単レンズから成る低屈折率のプラスチックレ
ンズを用いて高性能で低コストのfθレンズを実現す
る。 【構成】 レーザー光源1から射出した光ビームを光学
系を介して回転多面鏡5上導光し、回転多面鏡5で反射
偏向させた後にfθレンズ6を介して被走査面7上に導
光し、被走査面7上を光走査fθレンズ6は1枚のプラ
スチックのfθレンズ6で構成し、fθレンズ6は偏向
面内の主走査方向の光軸近辺は両凸形状である両側非球
面形状とし、偏向面と垂直方向の副走査方向は偏向方向
に凹面を向けたメニスカス形状とし、副走査方向の曲率
は少なくとも1面はfθレンズ6の中心に対して非対称
に連続的に曲率半径が変化するようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、結像手段として非球面
の所謂fθレンズを有する走査光学装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の光走査光学装置は、特公
昭62−36210号公報、特公平2−21565号公
報、特開平4−50908号公報等において開示されて
いるように、回転多面鏡により等角速度で偏向走査され
た光ビームを、結像手段として被走査面上で等速に移動
する光スポットに変換するfθレンズを用いているのが
一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例では、例えば特公昭62−36210号公報では、
2枚構成でありかつトーリックレンズと呼ばれる回転非
対称のガラスレンズを使用しているために装置が高価で
ある。また、特公平2−21565号公報では像面弯曲
が大きいために、広角の範囲で均一のスポット径を得る
ことが難しい。また、特開平4−50908号公報では
レンズが複雑な形状をしているために、画角により像面
側の射出Fナンバの差が大きく、走査領域内でスポット
径が変化してしまうという問題点がある。
【0004】本発明の目的は、上記問題点を解消し、結
像手段を光学的に高性能を保ちながら、型成形で製作可
能な安価な光走査光学装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る光走査光学装置は、光源手段から射出し
た光ビームを光学系を介して偏向手段に導光し、該偏向
手段で反射偏向させた後に結像手段を介して被走査面上
に導光し、該被走査面上を光走査する光走査光学装置に
おいて、前記結像手段は1枚のプラスチックレンズで構
成し、該レンズは偏向面内の主走査方向の光軸近辺は両
凸形状である両側非球面形状とし、前記偏向面と垂直方
向の副走査方向は偏向方向に凹面を向けたメニスカス形
状とし、副走査方向の曲率は少なくとも1面は前記レン
ズ中心に対して非対称に連続的に曲率半径が変化するこ
とを特徴とする。
【0006】
【作用】上述の構成を有する光走査光学装置は、低屈折
率でも性能が得られる条件として、結像手段のレンズ形
状が母線走査断面の中心部曲率が両凸面、母線が両非球
面、視線断面形状として偏向器側に凹面を向けたメニス
カス形状で、少なくとも2面の内の1面の子線曲率が光
軸に対して非対称に変化するように設定し、線膨張係数
が大きくとも使用可能にする。
【0007】
【実施例】本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明
する。図1は実施例の走査光学装置の偏向走査面内の各
要素の構成を示している。1は半導体レーザー光源であ
り、この光源1の出射方向にはコリメータレンズ2、絞
り3、シリンドリカルレンズ4、モータにより回転駆動
されるポリゴンミラーから成る回転多面鏡5が配置さ
れ、回転多面鏡5による偏向方向にはfθ特性を有する
fθレンズ6、感光ドラム等の被走査面7が設けられて
いる。
【0008】半導体レーザー光源1から射出された光ビ
ームは、コリメーターレンズ2を通過することによりそ
の発散性が略平行光に変換される。この平行光は開口絞
り3を通過することにより、そのビーム径が調整されシ
リンドリカルレンズ4を通過する。このシリンドリカル
レンズ4は走査断面に関しては屈折力を有せず、副走査
断面のみに屈折力を有している。
【0009】従って、図1の走査断面においてはシリン
ドリカルレンズ4を通過した光ビームは平行光のまま
で、回転多面鏡5に入射する。回転多面鏡5はモータに
より高速に等角速度で回転しており、入射した光ビーム
は高速に繰り返し偏向走査されることになる。偏向走査
された光ビームは平行光の状態で、fθレンズ6により
その光ビームの集光作用と走査速度一定になるような補
正が加えられ、被走査面7上に微小なスポットとして結
像走査される。
【0010】図2は光軸を含む偏向走査の副走査面を示
している。シリンドリカルレンズ4はこの断面内におい
ては屈折力を有しており、光ビームはシリンドリカルレ
ンズ4を通過することにより、回転多面鏡5の偏向点P
にほぼ結像される。結像された光ビームは偏向面Pで反
射され、fθレンズ6を通過することにより被走査面7
に至る。偏向点Pと被走査面7間は副走査面に関してf
θレンズ6により光学的な共役関係になっており、所謂
倒れ補正光学系が構成されている。
【0011】ここで、fθレンズ6はプラスチック製の
回転非対称形状の単レンズであり、その屈折率nは使用
波長780nmにおいて1.519である。また、図1
に示す主走査断面において、光軸近辺は両凸形状の両面
非球面形状とされている。更に、副走査方向に関して
は、図2に示すような回転多面鏡5側に凹面を向けたメ
ニスカス形状をしており、副走査方向における回転多面
鏡5側の曲率はR1で一定であるが、被走査面7側の曲率
R2に関してはfθレンズ6の光軸に対して長手方向に関
して非対称に曲率半径が変化するようになっている。
【0012】また、回転多面鏡5の偏向点Pとfθレン
ズ6の距離をD1、fθレンズ6の中心厚をt、走査断面
の光軸近傍の曲率半径を回転多面鏡5側をR1a 、被走査
面7側をR2a 、副走査断面の光軸における曲率半径を回
転多面鏡5側をR1b 、被走査面7側をR2b とし、R1面の
面形状の式のタイプをT、R2面の面形状の式のタイプを
ST2 と定義すると、それぞれの面の形状式は次のような
形で示される。
【0013】なお、fθレンズ6と光軸との交点を原点
とし、光軸方向をX軸、主走査面内において光軸と直交
する軸をY軸、副走査面内において光軸と直交する軸を
Z軸とする。
【0014】非球面形状 ≪タイプTの場合≫(第1実施例の場合のR1面) 母線(走査断面)形状は図3に示すように光軸Xに対し
対称である。fθレンズ6の主走査方向と対応する母線
方向の非球面関数を次式とする。 X=(Y2 /R2a)/ [1+{1−(1+Ky)・(Y/R2a)
2]1/2 +B4Y4 +B6Y6 +B8Y8 +B10 Y10 ただし、Ky、B4、B6、B8、B10 は非球面係数である。ま
た、副走査方向と対応する子線方向の曲率半径はR2b で
一定である。
【0015】≪タイプST2 の場合≫(第2実施例の場合
のR2面) 母線形状は図4に示すように光軸Xに対し非対称であ
る。 Xu =( Y2 /R1a)/ [1+{1−(1+Kyu )・(Y/
R1a)2}1/2]+B4u4 +B6u6 +B8u8 +B10u10L =( Y2 /R1a)/ [1+{1−(1+KyL )・(Y/
R1a)2}1/2]+B4L4 +B6L6 +B8L8 +B10L10 子線曲率半径は光軸に対して非対称に変化する。 ru'=R1b (1+D2u2 +D4u4 +D6u6 +D8u
8 +D10u10) rL'=R1b (1+D2L2 +D4L4 +D6L6 +D8L
8 +D10L10) なお、Xu はY(+)におけるX座標、XL はY(−)
におけるX座標、ru'はY(+)における子線の曲率半
径、rL'はY(−)における子線の曲率半径である。ま
た、Kyu 、B4u 、B6u 、B8u 、B10u、KyL 、B4L 、B6
L 、B8L 、B10Lは非球面係数であり、D2u 、D4u 、D6
u 、D8u 、D10u、D2L 、D4L 、D6L 、D8L 、D10Lは曲率
半径の変化を与える係数である。
【0016】次に、第1実施例の実際の数値を表1に示
す。
【0017】
【0018】更に、主走査方向及び副走査方向の像面弯
曲を図5、歪曲特性(fθ特性)を図6に示す。この図
6から分かるように収差は良好に補正されている。
【0019】fθレンズ6を安価に製作するために、材
料を光学プラスチックで考えると、ガラスの硝材に比べ
ると屈折率が低いものしか存在しないために、光学収差
の補正が難しくなる。fθレンズに使用する光学プラス
チック材の屈折率が1.48〜1.6程度の範囲でも、
fθレンズ6の光軸上の走査断面形状を両凸面にするこ
とにより、正の屈折力を両側に分担させることにより収
差補正が良好となる。更に、両側を共に非球面とするこ
とにより、単レンズで有効走査角度が±35°以上の範
囲で主走査方向の像面弯曲を良好に補正することが可能
となる。
【0020】また、副走査断面(子線)に関しては、回
転多面鏡側に凹面を向けたメニスカス形状の正の屈折力
のレンズ形状にすることにより、主平面の位置を被走査
面7側に押しやることができ、共役倍率を比較的小さく
設定ができるために、副走査方向の像面弯曲を小さくす
ることができる。
【0021】更に、偏向点Pが光軸に対して非対称に変
化することによる副走査の像面弯曲を補正するために、
少なくとも何れかの面の子線Rを光軸に対して非対称に
変化させることにより、広画角において良好な性能を得
ることが可能となる。偏向点Pと被走査面7間の副走査
方向の横倍率に関しては、その絶対値が大きくなり過ぎ
ると、副走査方向の残存収差が大きくなったり、プラス
チックの熱膨張による曲率変化や屈折率の温度変化によ
るピントずれ等の影響が大きくなり過ぎる。また、逆に
小さくし過ぎると、fθレンズ6の中心厚tが厚くなり
過ぎたり、子線の曲率がきつくなり球面収差が大きくな
り過ぎるので、横倍率βは−4<β<−2に設定するこ
とが好ましい。
【0022】走査直線性のfθ特性を良好に補正するた
めには、距離D1を或る程度大きく設定する必要がある
が、あまり大きくするとfθレンズ6の外形が大きくな
り過ぎる。また、fθレンズ6の肉厚が大きくなり過ぎ
ると、プラスチックレンズの成形性に問題を生ずる。こ
の良好な範囲は、0.18<D1/f<0.33程度にす
ることが好ましい。
【0023】fθレンズ6の外径に対して、中心厚tが
薄くなると、fθレンズ6の成形時に反りが発生して高
精度のものが得られない。また、厚過ぎても成形時のひ
けが生じて高精度のものが得られないことになる。ま
た、距離D1や焦点距離fに対して中心厚tが小さくなり
過ぎると、主走査方向の像面弯曲の非対称性が大きくな
ってしまうという問題がある。この良好な範囲として、 0.3<t/D1<0.45、 0.06<t/f<0.12 の範囲が好ましい。特に、走査角が±35°以上のもの
にこの条件式を適用するとその効果が大きい。
【0024】曲率半径R1b とR2b に関しては、焦点距離
fや曲率半径R1b に対して曲率半径R2b の絶対値が小さ
くなり過ぎると、型の加工上の難易度が上がってしまっ
たり、球面収差が大きくなってしまうという問題が生ず
る。また、逆に絶対値が大きくなり過ぎると、子線Rの
変化率が大きくなり過ぎ、型加工の難度が上ったり、像
高の変化による副走査倍率の変化が大きくなってしまう
ために、均一な被走査面でのスポットが得られ難くな
る。従って、 0.06<−R2b /f<0.125 1.2<R1b /R2b <7.0 の範囲に設定することが好ましい。これにより、基本的
な光学設定値及び製作誤差を総合的に考えると、高性能
なレンズを得ることができる。
【0025】また、主走査方向の像面弯曲の非対称性を
補正するためには、走査断面形状(母線形状)を非対称
に設定することが考えられるが、この実施例ではレンズ
の長手方向にレンズを多少ずらすことにより、非対称成
分を小さくすることを行っている。表1の非球面の項に
対称と記載している個所は、光軸に対して母線形状が対
称であることを意味している。
【0026】光軸上の母線の曲率半径R1a 、R2a に関し
ては、その面の屈折力の比率が片寄ったりすると、軸外
のfθ特性を非球面を使用しても、その補正が難しくな
ってくる。無理に非球面量で補正しようとすると、主走
査方向の像高におけるFナンバが変化することになる。
均一なスポット径を得易く、バランスの良い条件とし
て、0.2<−R1a /R2a <3の範囲に設定することが
好ましい。
【0027】表2は第2〜第4実施例、表3は第5〜第
6実施例、表4は第8実施例のレンズ形状及びレンズ配
置に関しての数値を示している。
【0028】 表2 実施例 2 3 4 D1 30 35.844 39 t 10 15 15 n 1.519 1.519 1.519 R1a 95.192 182.046 195.732 R2a -411.888 -132.139 -125.891 R1b -12.164 -51.885 -83.468 R2b -9.149 -15.378 -17.061 R1非球面タイプ ST2 ST2 ST2 R2非球面タイプ T T T タイプST2 kyu 0.000 -53.239 -58.486 非球面係数B4u -5.242・10-5 -6.242・10-7 -5.908・10-7 B6u 2.283・10-9 6.034・10-11 5.586・10-11 B8u -3.670・10-13 2.559・10-5 3.503・10-5 B10u 2.002・10-18 -1.341・10-18 -2.300・10-18 kyl 対称 対称 対称 B4l 対称 対称 対称 B6l 対称 対称 対称 B8l 対称 対称 対称 B10l 対称 対称 対称 D2u 1.137・10-4 -4.035・10-4 -5.564・10-4 D4u 7.364・10-7 6.079・10-7 5.871・10-7 D6u -4.509・10-10 -2.343・10-10 -1.928・10-10 D8u 2.382・10-14 0.000・100 0.000・100 D2l 1.194・10-4 -3.629・10-4 -5.136・10-4 D4l 6.168・10-7 6.083・10-7 5.929・10-7 D6l -4.397・10-10 -2.398・10-10 -2.035・10-10 D8l 8.665・10-14 0.000・100 タイプT ky 0.000 3.123 3.192 非球面係数B4 -2.700・10-6 -5.191・10-7 -4.987・10-7 B6 -1.554・10-10 -2.030・10-11 1.566・10-14 B8 3.065・10-13 -1.517・10-14 -1.637・10-14 B10 1.770・10-17 0.000・100 0.000・100 D1/f 0.200 0.239 0.260 t/D1 0.333 0.418 0.385 (-R1a /R2a) 0.231 1.378 1.555 R1b /R2b 1.330 3.374 4.892 t/f 0.067 0.100 0.100 (-R2b /f) 0.061 0.103 0.114 fθレンズの主走査面内の 焦点距離f 149.99 149.97 150.01 β副走査面内の横倍率 -3.66 -3.29 -3.15
【0029】 表3 実施例 5 6 7 D1 45 40 36.38 t 15 15 15 n 1.519 1.519 1.519 R1a 299.537 220 185.599 R2a -103.372 -117.68 -130.391 R1b -40.042 -31.179 -58.736 R2b -16.047 -14.493 -15.787 R1非球面タイプ ST2 ST2 ST2 R2非球面タイプ T T T タイプST2 kyu 0.000 0.000 -46.892 非球面係数B4u -5.120・10-7 -1.190・10-6 -6.897・10-7 B6u 9.112・10-11 3.185・10-10 5.973・10-11 B8u -7.060・10-15 -2.737・10-14 4.617・10-15 B10u 3.228・10-20 3.243・10-19 -2.046・10-18 kyl 対称 対称 -5.952E+01 B4l 対称 対称 -5.615・10-7 B6l 対称 対称 1.210・10-11 B8l 対称 対称 4.081・10-5 B10l 対称 対称 3.843・10-19 D2u 1.633・10-4 8.820・10-5 -4.487・10-4 D4u 3.476・10-9 2.311・10-7 6.070・10-7 D6u 0.000・100 -1.636・10-10 -2.222・10-10 D8u 0.000・100 4.198・10-14 0.000・100 D2l 1.633・10-4 1.696・10-4 -3.286・10-4 D4l 3.476・10-9 1.042・10-14 4.430・10-7 D6l 0.000・100 -7.248・10-11 -1.515・10-10 D8l 0.000・100 1.790・10-14 0.000・100 タイプT ky 0.000 0.000 3.339 非球面係数B4 -1.814・10-7 -5.235・10-7 -5.022・10-7 B6 -4.171・10-11 -8.617・10-11 -1.054・10-11 B8 3.073・10-15 1.843・10-14 -2.573・10-14 B10 1.349・10-18 8.481・10-18 0.000・100 D1/f 0.300 0.267 0.243 t/D1 0.333 0.375 0.412 (-R1a /R2a) 2.898 1.869 1.423 R1b /R2b 2.495 2.151 3.721 t/f 0.100 0.100 0.100 (-R2b /f) 0.107 0.097 0.105 fθレンズの主走査面内の 焦点距離f 149.98 150.00 150.00 β副走査面内の横倍率 -2.65 -2.81 -3.29
【0030】 表4 実施例 8 D1 40 t 15 n 1.519 R1a 220 R2a -117.68 R1b -113.12 R2b -17.832 R1非球面タイプ ST2 R2非球面タイプ ST2 R1側 kyu 0.000 タイプST2 B4u -1.190・10-6 非球面係数B6u 3.185・10-10 B8u -2.937・10-14 B10u 3.243・10-19 kyl 対称 B4l 対称 B6l 対称 B8l 対称 B10l 対称 D2u -4.830・10-4 D4u 1.821・10-7 D6u -1.023・10-10 D8u 7.237・10-14 D2l -7.016・10-4 D4l 3.641・10-7 D6l -1.035・10-11 D8l -7.659・10-14 D10l 2.035・10-17 R2側 kyu 0.000 タイプST2 B4u -5.235・10-7 非球面係数B6u -8.617・10-11 B8u 1.843・10-14 B10u 8.481・10-18 kyl 対称 B4l 対称 B6l 対称 B8l 対称 B10l 対称 D2u 4.596・10-5 D4u -7.121・10-8 D6u 1.739・10-11 D8u -4.303・10-5 D2l 1.199・10-5 D4l -5.997・10-8 D6l -1.770・10-12 D8l 2.185・10-14 D10l -9.255・10-18 D1/f 0.267 t/D1 0.375 (-R1a /R2a) 1.869 R1b /R2b 6.344 t/f 0.100 (-R2b /f) 0.119 fθレンズの主走査面内の焦点距離f 150.00 β副走査面内の横倍率 -3.12
【0031】なお、第7実施例は母線形状が光軸に対し
て非対称な例である。また、第8実施例は両側の面の子
線断面の曲率半径が変化する例であり、特に両面とも光
軸から離れるに従ってその曲率半径が小さくなるように
設定することにより、レンズ周辺部の副走査方向の主平
面位置を被走査面側に設定でき、副走査方向の射出Fナ
ンバを一定にすることができ、更なるスポット径の均一
性を得ることが可能となる。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る光走査
光学装置は、1枚のプラスチックレンズによる低屈折率
の結像手段を使用しても、設計上、製作上、環境変動に
影響されず、高性能でかつ低コスト性とすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例の主走査断面の光学配置図である。
【図2】副走査断面の光学配置図である。
【図3】タイプTの場合の母線形状の説明図である。
【図4】タイプST2 の場合の母線形状の説明図である。
【図5】像面弯曲量の特性図である。
【図6】fθ特性(歪曲収差)の特性図である。
【符号の説明】
1 光源 2 コリメーターレンズ 3 開口絞り 4 シリンドリカルレンズ 5 回転多面鏡 6 fθレンズ 7 被走査面

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源手段から射出した光ビームを光学系
    を介して偏向手段に導光し、該偏向手段で反射偏向させ
    た後に結像手段を介して被走査面上に導光し、該被走査
    面上を光走査する光走査光学装置において、前記結像手
    段は1枚のプラスチックレンズで構成し、該レンズは偏
    向面内の主走査方向の光軸近辺は両凸形状である両側非
    球面形状とし、前記偏向面と垂直方向の副走査方向は偏
    向方向に凹面を向けたメニスカス形状とし、副走査方向
    の曲率は少なくとも1面は前記レンズ中心に対して非対
    称に連続的に曲率半径が変化することを特徴とする光走
    査光学装置。
  2. 【請求項2】 主走査方向に関しては、前記偏向手段か
    ら前記結像手段に略平行光で入射した光束を前記被走査
    面上に結像させるものであり、副走査方向に関しては、
    前記偏向手段の偏向点と前記被走査面とを光学的に概略
    共役関係とし、光学的横倍率βを−4<β<−2とした
    請求項1に記載の光走査光学装置。
  3. 【請求項3】 前記レンズの中心厚をt、前記偏向手段
    の偏向点と前記結像手段の偏向側までの距離をD1とした
    とき、0.3<t/D1<0.45を満足するようにした
    請求項1に記載の光走査光学装置。
  4. 【請求項4】 前記レンズの副走査方向の曲率は、両面
    共にレンズ中心に対して連続的に曲率半径が変化し、前
    記レンズの光軸から離れるに従って両面共に曲率半径の
    絶対値を小さくした請求項1に記載の光走査光学装置。
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