JPH09169542A - 透明結晶化ガラス - Google Patents
透明結晶化ガラスInfo
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- JPH09169542A JPH09169542A JP25798196A JP25798196A JPH09169542A JP H09169542 A JPH09169542 A JP H09169542A JP 25798196 A JP25798196 A JP 25798196A JP 25798196 A JP25798196 A JP 25798196A JP H09169542 A JPH09169542 A JP H09169542A
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Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱膨張が小さく、優れた短波長光透過性を有
する透明結晶化ガラスを提供する。 【解決手段】重量％で、Ｌｉ2Ｏ：３．０〜５．０、Ｎ
ａ2Ｏ：０〜３．０、Ｋ2Ｏ： ０〜３．０、Ｎａ2Ｏ＋Ｋ
2Ｏ：０．３〜３．０、ＭｇＯ：０〜２．０、ＺｎＯ：
０〜２．０、Ａｌ2Ｏ3：１８．０〜２４．０、Ｓｉ
Ｏ2：６３．５〜７２．０、ＳｎＯ2：１．０〜４．０、
ＴｉＯ2：０〜１、ＺｒＯ2：１．０〜４．０、ＴｉＯ2
＋ＺｒＯ2：３．５〜７．０、Ｐ2Ｏ5：０〜４．０の組
成を有し、β−石英固溶体結晶を主たる析出結晶とし、
２．３ｍｍ厚における分光透過率曲線の短波長側の吸収
端が３１３ｎｍ以下であることを特徴とする透明結晶化
ガラスとした。
する透明結晶化ガラスを提供する。 【解決手段】重量％で、Ｌｉ2Ｏ：３．０〜５．０、Ｎ
ａ2Ｏ：０〜３．０、Ｋ2Ｏ： ０〜３．０、Ｎａ2Ｏ＋Ｋ
2Ｏ：０．３〜３．０、ＭｇＯ：０〜２．０、ＺｎＯ：
０〜２．０、Ａｌ2Ｏ3：１８．０〜２４．０、Ｓｉ
Ｏ2：６３．５〜７２．０、ＳｎＯ2：１．０〜４．０、
ＴｉＯ2：０〜１、ＺｒＯ2：１．０〜４．０、ＴｉＯ2
＋ＺｒＯ2：３．５〜７．０、Ｐ2Ｏ5：０〜４．０の組
成を有し、β−石英固溶体結晶を主たる析出結晶とし、
２．３ｍｍ厚における分光透過率曲線の短波長側の吸収
端が３１３ｎｍ以下であることを特徴とする透明結晶化
ガラスとした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透明結晶化ガラス
に関し可視光短波長域から紫外域にかけての透過率が優
れた透明結晶化ガラスに関する。
に関し可視光短波長域から紫外域にかけての透過率が優
れた透明結晶化ガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、エレクトロニクス産業の発展に伴
い、ＩＣフォトマスクや精密光学装置用の部材として、
低膨張で寸法の温度変化が小さく、しかも光源に用いる
短波長光、例えば４３６ｎｍあるいは３６５ｎｍの透過
率が高い透明材料の要求が高まっている。シリカガラス
は、膨張率が低くフォトマスクや種種の光学用の材料と
して使用されているが、一般に高価であり、例えばフォ
トマスク基板の用途においては、クロムの付着性が悪く
電気伝導率が小さくて帯電しやすいという問題がある。
また、低膨張の透明材としては、Ｌｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−
ＳｉＯ2系低膨張透明結晶化ガラスが知られている。こ
れらの結晶化ガラスの中には、組成あるいは熱処理条件
によって、透明なものが存在するが、その多くのもの
は、ＴｉＯ2を結晶化促進剤として１．５〜５％程度含
んだβ−石英固溶体結晶を主結晶とする結晶化ガラスで
ある。この結晶化ガラスは、優れた透明性と小さな熱膨
張係数に基づく優れた耐熱衝撃性により、耐熱食器、調
理器具、反射望遠鏡、光学機器の反射鏡のミラーブラン
クスなどに用いられている。しかしながら、この種の結
晶化ガラスは、ＴｉＯ2に起因する吸収のため、短波長
側の透過性が悪い。
い、ＩＣフォトマスクや精密光学装置用の部材として、
低膨張で寸法の温度変化が小さく、しかも光源に用いる
短波長光、例えば４３６ｎｍあるいは３６５ｎｍの透過
率が高い透明材料の要求が高まっている。シリカガラス
は、膨張率が低くフォトマスクや種種の光学用の材料と
して使用されているが、一般に高価であり、例えばフォ
トマスク基板の用途においては、クロムの付着性が悪く
電気伝導率が小さくて帯電しやすいという問題がある。
また、低膨張の透明材としては、Ｌｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−
ＳｉＯ2系低膨張透明結晶化ガラスが知られている。こ
れらの結晶化ガラスの中には、組成あるいは熱処理条件
によって、透明なものが存在するが、その多くのもの
は、ＴｉＯ2を結晶化促進剤として１．５〜５％程度含
んだβ−石英固溶体結晶を主結晶とする結晶化ガラスで
ある。この結晶化ガラスは、優れた透明性と小さな熱膨
張係数に基づく優れた耐熱衝撃性により、耐熱食器、調
理器具、反射望遠鏡、光学機器の反射鏡のミラーブラン
クスなどに用いられている。しかしながら、この種の結
晶化ガラスは、ＴｉＯ2に起因する吸収のため、短波長
側の透過性が悪い。
【０００３】一方、ＴｉＯ２を含まないＬｉ2Ｏ−Ａｌ2
Ｏ3−ＳｉＯ2系低膨張透明結晶化ガラスとしては、結晶
化促進剤としてＺｒＯ2のみを含むもの（例えば、特公
昭３７−１５３２０号、特公昭３９−７９１４号公
報）、あるいはＳｎＯ2及びＺｒＯ2を含むもの（例え
ば、特公昭４２−９６００号、特公昭４７−４１９８号
公報）が知られている。しかしながら、これらの結晶化
ガラスは、ＺｒＯ2のみを結晶化促進剤として含む場合
には溶解が困難であり、ＺｒＯ2及びＳｎＯ2を結晶化促
進剤として含む場合には、半透明であるか、表面に光沢
を有する程度で光の透過性が悪く、上記短波長域で透過
率のよい結晶化ガラスとはならなかった。
Ｏ3−ＳｉＯ2系低膨張透明結晶化ガラスとしては、結晶
化促進剤としてＺｒＯ2のみを含むもの（例えば、特公
昭３７−１５３２０号、特公昭３９−７９１４号公
報）、あるいはＳｎＯ2及びＺｒＯ2を含むもの（例え
ば、特公昭４２−９６００号、特公昭４７−４１９８号
公報）が知られている。しかしながら、これらの結晶化
ガラスは、ＺｒＯ2のみを結晶化促進剤として含む場合
には溶解が困難であり、ＺｒＯ2及びＳｎＯ2を結晶化促
進剤として含む場合には、半透明であるか、表面に光沢
を有する程度で光の透過性が悪く、上記短波長域で透過
率のよい結晶化ガラスとはならなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は、かかる事
情に鑑み、熱膨張率が小さく、また、優れた短波長光透
過性を有する低膨張透明結晶化ガラスを提供することを
目的とする。
情に鑑み、熱膨張率が小さく、また、優れた短波長光透
過性を有する低膨張透明結晶化ガラスを提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、重量％で Ｌｉ2Ｏ ３．０〜５．０ Ｎａ2Ｏ ０〜３．０ Ｋ2Ｏ ０〜３．０ Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏ ０．３〜３．０ ＭｇＯ ０〜２．０ ＺｎＯ ０〜２．０ Ａｌ2Ｏ3 １８．０〜２４．０ ＳｉＯ2 ６３．５〜７２．０ ＳｎＯ2 １．０〜４．０ ＴｉＯ2 ０〜１ ＺｒＯ2 １．０〜４．０ ＴｉＯ2＋ＺｒＯ2 ３．５〜７．０ Ｐ2Ｏ5 ０〜４．０ の組成を有し、β−石英固溶体結晶を主たる結晶相と
し、２．３ｍｍ厚における分光透過率曲線の短波長側の
吸収端が３１３ｎｍ以下であることを特徴とする透明結
晶化ガラスである。
し、２．３ｍｍ厚における分光透過率曲線の短波長側の
吸収端が３１３ｎｍ以下であることを特徴とする透明結
晶化ガラスである。
【０００６】この結晶化ガラスは、上記成分を有する原
料を溶融してガラス体を得た後に、このガラス体を７０
０〜９００℃の温度域で０．５〜１０時間保持すること
等により得ることができる。この熱処理により作成され
た結晶化ガラスは、通常、粒径１００ｎｍ以下の微細な
結晶粒子をガラス層のマトリックス内に均一に分散させ
た構造となっている。熱処理の加熱スケジュールは、１
段階でも目的とする結晶化物が得られるが、多段階熱処
理（例えば２段階あるいは３段階）を行った方が、結晶
粒径が小さくなり散乱による透過率低下が低減してより
透過率の高い結晶化物が得られるので好ましい。本発明
における結晶化促進剤であるＳｎＯ2およびＺｒＯ2の作
用は明確ではない。しかしながら、本発明において限定
している程度の量のＺｒＯ2、ＳｎＯ2をそれぞれ単独で
加えたのみでは、いずれも目的とする微細な結晶が均一
に析出した透明結晶化ガラスが得られなかった。すなわ
ち、ＺｒＯ2のみを加えた場合には結晶化が非常に起こ
りにくく、比較的高温で長時間熱処理して初めて結晶化
が起こる状態であった。得られた結晶化ガラスも粗大な
結晶粒が不均一に析出した透明性の悪い、著しい場合に
は、全く不透明な結晶化物であった。また、ＳｎＯ2の
みを加えた場合には、加熱処理の初期段階でＳｎＯ2の
微細な結晶が生じ、ガラスは白濁状態となった。さらに
加熱処理を継続するとこの結晶が発達して、不透明とな
った。この不透明な結晶化ガラスは、さらに高温で加熱
しても不透明化が進行するだけで透明な結晶化物は得ら
れなかった。本発明者らは、結晶化促進剤としてＴｉＯ
2の代わりに結晶化促進剤としてＳｎＯ2およびＺｒＯ2
を採用することにより、これら問題点を解決したばかり
ではなく、さらにその余の成分も上記所定範囲とするこ
とにより、熱膨張率が低く、短波長側の吸収端が３１３
ｎｍ以下である程度にまで、透明性の高い低膨張透明結
晶化ガラスを得ることに成功した。
料を溶融してガラス体を得た後に、このガラス体を７０
０〜９００℃の温度域で０．５〜１０時間保持すること
等により得ることができる。この熱処理により作成され
た結晶化ガラスは、通常、粒径１００ｎｍ以下の微細な
結晶粒子をガラス層のマトリックス内に均一に分散させ
た構造となっている。熱処理の加熱スケジュールは、１
段階でも目的とする結晶化物が得られるが、多段階熱処
理（例えば２段階あるいは３段階）を行った方が、結晶
粒径が小さくなり散乱による透過率低下が低減してより
透過率の高い結晶化物が得られるので好ましい。本発明
における結晶化促進剤であるＳｎＯ2およびＺｒＯ2の作
用は明確ではない。しかしながら、本発明において限定
している程度の量のＺｒＯ2、ＳｎＯ2をそれぞれ単独で
加えたのみでは、いずれも目的とする微細な結晶が均一
に析出した透明結晶化ガラスが得られなかった。すなわ
ち、ＺｒＯ2のみを加えた場合には結晶化が非常に起こ
りにくく、比較的高温で長時間熱処理して初めて結晶化
が起こる状態であった。得られた結晶化ガラスも粗大な
結晶粒が不均一に析出した透明性の悪い、著しい場合に
は、全く不透明な結晶化物であった。また、ＳｎＯ2の
みを加えた場合には、加熱処理の初期段階でＳｎＯ2の
微細な結晶が生じ、ガラスは白濁状態となった。さらに
加熱処理を継続するとこの結晶が発達して、不透明とな
った。この不透明な結晶化ガラスは、さらに高温で加熱
しても不透明化が進行するだけで透明な結晶化物は得ら
れなかった。本発明者らは、結晶化促進剤としてＴｉＯ
2の代わりに結晶化促進剤としてＳｎＯ2およびＺｒＯ2
を採用することにより、これら問題点を解決したばかり
ではなく、さらにその余の成分も上記所定範囲とするこ
とにより、熱膨張率が低く、短波長側の吸収端が３１３
ｎｍ以下である程度にまで、透明性の高い低膨張透明結
晶化ガラスを得ることに成功した。
【０００７】本発明における組成限定理由は以下のとお
りである。 ＳｉＯ2：７５ｗｔ％を越えると難溶となり結晶化コン
トロールが困難となって目的とする結晶化物が得られ
ず、６０ｗｔ％未満では結晶化ガラスの膨張係数が大き
くなる。また、透明性の確保のためには、６３．５〜７
２．０ｗｔ％とする必要がある。 Ａｌ2Ｏ3：３０ｗｔ％を越えると難溶となり膨張係数が
大きくなり、１５ｗｔ％未満では結晶化物の透明性が悪
くなる。また、透明性の確保のためには、１８．０〜２
４．０ｗｔ％とする必要がある。 Ｌｉ2Ｏ：６ｗｔ％を越えると熱処理時に急激な結晶化
が起こり目的とする結晶化ガラスは得られず、２．５ｗ
ｔ％未満では難溶となる。また、透明性の確保のために
は３．０〜５．０ｗｔ％とする必要がある。 ＳｎＯ2：４ｗｔ％を越えると結晶化促進の効果は変わ
らないものの未溶解が生じ、１ｗｔ％未満では難溶にな
るとともに結晶化促進の効果が十分に得られず目的とす
る結晶化ガラスが得られない。 ＺｒＯ2：４ｗｔ％を越えると未溶解が生じ、１ｗｔ％
未満では難溶になるとともに結晶化促進の効果が十分に
得られず結晶粒径が大きくなり透明性が悪くなる。 Ｓ
ｎＯ2＋ＺｒＯ2：７ｗｔ％を越えると未溶解が生じ、
３．５％未満では十分な結晶化促進の効果が得られず目
的とする結晶化ガラスが得られない。必須成分ではない
が、次の成分を添加することができる。 ＴｉＯ2：結晶を微細化させることにより透明性を改善
して光の透過率を上昇させることができる。１ｗｔ％を
越えて加えるとその紫外線吸収性のために紫外域の光の
透過率を減少させる。 Ｎａ2ＯおよびＫ2Ｏ：溶融性を向上させるとともに結晶
化度を減少させ膨張係数を調整することができる。各々
４ｗｔ％を越えて加えると透明性を悪くする。透明性の
良い結晶化ガラスを得るためには、各々３．０ｗｔ％以
下とする必要がある。また、Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏが３ｗｔ％
よりも多い場合には、白濁が増加して透明性が悪くなり
やすく、０．３ｗｔ％より少ないとガラスの溶融が困難
になりやすい。 ＭｇＯ：溶融性を向上させるとともに少量の添加で膨張
係数を大きく増加させる。そのため、過度に加えると膨
張係数が増加したり、結晶化時にクラックが発生したり
するので、２ｗｔ％以下とする必要がある。β−スポジ
ュメン固溶体結晶を主結晶とする本発明に係る結晶化ガ
ラスにおいては、添加しないことが好ましい。 ＺｎＯ：溶融性を向上させるのに有効であるばかりでな
く、結晶化温度を低下させ、結晶粒径を微小化し、透明
性をも向上させる。しかし、過度に添加するとガラス除
冷時に失当を起こしやすく。熱コントロールが困難とな
りやすいので、２ｗｔ％以下とすることが好ましい。特
に、β−スポジュメン固溶体結晶を主結晶とする本発明
に係る結晶化ガラスにおいては、２．０ｗｔ％以下とす
ることが好ましい。 Ｐ2Ｏ5：少量ではＺｒＯ2の溶融に有効であるが、４ｗ
ｔ％を越えると未溶解物を生じる。
りである。 ＳｉＯ2：７５ｗｔ％を越えると難溶となり結晶化コン
トロールが困難となって目的とする結晶化物が得られ
ず、６０ｗｔ％未満では結晶化ガラスの膨張係数が大き
くなる。また、透明性の確保のためには、６３．５〜７
２．０ｗｔ％とする必要がある。 Ａｌ2Ｏ3：３０ｗｔ％を越えると難溶となり膨張係数が
大きくなり、１５ｗｔ％未満では結晶化物の透明性が悪
くなる。また、透明性の確保のためには、１８．０〜２
４．０ｗｔ％とする必要がある。 Ｌｉ2Ｏ：６ｗｔ％を越えると熱処理時に急激な結晶化
が起こり目的とする結晶化ガラスは得られず、２．５ｗ
ｔ％未満では難溶となる。また、透明性の確保のために
は３．０〜５．０ｗｔ％とする必要がある。 ＳｎＯ2：４ｗｔ％を越えると結晶化促進の効果は変わ
らないものの未溶解が生じ、１ｗｔ％未満では難溶にな
るとともに結晶化促進の効果が十分に得られず目的とす
る結晶化ガラスが得られない。 ＺｒＯ2：４ｗｔ％を越えると未溶解が生じ、１ｗｔ％
未満では難溶になるとともに結晶化促進の効果が十分に
得られず結晶粒径が大きくなり透明性が悪くなる。 Ｓ
ｎＯ2＋ＺｒＯ2：７ｗｔ％を越えると未溶解が生じ、
３．５％未満では十分な結晶化促進の効果が得られず目
的とする結晶化ガラスが得られない。必須成分ではない
が、次の成分を添加することができる。 ＴｉＯ2：結晶を微細化させることにより透明性を改善
して光の透過率を上昇させることができる。１ｗｔ％を
越えて加えるとその紫外線吸収性のために紫外域の光の
透過率を減少させる。 Ｎａ2ＯおよびＫ2Ｏ：溶融性を向上させるとともに結晶
化度を減少させ膨張係数を調整することができる。各々
４ｗｔ％を越えて加えると透明性を悪くする。透明性の
良い結晶化ガラスを得るためには、各々３．０ｗｔ％以
下とする必要がある。また、Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏが３ｗｔ％
よりも多い場合には、白濁が増加して透明性が悪くなり
やすく、０．３ｗｔ％より少ないとガラスの溶融が困難
になりやすい。 ＭｇＯ：溶融性を向上させるとともに少量の添加で膨張
係数を大きく増加させる。そのため、過度に加えると膨
張係数が増加したり、結晶化時にクラックが発生したり
するので、２ｗｔ％以下とする必要がある。β−スポジ
ュメン固溶体結晶を主結晶とする本発明に係る結晶化ガ
ラスにおいては、添加しないことが好ましい。 ＺｎＯ：溶融性を向上させるのに有効であるばかりでな
く、結晶化温度を低下させ、結晶粒径を微小化し、透明
性をも向上させる。しかし、過度に添加するとガラス除
冷時に失当を起こしやすく。熱コントロールが困難とな
りやすいので、２ｗｔ％以下とすることが好ましい。特
に、β−スポジュメン固溶体結晶を主結晶とする本発明
に係る結晶化ガラスにおいては、２．０ｗｔ％以下とす
ることが好ましい。 Ｐ2Ｏ5：少量ではＺｒＯ2の溶融に有効であるが、４ｗ
ｔ％を越えると未溶解物を生じる。
【０００８】なお、この透明結晶化ガラスにＦｅ2Ｏ3、
ＭｎＯ2、Ｖ2Ｏ5、ＮｉＯおよびＣｏＯからなる群より
選択した少なくとも１種の着色剤を含ませることによ
り、着色透明結晶化ガラスとすることができる。着色剤
は、０．０１〜１．０ｗｔ％添加することが好ましい。
０．０１ｗｔ％より少ないと色が薄すぎ、１．０ｗｔ％
よりも多いと色が濃すぎる。また、任意の最終製品の性
質を損なわない範囲で、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｅＯ2、Ｎａ2Ｏ3
などの着色剤およびＡｓ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ3などの清澄剤を
添加することもできる。
ＭｎＯ2、Ｖ2Ｏ5、ＮｉＯおよびＣｏＯからなる群より
選択した少なくとも１種の着色剤を含ませることによ
り、着色透明結晶化ガラスとすることができる。着色剤
は、０．０１〜１．０ｗｔ％添加することが好ましい。
０．０１ｗｔ％より少ないと色が薄すぎ、１．０ｗｔ％
よりも多いと色が濃すぎる。また、任意の最終製品の性
質を損なわない範囲で、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｅＯ2、Ｎａ2Ｏ3
などの着色剤およびＡｓ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ3などの清澄剤を
添加することもできる。
【０００９】
【実施例】表１に示した組成となるように調合した原料
を白金るつぼを用いて１４５０〜１５５０℃で溶融し、
除冷後のガラスを表１に示した条件で熱処理した。得ら
れた透明結晶化ガラスの２．３ｍｍ厚における分光透過
率曲線の短波長側の吸収端、λ（Ｔ）＝０（透過率が０
となる波長）、５０〜１００℃における膨張係数を表１
に併せて示す。各実施例のλ（Ｔ）＝０となる波長は、
３１３ｎｍ以下であった。また、実施例１の結晶化ガラ
スと比較例１の結晶化ガラスの分光透過率を測定した。
結果を図１に示す。図１より、実施例１の結晶化ガラス
は、比較例に示したＴｉＯ2含有結晶化ガラスよりも吸
収端が約６０〜７０ｎｍ短波長側にあり、紫外線透過性
に優れていることがわかる。
を白金るつぼを用いて１４５０〜１５５０℃で溶融し、
除冷後のガラスを表１に示した条件で熱処理した。得ら
れた透明結晶化ガラスの２．３ｍｍ厚における分光透過
率曲線の短波長側の吸収端、λ（Ｔ）＝０（透過率が０
となる波長）、５０〜１００℃における膨張係数を表１
に併せて示す。各実施例のλ（Ｔ）＝０となる波長は、
３１３ｎｍ以下であった。また、実施例１の結晶化ガラ
スと比較例１の結晶化ガラスの分光透過率を測定した。
結果を図１に示す。図１より、実施例１の結晶化ガラス
は、比較例に示したＴｉＯ2含有結晶化ガラスよりも吸
収端が約６０〜７０ｎｍ短波長側にあり、紫外線透過性
に優れていることがわかる。
【００１０】
【表１】
【００１１】
【発明の効果】本発明に係る透明結晶化ガラスは、低膨
張と優れた紫外域周辺の優れた短波長光透過性を有し、
ＩＣフォトマスク、精密光学材料などとして好適に使用
できる。
張と優れた紫外域周辺の優れた短波長光透過性を有し、
ＩＣフォトマスク、精密光学材料などとして好適に使用
できる。
【図１】実施例１および比較例１の分光透過率を示す図
である。
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中垣 茂樹 大阪府大阪市東区道修町４丁目８番地 日 本板硝子株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】重量％で Ｌｉ2Ｏ ３．０〜５．０ Ｎａ2Ｏ ０〜３．０ Ｋ2Ｏ ０〜３．０ Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏ ０．３〜３．０ ＭｇＯ ０〜２．０ ＺｎＯ ０〜２．０ Ａｌ2Ｏ3 １８．０〜２４．０ ＳｉＯ2 ６３．５〜７２．０ ＳｎＯ2 １．０〜４．０ ＴｉＯ2 ０〜１ ＺｒＯ2 １．０〜４．０ ＴｉＯ2＋ＺｒＯ2 ３．５〜７．０ Ｐ2Ｏ5 ０〜４．０ の組成を有し、β−石英固溶体結晶を主たる結晶相と
し、２．３ｍｍ厚における分光透過率曲線の短波長側の
吸収端が３１３ｎｍ以下であることを特徴とする透明結
晶化ガラス。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP25798196A JPH09169542A (ja) | 1987-01-19 | 1996-09-30 | 透明結晶化ガラス |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP970187 | 1987-01-19 | ||
| JP62-9701 | 1987-01-19 | ||
| JP25798196A JPH09169542A (ja) | 1987-01-19 | 1996-09-30 | 透明結晶化ガラス |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63008844A Division JP2668075B2 (ja) | 1987-01-19 | 1988-01-19 | 透明結晶化ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09169542A true JPH09169542A (ja) | 1997-06-30 |
Family
ID=26344469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25798196A Pending JPH09169542A (ja) | 1987-01-19 | 1996-09-30 | 透明結晶化ガラス |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09169542A (ja) |
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