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JPH10242344A - 電力用半導体装置 - Google Patents

電力用半導体装置

Info

Publication number
JPH10242344A
JPH10242344A JP4779097A JP4779097A JPH10242344A JP H10242344 A JPH10242344 A JP H10242344A JP 4779097 A JP4779097 A JP 4779097A JP 4779097 A JP4779097 A JP 4779097A JP H10242344 A JPH10242344 A JP H10242344A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mold
substrate
terminal
semiconductor device
resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4779097A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Morita
晃司 森田
Takayuki Murai
孝之 村井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Motor Co Ltd filed Critical Yamaha Motor Co Ltd
Priority to JP4779097A priority Critical patent/JPH10242344A/ja
Publication of JPH10242344A publication Critical patent/JPH10242344A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大電力用半導体装置の組立工数および部品数
の削減を図るとともに、簡単な構造のモールド金型でも
ばりが発生しないようにする。 【解決手段】 コネクタ3,4の端子3a,4aの基部
に合成樹脂製絶縁ブロック3b,4bを設ける。この絶
縁ブロック3b,4bに、上金型21が圧接する型締面
を形成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電力用半導体チッ
プを基板上に実装してモールド樹脂によって樹脂封止し
た電力用半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、電力用半導体装置のうち、電動機
のコントローラなどで大電流を制御するために用いるも
のは、半導体チップを箱形のケースに収容し、このケー
ス内を封止樹脂で満たす構造を採っている。前記半導体
チップは、メタライズによって銅回路を形成したセラミ
ック製絶縁基板に外部接続用端子とともに固着し、ボン
ディングワイヤによって前記外部接続用端子に接続して
いる。また、前記ケースは、前記絶縁基板を固着した金
属ベース板に箱蓋形のケース本体を被せて固着すること
によって形成している。このケース本体に前記外部接続
用端子を貫通させている。
【0003】前記封止樹脂は、半導体チップやボンディ
ングワイヤを覆うシリコンゲルと、このシリコンゲルを
覆うエポキシ樹脂とから構成している。これら2種類の
樹脂材でケース内を満たすには、先ず、シリコンゲルを
ケース内に注入してケース全体を加熱することによって
キュアさせ、その後、溶融状態のエポキシ樹脂をケース
内のシリコンゲルの上側に注入し、前記同様の加熱処理
によって固化させる手法を採っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上述したよ
うに構成した従来の電力用半導体装置は、シリコンゲル
およびエポキシ樹脂をそれぞれキュアさせるために加熱
処理を2回実施しなければならず、製造に時間がかかる
という問題があった。また、複数の部材によってケース
を形成し、このケース内に2種類の樹脂材料を注入する
ので、工程および部品数が多くなるという問題もあっ
た。
【0005】このような不具合は、半導体チップ搭載部
をモールド樹脂で封止する構造を採ることによって解消
することができる。すなわち、前記半導体チップおよび
外部接続用端子をセラミック製絶縁基板に搭載し、この
絶縁基板を金属ベース板に固着した状態の半導体チップ
組立体をモールド金型に装填し、この半導体チップ組立
体の半導体チップ搭載部をモールド樹脂によって覆うよ
うにすればよい。なお、モールド金型における前記組立
体を装填するキャビティには、前記外部接続用端子を収
容する凹陥部を形成しておく。
【0006】しかし、上述したように半導体チップ搭載
部をモールド樹脂で樹脂封止する構造を採ると、外部接
続用端子がモールド樹脂から突出する部分にばりが生じ
易くなってしまう。このばりは、外部接続用端子と前記
凹陥部の内壁面との間に形成された隙間に溶融状態のモ
ールド樹脂が侵入することによって形成される。
【0007】上述したようなばりの発生は、前記隙間を
小さくすれば阻止することはできる。しかしながら、前
記隙間を小さくするためには、複数の外部接続用端子の
基板への搭載位置を高精度に保つ必要があり、組付上の
コストが高くなり、さらに、モールド金型の凹陥部を外
部接続用端子がその表面の全域にわたって密接するよう
に高い精度をもって形成しなければならなので、モール
ド金型の製造コストも高くなってしまう。なお、ばり
は、上述したように外部接続用端子の周囲に形成される
他に、モールド金型の合わせ面と基板との間にも形成さ
れることがあるので、基板の厚さは高い精度が必要であ
り、モールド金型の合わせ面も高い精度をもって平坦に
形成しなければならない。
【0008】本発明はこのような問題を解消するために
なされたもので、大電力用半導体装置の樹脂封止部分を
モールド樹脂によって形成して組立工数および部品数の
削減を図るとともに、複数の外部接続用端子の基板への
高精度な組付けや、モールド金型に高精度な加工を施す
ことなくばりの発生を阻止できるようにすることを目的
とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に係る電力用半導
体装置は、外部接続用端子の基部にこの外部接続用端子
が貫通する合成樹脂製ブロックを設け、このブロック
に、モールド金型が圧接する型締面を形成したものであ
る。
【0010】本発明によれば、合成樹脂製ブロックが実
質的にシール材として機能するから、モールド成形時に
溶融状態のモールド樹脂がキャビティ内から外部接続用
端子側へ漏出することはない。
【0011】他の発明に係る電力用半導体装置は、半導
体チップを搭載した基板を、金属製基板本体と、この基
板本体上に絶縁被膜を介して形成した導体パターンと、
この導体パターンを覆うレジスト膜とから構成し、この
レジスト膜の表面をモールド金型が圧接する型締面とし
たものである。
【0012】本発明によれば、レジスト膜が実質的にシ
ール材として機能するから、モールド成形時に溶融状態
のモールド樹脂がキャビティ内から外部へ漏出すること
はない。
【0013】
【発明の実施の形態】
第1の実施の形態 以下、本発明に係る電力用半導体装置の一実施の形態を
図1ないし図9によって詳細に説明する。図1は本発明
に係る電力用半導体装置を示す図で、同図(a)は右側
面図、同図(b)は平面図、同図(c)は左側面図、同
図(d)は正面図である。図2は本発明に係る電力用半
導体装置の樹脂封止前の状態を示す図で、同図(a)は
右側面図、同図(b)は平面図、同図(c)は左側面
図、同図(d)は正面図である。
【0014】図3は電源用コネクタを示す図で、同図
(a)は正面図、同図(b)は右側面図、同図(c)は
底面図である。図4は信号用コネクタを示す図で、同図
(a)は正面図、同図(b)は右側面図、同図(c)は
左側面図、同図(d)は底面図である。図5は本発明に
係る電力用半導体装置の樹脂封止後の状態を示す図で、
同図(a)は右側面図、同図(b)は平面図、同図
(c)は左側面図、同図(d)は底面図である。図6は
図1におけるVI−VI線断面図である。図7は上金型のキ
ャビティを示す底面図、図8は下金型の基板装填部を示
す平面図、図9は封止樹脂をキャビティに注入した状態
を示す断面図である。
【0015】これらの図において、符号1はこの実施の
形態による電力用半導体装置を示す。この半導体装置1
は、基板2の一側部に電源用コネクタ3を搭載するとと
もに、他側部に信号用コネクタ4を搭載し、トランスフ
ァ成形法によってエポキシ樹脂からなる封止樹脂5をモ
ールド成形することによって形成している。前記基板2
は、図6に示すように、アルミニウム合金製基板本体2
aと、この基板本体2aの上面に全面にわたって形成し
た絶縁被膜6と、この絶縁被膜6上に形成した導体パタ
ーン7と、この導体パターン7を覆うレジスト8などか
ら構成している。
【0016】前記導体パターン7は、絶縁被膜6上に銅
箔を固着させ、予め定めた回路の形状にエッチングによ
って形成している。また、前記レジスト8は、合成樹脂
製の従来周知のものを使用して基板2上に塗布してあ
り、前記導体パターン7の部品実装部のみが露出する状
態で基板2の上面の全域を覆っている。レジスト8を基
板2上に塗布するには、レジスト表面が基板本体2aの
主面と平行な平坦面になるように実施している。
【0017】導体パターン7の部品実装部には、図2に
示すように、前記両コネクタ3,4や、半導体チップ
9、チップ型抵抗などの表面実装型電子部品10を半田
11(図6参照)によって実装している。この実施の形
態では、半導体チップ9の表面電極を導体パターン7の
部品実装部にボンディングワイヤ12(図2参照)によ
って接続している。
【0018】前記電源用コネクタ3および信号用コネク
タ4は、図3,4に示すように、複数の端子3a,4a
と、この端子3a,4aを保持する合成樹脂製絶縁ブロ
ック3b,4bとから構成している。この実施の形態で
は、インサート成形によって端子3a,4aと絶縁ブロ
ック3b,4bとが一体をなすように形成している。前
記端子3a,4aが本発明に係る外部接続用端子を構成
している。この実施の形態においては、この端子3a,
4aは絶縁ブロック3b,4bを貫通させ、一方の突出
端部を基板2の導体パターン7に半田付けしている。電
源用コネクタ3の端子3aは、絶縁ブロック3bの上方
に突出する他方の突出端部を樹脂封止後に図6に示すよ
うに半導体装置内側へ向けて折曲げることによって、断
面コ字状に形成している。この折曲げを容易に行うこと
ができるように、端子3aには図3(b)に示すように
横溝3cを形成している。
【0019】図6において断面コ字状に形成した端子3
aの内側に位置する符号13で示すものは、端子3aに
図示してない電源用配線の圧着端子(図示せず)を接続
するためのナットである。このナット13は、封止樹脂
5の六角穴5aに嵌合させている。すなわち、図示して
ないボルトを電源用配線の圧着端子と端子3aとに貫通
させた状態でナット13に螺着させることによって、端
子3aに電源用配線を接続することができる。
【0020】前記両コネクタ3,4の絶縁ブロック3
b,4bは、図2に示すように、二つの固定用ねじ14
によって基板2に固定している。電源用コネクタ3の絶
縁ブロック3bは、端子3aが貫通する上面15を基板
2の主面と平行になるように平坦に形成している。ま
た、絶縁ブロック3bの側面16は、平坦に形成して僅
かに傾斜させている。傾斜方向は、絶縁ブロック3bの
上側へ向かうにしたがって絶縁ブロック3bの形成幅が
次第に小さくなるように設定している。
【0021】信号用コネクタ4の絶縁ブロック4bは、
上面17を基板2の主面と平行になるように形成すると
ともに、この上面17の一側から他側へ延びて上側へ突
出する突条18を一体に形成している。また、この絶縁
ブロック4bの側面19も平坦に形成して僅かに傾斜さ
せている。側面19の傾斜方向は、絶縁ブロック4bの
上側へ向かうにしたがって絶縁ブロック4bの形成幅が
次第に小さくなるように設定している。このように両絶
縁ブロック3b,4bの側面16,19を傾斜させたの
は、側面16,19を型締工程で後述する上金型に全面
にわたって密接させるためである。
【0022】これら絶縁ブロック3b,4bの上面1
5,17および側面16,19が本発明に係る型締面を
構成している。なお、前記レジスト8の表面は他の発明
に係る型締面を構成している。
【0023】前記封止樹脂5は、基板2に搭載した半導
体チップ9および表面実装部品10と、ボンディングワ
イヤ12と、コネクタ3,4の端子3a,4aにおける
基板2に接続する部分などが埋没し封止されるように、
基板2上にモールド成形している。この封止樹脂5を基
板2上にモールド成形するためには、図7〜図9に示す
モールド金型20を用いて行う。
【0024】モールド金型20は、図7に示す上金型2
1と、図8に示す下金型22とから構成し、これら上下
両金型21,22の間に、各部品を搭載した状態の前記
基板2を型締めする構造を採っている。なお、図示して
ないが、上金型21と下金型22は、これらの一方を他
方に対して上下方向に移動させて型締め、型開きを行う
成形機に連結させるとともに、樹脂封止後に基板2を離
型させるための押出しピンを取付けてある。
【0025】前記上金型21の下面には封止樹脂5をモ
ールド成形するためのキャビティ23を形成し、下金型
22の上面には基板2が嵌合する凹陥部24を形成して
いる。前記キャビティ23は、前記電源用コネクタ3を
収容する電源用コネクタ収容部25と、前記信号用コネ
クタ4を収容する信号用コネクタ収容部26と、これら
の収容部25,26どうしの間に形成した封止樹脂成形
部27とから構成している。
【0026】前記電源用コネクタ収容部25は、電源用
コネクタ3の上面15および側面16が面接触の状態で
圧接するように壁面を形成している。また、この電源用
コネクタ収容部25には、電源用コネクタ3の端子3a
を収容するための穴25aを形成している。この穴25
aは、端子3aを簡単に挿入できるように端子3aより
充分に大きい寸法をもって開口させておく。従来のモー
ルド金型では穴壁面を端子に密接させていたが、この上
金型21ではそのようにしなくてよい。
【0027】前記信号用コネクタ収容部26は、信号用
コネクタ4の上面17および側面19が面接触の状態で
圧接するように壁面を形成している。なお、この壁面に
おける信号用コネクタ4の上面17が圧接する面は、信
号用コネクタ4の突条18の先端が圧接する低部26a
と、突条18より半導体装置の内側となる部位が圧接す
る高部26bとから形成している。
【0028】前記封止樹脂成形部27は、前記電源用コ
ネクタ収容部25および信号用コネクタ収容部26より
深くなるように形成し、中央の1箇所にゲート27aを
形成している。また、この封止樹脂成形部27における
電源用コネクタ収容部25側の端部には、図7および図
9に示すように、前記ナット13を嵌合させる六角穴5
aを形成するための入れ子28を取付けている。この入
れ子28は、図9に示すように、上金型21に嵌合させ
て固定し、先端に六角柱28aを複数形成するととも
に、これらの六角柱28aどうしの間に下方へ向けて開
口する凹溝28bを形成している。この凹溝28bは、
封止樹脂成形部27に形成した凹陥部27bに連なるよ
うに形成している。これらの凹溝28bおよび凹陥部2
7bに流入した封止樹脂が固化することにより、図1中
に符号29で示す仕切壁が成形される。この仕切壁29
は、複数並設した端子3aの絶縁を図るために設けてい
る。
【0029】次に、この実施の形態による電力用半導体
装置1を製造する手順を説明する。電力用半導体装置1
を製造するためには、先ず、図2に示すように、基板2
に半導体チップ9や表面実装部品10および電源用コネ
クタ3、信号用コネクタ4を実装し、半導体チップ9の
表面電極と基板2の導体パターン7とをボンディングワ
イヤ12によって接続する。
【0030】そして、この基板2を、基板本体2aが下
金型22の凹陥部24に嵌合するとともに実装部品が上
金型21のキャビティ23に臨むように、モールド金型
20に装填し、上下両金型21,22で上下方向から挟
圧して型締めする。このとき、電源用コネクタ3および
信号用コネクタ4の絶縁ブロック3b,4bにおける上
面15,17および側面16,19と、基板2の表面の
レジスト8とが上金型21に圧接する。圧接範囲は、図
2(b)中に二点鎖線で示すキャビティ形成範囲の外側
である。
【0031】すなわち、型締時には合成樹脂からなる絶
縁ブロック3b,4bおよびレジスト8が僅かに弾性変
形して上金型21に隙間なく密接するから、これらが実
質的にシール材として機能する。
【0032】このように型締めを行った後、図9に示す
ように上金型21のゲート27aからキャビティ23内
に溶融状態の封止樹脂5を注入する。このとき、上述し
たように絶縁ブロック3b,4bおよびレジスト8によ
ってシール性が高められていることから、封止樹脂5が
キャビティ23から漏出することはない。封止樹脂5を
注入した後、モールド金型20の全体を封止樹脂5の固
化温度まで加熱して封止樹脂5を固化させ、基板2をモ
ールド金型20から離型させる。
【0033】離型後の基板2を図5に示す。同図に示す
ように、樹脂封止後には電源用コネクタ3および信号用
コネクタ4の絶縁ブロック3b,4bの一部が封止樹脂
5内に埋没する。また、封止樹脂5には、ナット13を
嵌合させるための六角穴5aと、仕切壁29とが形成さ
れる。
【0034】そして、前記六角穴5aにナット13を嵌
合させ、電源用コネクタ3の端子3aを図1に示すよう
に折曲げることによって、電力用半導体装置1の製造工
程が終了する。このように製造した電力用半導体装置1
は、封止樹脂5とコネクタ3,4の絶縁ブロック3b,
4bとによって樹脂封止部が形成される。
【0035】したがって、この電力用半導体装置1にお
いては、電源用コネクタ3および信号用コネクタ4の絶
縁ブロック3b,4bに上金型21が圧接する型締面を
形成するとともに、レジスト8の表面を型締面としたた
め、絶縁ブロック3b,4bおよびレジスト8が実質的
にシール材として機能することになり、モールド成形時
に溶融状態の封止樹脂5がキャビティ23内から外部に
漏出するのを阻止することができる。
【0036】このため、上金型21における端子収容用
穴25aを形成が容易となるように大きく開口させても
端子3aの周囲にばりが生じることはないし、上金型2
1におけるレジスト8に圧接する合わせ面を高い精度を
もって平坦に形成しなくても、ここにばりが発生するこ
とはない。
【0037】第2の実施の形態 電源用コネクタは、図10ないし図15に示すように、
絶縁ブロックに端子を組付ける構造を採ることができ
る。図10は電力用半導体装置の電源用コネクタ部分を
示す図で、同図(a)は平面図、同図(b)は左側面
図、同図(c)は正面図である。図11はモールド金型
から離型させた状態の電源用コネクタ部分を示す図で、
同図(a)は平面図、同図(b)は左側面図、同図
(c)は正面図である。図12は基板に電源用コネクタ
を取付けた状態の電源用コネクタ部分を示す図で、同図
(a)は平面図、同図(b)は左側面図、同図(c)は
正面図である。
【0038】図13は電源用コネクタの端子を示す図
で、同図(a)は平面図、同図(b)は正面図、同図
(c)は右側面図である。図14は電源用コネクタの絶
縁ブロックを示す図で、同図(a)は平面図、同図
(b)は正面図、同図(c)は右側面図、同図(d)は
左側面図、同図(e)は底面図である。図15は電源用
コネクタを示す図で、同図(a)は平面図、同図(b)
は正面図、同図(c)は右側面図、同図(d)は左側面
図、同図(e)は底面図である。これらの図において前
記図1ないし図9で説明したものと同一もしくは同等部
材については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【0039】図10に示す電力用半導体装置1の電源用
コネクタ3は、複数の端子3aを絶縁ブロック3bに組
付けることによって形成している。前記端子3aは、図
13に示すように断面L字形に形成し、絶縁ブロック3
bは、図14に示すように左側面と底面に端子取付溝3
1を形成している。この端子取付溝31に図15に示す
ように端子3aを嵌合させることによって、電源用コネ
クタ3が組立てられる。なお、この絶縁ブロック3bに
おいても上面15と側面16は上金型(図示せず)が面
接触状態で圧接するように平坦に形成している。
【0040】この電源用コネクタ3の基板2への固定
は、端子3aを基板2の導体パターン(図示せず)に半
田付けするとともに、絶縁ブロック3bを貫通する2個
の固定用ねじ14を基板2に螺着させることによって行
う。なお、この電力用半導体装置1の信号用コネクタ
や、封止樹脂5をモールド成形するときに用いるモール
ド金型は、前記第1の実施の形態を採るときに用いたも
のと同じ構造をものである。
【0041】上述したように形成した電源用コネクタ3
を使用しても、絶縁ブロック3bが実質的にシール材と
して機能することによって端子3aの周囲にばりが発生
するのを阻止することができるから、第1の実施の形態
を採るときと同等の効果を奏する。
【0042】第3の実施の形態 コネクタの絶縁ブロックを実質的にシール材として用い
るに当たっては、図16および図17に示すような構造
を採ることもできる。図16は絶縁ブロックの上面のみ
を型締面とした電力用半導体装置を示す図で、同図
(a)は右側面図、同図(b)は平面図、同図(c)は
左側面図、同図(d)は縦断面図である。図17は基板
にコネクタを取付けた状態を示す図で、同図(a)は右
側面図、同図(b)は平面図、同図(c)は左側面図、
同図(d)は正面図である。これらの図において前記図
1ないし図15で説明したものと同一もしくは同等部材
については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【0043】図16に示す電力用半導体装置1は、電源
用コネクタ3と信号用コネクタ4の上面15,17を型
締面として封止樹脂5をモールド成形している。この実
施の形態で示す信号用コネクタ4は、端子4aを図16
(d)に示すように断面L字形に形成し、下辺を基板2
の導体パターン(図示せず)に半田付けするとともに、
上辺を絶縁ブロック4bの上面17から上方へ突出させ
ている。
【0044】この電力用半導体装置1の封止樹脂5をモ
ールド成形するモールド金型(図示せず)は、両コネク
タ3,4の絶縁ブロック3b,4bの全体がキャビティ
内に収容されるように形成する。また、このキャビティ
には、絶縁ブロック3b,4bから上方へ延びる端子3
a,4aを挿通させるための凹陥部を備えた角柱部を形
成する。この角柱部は、先端面が絶縁ブロック3b,4
bの上面15,17に圧接するように形成する。なお、
角柱部の圧接範囲を図17(b)中に二点鎖線で示す。
【0045】このように構成した電力用半導体装置1に
おいては、絶縁ブロック3b,4bの上面15,17と
基板2のレジスト8が実質的にシール材として機能する
ことによって封止樹脂5がキャビティ外に漏出するのを
阻止することができる。このため、第1の実施の形態を
採るときと同等の効果を奏する。
【0046】第4の実施の形態 電源用コネクタに型締面を形成するためには、図18お
よび図19に示す構造を採ることができる。図18は電
力用半導体装置の電源用コネクタ部分を示す図で、同図
(a)は平面図、同図(b)は左側面図、同図(c)は
(a)図におけるC−C線断面図である。図19は基板
の電源用コネクタ取付部を示す図で、同図(a)は平面
図、同図(b)は左側面図、同図(c)は(a)図にお
けるC−C線断面図である。これらの図において前記図
1ないし図17で説明したものと同一もしくは同等部材
については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【0047】図18および図19に示す電源用コネクタ
3は、銅によって形成した端子41と、合成樹脂によっ
て形成した型締用板42とから構成している。前記端子
41は、基板2の導体パターン(図示せず)に半田付け
した基部41aと、この基部41aに上方に突出するよ
うに一体に形成した配線接続部41bとから構成してい
る。前記基部41aおよび配線接続部41bは、配線接
続部41bが相対的に幅狭になるようにそれぞれ角柱形
に形成している。また、配線接続部41bには、図示し
てない電源用配線の圧着端子を貫通したボルトが螺着す
る雌ねじ43を刻設している。
【0048】前記型締用板42は、前記端子41の配線
接続部41bが貫通する状態で前記基部41aに支承さ
せている。また、この型締用板42の上面は、基板2の
主面と平行になるように平坦に形成している。
【0049】この電力用半導体装置1の封止樹脂5をモ
ールド成形するモールド金型(図示せず)は、電源用コ
ネクタ3の端子41の基部41aの全体がキャビティ内
に収容されるように形成する。このキャビティには、前
記端子41の配線接続部41bが臨む凹陥部を備えた角
柱部を電源用コネクタ3毎に形成する。この角柱部は、
先端面が型締用板42の上面に圧接するように形成す
る。角柱部の圧接範囲を図19(a)中に二点鎖線で示
す。
【0050】このように構成した電力用半導体装置1に
おいては、電源用コネクタ3の型締用板42および図示
してない信号用コネクタの絶縁ブロックと、基板2のレ
ジスト8とが実質的にシール材として機能することによ
って封止樹脂5がキャビティ外に漏出するのを阻止する
ことができる。このため、第1の実施の形態を採るとき
と同等の効果を奏する。
【0051】第5の実施の形態 封止樹脂は、図20および図21に示すように、コネク
タ搭載部を除いて基板の中央部のみにモールド成形する
ことができる。図20は基板の中央部のみに封止樹脂を
モールド成形した電力用半導体装置を示す図で、同図
(a)は平面図、同図(b)は正面図である。なお、同
図は電源用配線を接続した状態で描いてある。図21は
樹脂封止前の基板を示す図で、同図(a)は平面図、同
図(b)は正面図である。これらの図において前記図1
ないし図19で説明したものと同一もしくは同等部材に
ついては、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【0052】図20に示す電力用半導体装置1は、基板
2の中央部に封止樹脂5をモールド成形し、電源用配線
51を接続するための配線接続部52を封止樹脂5の一
側方に形成するとともに、他側方に信号用コネクタ4を
配設している。前記配線接続部52は、図21に示すよ
うに、基板2の一端部まで延びる導体パターン7の先端
部と、基板2に穿設した丸穴53とによって構成してい
る。なお、前記導体パターン7は、配線接続部52を除
く他の全ての部位がレジスト8で覆われている。なお、
電源用配線51の先端に設けた符号54で示すものは圧
着端子で、この圧着端子54は、前記丸穴53を貫通す
る固定ボルト55、絶縁用ワッシャ56およびナット5
7によって前記配線接続部52に接続している。
【0053】この電力用半導体装置1の封止樹脂5をモ
ールド成形するモールド金型(図示せず)は、図21中
に二点鎖線で示すキャビティ形成範囲の外側で基板2を
挟圧して型締めするように形成する。すなわち、この電
力用半導体装置1においては、基板2のレジスト8が実
質的にシール材として機能することによって封止樹脂5
がキャビティ外に漏出するのを阻止することができる。
このため、第1の実施の形態を採るときと同等の効果を
奏する。
【0054】なお、上述したように封止樹脂5を基板2
の中央部に設ける構造を採る場合には、図22および図
23に示すように、電源用コネクタ3を端子3aのみに
よって形成することができる。図22は電源用コネクタ
を端子のみによって形成した電力用半導体装置の電源用
コネクタ部分を示す図で、同図(a)は平面図、同図
(b)は左側面図、同図(c)は正面図である。図23
は基板の端子取付部を示す図で、同図(a)は平面図、
同図(b)は左側面図、同図(c)は正面図である。こ
れらの図において前記図1ないし図21で説明したもの
と同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳
細な説明は省略する。
【0055】図22および図23に示す電源用コネクタ
3の端子3aは、図13で示したものと同じ構造を採
り、基板2の導体パターン7と一体に形成した配線接続
部(図示せず)に半田付けしている。このように構成し
ても第1の実施の形態を採るときと同等の効果を奏す
る。
【0056】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る電力用
半導体装置は、外部接続用端子の基部にこの外部接続用
端子が貫通する合成樹脂製ブロックを設け、このブロッ
クに、モールド金型が圧接する型締面を形成したため、
合成樹脂製ブロックが実質的にシール材として機能する
から、モールド成形時に溶融状態のモールド樹脂がキャ
ビティ内から外部接続用端子側へ漏出するのを阻止する
ことができる。
【0057】したがって、複数の外部接続用端子の基板
への高精度な組付けを施すことや、外部接続用端子の形
状・寸法に合わせた凹陥部をモールド金型に形成するこ
となくばりの発生を阻止することができるので、外部接
続用端子の基板への組付けコストや、モールド金型の製
造コストを低減することができる。しかも、樹脂封止部
をモールド樹脂によって形成することができるので、ケ
ースを使用する従来の電力用半導体装置に較べて組立工
数および部品数を削減することができる。
【0058】他の発明に係る電力用半導体装置は、半導
体チップを搭載した基板を、金属製基板本体と、この基
板本体上に絶縁被膜を介して形成した導体パターンと、
この導体パターンを覆うレジスト膜とから構成し、この
レジスト膜の表面をモールド金型が圧接する型締面とし
たため、レジスト膜が実質的にシール材として機能する
から、モールド成形時に溶融状態のモールド樹脂がキャ
ビティ内からモールド金型と基板との間を通って外部へ
漏出するのを阻止することができる。
【0059】したがって、基板の厚さの精度が低くて
も、また、モールド金型の合わせ面の形成精度が低くて
も金型合わせ部にばりが生じることがないから、基板と
モールド金型の製造コストを低減することができる。し
かも、樹脂封止部をモールド樹脂によって形成すること
ができるので、ケースを使用する従来の電力用半導体装
置に較べて組立工数および部品数を削減することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る電力用半導体装置を示す図であ
る。
【図2】 本発明に係る電力用半導体装置の樹脂封止前
の状態を示す図である。
【図3】 電源用コネクタを示す図である。
【図4】 信号用コネクタを示す図である。
【図5】 本発明に係る電力用半導体装置の樹脂封止後
の状態を示す図である。
【図6】 図1におけるVI−VI線断面図である。
【図7】 上金型のキャビティを示す底面図である。
【図8】 下金型の基板装填部を示す平面図である。
【図9】 封止樹脂をキャビティに注入した状態を示す
断面図である。
【図10】 電力用半導体装置の電源用コネクタ部分を
示す図である。
【図11】 モールド金型から離型させた状態の電源用
コネクタ部分を示す図である。
【図12】 基板に電源用コネクタを取付けた状態の電
源用コネクタ部分を示す図である。
【図13】 電源用コネクタの端子を示す図である。
【図14】 電源用コネクタの絶縁ブロックを示す図で
ある。
【図15】 電源用コネクタを示す図である。
【図16】 絶縁ブロックの上面のみを型締面とした電
力用半導体装置を示す図である。
【図17】 基板にコネクタを取付けた状態を示す図で
ある。
【図18】 電力用半導体装置の電源用コネクタ部分を
示す図である。
【図19】 基板の電源用コネクタ取付部を示す図であ
る。
【図20】 基板中央部のみに封止樹脂をモールド成形
した電力用半導体装置を示す図である。
【図21】 樹脂封止前の基板を示す図である。
【図22】 電源用コネクタを端子のみによって形成し
た電力用半導体装置の電源用コネクタ部分を示す図であ
る。
【図23】 基板の端子取付部を示す図である。
【符号の説明】
1…電力用半導体装置、2…基板、3…電源用コネク
タ、3a…端子、3b…絶縁ブロック、4…信号用コネ
クタ、4a…端子、4b…絶縁ブロック、5…封止樹
脂、7…導体パターン、8…レジスト、9…半導体チッ
プ、15,17…上面、16,19…側面、20…モー
ルド金型、21…上金型、22…下金型。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板の電力用半導体チップ搭載部をモー
    ルド樹脂によって封止するとともに、この樹脂封止部か
    ら外部接続用端子が突出する電力用半導体装置におい
    て、前記外部接続用端子における基板側の基部に、この
    外部接続用端子が貫通する合成樹脂製ブロックを設け、
    このブロックに、樹脂封止部成形用モールド金型が圧接
    する型締面を形成したことを特徴とする電力用半導体装
    置。
  2. 【請求項2】 基板の電力用半導体チップ搭載部をモー
    ルド樹脂によって封止する電力用半導体装置において、
    前記基板を、金属製基板本体と、この基板本体上に絶縁
    被膜を介して形成した導体パターンと、この導体パター
    ンを覆うレジスト膜とから構成し、前記レジスト膜の表
    面を、樹脂封止部成型用モールド金型が圧接する型締面
    としたことを特徴とする電力用半導体装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005004563A1 (ja) * 2003-07-03 2005-01-13 Hitachi, Ltd. モジュール装置及びその製造方法
US7119437B2 (en) 2002-12-26 2006-10-10 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Electronic substrate, power module and motor driver
JP2008149677A (ja) * 2006-12-20 2008-07-03 Sumitomo Heavy Ind Ltd 樹脂封止金型
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