JPH0994754A - ワイヤソーにおけるガイドローラの支持構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガイドローラ取付のための締付力の調節を特
に行わなくても、その軸方向の位置決めが確実に行える
ようにする。また、ガイドローラの支持剛性を高める。 【解決手段】 左右の支持部材４６Ｌ，４６Ｒに保持部
材４８Ｌ，４８Ｒを回転可能に支持するとともに、一方
の保持部材４８Ｌを支持部材４６Ｌに対して軸方向相対
変位不能とし、他方の保持部材４８Ｒを支持部材４６Ｒ
に対して軸方向相対変位可能とする。両保持部材４８
Ｌ，４８Ｒにテーパー状嵌合部４９を形成し、これに嵌
合される嵌合部４０をガイドローラ２４Ａの両端に形成
する。少なくとも保持部材４８Ｌの嵌合部４９の周囲と
嵌合部４０の周囲とに、両嵌合部同士が圧接した状態で
軸方向に当接する当接面を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤソーに設け
られたワイヤ案内用のガイドローラを回転可能に支持す
るための構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体インゴットからウェハを切り出す
手段等として、ワイヤソーが知られている。このワイヤ
ソーでは、切断用ワイヤが多数本並んだ状態で張設さ
れ、かつその軸方向に高速駆動された状態で、この軸方
向と直交する方向に上記半導体インゴット等からなるワ
ークが切断送りされることにより、このワークから多数
枚の薄片が同時に切り出される。

【０００３】このワイヤソーには、ワイヤが嵌入される
多数のガイド溝をもった多溝ローラ（ガイドローラ）が
設けられるが、このガイドローラの支持構造としては、
例えば特開平５−１５４８３１号公報に示されるよう
に、ガイドローラの撓みを抑制すべく両端支持構造と
し、かつ、ガイドローラの交換等が容易にできるように
ガイドローラを脱着可能にしたものが一般に用いられ
る。

【０００４】上記公報に示された構造の概略を図６に示
す。固定側の一方の側壁（図示の側壁）９０には、これ
を貫通する状態で筒部材９１が固定され、この筒部材９
１の内側に軸受９２を介して回転可能に保持部材９３が
保持されている。この保持部材９３は、中央にボルト挿
通穴９３ｂを有し、内側端部（図では右側端部）は先端
に向かうに従って縮径するテーパー状の雄側嵌合部９３
ａとされている。

【０００５】なお、他方の側壁にも同様の構造によって
保持部材が保持されているが、この保持部材の中央に
は、上記ボルト挿通穴９３ｂに代え、ガイドローラ９４
に向かって開口するネジ穴が形成されている。

【０００６】一方、ガイドローラ９４の両端には筒部材
９５が固定され、この筒部材９５の端部は上記雄側嵌合
部９３ａが嵌入可能なテーパー状の雌側嵌合部９５ａと
されている。そして、図示の保持部材９３のボルト挿通
穴９３ｂに対し、外側（図の左側）から締付ボルト９６
が挿入され、その頭部９６ａが保持部材９３の外側端面
に当り、かつ締付ボルト９６がガイドローラ９４を貫通
する状態で、この締付ボルト９６の端部９６ｂが他方の
保持部材（図外の保持部材）の上記ネジ穴に螺合される
ことにより、雄側嵌合部９３ａの外周面と雌側嵌合部９
５ａの内周面が圧接し、これにより、保持部材９３の回
転軸とガイドローラ９４の中心軸とが合わされた状態で
これら保持部材９３とガイドローラ９４とが連結される
ようになっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記図６に示した構造
では、締付ボルト９６の締付度合いによって両嵌合部９
３ａ，９５ａ同士の圧接度合いも変わり、ガイドローラ
９４の軸方向の位置も変化する。すなわち、上記構造で
は、締付ボルト９６の締付力によってガイドローラ９４
の軸方向位置にバラツキが生じる。このガイドローラ９
４の軸方向位置のずれは、同ガイドローラ９４に案内さ
れるワイヤによる切断位置のずれに直結するので、この
切断位置を正確に定めるには、ガイドローラ９４の取付
の度に、その軸方向位置を正規の位置に調節する作業を
行わなければならない。このようなガイドローラの位置
決め作業は非常に煩わしく、作業能率向上の大きな妨げ
となる。

【０００８】また、雄側嵌合部９３ａと雌側嵌合部９５
ａのテーパー面同士が圧接しているといえども、ガイド
ローラ９４に加わるワイヤ張力によってガイドローラ９
４と筒部材９５との結合部に生じる曲げモーメントを上
記テーパー面のみで支えることになるため、結合部の支
持剛性が低く、ガイドローラ９４の撓みを大きく許容す
ることになる。このガイドローラ９４の撓みは、同ガイ
ドローラ９４の中央部と両端部とに案内されるワイヤ張
力に差を生ぜしめ、ワーク切断位置のずれに直結するも
のであり、その抑制が望まれる。

【０００９】本発明は、このような事情に鑑み、簡単な
構成でガイドローラの軸方向位置を自動的かつ正確に位
置決めでき、また、ガイドローラの支持剛性を高めるこ
とができる、ワイヤソーにおけるガイドローラの支持構
造を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、本発明は、ワイヤソーに回転可能に設け
られ、外周面にワイヤ案内用のガイド溝を有し、このガ
イド溝に切断用のワイヤが嵌入されるガイドローラの支
持構造において、ガイドローラをその軸方向両側から挟
む位置に設置される左右一対の支持部材と、各支持部材
にガイドローラの回転軸と同軸回りに回転可能に支持さ
れ、ガイドローラの両端を保持する左右一対の保持部材
とを備え、各保持部材、ガイドローラの端部のいずれか
一方に先端側に向かうに従って断面積の小さくなるテー
パー状の雄側嵌合部を形成し、他方に上記雄側嵌合部が
嵌入可能なテーパー状の雌側嵌合部を形成し、ガイドロ
ーラ両端と各保持部材とを引き寄せて各雄側嵌合部と雌
側嵌合部とを圧接させる圧接手段を備えるとともに、一
方の保持部材をこの保持部材を支持する支持部材に対し
て軸方向に変位不能な固定側保持部材とし、他方の保持
部材をこの保持部材を支持する支持部材に対して軸方向
に変位可能な可動側保持部材とし、かつ、少なくとも固
定側保持部材の嵌合部の周囲とこの嵌合部に嵌合される
ガイドローラ側の嵌合部の周囲とにこれら嵌合部同士が
圧接した状態で互いに軸方向に当接する当接面を形成し
たものである。

【００１１】この構造において、両保持部材、ガイドロ
ーラの端部のいずれか一方に形成された雄側嵌合部と他
方に形成された雌側嵌合部とを嵌合した状態で、圧接手
段により両保持部材同士を引き寄せて両嵌合部同士を圧
接させることにより、両保持部材とガイドローラとの芯
出しができる。しかも、この引き寄せの際、可動側保持
部材の支持部材に対する軸方向変位を伴いながら、固定
側保持部材の嵌合部周囲に形成された当接面とこの嵌合
部に嵌合されるガイドローラ側の嵌合部周囲に形成され
た当接面とが軸方向に当接するため、ガイドローラの軸
方向の位置決めができる。換言すれば、圧接手段による
圧接力を特に調節しなくても、当接面同士が当接するま
で圧接手段による引き寄せを行えば、自動的にガイドロ
ーラの軸方向の位置決めができる。また、上記当接面同
士の当接によって、固定側保持部材とガイドローラとの
結合部に加わる曲げモーメントをテーパー面よりも径方
向外側の当接面で受けることになるため、この部分での
ガイドローラの支持剛性が飛躍的に高まる。

【００１２】さらに、可動側保持部材の嵌合部の周囲と
この嵌合部に嵌合されるガイドローラ側の嵌合部の周囲
とにもこれら嵌合部同士が圧接した状態で互いに軸方向
に当接する当接面を形成すれば、両保持部材とガイドロ
ーラ両端との間でガイドローラの支持剛性が高まり、ガ
イドローラの撓みはより効果的に抑制される。

【００１３】なお、上記可動側保持部材を支持部材に対
して軸方向に相対移動可能とするには、これらの間に円
筒ころ軸受を介在させてもよいし、それ以外のころがり
軸受を介在させてその内輪もしくは外輪をその取付面と
接触する部材に対して軸方向に相対変位可能に構成する
ようにしてもよい。

【００１４】また、圧接手段としては、保持部材とガイ
ドローラ端部とを締結する締付ボルトを用いてもよい
し、外側からの操作でガイドローラ端部を引き寄せる種
々のクランプ装置を保持部材に組み込むようにしてもよ
い。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を図１
〜図３に示す。

【００１６】図３に示すワイヤソーは、一対のワイヤ繰
出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、ガイドプーリ１２
Ａ，１２Ｂ、ガイドプーリ１４Ａ，１４Ｂ、ガイドプー
リ１６Ａ，１６Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８
Ｂ、ガイドプーリ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドロ
ーラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。ガ
イドローラ２４Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配さ
れ、ガイドローラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドロー
ラ２４Ａ，２４Ｂの下方の位置に配されており、ガイド
ローラ２６Ａが駆動モータ２５によって回転駆動される
ようになっている。各ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２
６Ａ，２６Ｂは、その外周面に詳細後述の図２に示すよ
うなワイヤ案内用ガイド溝４３が軸方向に並設された、
いわゆる多溝ローラとされている。

【００１７】各ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０
Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるボビン９Ａ，９Ｂ
と、これを回転駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１
Ｂとを備えている。一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１
０Ａのボビン９Ａから繰り出されたワイヤＷは、ガイド
プーリ１２Ａ，１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ張力調節装置１
８Ａのプーリ２０Ａ、及びガイドプーリ２２Ａの順に掛
けられ、さらにガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，
２６Ａの外周面のガイド溝４３に嵌め込まれながらこれ
らガイドローラの外側に多数回巻回された後、ガイドプ
ーリ２２Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ｂのプーリ２０
Ｂ、ガイドプーリ１６Ｂ，１４Ｂ，１２Ｂの順に掛けら
れ、他方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのボビン９
Ｂに巻き取られており、両ワイヤ張力調節装置１８Ａ，
１８ＢによってワイヤＷに適当な張力が与えられてい
る。そして、駆動モータ２５によるガイドローラ２６Ａ
の回転駆動方向と、各ボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂ
によるボビン９Ａ，９Ｂの回転駆動方向が正逆に切換え
られることにより、ワイヤＷがボビン９Ａから繰り出さ
れてボビン９Ｂに巻き取られる状態と、ワイヤＷがボビ
ン９Ｂから繰り出されてボビン９Ａに巻き取られる状態
とに切換えられるようになっている。

【００１８】すなわち、このワイヤソーにおいては、ガ
イドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に多数本のワイヤＷが互
いに平行な状態で張られながらその軸方向に往復駆動さ
れるようになっている。

【００１９】このガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張ら
れたワイヤＷの上方には、円柱状のワーク（例えば半導
体インゴット）２８を移動させるワーク送り装置３０が
設けられている。このワーク送り装置３０は、ワーク保
持部３２と、ワーク送りモータ３４とを備えている。ワ
ーク保持部３２は、上記ワーク２８をその軸方向とワイ
ヤ並び方向とが合致する向きに保持するものであり、ワ
ーク送りモータ３４は、図略のボールネジとの組み合わ
せにより、上記ワーク保持部３２とワーク２８とを一体
に昇降させる（すなわち切断送りする）ものである。

【００２０】ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた
ワイヤＷの上方において、ワーク２８の左右両側の位置
には、砥粒供給装置３６Ａ，３６Ｂが設けられている。
これらの砥粒供給装置３６Ａ，３６Ｂは、高速駆動され
る各ワイヤＷに対し、加工用砥粒が混合された加工液
（スラリー）を同時供給し、ワイヤＷの表面に付着させ
るものである。

【００２１】従って、このワイヤソーでは、ガイドロー
ラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた多数本のワイヤＷがその
長手方向に同時高速駆動され、かつこれらのワイヤＷに
砥粒供給装置３６Ａ，３６Ｂからスラリーが供給されな
がら、上記ワイヤＷに対してワーク２８が下方に切断送
りされることにより、このワーク２８から一度に多数枚
のウェハが同時に切り出される。

【００２２】次に、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６
Ａ，２６Ｂの支持構造を説明する。これら２４Ａ，２４
Ｂ，２６Ａ，２６Ｂガイドローラの左右両側には、図１
に示すような左右一対の支持部材４６Ｌ，４６Ｒが立設
され、両支持部材４６Ｌ，４６Ｒによって各ガイドロー
ラが回転可能に支持されている。

【００２３】なお、上記支持部材４６Ｌ，４６Ｒへの各
ガイドローラの取付構造は全て同一であるため、そのう
ちガイドローラ２４Ａの取付構造を例にとって説明する
こととする。

【００２４】両支持部材４６Ｌ，４６Ｒの適所（ガイド
ローラ２４Ａの支持については上端部）には、左右を向
く円筒状の支持部４７Ｌ，４７Ｒが各々形成され、これ
ら支持部４７Ｌ，４７Ｒの内側にそれぞれ、玉軸受５１
及び円筒ころ軸受５２を介して保持部材４８Ｌ，４８Ｒ
が水平軸回りに回転可能に支持されている。両保持部材
４８Ｌ，４８Ｒの内側端部には、先端に向かうに従って
縮径する雄側嵌合部４９が形成されており、その中央に
は、保持部材４８Ｌ，４８Ｒ全体を軸方向に貫通するボ
ルト挿通穴４８ｂが形成され、雄側嵌合部４９の周囲に
は、回転軸に直交する平面である当接面４８ａが形成さ
れている。

【００２５】一方、ガイドローラ２４Ａは、金属製の本
体部４１の外周面に合成樹脂製の外周部４２を積層した
もので、外周部４２の外周面に前記ガイド溝４３（図
２）が全周にわたって形成されている。本体部４１の両
端には、上記雄側嵌合部４９が嵌入可能な形状の雌側嵌
合部４０が形成され、その中央にネジ穴４４が形成され
ており、雌側嵌合部４０の周囲には、回転軸に直交する
平面である当接面４１ａが形成されている。

【００２６】そして、上記保持部材４８Ｌ，４８Ｒのボ
ルト挿通穴４８ｂに外側から締付ボルト５０を挿入し、
その端部の雄ねじを前記ネジ穴４４にねじ込むことによ
り、保持部材４８Ｌ，４８Ｒとガイドローラ２４Ａとが
引き寄せられて両嵌合部４９，４０のテーパー面同士が
圧接し、これにより保持部材４８Ｌ，４８Ｒとガイドロ
ーラ２４Ａの中心軸同士が合致するとともに、嵌合部４
９，４０の周囲に形成された当接面４８ａ，４１ａ同士
が当接するようになっている。

【００２７】次に、左右の保持部材４８Ｌ，４８Ｒの取
付構造を詳細に説明する。

【００２８】両保持部材４８Ｌ，４８Ｒの外周面には、
スペーサ５３ａを間に挟んで２つの玉軸受５１（支持部
材４７Ｌ側では２つ、支持部材４７Ｒ側では１つ）及び
円筒ころ軸受５２の内輪が外嵌され、これら軸受５１，
５２の内輪は、保持部材４８Ｌ，４８Ｒの中間部に形成
された段部４８ｃと、保持部材４８Ｌ，４８Ｒの端部外
周面に装着されたナット５４とに挟まれた状態で固定さ
れ、保持部材４８Ｌ，４８Ｒに対して軸方向に変位不能
とされている。これに対し、軸受５１，５２の外輪の取
付構造は、図１左側の支持部材４６Ｌと右側の支持部材
４６Ｒとで異なる構造とされている。

【００２９】まず、左側の支持部材４６Ｌにおいては、
その筒状の支持部４７Ｌ内に直接、軸受５１，５２の外
輪同士のスペーサ５３ｂが嵌入されている。これらの外
輪及びスペーサ５３ｂは、支持部４７Ｌの外側端面に固
定された規制板５６と内側端面に固定された規制板５７
とに挟まれた状態で固定され、支持部４７Ｌに対して軸
方向に相対変位不能とされている。

【００３０】すなわち、各軸受５１，５２の外輪及び内
輪はいずれも軸方向変位不能に固定されており、しか
も、玉軸受５１においては外輪と内輪との軸方向相対変
位も規制されているので、保持部材４８Ｌは、支持部材
４６Ｌに対して軸方向の相対変位が不能とされた固定側
保持部材となっている。

【００３１】一方、右側の支持部材４６Ｒにおいては、
その支持部４７Ｒの内側に筒部材６０が嵌入、固定さ
れ、この筒部材６０の内側に軸受５１，５２が嵌入され
ている。図２に示すように、筒部材６０の内周面におい
て玉軸受５１の外輪の両側の位置には、その移動範囲を
規制するための止め輪６２が固定されているが、この止
め輪６２と玉軸受５１の外輪との間には適当な隙間６１
が確保されており、この隙間６１の分だけ当該外輪が筒
部材６０及び支持部４７Ｒに対して軸方向に相対変位可
能となっている。

【００３２】円筒ころ軸受５２の外輪６６は、筒部材６
０の内側端面に固定された規制板５７と筒部材６０の中
間部に形成された段部６０ａとの間に挟まれて固定され
た状態となっている。ここで、円筒ころ軸受５２の内輪
６４の両端には段部６４ａが径方向外側に突設され、こ
れら段部６４ａ同士の間にコロ６５が挟まれることによ
り、このコロ６５と内輪６４との軸方向相対変位は規制
されているが、コロ６５と外輪６６とは軸方向に相対変
位可能となっている。従って、保持部材４８Ｒは、支持
部材４６Ｒに対して軸方向の相対変位が可能な可動側保
持部材となっている。

【００３３】この構造によれば、締付ボルト５０の締付
によってガイドローラ本体部４１の両端と左右の保持部
材４８Ｌ，４８Ｒとを引き寄せ、雄側嵌合部４９と雌側
嵌合部４０のテーパー面同士を圧接させることにより、
ガイドローラの芯出しができる。ここで、保持部材４８
Ｌは支持部材４６Ｌに軸方向相対変位不能に固定されて
いる一方、保持部材４８Ｒは支持部材４６Ｒに対して軸
方向相対変位可能に構成されているため、上記締付ボル
ト５０による締付の際、保持部材４８Ｒの軸方向変位を
伴いながら両雄側嵌合部４９の周囲の当接面４８ａと雌
側嵌合部４０の周囲の当接面４１ａとが軸方向に当接す
ることとなり、固定側保持部材である保持部材４８Ｒの
当接面４８ａとローラ側当接面４１ａとの当接によっ
て、ガイドローラ２４Ａの軸方向の位置決めが確実に行
われる。また、両保持部材４８Ｌ，４８Ｒの当接面４８
ａと当接面４１ａとの当接によって、両保持部材４８
Ｌ，４８Ｒとガイドローラ２４Ａとの結合部に加わる曲
げモーメントをテーパー面よりも径方向外側の当接面で
受けることとなり、ガイドローラ両端の支持剛性は飛躍
的に向上する。

【００３４】なお、保持部材４８Ｌ，４８Ｒからガイド
ローラ２４Ａを取り外すには、締付ボルト５０を緩めて
上記引き寄せを解除すればよい。

【００３５】次に、第２の実施の形態を図４及び図５に
基づいて説明する。

【００３６】ここでは、本発明における圧接手段とし
て、前記締付ボルト５０に代え、保持部材４８Ｌ，４８
Ｒの内側端部（ローラ側端部）にクランプモジュール７
０が組み込まれている。

【００３７】このクランプモジュール７０は、ハウジン
グ７２と、クランプ部材７４と、操作軸７６，７８とを
備えている。

【００３８】図５に示すように、ハウジング７２の外側
面には、外向きに突出部７２ｈが突設される一方、保持
部材４８Ｌ，４８Ｒ（図５では保持部材４８Ｒのみ図
示）の本体の内側端面には上記突出部７２ｈが嵌入可能
な凹部４８ｈが形成されており、両者が嵌合される位置
でハウジング７２がボルト８０により保持部材４８Ｌ，
４８Ｒの本体側に固定されている。そして、このハウジ
ング７２の内側端部に、前記第１の実施の態様で示した
雄側嵌合部４９及び当接面４８ａと全く同様の雄側嵌合
部７３及び当接面７２ａが形成されている。

【００３９】ハウジング７２の中心部には、ガイドロー
ラ本体部４１に向かって開口するクランプ部材用嵌入穴
７１が形成されている。この嵌入穴７１の両側には、径
方向に延びる操作軸用挿入穴７２ｂ，７２ｃが形成さ
れ、これら挿入穴７２ｂ，７２ｃは同軸位置に形成され
ている。これら挿入穴７２ｂ，７２ｃのうち、挿入穴７
２ｂはハウジング７２の側面から径方向外側に開口して
おり、この開口付近は他の部分よりも大径とされてその
内周面に雌ねじ７２ｄが刻まれている。

【００４０】クランプ部材７４の本体は、前記挿入穴７
１内に嵌入可能な形状とされ、この本体からローラ本体
部４１側に向けてクランプ軸７４ａが突設されており、
このクランプ軸７４ａの先端にクランプ軸７４ａよりも
大径のクランプ頭部７４ｂが形成されている。一方、ロ
ーラ本体部４１の両端中央には、上記クランプ軸７４ａ
よりも大径でかつ上記クランプ頭部７４ｂよりも小径の
挿通穴４１ｂが形成されるとともに、その奥に、上記ク
ランプ頭部７４ｂよりも大径の頭部収納穴４１ｃが形成
され、上記挿通穴４１ｂに上記クランプ軸７４ａが挿通
された状態で、その先端のクランプ頭部７４ｂが上記頭
部収納穴４１ｃ内に収納されている。

【００４１】このクランプ部材７４の本体には、前記ハ
ウジング７２の挿入穴７２ｂと挿入穴７２ｃとを結ぶ断
面矩形状の貫通穴７５が形成されている。この貫通穴７
５の内側面のうち、ローラ本体部４１に近い側（図５で
は左側）の面において、挿入穴７２ｂに近い側の部分
（同図上側部分）は、挿入穴７２ｂに近づくにつれて広
がるテーパー面７５ａとされ、挿入穴７２ｃに近い側の
部分（同図下側部分）は、挿入穴７２ｃに近づくにつれ
て広がるテーパー面７５ｂとされている。また、保持部
材本体に近い側（図５では右側）の面において、挿入穴
７２ｂに近い側の部分（同図上側部分）は、挿入穴７２
ｂに近づくにつれて広がるテーパー面７５ｃとされ、挿
入穴７２ｃに近い側の部分（同図下側部分）は、挿入穴
７２ｃに近づくにつれて広がるテーパー面７５ｄとされ
ている。

【００４２】操作軸７６は、雄ねじ部７６ａと、この雄
ねじ部７６ａよりも小径の軸部７６ｂと、この軸部７６
ｂから次第に縮径する円錐台部７６ｃと、軸部７６ｄ
と、雄ねじ部７６ｅとを順に一体に有し、前記挿入穴７
２ｂ及び貫通穴７５内に挿入されるとともに、上記雄ね
じ部７６ａが挿入穴７２ｂ側の雌ねじ７２ｄに螺合され
ている。また、この操作軸７６の外側端面には、回転操
作用の工具挿入穴７６ｆが凹設されている。

【００４３】操作軸７８は、円筒部７８ａと円錐台部７
８ｂとからなるとともに、その中心軸に沿ってねじ穴７
８ｃを有し、上記円筒部７８ａが挿入穴７２ｃ内に挿入
されている。そして、上記ねじ穴７８ｃ内に前記操作軸
７６の雄ねじ部７６ｅが螺合挿入されることにより、両
操作軸７６，７８が一体に連結されており、操作軸７６
の回転操作によって両操作軸７６，７８が一体にハウジ
ング径方向に移動するようになっている。

【００４４】ここで、前記貫通穴７５の各テーパー面の
うち、テーパー面７５ａ，７５ｄは操作軸７６，７８の
位置に関係なくこれらと接触しない形状に形成され、テ
ーパー面７５ｃは、図示のように操作軸７６が奥まで挿
入された状態でこの操作軸７６の円錐台部７６ｃの外周
面（テーパー面）と当接する形状に形成され、テーパー
面７５ｂは、図示の位置から操作軸７６と一体に操作軸
７８が中心に向けて移動した状態でこの操作軸７８の円
錐台部７８ｂの外周面（テーパー面）と当接する形状に
形成されている。そして、上記円錐台部７６ｃとテーパ
ー面７５ｃとの当接により、クランプ部材７４が保持部
材４８Ｌ，４８Ｒの本体側（図５右側）に移動し、クラ
ンプ頭部７４ｂが挿通穴４１ｂの周縁部に当たってロー
ラ本体部４１を引き込む（クランプ状態）一方、円錐台
部７８ｂとテーパー面７５ｂとの当接により、クランプ
部材７４がローラ本体部４１側に移動して上記引込みを
解除する（アンクランプ状態）ようになっている。

【００４５】このようなクランプモジュール７０によれ
ば、外部からの操作軸７６の回転操作によってクランプ
状態にすることにより、嵌合部７３，４０同士を圧接さ
せ、かつ当接面７２ａ，４１ａ同士を軸方向に当接させ
ることができる一方、アンクランプ状態にすることによ
り、上記圧接を解除してガイドローラを取り外すことが
できる。

【００４６】このように、本発明では圧接手段の具体的
な構造は問わない。前記第１の実施の形態のように締付
ボルト５０を用いる場合も、この締付ボルト５０をガイ
ドローラ側のねじ穴４４に螺合するに限らず、例えば長
尺の締付ボルト５０を両保持部材４８Ｌ，４８Ｒ及びガ
イドローラに貫通させてその端部にナットを装着するよ
うにしてもよい。

【００４７】その他、本発明は次のような実施形態をと
ることも可能である。

【００４８】(1) 本発明では、ガイドローラ端部側に雄
側嵌合部を形成し、保持部材側に雌側嵌合部を形成して
もよい。ただし、図１及び図４に示したようにガイドロ
ーラ側に雌側嵌合部４０を形成すれば、雄側嵌合部を形
成する場合よりもガイドローラの軸方向寸法を小さくで
き、その分、搬送上有利にできる。

【００４９】(2) 前記図１に示した構造では、少なくと
も保持部材４８Ｌ側の雄側嵌合部４９の周囲に当接面４
８ａを形成すれば、保持部材４８Ｒ側の当接面４８ａを
省略しても、ガイドローラの正確な位置決めが可能であ
る。ただし、同図のように両保持部材４８Ｌ，４８Ｒに
当接面４８ａを形成すれば、ガイドローラの双方の端部
でその支持剛性を高めることができ、ガイドローラの撓
みをより効果的に抑制できる利点がある。

【００５０】(3) 前記図２に示した構造において、玉軸
受５１の外輪を筒部材６０側に軸方向相対変位不能に固
定し、内輪を保持部材４８Ｒに対して軸方向相対変位可
能に構成してもよい。また、同図の円筒ころ軸受におけ
る外輪６６とコロ６５との軸方向相対変位を規制し、内
輪６４とコロ６５との軸方向相対変位を許容するように
してもよい。

【００５１】(4) 保持部材の回転支持に軸受を用いる場
合、その個数は特に問わない。また、前記図１及び図４
では玉軸受５１及び円筒ころ軸受５２を併用している
が、いずれか一方の軸受のみを用いてもよいし、他種の
軸受を用いてもよい。いずれの場合も、一方の保持部材
のみ支持部材に対して軸方向に相対変位可能に構成する
ことにより、上記と同様の効果を得ることができる。

【００５２】(5) 本発明は、ワイヤソーに設けられた全
てのガイドローラの支持に適用する必要はなく、少なく
ともワーク切断位置に直接影響を与えるガイドローラ
（図３のワイヤソーの場合にはガイドローラ２４Ａ，２
４Ｂ）の支持に適用することにより、顕著な効果を得る
ことができる。

【００５３】

【発明の効果】以上のように本発明は、ガイドローラを
保持する左右一対の保持部材のうち、一方の保持部材を
この保持部材を支持する支持部材に対して軸方向に変位
不能な固定側保持部材とし、他方の保持部材をこの保持
部材を支持する支持部材に対して軸方向に変位可能な可
動側保持部材とし、かつ、少なくとも固定側保持部材の
テーパー状路の嵌合部の周囲とこの嵌合部に嵌合される
ガイドローラ側のテーパー状の嵌合部の周囲とにこれら
嵌合部同士が圧接した状態で互いに軸方向に当接する当
接面を形成したものであるので、両嵌合部同士の圧接に
より、両保持部材とガイドローラとの芯出しができると
同時に、固定側保持部材の嵌合部の周囲とガイドローラ
端部の嵌合部の周囲とに形成された当接面同士の軸方向
の当接により、上記圧接力の調節を特に行わなくてもガ
イドローラの軸方向の位置決めを確実に行うことがで
き、かつガイドローラの支持剛性を飛躍的に高めること
ができる。よって、ガイドローラの軸方向位置と径方向
位置の双方を安定させることができ、このガイドローラ
に案内されるワイヤによるワーク切断位置を高精度で定
めることができる効果がある。

【００５４】さらに、可動側保持部材の嵌合部の周囲と
この嵌合部に嵌合されるガイドローラ側の嵌合部の周囲
とにもこれら嵌合部同士が圧接した状態で互いに軸方向
に当接する当接面を形成すれば、両保持部材とガイドロ
ーラ両端との間でガイドローラの支持剛性を高めること
ができ、ガイドローラの径方向位置をより安定させるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の態様にかかるガイドロー
ラの支持構造を示す一部断面正面図である。

【図２】上記支持構造の要部を示す断面正面図である。

【図３】上記ガイドローラを備えたワイヤソーの全体構
成図である。

【図４】本発明の第２の実施の態様にかかるガイドロー
ラの支持構造を示す一部断面正面図である。

【図５】上記支持構造におけるクランプモジュールを示
す断面正面図である。

【図６】従来のガイドローラの支持構造の一例を示す断
面正面図である。

【符号の説明】

２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂ ガイドローラ ２８ ワーク ４０ 雌側嵌合部 ４１ａ ガイドローラ側の当接面 ４３ ガイド溝 ４６Ｌ，４６Ｒ 支持部材 ４８Ｌ 保持部材（固定側保持部材） ４８Ｒ 保持部材（可動側保持部材） ４８ａ，７２ａ 保持部材側の当接面 ４９，７３，雄側嵌合部 ５０ 締付ボルト（圧接手段） ５１ 玉軸受（ころがり軸受） ５２ 円筒ころ軸受 ７０ クランプモジュール（圧接手段） Ｗ ワイヤ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤソーに回転可能に設けられ、外周
   面にワイヤ案内用のガイド溝を有し、このガイド溝に切
   断用のワイヤが嵌入されるガイドローラの支持構造にお
   いて、ガイドローラをその軸方向両側から挟む位置に設
   置される左右一対の支持部材と、各支持部材にガイドロ
   ーラの回転軸と同軸回りに回転可能に支持され、ガイド
   ローラの両端を保持する左右一対の保持部材とを備え、
   各保持部材、ガイドローラの端部のいずれか一方に先端
   側に向かうに従って断面積の小さくなるテーパー状の雄
   側嵌合部を形成し、他方に上記雄側嵌合部が嵌入可能な
   テーパー状の雌側嵌合部を形成し、ガイドローラ両端と
   各保持部材とを引き寄せて各雄側嵌合部と雌側嵌合部と
   を圧接させる圧接手段を備えるとともに、一方の保持部
   材をこの保持部材を支持する支持部材に対して軸方向に
   変位不能な固定側保持部材とし、他方の保持部材をこの
   保持部材を支持する支持部材に対して軸方向に変位可能
   な可動側保持部材とし、かつ、少なくとも固定側保持部
   材の嵌合部の周囲とこの嵌合部に嵌合されるガイドロー
   ラ側の嵌合部の周囲とにこれら嵌合部同士が圧接した状
   態で互いに軸方向に当接する当接面を形成したことを特
   徴とするワイヤソーにおけるガイドローラの支持構造。
2. 【請求項２】 請求項１記載のワイヤソーにおけるガイ
   ドローラの支持構造において、可動側保持部材の嵌合部
   の周囲とこの嵌合部に嵌合されるガイドローラ側の嵌合
   部の周囲とにもこれら嵌合部同士が圧接した状態で互い
   に軸方向に当接する当接面を形成したことを特徴とする
   ワイヤソーにおけるガイドローラの支持構造。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載のワイヤソーにお
   けるガイドローラの支持構造において、上記可動側保持
   部材の外周面とこれを支持する支持部材との間に円筒こ
   ろ軸受を介在させたことを特徴とするワイヤソーにおけ
   るガイドローラの支持構造。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載のワイヤ
   ソーにおけるガイドローラの支持構造において、上記可
   動側保持部材の外周面とこれを支持する支持部材との間
   にころがり軸受を介在させるとともに、このころがり軸
   受の内輪もしくは外輪をその取付面と接触する部材に対
   して軸方向に相対変位可能に構成したことを特徴とする
   ワイヤソーにおけるガイドローラの支持構造。