JPH10118907A - ガラス基板の外周加工装置 - Google Patents
ガラス基板の外周加工装置Info
- Publication number
- JPH10118907A JPH10118907A JP29127896A JP29127896A JPH10118907A JP H10118907 A JPH10118907 A JP H10118907A JP 29127896 A JP29127896 A JP 29127896A JP 29127896 A JP29127896 A JP 29127896A JP H10118907 A JPH10118907 A JP H10118907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- polishing
- corner
- holding table
- polishing member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス基板の四周の縁部を面取りしてエッジ
を除く加工と、4つのコーナ部に丸みを付ける加工と、
つのコーナ部にオリフラを形成する加工とを、簡単な構
成からなる単一の装置で一連の動作により行えるように
する。 【構成】 ガイドレール12に沿って移動する搬送基台
11に回転駆動手段14を介してガラス基板1を真空吸
着する保持テーブル13を装着し、搬送基台11の移動
により、ガラス基板1の搬入及び搬出するロード・アン
ロード位置と、ガラス基板1の長辺1L及び短辺1Sの
面取り加工を行うために、ガラス基板1の搬送方向と直
交する方向に位置調整可能な側面研磨手段20を設けた
位置と、コーナ部1Cの研磨加工と1つのコーナ部にオ
リフラを形成するために、コーナ研磨手段30が設けら
れた位置を備え、側面研磨はガラス基板1を直線方向に
動かし、またコーナ部の研磨は保持テーブル13を回転
させながら行う。
を除く加工と、4つのコーナ部に丸みを付ける加工と、
つのコーナ部にオリフラを形成する加工とを、簡単な構
成からなる単一の装置で一連の動作により行えるように
する。 【構成】 ガイドレール12に沿って移動する搬送基台
11に回転駆動手段14を介してガラス基板1を真空吸
着する保持テーブル13を装着し、搬送基台11の移動
により、ガラス基板1の搬入及び搬出するロード・アン
ロード位置と、ガラス基板1の長辺1L及び短辺1Sの
面取り加工を行うために、ガラス基板1の搬送方向と直
交する方向に位置調整可能な側面研磨手段20を設けた
位置と、コーナ部1Cの研磨加工と1つのコーナ部にオ
リフラを形成するために、コーナ研磨手段30が設けら
れた位置を備え、側面研磨はガラス基板1を直線方向に
動かし、またコーナ部の研磨は保持テーブル13を回転
させながら行う。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの基板
等を構成するガラス基板の外周縁の部分からエッジを除
くために、その外周縁の部分を加工するガラス基板の外
周加工装置に関するものである。
等を構成するガラス基板の外周縁の部分からエッジを除
くために、その外周縁の部分を加工するガラス基板の外
周加工装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】液晶パネルは、2枚の透明なガラス基板
を備え、これら2枚のガラス基板の少なくとも一方に所
定の回路パターンを形成すると共に、両ガラス基板間に
液晶を封入してなるものである。これらガラス基板は、
大型のガラス板から所定の形状に切り出して、表面に回
路パターンを形成する等、所定の加工を行い、また必要
に応じてカラーフィルタ膜等が表面に形成される。ガラ
ス板からガラス基板を切り出した状態では、切り口の部
分がエッジ形状となることから、ガラス基板の切り出し
を行った後に、その外周部分を面取りする加工を行う必
要がある。
を備え、これら2枚のガラス基板の少なくとも一方に所
定の回路パターンを形成すると共に、両ガラス基板間に
液晶を封入してなるものである。これらガラス基板は、
大型のガラス板から所定の形状に切り出して、表面に回
路パターンを形成する等、所定の加工を行い、また必要
に応じてカラーフィルタ膜等が表面に形成される。ガラ
ス板からガラス基板を切り出した状態では、切り口の部
分がエッジ形状となることから、ガラス基板の切り出し
を行った後に、その外周部分を面取りする加工を行う必
要がある。
【0003】ここで、液晶パネルは通常は長方形のもの
であり、ガラス基板は長方形に切り出される。そして、
このガラス基板の外周部分の面取り加工は、従来では、
長辺側の2辺を研磨し、次いで短辺側の2辺を研磨する
というように、2段階で加工を行うようにしていた。ま
た、ガラス基板には、その方向性を示すために、1つの
コーナ部にオリフラが形成される場合もあるが、このオ
リフラを形成する加工も別工程で行われている。
であり、ガラス基板は長方形に切り出される。そして、
このガラス基板の外周部分の面取り加工は、従来では、
長辺側の2辺を研磨し、次いで短辺側の2辺を研磨する
というように、2段階で加工を行うようにしていた。ま
た、ガラス基板には、その方向性を示すために、1つの
コーナ部にオリフラが形成される場合もあるが、このオ
リフラを形成する加工も別工程で行われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、ガラ
ス基板の外周部分の面取り加工を長辺側と短辺側とを別
工程で行うのは、加工工数が増加して、加工時間が長く
なるだけでなく、加工装置の構成も複雑になる等といっ
た問題点がある。また、長辺及び短辺の加工を行っただ
けでは、コーナ部が尖った状態になるから、4つのコー
ナ部も丸みを付けるように加工する方が好ましく、しか
もこのコーナ部の処理を行う際に、そのうちの1つのコ
ーナ部にオリフラを形成するのが最も都合が良い。以上
のことから、単一の加工装置で、ガラス基板の長辺及び
短辺を面取り加工すると共に、4つのコーナ部を加工し
た上で、1つのコーナ部にオリフラを形成できる構成と
したものの開発が望まれている。
ス基板の外周部分の面取り加工を長辺側と短辺側とを別
工程で行うのは、加工工数が増加して、加工時間が長く
なるだけでなく、加工装置の構成も複雑になる等といっ
た問題点がある。また、長辺及び短辺の加工を行っただ
けでは、コーナ部が尖った状態になるから、4つのコー
ナ部も丸みを付けるように加工する方が好ましく、しか
もこのコーナ部の処理を行う際に、そのうちの1つのコ
ーナ部にオリフラを形成するのが最も都合が良い。以上
のことから、単一の加工装置で、ガラス基板の長辺及び
短辺を面取り加工すると共に、4つのコーナ部を加工し
た上で、1つのコーナ部にオリフラを形成できる構成と
したものの開発が望まれている。
【0005】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、ガラス基板の外周縁
を面取り加工してエッジを除くと共に、4つのコーナ部
に丸みを付ける加工を行い、さらにそのうちの1つのコ
ーナ部にオリフラを形成する加工を、単一の簡単な装置
で連続動作で行えるようにすることにある。
あって、その目的とするところは、ガラス基板の外周縁
を面取り加工してエッジを除くと共に、4つのコーナ部
に丸みを付ける加工を行い、さらにそのうちの1つのコ
ーナ部にオリフラを形成する加工を、単一の簡単な装置
で連続動作で行えるようにすることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、ガラス基板を保持する保持テーブル
が回転可能に設けられ、所定方向に往復移動する搬送手
段と、この搬送手段による搬送経路の途中位置の左右
に、この搬送経路と直交する方向に移動可能に配置さ
れ、ガラス基板の上下の両エッジ部分を面取りする側面
研磨手段と、搬送経路の先端部に配置され、ガラス基板
の4つのコーナ部を研磨するコーナ研磨手段とを備える
構成としたことをその特徴とするものである。
ために、本発明は、ガラス基板を保持する保持テーブル
が回転可能に設けられ、所定方向に往復移動する搬送手
段と、この搬送手段による搬送経路の途中位置の左右
に、この搬送経路と直交する方向に移動可能に配置さ
れ、ガラス基板の上下の両エッジ部分を面取りする側面
研磨手段と、搬送経路の先端部に配置され、ガラス基板
の4つのコーナ部を研磨するコーナ研磨手段とを備える
構成としたことをその特徴とするものである。
【0007】ガラス基板を保持テーブルに固定する必要
がある。クランプ等の手段でガラス基板を固定すること
も可能であるが、着脱の容易性等からは、真空吸着を行
うようにするのが好ましい。また、側面研磨手段とコー
ナ研磨手段とを設けているが、ガラス基板と研磨手段と
は、相対的な動きがあれば良いが、効率的な研磨加工を
行うには、これらの研磨手段は研磨部材を回転駆動手段
により回転駆動するように構成する。側面研磨手段の研
磨部材は所定の角度傾斜させた円環状に形成する。ま
た、コーナ研磨手段は円形の研磨部材を用いて、ガラス
基板のコーナ部を、その回転中心から離した位置で当接
させる。そして、ガラス基板の4つのコーナ部のうちの
一つのコーナ部を加工する際には、他の部位よりガラス
基板の研磨部材に対する押し付け量を大きくすることに
よって、オリフラを形成できる。
がある。クランプ等の手段でガラス基板を固定すること
も可能であるが、着脱の容易性等からは、真空吸着を行
うようにするのが好ましい。また、側面研磨手段とコー
ナ研磨手段とを設けているが、ガラス基板と研磨手段と
は、相対的な動きがあれば良いが、効率的な研磨加工を
行うには、これらの研磨手段は研磨部材を回転駆動手段
により回転駆動するように構成する。側面研磨手段の研
磨部材は所定の角度傾斜させた円環状に形成する。ま
た、コーナ研磨手段は円形の研磨部材を用いて、ガラス
基板のコーナ部を、その回転中心から離した位置で当接
させる。そして、ガラス基板の4つのコーナ部のうちの
一つのコーナ部を加工する際には、他の部位よりガラス
基板の研磨部材に対する押し付け量を大きくすることに
よって、オリフラを形成できる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態につ
いて、図面を参照して詳細に説明する。図面において、
図1は加工装置の全体構成を示し、図2には加工された
ガラス基板の要部を示す。
いて、図面を参照して詳細に説明する。図面において、
図1は加工装置の全体構成を示し、図2には加工された
ガラス基板の要部を示す。
【0009】而して、ガラス基板1は、大きな寸法のガ
ラス板を所定の寸法に切り出したものであり、通常は長
方形をしている。従って、このガラス基板1には、2つ
の長辺1Lと2つの短辺1Sとを備え、これら各辺1
L,1S間には4つのコーナ部1Cがあり、ガラス基板
1を切り出した状態では、各辺1L,1Sのエッジと、
各コーナ部1Cとは尖った状態になっている。このガラ
ス基板1は、加工装置10によって、各辺1L,1Sの
表裏両側のエッジ部を面取りすると共に、コーナ部1C
の突起を除く加工を行う。しかも、コーナ部1Cのうち
の1つのコーナ部はオリフラが形成される。オリフラ
は、図2に仮想線で示したように、コーナ部に斜辺がで
きる程度にまで研磨量を大きくすることにより形成され
る。
ラス板を所定の寸法に切り出したものであり、通常は長
方形をしている。従って、このガラス基板1には、2つ
の長辺1Lと2つの短辺1Sとを備え、これら各辺1
L,1S間には4つのコーナ部1Cがあり、ガラス基板
1を切り出した状態では、各辺1L,1Sのエッジと、
各コーナ部1Cとは尖った状態になっている。このガラ
ス基板1は、加工装置10によって、各辺1L,1Sの
表裏両側のエッジ部を面取りすると共に、コーナ部1C
の突起を除く加工を行う。しかも、コーナ部1Cのうち
の1つのコーナ部はオリフラが形成される。オリフラ
は、図2に仮想線で示したように、コーナ部に斜辺がで
きる程度にまで研磨量を大きくすることにより形成され
る。
【0010】加工装置10は搬送手段を有し、この搬送
手段は搬送基台11と、この搬送基台11を所定の距離
だけ往復移動させるガイドレール12とから構成され
る。搬送基台11をガイドレール12に沿って移動させ
るための駆動手段は、図示は省略するが、例えば送りね
じ機構やシリンダ等、周知の手段が用いられる。搬送基
台11は、ガラス基板1を搬送するためのものであっ
て、ガラス基板1を位置決めした状態で保持する保持テ
ーブル13が搬送基台11に設置されるが、後述するよ
うに、保持テーブル13は水平方向に回転することか
ら、保持テーブル13と搬送基台11との間にはモータ
等の回転駆動手段14を介在させている。そして、ガラ
ス基板1は保持テーブル13上の所定の位置に安定的に
固定する必要があり、従ってガラス基板1を固定するた
めの機構が保持テーブル13に設けられている。この固
定機構としては、クランプ等の手段を用いることもでき
るが、外周部を開放する必要があり、しかもガラス基板
1の着脱を容易に行えるようにするために、真空吸着機
構を用いるのが好ましい。
手段は搬送基台11と、この搬送基台11を所定の距離
だけ往復移動させるガイドレール12とから構成され
る。搬送基台11をガイドレール12に沿って移動させ
るための駆動手段は、図示は省略するが、例えば送りね
じ機構やシリンダ等、周知の手段が用いられる。搬送基
台11は、ガラス基板1を搬送するためのものであっ
て、ガラス基板1を位置決めした状態で保持する保持テ
ーブル13が搬送基台11に設置されるが、後述するよ
うに、保持テーブル13は水平方向に回転することか
ら、保持テーブル13と搬送基台11との間にはモータ
等の回転駆動手段14を介在させている。そして、ガラ
ス基板1は保持テーブル13上の所定の位置に安定的に
固定する必要があり、従ってガラス基板1を固定するた
めの機構が保持テーブル13に設けられている。この固
定機構としては、クランプ等の手段を用いることもでき
るが、外周部を開放する必要があり、しかもガラス基板
1の着脱を容易に行えるようにするために、真空吸着機
構を用いるのが好ましい。
【0011】搬送基台11はガイドレール12に沿って
往復移動する。この搬送基台11の移動軌跡において、
位置(イ)はロード・アンロード位置であって、このロ
ード・アンロード位置においては、未加工のガラス基板
1が保持テーブル13に搭載され、また加工済みのガラ
ス基板1の取り出しが行われる。位置(ロ)はガラス基
板1の長辺1L及び短辺1Sを研磨して面取り加工を行
うものであり、位置(ハ)では、コーナ部1Cの研磨加
工とそのうちの1つのコーナ部にオリフラを形成する加
工とを行うものである。
往復移動する。この搬送基台11の移動軌跡において、
位置(イ)はロード・アンロード位置であって、このロ
ード・アンロード位置においては、未加工のガラス基板
1が保持テーブル13に搭載され、また加工済みのガラ
ス基板1の取り出しが行われる。位置(ロ)はガラス基
板1の長辺1L及び短辺1Sを研磨して面取り加工を行
うものであり、位置(ハ)では、コーナ部1Cの研磨加
工とそのうちの1つのコーナ部にオリフラを形成する加
工とを行うものである。
【0012】従って、ロード・アンロード位置(イ)に
は、ガラス基板1の搬入及び搬出を行うロボット(図示
せず)が配置されており、位置(ロ)にはガラス基板1
の長辺1L及び短辺1Sの上下の両エッジ部分を面取り
する側面研磨手段20が、ガイドレール12の両側の位
置に配置されている。また、位置(ハ)には、ガイドレ
ール12による搬送基台11の移動方向の前方部にガラ
ス基板1の4つのコーナ部1Cを研磨するコーナ研磨手
段30が設けられている。
は、ガラス基板1の搬入及び搬出を行うロボット(図示
せず)が配置されており、位置(ロ)にはガラス基板1
の長辺1L及び短辺1Sの上下の両エッジ部分を面取り
する側面研磨手段20が、ガイドレール12の両側の位
置に配置されている。また、位置(ハ)には、ガイドレ
ール12による搬送基台11の移動方向の前方部にガラ
ス基板1の4つのコーナ部1Cを研磨するコーナ研磨手
段30が設けられている。
【0013】側面研磨手段20は、略L字状に形成した
取付プレート21を有し、この取付プレート21は水平
ガイド部材22によって、ガイドレール12による搬送
基台11の移動方向と直交する方向に位置調整可能とな
っている。取付プレート21の垂直面部21aには垂直
ガイド部材23が設けられており、この垂直ガイド部材
23に昇降ブロック24A,24Bが昇降可能に装着さ
れている。昇降ブロック24A,24Bにはモータ25
A,25Bが装着されており、このモータ25A,25
Bの出力軸には回転式の研磨部材26A,26Bが取り
付けられている。ここで、研磨部材26Aはガラス基板
1の長辺1L及び短辺1Sの表面側、即ち図中における
上側のエッジを研磨するものであり、また研磨部材26
Bはガラス基板1の長辺1L及び短辺1Sの裏面側、即
ち図中における下側のエッジを研磨するものである。
取付プレート21を有し、この取付プレート21は水平
ガイド部材22によって、ガイドレール12による搬送
基台11の移動方向と直交する方向に位置調整可能とな
っている。取付プレート21の垂直面部21aには垂直
ガイド部材23が設けられており、この垂直ガイド部材
23に昇降ブロック24A,24Bが昇降可能に装着さ
れている。昇降ブロック24A,24Bにはモータ25
A,25Bが装着されており、このモータ25A,25
Bの出力軸には回転式の研磨部材26A,26Bが取り
付けられている。ここで、研磨部材26Aはガラス基板
1の長辺1L及び短辺1Sの表面側、即ち図中における
上側のエッジを研磨するものであり、また研磨部材26
Bはガラス基板1の長辺1L及び短辺1Sの裏面側、即
ち図中における下側のエッジを研磨するものである。
【0014】研磨部材26A,26Bの研磨面は円錐面
の形状をしたものであり、その傾斜面をガラス基板1の
長辺1L及び短辺1Sに当接させた状態で回転させるこ
とにより、この部位のエッジは傾斜面の角度に対応する
形状の面取りが形成される。研磨部材26Aと研磨部材
26Bとは、同じ位置に配置することもできるが、ガラ
ス基板1の厚みはかなり薄いことから、このガラス基板
1の搬送方向に所定の間隔を置くように配設するのが好
ましい。これによって、両研磨部材26A,26Bが相
互に干渉するのを防止できると共に、上側に位置する研
磨部材26Aの研磨粉が下側の研磨部材26Bの上に落
下するのを防止できる。
の形状をしたものであり、その傾斜面をガラス基板1の
長辺1L及び短辺1Sに当接させた状態で回転させるこ
とにより、この部位のエッジは傾斜面の角度に対応する
形状の面取りが形成される。研磨部材26Aと研磨部材
26Bとは、同じ位置に配置することもできるが、ガラ
ス基板1の厚みはかなり薄いことから、このガラス基板
1の搬送方向に所定の間隔を置くように配設するのが好
ましい。これによって、両研磨部材26A,26Bが相
互に干渉するのを防止できると共に、上側に位置する研
磨部材26Aの研磨粉が下側の研磨部材26Bの上に落
下するのを防止できる。
【0015】これに対して、コーナ研磨手段30は、ガ
イドレール12の延長線上の位置に配置された取付台3
1を有し、この取付台31は固定的に配置されている。
取付台31にはモータ32が設置されており、このモー
タ32の出力軸には円板状の研磨部材33が連結して設
けられている。研磨部材33は、その研磨面が鉛直状態
に保持されて、搬送基台11によるガラス基板1の搬送
経路に臨む位置まで延在されている。ここで、研磨部材
33はガラス基板1の搬送ストローク端位置に臨むよう
に配置されており、ガラス基板1のコーナ部1Cは、研
磨部材33の回転中心から離れた位置に当接するように
設定されている。
イドレール12の延長線上の位置に配置された取付台3
1を有し、この取付台31は固定的に配置されている。
取付台31にはモータ32が設置されており、このモー
タ32の出力軸には円板状の研磨部材33が連結して設
けられている。研磨部材33は、その研磨面が鉛直状態
に保持されて、搬送基台11によるガラス基板1の搬送
経路に臨む位置まで延在されている。ここで、研磨部材
33はガラス基板1の搬送ストローク端位置に臨むよう
に配置されており、ガラス基板1のコーナ部1Cは、研
磨部材33の回転中心から離れた位置に当接するように
設定されている。
【0016】ガラス基板1の外周縁の部分を面取り加工
するための加工装置10は以上のように構成されるが、
次にこの加工装置10を用いてガラス基板1に対する加
工を行う方法について図4乃至図7に基づいて説明す
る。
するための加工装置10は以上のように構成されるが、
次にこの加工装置10を用いてガラス基板1に対する加
工を行う方法について図4乃至図7に基づいて説明す
る。
【0017】まず、図4に示したように、搬送基台11
を位置(イ)に配置した状態で、この搬送基台11に設
けた保持テーブル13上にガラス基板1を配置して、真
空吸着させる。ここで、ガラス基板1は、例えばその短
辺1Sがガイドレール12と平行となり、長辺1Lがガ
イドレール12と直交する状態にして正確に位置決め保
持する。
を位置(イ)に配置した状態で、この搬送基台11に設
けた保持テーブル13上にガラス基板1を配置して、真
空吸着させる。ここで、ガラス基板1は、例えばその短
辺1Sがガイドレール12と平行となり、長辺1Lがガ
イドレール12と直交する状態にして正確に位置決め保
持する。
【0018】以上のように、ガラス基板1の短辺1Sが
左右両側に位置していることから、側面研磨手段20は
水平ガイド部材22に沿って移動させて、その位置決め
を行うが、両側の側面研磨手段20における両研磨部材
26A,26B間の間隔は、ガラス基板1の両長辺1
L,1L間の間隔より僅かに狭い間隔に保持しておく。
ガラス基板1が保持テーブル13上に載置されると、搬
送基台11が位置(ロ)に向けて前進を開始する。図5
に示したように、ガイドレール12の左右両側には、側
面研磨手段20,20が配置されており、保持テーブル
13に保持されているガラス基板1の先端部分が、まず
側面研磨手段20を構成する研磨部材26Bの配設位置
にまで移行する。そして、研磨部材26Aは上昇位置
に、研磨部材26Bが下降位置に配置されている。ガラ
ス基板1が所定の位置まで搬送されると、モータ25B
を作動させることにより回転している研磨部材26Bが
上昇して、ガラス基板1の下面側の短辺1Sのエッジ部
分が研磨部材26Bに当接する。これによって、ガラス
基板1の短辺1Sのエッジ部分に対する研磨が行われ、
その部位に面取りが施される。
左右両側に位置していることから、側面研磨手段20は
水平ガイド部材22に沿って移動させて、その位置決め
を行うが、両側の側面研磨手段20における両研磨部材
26A,26B間の間隔は、ガラス基板1の両長辺1
L,1L間の間隔より僅かに狭い間隔に保持しておく。
ガラス基板1が保持テーブル13上に載置されると、搬
送基台11が位置(ロ)に向けて前進を開始する。図5
に示したように、ガイドレール12の左右両側には、側
面研磨手段20,20が配置されており、保持テーブル
13に保持されているガラス基板1の先端部分が、まず
側面研磨手段20を構成する研磨部材26Bの配設位置
にまで移行する。そして、研磨部材26Aは上昇位置
に、研磨部材26Bが下降位置に配置されている。ガラ
ス基板1が所定の位置まで搬送されると、モータ25B
を作動させることにより回転している研磨部材26Bが
上昇して、ガラス基板1の下面側の短辺1Sのエッジ部
分が研磨部材26Bに当接する。これによって、ガラス
基板1の短辺1Sのエッジ部分に対する研磨が行われ、
その部位に面取りが施される。
【0019】搬送基台11によりガラス基板1が前方に
向けて搬送されるから、研磨部材26Bによる研磨が続
行するが、ガラス基板1が所定距離だけ進行すると、モ
ータ25Aにより回転駆動されている研磨部材26Aが
下降して、ガラス基板1の上面側における短辺1Sの上
面側のエッジ部分を面取りする加工が開始する。そし
て、搬送基台11がさらに進行すると、ガラス基板1の
短辺1Sにおける下面側から研磨部材26Bが離脱し、
次いで上面側から研磨部材26Aが離脱する。この間
に、ガラス基板1の短辺1Sに対してほぼ全長にわたっ
て面取りが行われ、この部位からエッジが除去される。
ここで、ガラス基板1が研磨部材26A,26Bの位置
を一回通過することにより研磨が完了できる場合もある
が、より高い精度の加工を行うには、搬送基台11を複
数回往復動させる間に面取り加工を行うことも可能であ
る。
向けて搬送されるから、研磨部材26Bによる研磨が続
行するが、ガラス基板1が所定距離だけ進行すると、モ
ータ25Aにより回転駆動されている研磨部材26Aが
下降して、ガラス基板1の上面側における短辺1Sの上
面側のエッジ部分を面取りする加工が開始する。そし
て、搬送基台11がさらに進行すると、ガラス基板1の
短辺1Sにおける下面側から研磨部材26Bが離脱し、
次いで上面側から研磨部材26Aが離脱する。この間
に、ガラス基板1の短辺1Sに対してほぼ全長にわたっ
て面取りが行われ、この部位からエッジが除去される。
ここで、ガラス基板1が研磨部材26A,26Bの位置
を一回通過することにより研磨が完了できる場合もある
が、より高い精度の加工を行うには、搬送基台11を複
数回往復動させる間に面取り加工を行うことも可能であ
る。
【0020】側面研磨手段20から離脱したガラス基板
1はさらに前進して、コーナ研磨手段30の研磨部材3
3と対面する位置(ハ)に至ると、その位置で搬送基台
11を停止させる。ここで、搬送基台11の停止位置
は、図6に示したように、保持テーブル13を所定角度
回転させて、ガラス基板1の対角線がガイドレール12
の方向を向いた時に、コーナ部1Cを所定量削り取るこ
とができる位置である。搬送基台11がこの位置に至る
と、回転駆動手段14を作動させて、ガラス基板1を保
持する保持テーブル13を回転させると共に、モータ3
2を作動させて、研磨部材33を回転駆動する。ガラス
基板1の研磨部材33への当接位置は、図7に示したよ
うに、この研磨部材33の回転中心から離れた位置であ
るから、この研磨部材33が回転しながらガラス基板1
のコーナ部1Cが摺接することになる結果、ガラス基板
1のコーナ部1Cが所定量削り取られて、実質的に丸み
が付けられる。ここで、回転駆動手段14としては正逆
回転可能なものを用いて、一方向に回転させて、一度コ
ーナ部1Cの加工した後に、ガラス基板1を逆方向に回
転させると、コーナ部1Cの加工をより高度に行うこと
ができる。
1はさらに前進して、コーナ研磨手段30の研磨部材3
3と対面する位置(ハ)に至ると、その位置で搬送基台
11を停止させる。ここで、搬送基台11の停止位置
は、図6に示したように、保持テーブル13を所定角度
回転させて、ガラス基板1の対角線がガイドレール12
の方向を向いた時に、コーナ部1Cを所定量削り取るこ
とができる位置である。搬送基台11がこの位置に至る
と、回転駆動手段14を作動させて、ガラス基板1を保
持する保持テーブル13を回転させると共に、モータ3
2を作動させて、研磨部材33を回転駆動する。ガラス
基板1の研磨部材33への当接位置は、図7に示したよ
うに、この研磨部材33の回転中心から離れた位置であ
るから、この研磨部材33が回転しながらガラス基板1
のコーナ部1Cが摺接することになる結果、ガラス基板
1のコーナ部1Cが所定量削り取られて、実質的に丸み
が付けられる。ここで、回転駆動手段14としては正逆
回転可能なものを用いて、一方向に回転させて、一度コ
ーナ部1Cの加工した後に、ガラス基板1を逆方向に回
転させると、コーナ部1Cの加工をより高度に行うこと
ができる。
【0021】コーナ部1Cの加工が終了した時に、一つ
のコーナ部1Cを研磨部材33に当接させた状態に位置
決めを行う。そして、研磨部材33の回転を継続しなが
ら、この状態から搬送基台11を再び前進させて、ガラ
ス基板1のコーナ部1Cを研磨部材33に押し付ける方
向に移動させる。これによって、ガラス基板1の進行量
に応じた分だけコーナ部1Cが削り取られて、他のコー
ナ部1Cとは異なる形状のオリフラが形成される。
のコーナ部1Cを研磨部材33に当接させた状態に位置
決めを行う。そして、研磨部材33の回転を継続しなが
ら、この状態から搬送基台11を再び前進させて、ガラ
ス基板1のコーナ部1Cを研磨部材33に押し付ける方
向に移動させる。これによって、ガラス基板1の進行量
に応じた分だけコーナ部1Cが削り取られて、他のコー
ナ部1Cとは異なる形状のオリフラが形成される。
【0022】オリフラの形成が終了すると、搬送基台1
1を後退させる。そして、回転駆動手段14を作動させ
て、保持テーブル13を前進時とは90°回転させる。
これによって、保持テーブル13に保持されているガラ
ス基板1は、その長辺1Lが左右両側において、ガイド
レール12と平行に、また短辺1Sがガイドレール12
の前後に位置する状態になる。一方、位置(ロ)に配置
されている側面研磨手段20,20の間隔を縮めて、ガ
ラス基板1の短辺1Sの長さ寸法より僅かに短い間隔と
する。この状態で、ガラス基板1を位置(ロ)から位置
(イ)方向に移動させると、側面研磨手段20によりガ
ラス基板1の長辺1Lが研磨加工される。ここで、ガラ
ス基板1の前進時に短辺1Sを面取り加工する際には、
研磨部材26Bで下面側が先に加工が開始され、次いで
研磨部材26Aで上面側の加工が行われるが、後退時に
はこれとは逆に先に研磨部材26Aが下降して、ガラス
基板1の長辺1Lの上面側に当接することにより加工が
開始し、然る後に研磨部材26Bが上昇して下面側の加
工が行われる。
1を後退させる。そして、回転駆動手段14を作動させ
て、保持テーブル13を前進時とは90°回転させる。
これによって、保持テーブル13に保持されているガラ
ス基板1は、その長辺1Lが左右両側において、ガイド
レール12と平行に、また短辺1Sがガイドレール12
の前後に位置する状態になる。一方、位置(ロ)に配置
されている側面研磨手段20,20の間隔を縮めて、ガ
ラス基板1の短辺1Sの長さ寸法より僅かに短い間隔と
する。この状態で、ガラス基板1を位置(ロ)から位置
(イ)方向に移動させると、側面研磨手段20によりガ
ラス基板1の長辺1Lが研磨加工される。ここで、ガラ
ス基板1の前進時に短辺1Sを面取り加工する際には、
研磨部材26Bで下面側が先に加工が開始され、次いで
研磨部材26Aで上面側の加工が行われるが、後退時に
はこれとは逆に先に研磨部材26Aが下降して、ガラス
基板1の長辺1Lの上面側に当接することにより加工が
開始し、然る後に研磨部材26Bが上昇して下面側の加
工が行われる。
【0023】そして、ガラス基板1が側面研磨手段20
から離脱して、位置(イ)に戻ると、このガラス基板1
は、全外周縁からエッジや突起がなくなり、全周にわた
って面取りされる。従って、位置(イ)に戻った搬送基
台11の保持テーブル13から加工の終わったガラス基
板1を取り出して、新たなガラス基板1を保持テーブル
13に装着して、搬送基台11を前進させて、前述と同
様の動作を行わせることによって、順次ガラス基板1の
面取り加工を行うことができる。
から離脱して、位置(イ)に戻ると、このガラス基板1
は、全外周縁からエッジや突起がなくなり、全周にわた
って面取りされる。従って、位置(イ)に戻った搬送基
台11の保持テーブル13から加工の終わったガラス基
板1を取り出して、新たなガラス基板1を保持テーブル
13に装着して、搬送基台11を前進させて、前述と同
様の動作を行わせることによって、順次ガラス基板1の
面取り加工を行うことができる。
【0024】而して、搬送基台11を往復動させること
によって、ガラス基板1の長辺(または短辺)の面取り
加工、コーナ部に丸みを付ける加工、オリフラを形成す
る加工、短辺(または長辺)の面取り加工を連続動作に
より行うことができるようになる。
によって、ガラス基板1の長辺(または短辺)の面取り
加工、コーナ部に丸みを付ける加工、オリフラを形成す
る加工、短辺(または長辺)の面取り加工を連続動作に
より行うことができるようになる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ガラス
基板の搬送経路に沿って側面研磨手段を配置して、この
側面研磨手段を搬送経路と直交する方向に移動可能とな
し、また搬送経路の先端部に配置され、ガラス基板の4
つのコーナ部を研磨するコーナ研磨手段を設ける構成と
したので、ガラス基板の四周の縁部を面取りしてエッジ
を除く加工と、4つのコーナ部に丸みを付ける加工と、
かつそのうちの1つのコーナ部にオリフラを形成する加
工とを、簡単な構成からなる単一の装置で一連の動作に
より行うことができ、円滑かつ迅速にガラス基板の外周
からエッジや突起を除く加工を行える等の効果を奏す
る。
基板の搬送経路に沿って側面研磨手段を配置して、この
側面研磨手段を搬送経路と直交する方向に移動可能とな
し、また搬送経路の先端部に配置され、ガラス基板の4
つのコーナ部を研磨するコーナ研磨手段を設ける構成と
したので、ガラス基板の四周の縁部を面取りしてエッジ
を除く加工と、4つのコーナ部に丸みを付ける加工と、
かつそのうちの1つのコーナ部にオリフラを形成する加
工とを、簡単な構成からなる単一の装置で一連の動作に
より行うことができ、円滑かつ迅速にガラス基板の外周
からエッジや突起を除く加工を行える等の効果を奏す
る。
【図1】ガラス基板の外周加工を行う装置の全体構成図
である。
である。
【図2】加工済みのガラス基板の要部外観図である。
【図3】側面研磨手段を構成する研磨部材の正面図であ
る。
る。
【図4】ガラス基板の移載を行っている状態を示す平面
図である。
図である。
【図5】側面研磨手段によりガラス基板の側面部分を加
工している状態を示す平面図である。
工している状態を示す平面図である。
【図6】ガラス基板のコーナ部をコーナ研磨手段で加工
している状態を示す平面図である。
している状態を示す平面図である。
【図7】ガラス基板がコーナ研磨手段に接触している状
態を示す作用説明図である。
態を示す作用説明図である。
1 ガラス基板 1L 長辺 1S 短辺 1C コーナ部 10 加工装置 11 搬送基台 12 ガイドレール 13 保持テーブル 14 回転駆動手段 20 側面研磨手段 22 水平ガイド部材 25A,25B モータ 26A,26B 研磨部材 30 コーナ研磨手段 32 モータ 33 研磨部材
Claims (5)
- 【請求項1】 ガラス基板を保持する保持テーブルが回
転可能に設けられ、所定方向に往復移動する搬送手段
と、この搬送手段による搬送経路の途中位置の左右に、
この搬送経路と直交する方向に移動可能に配置され、ガ
ラス基板の上下の両エッジ部分を面取りする側面研磨手
段と、搬送経路の先端部に配置され、ガラス基板の4つ
のコーナ部を研磨するコーナ研磨手段とを備える構成と
したことを特徴とするガラス基板の外周加工装置。 - 【請求項2】 前記保持テーブルは、ガラス基板を保持
するための真空吸着手段を備える構成としたことを特徴
とする請求項1記載のガラス基板の外周加工装置。 - 【請求項3】 前記側面研磨手段は、所定円錐面形状と
なった円環状の研磨面を有する研磨部材を有し、この研
磨部材は回転駆動手段により回転駆動されるものである
ことを特徴とする請求項1記載のガラス基板の外周加工
装置。 - 【請求項4】 前記コーナ研磨手段は、搬送手段の搬送
経路に臨み、先端に円板状の研磨部材を備え、この研磨
部材は回転駆動手段により回転駆動され、かつ前記ガラ
ス基板は、この研磨部材の回転中心から離れた位置に当
接するものであることを特徴とする請求項1記載のガラ
ス基板の外周加工装置。 - 【請求項5】 前記ガラス基板の1つのコーナ部を前記
コーナ研磨手段と対面させた状態で、前記搬送手段を所
定量コーナ研磨手段に向けて前進させることによって、
ガラス基板にオリフラを形成可能な構成としたことを特
徴とする請求項4記載のガラス基板の外周加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29127896A JPH10118907A (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | ガラス基板の外周加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29127896A JPH10118907A (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | ガラス基板の外周加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10118907A true JPH10118907A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17766816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29127896A Pending JPH10118907A (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | ガラス基板の外周加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10118907A (ja) |
Cited By (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003266304A (ja) * | 2002-03-19 | 2003-09-24 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | 基板の研削用マルチ砥石及びこれを用いた研削装置 |
KR100460079B1 (ko) * | 2000-04-21 | 2004-12-03 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 액정표시장치용 유리기판 에지 그라인더 시스템 |
KR100460078B1 (ko) * | 2000-04-21 | 2004-12-03 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 액정표시장치용 유리기판 에지 그라인더 시스템 및 그그라인딩 방법 |
KR100507849B1 (ko) * | 2004-11-24 | 2005-08-17 | (주)미래컴퍼니 | 액정디스플레이 패널의 유리기판의 에지를 가공하는 장치 |
KR100720036B1 (ko) | 2005-11-10 | 2007-05-18 | 주식회사 케이엔제이 | 평판 디스플레이 패널의 연마장치 |
KR100759085B1 (ko) * | 2007-02-21 | 2007-09-19 | 주식회사 케이엔제이 | 평판 디스플레이 패널의 연마방법 |
KR100762372B1 (ko) | 2005-12-22 | 2007-10-01 | 주식회사 케이엔제이 | 평판 디스플레이 패널 연마장치 및 연마지석의 보정방법 |
KR100771396B1 (ko) | 2006-03-29 | 2007-10-30 | 주식회사 엔씨비네트웍스 | 가변형 연마장치 |
JP2008036737A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Epson Toyocom Corp | 光学基板の製造方法 |
KR100832293B1 (ko) * | 2002-03-20 | 2008-05-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 패널의 연마대 및 이를 이용한 연마장치 |
KR100841623B1 (ko) * | 2002-03-21 | 2008-06-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 패널의 연마장치 |
JP4604319B2 (ja) * | 2000-08-07 | 2011-01-05 | 坂東機工株式会社 | ガラス板の加工方法及びその装置 |
KR200453595Y1 (ko) | 2008-12-31 | 2011-05-17 | 춘 휘 치앙 | 아크릴 폴리셔 |
KR101164505B1 (ko) | 2010-04-26 | 2012-07-10 | (주)미래컴퍼니 | 글래스 패널 연마방법 및 연마장치 |
KR101373592B1 (ko) * | 2011-04-01 | 2014-03-14 | 가부시키가이샤 하리즈 | 박판형 물품 가공 장치 및 박판형 부재의 제조 방법 |
KR101383672B1 (ko) * | 2012-02-14 | 2014-04-10 | (주)다이세라 | 블릭 연마 장치 |
CN103753368A (zh) * | 2014-01-09 | 2014-04-30 | 广东意维高玻璃技术有限公司 | 一种单通道平板玻璃磨削装置 |
CN103753369A (zh) * | 2014-01-13 | 2014-04-30 | 杭州凯业智能系统工程有限公司 | 一种卧式玻璃磨边机及其使用方法 |
CN103831714A (zh) * | 2012-11-28 | 2014-06-04 | 苏州英达瑞机器人科技有限公司 | 一种组合式磨头装置 |
KR20140106543A (ko) | 2011-12-28 | 2014-09-03 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리판 가공 장치 및 그 가공 방법 |
CN104440498A (zh) * | 2014-12-10 | 2015-03-25 | 福建省锐驰电子科技有限公司 | 一种电视边框抛光机 |
CN104669333A (zh) * | 2013-11-26 | 2015-06-03 | 高一智股份公司 | 用于加工导光板的边缘的装置和方法 |
JP2015160268A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 株式会社ディスコ | 矩形板状物の加工方法 |
CN106217159A (zh) * | 2016-07-24 | 2016-12-14 | 晟通科技集团有限公司 | 尖角打磨装置 |
CN106272029A (zh) * | 2016-10-10 | 2017-01-04 | 昆山龙腾光电有限公司 | 基板研磨装置及调整基板研磨位置的方法 |
JP2017007043A (ja) * | 2015-06-23 | 2017-01-12 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板及びその製造方法 |
CN106625136A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-05-10 | 重庆欣铼电子产品有限公司 | 外圆磨削机 |
CN107309977A (zh) * | 2017-06-05 | 2017-11-03 | 安徽东冠器械设备有限公司 | 一种简易高效的矩形板材加工装置 |
CN107322403A (zh) * | 2017-06-13 | 2017-11-07 | 安徽温禾新材料科技股份有限公司 | 一种大理石地板加工用磨边机 |
CN107322709A (zh) * | 2017-06-05 | 2017-11-07 | 安徽东冠器械设备有限公司 | 一种高效的矩形板材加工控制系统 |
CN107953186A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-04-24 | 天津泰立得塑胶制品有限公司 | 一种玻璃磨边、抛光一体机 |
CN108136560A (zh) * | 2015-10-26 | 2018-06-08 | 日立金属株式会社 | 压粉成型体的边缘处理装置以及压粉成型体的边缘处理方法 |
CN108500766A (zh) * | 2018-04-24 | 2018-09-07 | 叶菊华 | 一种机械加工用板材磨边装置 |
CN108747681A (zh) * | 2018-06-21 | 2018-11-06 | 明光康诚伟业机电设备有限公司 | 一种手机摄像头玻璃倒角装置 |
CN110587419A (zh) * | 2019-08-21 | 2019-12-20 | 安徽富亚玻璃技术有限公司 | 一种玻璃打磨设备 |
JP2020003548A (ja) * | 2018-06-26 | 2020-01-09 | クアーズテック株式会社 | フォトマスク用基板およびその製造方法 |
CN111152089A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-15 | 江苏海锐数控机床有限公司 | 一种开槽机机架滑块用倒角工装 |
CN112222993A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-01-15 | 绍兴上虞锴达电子有限公司 | 一种高稳定型控制线路板制造设备 |
CN115716235A (zh) * | 2022-11-11 | 2023-02-28 | 浙江龙际立尔半导体科技有限公司 | 一种盘状工件的打磨装置 |
CN118305675A (zh) * | 2024-06-11 | 2024-07-09 | 四川中皓镁纤新材料科技有限公司 | 一种用于防火装饰板生产的表面除毛刺装置 |
-
1996
- 1996-10-15 JP JP29127896A patent/JPH10118907A/ja active Pending
Cited By (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100460079B1 (ko) * | 2000-04-21 | 2004-12-03 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 액정표시장치용 유리기판 에지 그라인더 시스템 |
KR100460078B1 (ko) * | 2000-04-21 | 2004-12-03 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 액정표시장치용 유리기판 에지 그라인더 시스템 및 그그라인딩 방법 |
JP4604319B2 (ja) * | 2000-08-07 | 2011-01-05 | 坂東機工株式会社 | ガラス板の加工方法及びその装置 |
JP2003266304A (ja) * | 2002-03-19 | 2003-09-24 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | 基板の研削用マルチ砥石及びこれを用いた研削装置 |
JP4514014B2 (ja) * | 2002-03-19 | 2010-07-28 | 中村留精密工業株式会社 | 基板の研削方法 |
KR100832293B1 (ko) * | 2002-03-20 | 2008-05-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 패널의 연마대 및 이를 이용한 연마장치 |
KR100841623B1 (ko) * | 2002-03-21 | 2008-06-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 패널의 연마장치 |
KR100507849B1 (ko) * | 2004-11-24 | 2005-08-17 | (주)미래컴퍼니 | 액정디스플레이 패널의 유리기판의 에지를 가공하는 장치 |
KR100720036B1 (ko) | 2005-11-10 | 2007-05-18 | 주식회사 케이엔제이 | 평판 디스플레이 패널의 연마장치 |
KR100762372B1 (ko) | 2005-12-22 | 2007-10-01 | 주식회사 케이엔제이 | 평판 디스플레이 패널 연마장치 및 연마지석의 보정방법 |
KR100771396B1 (ko) | 2006-03-29 | 2007-10-30 | 주식회사 엔씨비네트웍스 | 가변형 연마장치 |
JP2008036737A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Epson Toyocom Corp | 光学基板の製造方法 |
KR100759085B1 (ko) * | 2007-02-21 | 2007-09-19 | 주식회사 케이엔제이 | 평판 디스플레이 패널의 연마방법 |
KR200453595Y1 (ko) | 2008-12-31 | 2011-05-17 | 춘 휘 치앙 | 아크릴 폴리셔 |
KR101164505B1 (ko) | 2010-04-26 | 2012-07-10 | (주)미래컴퍼니 | 글래스 패널 연마방법 및 연마장치 |
KR101373592B1 (ko) * | 2011-04-01 | 2014-03-14 | 가부시키가이샤 하리즈 | 박판형 물품 가공 장치 및 박판형 부재의 제조 방법 |
KR20140106543A (ko) | 2011-12-28 | 2014-09-03 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리판 가공 장치 및 그 가공 방법 |
KR101383672B1 (ko) * | 2012-02-14 | 2014-04-10 | (주)다이세라 | 블릭 연마 장치 |
CN103831714A (zh) * | 2012-11-28 | 2014-06-04 | 苏州英达瑞机器人科技有限公司 | 一种组合式磨头装置 |
CN104669333A (zh) * | 2013-11-26 | 2015-06-03 | 高一智股份公司 | 用于加工导光板的边缘的装置和方法 |
CN103753368A (zh) * | 2014-01-09 | 2014-04-30 | 广东意维高玻璃技术有限公司 | 一种单通道平板玻璃磨削装置 |
CN103753369A (zh) * | 2014-01-13 | 2014-04-30 | 杭州凯业智能系统工程有限公司 | 一种卧式玻璃磨边机及其使用方法 |
CN103753369B (zh) * | 2014-01-13 | 2016-02-17 | 杭州凯业智能系统工程有限公司 | 一种卧式玻璃磨边机及其使用方法 |
JP2015160268A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 株式会社ディスコ | 矩形板状物の加工方法 |
CN104440498A (zh) * | 2014-12-10 | 2015-03-25 | 福建省锐驰电子科技有限公司 | 一种电视边框抛光机 |
JP2017007043A (ja) * | 2015-06-23 | 2017-01-12 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板及びその製造方法 |
CN108136560B (zh) * | 2015-10-26 | 2019-10-18 | 日立金属株式会社 | 压粉成型体的边缘处理装置以及压粉成型体的边缘处理方法 |
CN108136560A (zh) * | 2015-10-26 | 2018-06-08 | 日立金属株式会社 | 压粉成型体的边缘处理装置以及压粉成型体的边缘处理方法 |
CN106217159A (zh) * | 2016-07-24 | 2016-12-14 | 晟通科技集团有限公司 | 尖角打磨装置 |
CN106272029B (zh) * | 2016-10-10 | 2018-05-08 | 昆山龙腾光电有限公司 | 基板研磨装置及调整基板研磨位置的方法 |
CN106272029A (zh) * | 2016-10-10 | 2017-01-04 | 昆山龙腾光电有限公司 | 基板研磨装置及调整基板研磨位置的方法 |
CN106625136A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-05-10 | 重庆欣铼电子产品有限公司 | 外圆磨削机 |
CN107309977A (zh) * | 2017-06-05 | 2017-11-03 | 安徽东冠器械设备有限公司 | 一种简易高效的矩形板材加工装置 |
CN107322709A (zh) * | 2017-06-05 | 2017-11-07 | 安徽东冠器械设备有限公司 | 一种高效的矩形板材加工控制系统 |
CN107322403B (zh) * | 2017-06-13 | 2019-01-25 | 安徽温禾新材料科技股份有限公司 | 一种大理石地板加工用磨边机 |
CN107322403A (zh) * | 2017-06-13 | 2017-11-07 | 安徽温禾新材料科技股份有限公司 | 一种大理石地板加工用磨边机 |
CN107953186A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-04-24 | 天津泰立得塑胶制品有限公司 | 一种玻璃磨边、抛光一体机 |
CN108500766B (zh) * | 2018-04-24 | 2019-09-24 | 山东鹤洋木业有限公司 | 一种机械加工用板材磨边装置 |
CN108500766A (zh) * | 2018-04-24 | 2018-09-07 | 叶菊华 | 一种机械加工用板材磨边装置 |
CN108747681A (zh) * | 2018-06-21 | 2018-11-06 | 明光康诚伟业机电设备有限公司 | 一种手机摄像头玻璃倒角装置 |
JP2020003548A (ja) * | 2018-06-26 | 2020-01-09 | クアーズテック株式会社 | フォトマスク用基板およびその製造方法 |
CN110587419A (zh) * | 2019-08-21 | 2019-12-20 | 安徽富亚玻璃技术有限公司 | 一种玻璃打磨设备 |
CN111152089A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-15 | 江苏海锐数控机床有限公司 | 一种开槽机机架滑块用倒角工装 |
CN112222993A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-01-15 | 绍兴上虞锴达电子有限公司 | 一种高稳定型控制线路板制造设备 |
CN115716235A (zh) * | 2022-11-11 | 2023-02-28 | 浙江龙际立尔半导体科技有限公司 | 一种盘状工件的打磨装置 |
CN118305675A (zh) * | 2024-06-11 | 2024-07-09 | 四川中皓镁纤新材料科技有限公司 | 一种用于防火装饰板生产的表面除毛刺装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH10118907A (ja) | ガラス基板の外周加工装置 | |
JP3027882B2 (ja) | ウエーハ面取部研磨装置 | |
KR920004063B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 표면의 연삭 방법 및 그 장치 | |
JP2004207606A (ja) | ウェーハサポートプレート | |
JP2011135026A (ja) | ワークユニットの保持方法および保持機構 | |
TWI469208B (zh) | 研磨輪、研磨系統及研磨一晶圓之方法 | |
JPH05185360A (ja) | ガラス研磨装置 | |
JP2001345300A (ja) | 半導体ウエーハ加工体および半導体ウエーハ加工体を保持するチャックテーブルを備えた加工装置 | |
JP5340832B2 (ja) | マウントフランジの端面修正方法 | |
JP7339858B2 (ja) | 加工装置及び板状ワークの搬入出方法 | |
JP6574373B2 (ja) | 円板状ワークの研削方法 | |
JP4119170B2 (ja) | チャックテーブル | |
JP6202906B2 (ja) | 研削加工装置 | |
JPH065568A (ja) | 半導体ウエハの全自動ポリッシング装置 | |
KR101513906B1 (ko) | 패널 가공장치 및 가공방법 | |
JP2017204606A (ja) | ウエーハ製造方法 | |
JP2003007648A (ja) | 半導体ウェーハの分割システム | |
JP2003225847A (ja) | 板材の加工方法及びその装置 | |
JP2007165802A (ja) | 基板の研削装置および研削方法 | |
KR20210092683A (ko) | 가공 장치 | |
JP2001062686A (ja) | インデックス式エッジポリッシャー | |
JP6969944B2 (ja) | 板状物の切削方法及び切削措置 | |
JP2881988B2 (ja) | 光学ガラスの研摩装置 | |
JP2003257912A (ja) | 半導体ウエーハの洗浄装置 | |
JP2001259995A (ja) | バフ加工装置及びバフ加工システム並びにバフ加工方法 |