JPH09311435A

JPH09311435A - フォトマスクからのペリクル脱着方法

Info

Publication number: JPH09311435A
Application number: JP14661496A
Authority: JP
Inventors: Shu Kashida; 周樫田
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1996-05-16
Filing date: 1996-05-16
Publication date: 1997-12-02
Anticipated expiration: 2016-05-16
Also published as: JP3209095B2

Abstract

(57)【要約】【解決手段】ペリクルフレーム２の一端面にペリクル
膜３を張設し、他端面に粘着剤層４を形成してなり、こ
の粘着剤層４を介してフォトマスク５に貼着されたペリ
クル１を上記フォトマスク５から脱着させるに際し、上
記粘着剤層４の外側面にこの粘着剤層４と接着可能な樹
脂又はゴムからなる舌片７を接着し、この舌片７を外側
方に引張ることにより、上記粘着剤層４を上記ペリクル
フレーム２とフォトマスク５との間から剥離し引き抜く
ことを特徴とするフォトマスク５からのペリクル脱着方
法。【効果】本発明の方法によれば、フォトマスクを傷付
けたり、汚染したりすることなく容易にフォトマスクに
貼着されたペリクルを除去することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、粘着剤層を介して
フォトマスクに貼着したペリクルの使用後において、フ
ォトマスクからこの使用済みのペリクルを容易に除去
（取り外し）することができるフォトマスクからのペリ
クルの脱着方法に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
半導体デバイス及び液晶用デバイスは、高密度化、高集
積化され、それに伴ってパターンの微細化が進行してい
る。その結果、このリソグラフィー工程で用いられるフ
ォトマスク又はレチクルにはますます高レベルの洗浄性
が要求され、微細な異物（ゴミ）も転写パターンの欠陥
になるおそれがあり、フォトマスクやレチクルにペリク
ルを装着して異物の付着を防止することが広く行われて
いる。

【０００３】ペリクルは高さが５ｍｍ程度の金属フレー
ムの片面に透明な薄膜（ペリクル膜）を張設したもの
で、これをフォトマスクに装着すると、透明薄膜とフォ
トマスク面との距離だけ露光時の焦点がずれるので、透
明薄膜上に比較的大きな異物が付着してもレジスト上に
異物が転写されないという効果がある。

【０００４】このペリクルはペリクル膜が張設されてい
ない方の端面に粘着剤層を形成し、この粘着剤層を介し
てフォトマスクに貼り付け、使用するものであるが、ペ
リクル使用後において、ペリクル膜の汚れがひどくなっ
たり、ペリクル膜が破損した場合等には、ペリクルをフ
ォトマスクから除去する（取り去る）必要がある。

【０００５】従来、フォトマスクよりペリクルを除去す
る方法としては、フレームの側面に設けた治具用くぼみ
に剥離用治具のピンを差し込み、治具を傾けて、てこの
原理で剥離する方法、フォトマスクとペリクルとの間に
くさび状の治具を差し込んでペリクルをフォトマスクか
ら剥離する方法、ペリクルの周囲に溶剤を流してペリク
ルの粘着剤層を膨潤させて粘着力を低下させた後、くさ
び状の治具を用いてペリクルをフォトマスクから剥離す
る方法が採用されている。

【０００６】しかし、これらの方法はフォトマスク自身
に傷が付き易く、またフォトマスク自身が汚染されて洗
浄等の後処理に多大の労力を要するという問題がある。

【０００７】そこで、本発明者らは、図２に示すような
ペリクルフレーム２の一端面にペリクル膜３を張設した
ペリクル１の上記フレーム２他端面を粘着剤層４を介し
てフォトマスク５に貼着してなるペリクル１のフォトマ
スク５への貼着構造において、上記粘着剤層４に外方に
突出する粘着剤層抜き取り用把持部６を突設したペリク
ルのフォトマスクへの貼着構造を先に提案しており（特
願平７−２２８５８０号）、この提案によれば、フォト
マスク５からペリクル１を除去する場合、上記把持部６
を手、ピンセット、ペンチ等で掴み、外方に引張ること
により、粘着剤層４を連続的に引出すことができ、フォ
トマスク５から粘着剤層４を剥離すると同時に、ペリク
ル１の除去を行うことができ、かつフォトマスク５を傷
付けたり、汚染したりすることがないので、ペリクルの
除去に好適であることを確認している。

【０００８】しかしながら、この提案は、予め粘着剤層
に外方に突出する粘着剤層抜き取り用把持部を設ける必
要があり、このため製法がやや複雑になる上、ペリクル
を容器に収納したり、容器から取り出す場合や、ペリク
ルをフォトマスクに貼り付ける場合などのハンドリング
がやりにくいことがあった。

【０００９】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、フォトマスクからペリクルを容易に、しかもフォト
マスク自身を傷付けたり汚染したりすることなく除去す
る方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、ペリクルフレームの一端面にペリクル膜を
張設し、他端面に粘着剤層を形成してなり、この粘着剤
層を介してフォトマスクに貼着されたペリクルを上記フ
ォトマスクから脱着させるに際し、上記粘着剤層の外側
面にこの粘着剤層と接着可能な樹脂又はゴムからなる舌
片を接着し、この舌片を外側方に引張ることにより、上
記粘着剤層を上記ペリクルフレームとフォトマスクとの
間から剥離し引き抜くことを特徴とするフォトマスクか
らのペリクル脱着方法を提供する。

【００１１】本発明によれば、ペリクルを除去する場
合、上記舌片を手、ピンセット、ペンチ等で掴みこれを
引張ることにより、粘着剤層がペリクル、フォトマスク
間から連続的に引き出され、抜き取られて剥離されるも
ので、これによりフォトマスクからペリクルが容易に分
離除去される。

【００１２】このように、本発明においては、粘着剤層
を舌片から引き出し、抜き取るように剥離するので、フ
ォトマスクを傷付けたり、汚したりすることなく簡単且
つ確実にフォトマスクからペリクルを除去することがで
きる。この場合、上記舌片は、ペリクルの除去時に粘着
剤層に接着、突設すればよく、舌片を粘着剤層に予め突
設しておく必要がないので、ペリクルの製造、取り扱い
は従来と同様でよく、ペリクルの製造や取り扱いに面倒
を与える必要はない。

【００１３】なお、以上のような抜き取り、剥離等の効
果をより確実に発揮させる点から、粘着剤層に未硬化の
樹脂又はゴムを舌状に形成し、これを硬化させた後、得
られた硬化舌片を引張るようにすることが好適であり、
この場合、粘着剤層と舌片とをそれぞれシリコーン系粘
着剤、特に粘着剤層を付加反応硬化型シリコーン系粘着
剤の付加反応硬化物にて形成すると共に、未硬化の付加
反応硬化型シリコーン系粘着剤を上記粘着剤層に舌状に
形成し、これを硬化した後、得られた硬化舌片を引張る
ようにすることが好適である。

【００１４】

【発明の実施の形態及び実施例】以下、本発明につき図
１を参照して更に詳しく説明する。なお、図１におい
て、図２と同一構成部品に対しては同一の参照符号を付
し、その説明を省略する。

【００１５】本発明に係るペリクル１のフォトマスク５
からの脱着方法は、フォトマスク５に貼着したペリクル
１の除去時において、ペリクル１の粘着剤層４の外側面
の所用箇所に、図１に示したように、この粘着剤層４に
対して接着可能な樹脂又はゴムからなる舌片７を接着、
形成し、該舌片７を外側方に引張ることにより、上記粘
着剤層４をペリクルフレーム２とフォトマスク５との間
から剥離し、引き抜くものである。

【００１６】ここで、ペリクル１を構成するペリクルフ
レーム２、ペリクル膜３、粘着剤層４の材質やペリクル
１の形状、更にはフォトマスク５の材質、形状などは公
知の材質、形状とすることができる。例えば、ペリクル
フレームの材質としては一般にアルミニウムが用いら
れ、フォトマスクの材質としては一般に合成石英等のガ
ラスが用いられる。なお、粘着剤層の材質としては、シ
リコーン系粘着剤が引き出し性も良好で途中で切断が発
生しにくいために好ましい。即ち、シリコーン系粘着剤
は、一般的な粘着剤であるアクリル系粘着剤やゴム系粘
着剤に比べて、引き伸ばしても切断しにくく、更にフォ
トマスクから粘着剤を剥離した後にフォトマスクに粘着
剤の残留物が残りにくいという特徴がある。この場合、
シリコーン系粘着剤は、架橋可能なタイプを用いると、
引張強度の点で有利である。架橋方式には特に制限はな
いが、アルケニル基（好ましくはビニル基）を一分子中
に２個以上含有するアルケニル基含有オルガノポリシロ
キサンと、ＳｉＨ基を一分子中に２個以上含有するオル
ガノハイドロジェンポリシロキサンと、白金や白金化合
物等の付加反応触媒とを含有する付加反応硬化型のシリ
コーン系粘着剤を用いた付加反応方式によることが、硬
化速度、引張強度等の点から有利である。また、この粘
着剤層の粘着力は、上記ペリクルフレームに対して５〜
１０ｋｇ／ｃｍ²で、上記フォトマスクに対して１〜３
ｋｇ／ｃｍ²が好適である。ペリクルフレームに対する
粘着剤層の粘着力が、フォトマスクに対する粘着力より
低くなると、ペリクルを剥離した際、粘着剤層がフォト
マスクに残存するので好ましくない。

【００１７】一方、上記粘着剤層に接着、突設される舌
片を形成する樹脂、ゴムとしては、粘着剤層に接着可能
なものであればいずれのものでもよいが、粘着剤層との
接着、一体性の点から粘着剤層を形成する樹脂又はゴム
と同一の材質のものを使用することが好ましい。ここ
で、本発明において、粘着剤層に対する舌片の接着と
は、化学的結合の有無とは関係なく、舌片を引張っても
粘着剤層から分離することなく、粘着剤層に貼り付いて
いる状態である。

【００１８】上記舌片を形成する樹脂又はゴムは、硬化
性のものが好ましい。この場合、上述したように粘着剤
層と舌片とは同一材質のものが好ましいものであるが、
粘着剤層はかかる硬化性の樹脂又はゴムを硬化させるこ
とによって予め形成すると共に、ペリクルの除去時に、
これに対してこれと同一材質の未硬化の樹脂又はゴムを
舌状に形成した後、これを硬化させることが接着性、引
張強度、更には舌片の形成し易さなどの点から推奨され
る。例えば、粘着剤層が架橋したシリコーン系粘着剤層
の場合は、舌片の形成には粘着剤層と同じ架橋タイプの
未硬化シリコーン系粘着剤を使用し、粘着剤層に注入、
形成後、これを硬化させることが好ましい。この場合、
接着性の点から最も好ましくは粘着剤層を付加反応硬化
型のシリコーン系粘着剤の硬化物（架橋物）にて形成
し、これに付加反応硬化型のシリコーン系粘着剤を未硬
化状態で該粘着剤層に舌状に注入し、その後上記未硬化
のシリコーン系粘着剤を硬化して硬化舌片を形成するこ
とが好適である。

【００１９】またこの際、粘着剤層に注入されて舌片を
形成すべきシリコーン系粘着剤等の樹脂又はゴムは、ト
ルエン等の溶媒で溶解又は分散された状態で使用するこ
とが好ましく、このような溶媒を用いることにより、粘
着剤が該溶媒に接触することによってその表面が膨潤
し、これにより舌片を形成すべきシリコーン系粘着剤等
の樹脂又はゴムとの接着性が更に向上し、粘着剤層の剥
離を連続的且つ良好に行うことができる。

【００２０】なお、舌片の形成場所、形成個数は特に制
限されず、粘着剤層の外側面であればいずれの箇所でも
よく、また複数個の舌片を形成してもよい。また、舌片
を形成する樹脂又はゴムの量も制限はなく、引き剥がし
作業に十分な量でよい。更に、樹脂又はゴムを舌状に形
成する方法としては、注射器等の注入器具を用いるなど
の方法が採用されるが、これに限定されるものではな
い。樹脂又はゴムとして硬化性のものを用いる場合、そ
の硬化方法としては該樹脂又はゴムの硬化方式に応じた
公知の適宜方法を採用し得る。

【００２１】本発明において、ペリクルをフォトマスク
から除去する場合は、以上のようにして形成した舌片を
手やピンセット、ペンチ等の適宜な工具で掴んでこれを
粘着剤層のペリクル、フォトマスクへの粘着力より大き
い力で外側方に引張るもので、これにより粘着剤層は連
続的にペリクル、フォトマスクから剥離して引き出さ
れ、やがて完全に引き出されてフォトマスクとペリクル
とが容易に分離するものである。この場合、シリコーン
系粘着剤を用いることにより、粘着剤残りもなく、スム
ーズに粘着剤層が抜き取られる。なお万一、粘着剤層が
その引き出し時に破断した場合、破断端部を再度掴んで
引き出しを続ければよく、また必要に応じ新たな舌片を
再度形成するようにしてもよい。

【００２２】次に実施例により本発明を具体的に説明す
る。

【００２３】［実施例］ペリクルフレームとして、外寸
が１２２ｍｍ×１４９ｍｍで、幅２．０ｍｍ、高さ５．
８ｍｍの四角形アルミフレームを用いた。このペリクル
フレームの一端面に、ペリクル膜を形成すると共に、他
端面に付加反応によって架橋する付加反応硬化型シリコ
ーン系粘着剤（信越化学工業社製）の０．５ｍｍの層を
形成した。

【００２４】次にこのペリクルを合成石英製フォトマス
クに１５ｋｇ荷重で３分間圧着して貼り付けた。この場
合、シリコーン系粘着剤のペリクルフレームに対する粘
着力は６ｋｇ／ｃｍ²あり、フォトマスクへの粘着力は
２ｋｇ／ｃｍ²であった。

【００２５】次に、上記粘着剤と同じシリコーン系粘着
剤をトルエンに溶かして５０重量％に調製し、更にこの
注入液に架橋用の白金系触媒を添加して樹脂注入液を得
た。

【００２６】得られた樹脂注入液を注射器に充填し、上
記ペリクルとフォトマスクに介在している粘着剤層のコ
ーナー部に注射器から樹脂注入液を約２０ｃｃ注入し
た。その後、約３０分間放置させ、更に赤外線ランプで
上記注入箇所を約８０℃で５分間加熱し、硬化させて硬
化舌片を得た。

【００２７】次いで、上記硬化舌片の先端部分を指でつ
まみ、ゆっくりと外方に向かって粘着剤層を引き出し
た。なお、硬化舌片はその一部がフォトマスク基板に接
着したが、硬化舌片はこれをフォトマスクからスムーズ
に剥離することができた。この引き出しの結果、硬化舌
片と粘着剤層とは強固に接着しており、硬化舌片及び粘
着剤層を途中で破断することも両者の界面とで分離する
こともなく粘着剤層を容易にペリクルとフォトマスクと
の間から連続的に抜き出すことができ、しかも、この場
合フォトマスクを傷付けたり、汚染したりすることなく
フォトマスクよりペリクルを除去することができた。

【００２８】

【発明の効果】本発明の方法によれば、フォトマスクを
傷付けたり、汚染したりすることなく容易にフォトマス
クに貼着されたペリクルを除去することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施に際し、ペリクルの粘着剤層に舌
片を接着した状態を示す断面図である。

【図２】先願発明におけるペリクルのフォトマスクへの
貼着構造を示す断面図である。

【符号の説明】

１ペリクル２ペリクルフレーム３ペリクル膜４粘着剤層５フォトマスク７舌片

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ペリクルフレームの一端面にペリクル膜
を張設し、他端面に粘着剤層を形成してなり、この粘着
剤層を介してフォトマスクに貼着されたペリクルを上記
フォトマスクから脱着させるに際し、上記粘着剤層の外
側面にこの粘着剤層と接着可能な樹脂又はゴムからなる
舌片を接着し、この舌片を外側方に引張ることにより、
上記粘着剤層を上記ペリクルフレームとフォトマスクと
の間から剥離し引き抜くことを特徴とするフォトマスク
からのペリクル脱着方法。
【請求項２】粘着剤層に未硬化の樹脂又はゴムを舌状
に形成し、これを硬化させた後、得られた硬化舌片を引
張るようにした請求項１記載の方法。
【請求項３】粘着剤層及び舌片をそれぞれシリコーン
系粘着剤にて形成した請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】粘着剤層を付加反応硬化型シリコーン系
粘着剤の付加反応硬化物にて形成すると共に、未硬化の
付加反応硬化型シリコーン系粘着剤を上記粘着剤層に舌
状に形成し、これを硬化した後、得られた硬化舌片を引
張るようにした請求項１記載の方法。