JPH091738A - 熱伝導性複合シリコーンゴムシート - Google Patents
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Abstract
導性充填剤を含有し、アスカーC硬度が5〜50である
厚さ0.4mm 以下の粘着性熱伝導性シリコーンゴム層内に
少なくとも1枚の補強性シートを配置し、更に前記シリ
コーンゴム層の両外側面を離型性保護シートで被覆して
なる。前記複合シリコーンゴムシートの製造法は、前記
充填剤を含有し、硬化後、前記硬度及び厚さとなる液状
付加硬化型オルガノポリシロキサン組成物層内に少なく
とも1枚の補強性シートを配置し、熱硬化させ、得られ
た粘着性熱伝導性シリコーンゴム層の両外側面に離型性
保護シートを重ね合わせる。 【効果】 本発明の複合シリコーンゴムシートは特に放
熱用絶縁シートとして好適で、熱伝導性、密着性共に優
れ、オイルブリードもなく、大量生産に適し、且つ電子
部品等の組立作業性を低下させない。
Description
熱用絶縁シートとして好適な熱伝導性複合シリコーンゴ
ムシートに関する。
ランジスタ、サイリスタ等の発熱性電子部品、及びI
C,LSI,CPU,MPU等の集積回路素子は、熱の
発生により特性が低下すること、また集積回路素子の場
合は、発熱により特にカラー液晶表示盤にも影響を与え
ることから、放熱を円滑に行うために、電子機器内での
配置が考慮されているが、その他に、特定の部品又は機
器全体を冷却フィンで強制空冷したり、集積回路素子
(プリント基板上に設けられている)に対しては放熱用
絶縁シート(以下、放熱シートという)を介して基板上
に熱を逃がす等の考慮もなされている。
ッサー等の電子機器の高集積化が進み、機器内の上記発
熱性部品や集積回路素子の発熱量が増加するにつれて従
来の強制空冷方式や放熱シートではこれら部品や素子の
冷却又は放熱が不十分な場合がある。特に、携帯可能な
ラップトップ型又はノートブック型のパーソナルコンピ
ュータの場合は、強制空冷方式以外の冷却方法が必要に
なっている。また放熱シートについては、素子が形成さ
れるプリント基板の材料には熱伝導性の劣るガラス補強
エポキシ樹脂やポリイミド樹脂が使用されているので、
従来の放熱シートでは素子で発生した熱を十分に基板に
逃がすことができない。そこで素子の近傍に自然冷却タ
イプ或いは強制冷却タイプの放熱フィン又はヒートパイ
プ等の放熱器を設置し、素子の発生熱を放熱媒体を介し
て放熱器に伝え、放熱させる方式が採られている。
器との間の熱伝導を良好にするために、放熱用熱伝導性
グリースや厚さ0.2 〜1.0mm の放熱シートが使用されて
いる。放熱用熱伝導性グリースとしては、例えばシリコ
ーンオイルにシリカファイバー、酸化亜鉛、窒化アルミ
ニウム等の熱伝導性充填材を配合した熱伝導性シリコー
ングリースが知られている(特公昭57-36302)が、オイ
ルブリードの危険性があること、電子部品の組立作業性
を低下させること、熱履歴により空隙が発生して熱伝導
率が低下すること等、多くの不具合が発生していた。一
方、放熱シートとしては、高充填、高硬度のシリコーン
ゴム層をガラスクロス等の布状補強材で補強したものが
知られている(特開昭56-161140 )が、この種の放熱シ
ートはゴム層の硬度が高く、柔軟性に劣るため、熱膨張
を起こした際に隣接する素子と基板とに過度の応力がか
かり、これらを破損する恐れがあった。このため柔軟性
の良好な放熱シートが要望されていた。更に上記放熱シ
ートは、強度の関係で厚さが0.2mm よりも薄いものが得
られ難く、この点も熱伝導性には不利であった。
トの片面又は両面に粘着剤層を設け、更に粘着剤層面を
離型紙等の離型性保護シートで保護した放熱シートも市
販されているが、これに用いられている粘着剤は熱伝導
性がないため、複合品全体としての熱伝導率が低下し、
多くの場合、所望の放熱性能が得られなかった。更にま
た、この複合型の放熱シートの場合は、高硬度のシリコ
ーンゴム成形シートにコーティング等の方法でシリコー
ン系粘着剤を塗布することで得られるが、多くの場合粘
着剤は溶剤を含んでいるため、風乾、加熱硬化工程が必
要である上、粘着剤を保護するシートも貼りつける必要
がある等、製造工程が複雑であるため、量産性に問題が
あった。
た高硬度熱伝導性シリコーンゴムシートに低硬度の熱伝
導性シリコーンゴム層を積層し、更に離型性保護シート
を貼り合わせた複合型の放熱シートも開示されている
(特公平6-155517)。しかしこの複合型の放熱シートの
場合は、製造上の問題から厚さ(全体の厚さ)0.45mm未
満のものが得られないため、低硬度シリコーンゴム層自
体はたとえ良好な高熱伝導率を持っていても複合品全体
として薄いものが得られないため、熱抵抗が大きいとい
う欠点があり、放熱シートの厚さの点で問題があった。
トの熱伝導性は厚さが厚くなる程、不利であるにも拘ら
ず、高硬度のゴムを用いたものでも従来 0.2mm以下の放
熱シートが得られていない。また低硬度のゴムを用いた
ものでも0.45mm未満の放熱シートは得られていない。こ
れは次のような理由によるものである。即ち、前者の放
熱シートの場合は、強度を上げるためにゴム硬度を高く
すると、シート表面が硬くなって部品や素子との密着性
が悪くなり、厚さ0.2mm 以下では所望の熱伝導性を持っ
たシートは得られないからである。逆に後者の放熱シー
トの場合は、熱伝導性、従って密着性を上げるために、
ゴム硬度を低くして柔軟性や粘着性を付与すると、厚さ
0.45mm未満では所望の強度を持ったシートが得られない
からである。従って本発明の課題は、熱伝導性、密着性
共に優れ、オイルブリードもなく、大量生産に適し、且
つ電子部品等の組立作業性を低下させない放熱用絶縁シ
ートとして好適な、厚さの薄い熱伝導性複合シリコーン
ゴムシートを提供することである。
するため鋭意研究した結果達成されたもので、熱伝導性
充填材を含有し、アスカーC硬度が5〜50であり、且
つ厚さが0.4mm 以下である粘着性の低硬度シリコーンゴ
ムシートを、厚さ0.05mm以下とできるだけ薄くした補強
性シートで補強すると、放熱用絶縁シートとして好適な
厚さ0.45mm未満の熱伝導性複合シリコーンゴムシートが
得られることを見い出し、本発明に到達した。即ち本発
明の熱伝導性複合シリコーンゴムシートは、熱伝導性充
填剤を含有し、アスカーC硬度が5〜50であり、且つ
厚さが0.4mm 以下であり、表面が粘着性である熱伝導性
シリコーンゴム層と、該シリコーンゴム層内に配置され
た少なくとも1枚の補強性シートと、前記シリコーンゴ
ム層の粘着性を有する2つの表面の少なくとも一方に被
覆された離型性保護シートとを有してなるものである。
性複合シリコーンゴムシートは基本的には、熱伝導性充
填剤を含有し、アスカーC硬度が5〜50である粘着性
熱伝導性シリコーンゴム層と、前記シリコーンゴム層の
内部に配置されて、この層を補強する少なくとも1枚の
補強性シートと、このシリコーンゴム層の少なくとも一
方の粘着性表面を被覆保護する離型性保護シートとで構
成される。シリコーンゴム層の全体の厚さは0.4mm 以下
である。
度がアスカーC硬度で5〜50で、且つ厚さが全体で0.
4mm 以下であれば、特に限定されない。ここで使用され
る熱伝導性充填材は公知の熱伝導性樹脂組成物に使用さ
れるものでよく、例えば、酸化アルミニウム、窒化ホウ
素、窒化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、
炭化ケイ素、石英、水酸化アルミニウム等が挙げられ
る。この熱伝導性充填材の量は、シリコーンゴム層全体
に対し、通常、25〜90重量%であり、好ましくは50〜85
重量%である。この量が少なすぎると、熱伝導性複合シ
ートの熱伝導性が不十分となり、多過ぎると、熱伝導性
複合シリコーンゴムシート製品の柔軟性が低下する。
度で5〜50であることが必要であり、好ましくは10
〜35である。ここで、アスカーC硬度とは、SRIS 010
1 (日本ゴム協会規格)及びJIS S 6050に基づき、スプ
リング式硬さ試験機アスカーC型を使用して測定した硬
さである。シリコーンゴム層の硬度が、アスカーC硬度
で5未満であると、軟らか過ぎて形状保持が困難とな
り、生産性も低下する。一方、アスカーC硬度が50を
越えると、粘着性がなくなる上、硬過ぎて部品との密着
性が低下し、また部品の形状への追随性が悪くなる。
ム層は、下記のような液状付加硬化型オルガノポリシロ
キサン組成物を硬化したものである。この液状付加硬化
型オルガノポリシロキサン組成物は従来より熱伝導性シ
リコーンゴムの製造に使用されているもので、熱伝導性
充填材を含有し、硬化後の硬度がアスカーC硬度で5〜
50となるような組成物であれば特に限定されない。こ
のようなオルガノポリシロキサン組成物の具体例として
は、下記A)〜D)成分を含有する組成物が挙げられ
る。
2個有するアルケニル基含有オルガノポリシロキサン、 B)1分子中にケイ素原子に結合した水素原子を少なく
とも2個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサ
ン、 C)白金族金属系触媒、及び D)熱伝導性充填材。 A)成分:A)成分としては、例えば、下記平均組成式
(1) : Ra SiO(4-a)/2 (1) (式中、Rは非置換又は置換の1価炭化水素基であり、
aは1.85〜2.15の数である。)で表され、1分子中にア
ルケニル基を少なくとも2個有する必要がある。アルケ
ニル基は付加硬化時に架橋点となるため、基本的にはア
ルケニル基を1分子中に2個以上含んでいる分子がない
とこの組成物は硬化しないからである。1分子中にアル
ケニル基を平均して0.5 個以上有する範囲において、片
末端にだけアルケニル基を有するような1分子中にアル
ケニル基を1個有するオルガノポリシロキサン又はアル
ケニル基を有しないオルガノポリシロキサンを含んでい
てもよい。
価炭化水素基Rとしては、例えば、メチル基、エチル
基、プロピル基等のアルキル基;シクロペンチル基、シ
クロヘキシル基等のシクロアルキル基;ビニル基、アリ
ル基等のアルケニル基;フェニル基、トリル基等のアリ
ール基;トリフルオロプロリル基等のこれらの基の水素
原子が部分的に塩素原子、フッ素原子等で置換されたハ
ロゲン化炭化水素基等が挙げられる。前記付加硬化反応
に関与する必須成分としてのアルケニル基としてはビニ
ル基が特に好ましい。また、アルケニル基以外のRとし
ては、メチル基、フェニル基及びトリフルオロプロピル
基が好ましい。
ることが好ましく、更に好ましくは500 〜30,000cSt で
ある。この粘度が高過ぎると、硬化前のオルガノポリシ
ロキサン組成物の流動性が悪くなり、作業効率が悪くな
る。 B)成分:B)成分は、1分子中にケイ素原子に結合し
た水素原子を少なくとも2個以上有する直鎖状、分岐状
又は環状の分子からなる。B)成分は、A)成分と反応
し架橋剤として作用する。B)成分の量は、A)成分に
含まれるアルケニル基1個に対してケイ素原子に結合し
た水素原子が、通常0.1 〜1.5 個となる量であり、好ま
しくは、0.2 〜1.2 個となる量である。この量が少な過
ぎると架橋密度が低くなり過ぎ、得られる硬化物の強
度、耐熱性等が十分なものとならない。また、この量が
多過ぎると、脱水素反応による発泡が激し過ぎるという
問題が生じたり、或いは得られる硬化物の柔軟性が十分
なものとならない。
金ブラック、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール変性
物、塩化白金酸とオレフィン,ビニルシロキサン,アセ
チレンアルコール等との錯体等が挙げられる。C)成分
の量は、希望する硬化速度に応じて適宜選択すればよい
が、通常はA)成分に対して白金族金属量で0.1 〜500p
pmであり、好ましくは1〜200ppmである。 D)成分:D)成分としては、例えば、前記した熱伝導
性充填材が挙げられる。D)成分の量は、組成物の全量
に対し、通常、25〜90重量%であり、好ましくは、50〜
85重量%である。この量が少な過ぎると熱伝導性が不十
分となる。また、多過ぎると組成物の流動性が低く作業
性が悪くなったり、或いは硬化物が硬くなって得られる
シリコーンゴムの柔軟性が低下する。
ポリシロキサン組成物の硬化速度、保存安定性等を調節
する目的で必要に応じてこの組成物には各種添加剤を添
加することができる。このような添加物としては、例え
ば、メチルビニルシクロテトラシロキサン等のビニル基
含有オルガノポリシロキサン、トリアリルイソシアヌレ
ート、アセチレンアルコール及びそのシロキサン変性物
等が挙げられる。その他、本発明の効果を損なわない範
囲で粘着剤、補強性シリカ、着色剤、耐熱性向上剤、接
着助剤等を添加してもよい。
サンが含まれるが、この低分子シロキサンは本発明品の
使用目的からも少ない方が望ましく、熱伝導性複合シリ
コーンゴムシートの0.5 重量%以下が望ましい。この低
分子シロキサンは重合度20以下の環状シロキサンで示
されるもので-(CH3)2SiO- の単位をDとして通常Dn 体
と呼ばれている。本発明において、このDn 体が0.5 %
以上含まれる熱伝導性複合シリコーンゴムシートを数カ
所用いて電子部品の組み立てを行うと、組立部品の近傍
に接点部品がある場合にはいわゆる接点障害が起こる危
険性がある。
トに含まれるDn 体を0. 5%以下に抑えるには、予め前
記A)及びB)のシロキサン原料の段階でDn 体を除い
ておくことが望ましい。除去方法としては減圧蒸留法、
臨界抽出法などが知られていいる。その他、成形された
熱伝導性複合シリコーンシートを後加熱してDn 体を除
くことも可能である。
与えると共に、熱伝導性複合シリコーンゴムシートの平
面方向への延伸性を抑制する作用を有する。このような
補強性シートとしては、例えば、ガラスクロス、ポリエ
ステル、耐熱性ナイロン、木綿等からなるクロス不織
布;ポリイミド樹脂、耐熱性ナイロン、アクリル樹脂等
からなる多孔性の樹脂フィルム及びネット状フィルム等
が挙げられる。これらの中でも、ガラスクロスは熱伝導
性に優れているので好ましい。
性シートの位置は、シリコーンゴム層内部の上方、下方
及び/又は中央付近(中央を含む)にほぼ平面方向に配
置されていればよく、特に限定されないが、シリコーン
ゴム層の中央付近に配置されることが好ましい。この補
強性シート層は一層(一枚)でも複数層(複数枚)であ
ってもよい。補強性シート層をシリコーンゴム層の表面
に露出させて配置すると、表面に凹凸が生じるため、電
子部品等との密着性が悪くなる。このため補強性シート
層の厚さはできるだけ薄いことが望ましく、好ましくは
0.01〜0.15mm、更に好ましくは0.02〜0.05mmとする。0.
01mmより薄いと補強性が低下するため最終製品の製造加
工に支障を生じたり、最終製品の強度が低下する恐れが
ある。また0.15mmを越えると離型性保護シートの厚さを
除いた最終製品の厚さが0.2mm 以上になる結果、従来品
の放熱シートに対する優位性がなくなり、熱伝導性にお
いて不利となる。なお補強性シートは、シリコーンゴム
層との接着性をいっそう向上させるため、予めハイドロ
ジェンポリシロキサンで表面処理しておくことが望まし
い。
は、以上のようにして成形された熱伝導性複合シリコー
ンゴムシート本体の表面を被覆、保護するために使用さ
れるが、使用直前に本体から剥がして廃棄される。この
ような保護シートとしては、低硬度の粘着性を持ったシ
リコーンゴム硬化物に対し離型性の優れたものが好まし
く、その具体例としては、ポリエチレンフィルム(PE
フィルム)、フッ素系離型剤等の離型剤で片面又は両面
を離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム
(PETフィルム)、フッ素系離型剤等の離型剤で片面
又は両面を離型処理した離型紙等が挙げられる。製造工
程で硬化温度が高くなる時にはポリエチレンフィルムは
避け、耐熱性の優れた離型紙を用いた方が良い。なお、
シリコーンゴム層の一方の粘着性表面のみを、両面を離
型処理した保護シートで被覆すれば、本発明の熱伝導性
複合シリコーンシートをロール状に巻いた連続製品とし
て供給することができる。
面を片面離型処理された離型紙で被覆し、他方の外側面
をポリエチレンフィルムで被覆すれば、打ち抜き品等で
ポリエチレンフィルム面を先に剥し、部品に放熱シート
を貼り付けてから離型紙を除くことが容易となり、作業
能率を向上することができる。
造方法>本発明の熱伝導性複合シリコーンゴムシート
は、後述の実施例から分かるように様々な方法で製造す
ることができ、例えば、熱伝導性充填材を含有すると共
に、硬化後のアスカーC硬度が5〜50で、且つ厚さを
0.4mm 以下とすることができる液状付加硬化型オルガノ
ポリシロキサン組成物層内の上方、下方及び中央付近の
少なくとも一箇所に補強性シートを配置し、次に補強性
シートを配置した前記組成物層を上下から加熱下でプレ
ス成形することにより製造できる。通常は、所要面積の
板材の上に上記液状組成物を広げるように置き、上下か
らプレス成形するのが容易である。
ノポリシロキサン組成物をプレス成形により硬化、成形
する時の条件でよく、特に限定されない。上記成形条件
のうち、温度条件は50〜200 ℃であることが好ましく、
更に好ましくは60〜180 ℃である。上記成形条件のう
ち、圧力条件は組成物の粘度により適宜選択すればよ
い。流動性の良い組成物を成形する時は、加圧を必要と
しないこともあるが、気泡の巻き込みを避けるために通
常5〜50kgf/cm2 で加圧することが好ましい。上記の板
材及び枠材は、例えば、液状付加硬化型オルガノポリシ
ロキサン組成物に対し離型性を有する材料で作製するこ
とが好ましい。このような離型性を有する材料として
は、例えばフッ素樹脂コート板;テフロンフィルム、フ
ッ素系離型剤等の離型剤を塗布したポリエチレンテレフ
タレートフィルム(PETフィルム)等が挙げられる。
最後にこのプレス操作で得られたシート状の粘着性成形
体を保護シートと重ね合わせることにより目的の熱伝導
性複合シリコーンゴムシートが得られる。
ある。これは熱伝導性充填材を含有し、硬化後のアスカ
ーC硬度が5〜50となるような液状付加硬化型オルガ
ノポリシロキサン組成物を必要に応じて溶剤で希釈し、
この組成物液内に補強性シートをディップして両面にコ
ートした後、取り出し、必要に応じてロール、ブレード
等で厚さを均一にしてから加熱硬化させる。更に得られ
たシート状粘着性硬化物の粘着面に保護シートを重ね合
わせることにより目的物が得られる。更にまた別の製造
方法の例としてコーティング法がある。コーティング方
法は通常行われているコンマコータやナイフコータを用
いる方法でよく、片面ずつ行ってもよいが、キスコータ
を用いて補強性シートの両面を同時にコートする方法の
方が好ましい。コート後、加熱エアー等で硬化させ、次
に得られたシート状粘着性硬化物の粘着面に保護シート
を重ね合わせることにより目的物が得られる。
る。なお、実施例中の部は重量部を示し、粘度はいずれ
も25℃での値を示す。実施例1 メチルビニルポリシロキサン単位が5モル%であり、末
端がトリメチルシロキシ基で停止されたジメチルポリシ
ロキサン(粘度4000cSt )100 重量部及び酸化アルミニ
ウム [昭和電工(株)製商品名アルミナAS−30] 37
0 重量部を150℃で2時間混練した。得られた混練物を
室温に冷却した後、この混練物に塩化白金酸のビニルシ
クロヘキサン錯体(白金含有量1重量%)0.3 重量部及
び制御材としてエチニルシクロヘキサノール0.015 重量
部を加え均一に混合した。得られた混合物に式: H(C
H3)2SiO(-Si(CH3)2O-)18-Si(CH3)2Hで表されるメチルハ
イドロジェンポリシロキサン4.8 重量部を均一に混合し
て液状付加硬化型オルガノポリシロキサン組成物Iを調
製した。組成物Iを150 ℃で10分間加熱して6mm厚のシ
ートにし、アスカーC硬度を測定したところ21であっ
た。
29B(信越化学工業(株)製商品名)で表面処理した
PET上に0.04mm厚にコートする。次に0.032 mmのガラ
スクロスを重ねる。さらにその上にこの組成物0.04mmを
コートし、最後に上記の処理PETでサンドイッチし、
150 ℃で10分間プレス硬化させた。このものの諸特性を
表1に示す。実施例2 最後のプレス硬化操作を除いて実施例1と同様にして作
製したサンドイッチ状物品を等速2本ロールを用いて圧
着し、150 ℃の加熱炉内で15分間加熱硬化させた。諸特
性を表1に示す。
サン組成物をフッ素系離型剤X−70−029B(実施
例1に同じ)で処理した離型紙上に0.1 mm厚にコート
し、このコートしたシートを2枚用意した。この2枚の
シート間に目開き3mmのポリエステルメッシュクロスを
挟み、等速2本ロールで張り合わせ、150℃で15分間加
熱硬させた。諸特性を表1に示す。実施例4 メチルビニルポリシロキサン単位が5モル%であり、末
端がトリメチルシロキシ基で停止されたジメチルポリシ
ロキサン(粘度4000cSt )100 重量部及び窒化ホウ素K
BN(h)−10(信越化学工業(株)製商品名)150
重量部をキシレン150 重量部中で混合した。得られた混
合物に塩化白金酸のビニルシクロヘキサン錯体(白金含
有量1重量%)0.3 重量部及び制御材としてエチニルシ
クロヘキサノール0.015 重量部を加え均一に混合した。
更に実施例1で使用したメチルハイドロジェンポリシロ
キサン5.2 重量部を均一に混合して液状付加硬化型オル
ガノポリシロキサン組成物IIを調製した。組成物IIを15
0 ℃で15分間加熱して6mm厚のシートにし、アスカーC
硬度を測定したところ25であった。
(ハイドロジェンシロキサン、信越化学工業(株)製商
品名)で表面処理したガラスクロスに両面コートし、フ
ローティング方式を用いて60℃の加熱エアーで溶剤を揮
散後、組成物上の温度が150 ℃になるように、170 ℃の
加熱エアーで15分硬化させた。冷却後、片面にポリエチ
レンシートをラミネートしながら巻き取り、熱伝導性複
合シリコーンゴムシートを製造した。諸特性を表1に示
す。
て測定したものである。 (1) 熱抵抗の測定:熱伝導性複合シリコーンゴムシート
本体を試験体として、パワートランジスタ−(2SD2
17 TO−3型)と放熱器(YWA−L120型)と
の間に固定し、電流4A、電圧7Vを印加して熱抵抗を
測定する。
ートは放熱用絶縁シートとして用いた場合、熱伝導性に
優れ、また柔軟性、粘着性が良いため、密着性に優れ、
オイルブリードもなく、大量生産に適し、且つ電子部品
等の組立作業性を低下させない等の利点を有する。この
複合シリコーンゴムシートは薄く、軽量化された上、熱
伝導性に優れるので、車載(自動車、鉄道車両、航空
機)の表示パネルの放熱用等としても利用できる。
Claims (8)
- 【請求項1】 熱伝導性充填剤を含有し、アスカーC硬
度が5〜50であり、且つ厚さが0.4mm 以下であり、表
面粘着性である熱伝導性シリコーンゴム層と、該シリコ
ーンゴム層内に配置された少なくとも1枚の補強性シー
トと、前記シリコーンゴム層の粘着性を有する2つの表
面の少なくとも一方に被覆された離型性保護シートと有
してなる熱伝導性複合シリコーンゴムシート。 - 【請求項2】 補強性シートがガラスクロスである請求
項1記載の複合シリコーンゴムシート。 - 【請求項3】 前記シリコーンゴム層が、 A)1分子中にアルケニル基を少なくとも2個有するア
ルケニル基含有オルガノポリシロキサン、 B)1分子中にケイ素原子に結合した水素原子を少なく
とも2個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサ
ン、 C)白金族金属系触媒、及び D)熱伝導性充填材を含有する液状の付加硬化型オルガ
ノポリシロキサン組成物の硬化物からなる請求項1記載
の複合シリコーンゴムシート。 - 【請求項4】 重合度20以下の低分子シロキサンの含
有量が0.5 重量%以下である請求項1記載の複合シリコ
ーンゴムシート。 - 【請求項5】 前記保護シートが片面又は両面離型処理
された離型紙である請求項1記載の複合シリコーンゴム
シート。 - 【請求項6】 前記シリコーンゴム層の一方の粘着性表
面のみが両面離型処理された離型紙からなる保護シート
で被覆されており、ロール状に巻かれている請求項1記
載の複合シリコーンゴムシート。 - 【請求項7】 前記シリコーンゴム層の一方の外側面が
片面離型処理された離型紙で被覆され、他方の外側面が
ポリエチレンフィルムで被覆されている請求項1記載の
複合シリコーンゴムシート。 - 【請求項8】 補強性シートが厚さ0.05mm以下のガラス
クロスであり、且つ保護シートを除いた製品全体の厚さ
が0.15mm以下である請求項1記載の熱伝導性複合シリコ
ーンゴムシート。
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