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JPH084873A - 真空機器用ボールねじ - Google Patents

真空機器用ボールねじ

Info

Publication number
JPH084873A
JPH084873A JP6142702A JP14270294A JPH084873A JP H084873 A JPH084873 A JP H084873A JP 6142702 A JP6142702 A JP 6142702A JP 14270294 A JP14270294 A JP 14270294A JP H084873 A JPH084873 A JP H084873A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ball
balls
load
ptfe
ball screw
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6142702A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiromitsu Kondo
博光 近藤
Atsumasa Nakamura
篤正 中村
Hiroshi Yamada
博 山田
Masahiro Nobutomo
雅弘 信朝
Michiyoshi Ishimaru
路芳 石丸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
Priority to JP6142702A priority Critical patent/JPH084873A/ja
Priority to DE19522934A priority patent/DE19522934A1/de
Publication of JPH084873A publication Critical patent/JPH084873A/ja
Priority to US08/794,487 priority patent/US5782135A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/37—Loose spacing bodies
    • F16C33/3713—Loose spacing bodies with other rolling elements serving as spacing bodies, e.g. the spacing bodies are in rolling contact with the load carrying rolling elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/66—Special parts or details in view of lubrication
    • F16C33/6696—Special parts or details in view of lubrication with solids as lubricant, e.g. dry coatings, powder
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H25/22—Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members
    • F16H25/2204—Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members with balls
    • F16H25/2233—Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members with balls with cages or means to hold the balls in position
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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    • Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
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    • Y10T74/18744—Lubrication

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 良好な耐久性を有すると共に、耐食性雰囲気
下、大気・真空両雰囲気下での使用にも耐え得るボール
ねじを提供する。 【構成】 ねじ軸１の内側軌道面１ａとボールナット２
の外側軌道面２ａとの間に複数のボール３が配されてい
る。複数のボール３のうち、例えば３分の２はボールね
じ荷重を負荷する負荷ボール３１、残りの３分の１はボ
ールねじ荷重を負荷しない非負荷ボール３２であり、負
荷ボール３１と非負荷ボール３２とが２対１の割合で交
互配置されている。負荷ボール３１は軸受鋼等の金属
材、非負荷ボール３２はＰＴＦＥ系の高分子材で形成さ
れたものである。負荷ボール３１の表面には、結晶性の
ＰＴＦＥからなる潤滑被膜３１ａが形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造設備におけ
るエッチング処理装置、宇宙機器等に使用されるボール
ねじに関する。
【０００２】
【従来の技術】ボールねじは、ねじ軸とボールナットと
の間に形成される螺旋状のボール循環路に複数のボール
を配し、ボールの転動循環を介してねじ軸とボールナッ
トとの間で動力伝達を行なうものであるが、ボールは回
転方向と軸方向の合成力を受けて滑りを伴いながら転動
するため、ボールとボール循環路との接触部では転がり
摩擦と滑り摩擦とが同時に生じる。また、ボール同士が
衝突すると隣接ボール同士の回転方向が逆になるため、
ボール間の滑り相対速度がボール１個の時の２倍となっ
て大きな摩擦力が発生する。したがって、ボールねじに
おいては、特に潤滑が重要であり、潤滑の良否がその耐
久性に大きな影響を与える。
【０００３】一方、半導体のエッチング処理工程やＣＶ
Ｄ（化学蒸着）被膜処理工程では、シラン系、フッ素
系、塩素系等の反応性ガスを使用するため、処理装置に
組込まれたボールねじがこれら腐食性を有する反応性ガ
スと接触する場合がある。例えば、エッチング処理装置
においては、ボールねじは処理室に使用されることは殆
どなく主にウェーハカセット室に使用されるので、反応
性ガスと直接接触することはないが、室間でウェーハの
やりとりを行なう際に反応性ガスがカセット室に流入
し、ボールねじに接触する場合がある。このような腐食
性環境下で使用されるボールねじには、耐食性が同時に
要求される。
【０００４】また、半導体製造設備では、真空機器をイ
ンライン形式で使用するのが主流であり、真空機器間で
ワークのやりとりを行なう搬送装置が大気・真空両雰囲
気中を交互移動するため、このような搬送装置に組込ま
れるボールねじには、大気・真空両雰囲気下での運転に
耐え得る特性も要求される。
【０００５】さらに、宇宙機器に使用されるボールねじ
には、非常に高い信頼性が要求される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、真空雰囲気
下で運転されるボールねじの潤滑には、通常、二硫化モ
リブデン等の層状物質、金、銀、鉛等の軟質金属、ＰＴ
ＦＥ、ポリイミド等の高分子材などの固体潤滑剤を被膜
処理して用いる場合が多い。
【０００７】これらの中で層状物質や軟質金属は反応性
ガスに侵され易いので、上記のような腐食性雰囲気下で
の使用には適さない。また、銀は大気中での摩耗劣化が
激しく、二硫化モリブデンは大気中での吸湿による劣化
が激しいので、真空・大気両雰囲気下での使用には耐え
ない。これに対し、ＰＴＦＥは化学的に安定した物質で
反応性ガスにも比較的侵されにくく、しかも、真空・大
気両雰囲気下での耐久性にも優れている。
【０００８】ところが、ＰＴＦＥの潤滑被膜が剥離・転
着を繰り返す際に被膜厚さが変化し、薄くなった被膜部
分では反応性ガスが浸透して母材を侵したり、あるい
は、被膜厚さの減少により潤滑機能の低下をきたす可能
性がある。したがって、ボールねじの転がり摩擦又は滑
り摩擦を生ずる表面にＰＴＦＥ被膜を形成しただけで
は、良好な耐久性、耐食性を確保する上で充分でない場
合がある。
【０００９】そこで、本発明の目的は、良好な耐久性を
有すると共に、耐食性雰囲気下、大気・真空両雰囲気下
での使用にも耐え得るボールねじを提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の真空機器用ボー
ルねじは、外周面に螺旋状の内側軌道面を形成したねじ
軸と、内周面に螺旋状の外側軌道面を形成したボールナ
ットと、内・外側軌道面間に形成される螺旋状の空間に
配された複数のボールと、前記螺旋状の空間を接続して
一連のボール循環路を形成する循環部材とを有するボー
ルねじにおいて、複数のボールのうち一部のボールを荷
重を負荷しない非負荷ボールとし、かつ、この非負荷ボ
ールを自己潤滑性を有するＰＴＦＥ系の高分子材で形成
すると共に、荷重を負荷する負荷ボールの表面およびボ
ール循環路を形成する各部材の表面のうち少なくとも負
荷ボールの表面に結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜を
形成したものである。
【００１１】また、本発明の真空機器用ボールねじは、
上記構成において、負荷ボールをセラミック材で形成し
たものである。
【００１２】
【作用】結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜は、負荷ボ
ールとボール循環路との接触部において良好な潤滑作用
をなすと同時に、反応性ガスなどから母材表面を保護す
る作用をなす。また、ＰＴＦＥからなる潤滑被膜は、大
気・真空両雰囲気下で良好な耐久性を示す。しかも、潤
滑被膜が摩耗等によって減少をきたすような場合でも、
ＰＴＦＥ系の高分子材で形成された非負荷ボールから供
給されるＰＴＦＥの潤滑粉の転着が期待できるので、良
好な潤滑性、耐食性が長期にわたって維持される。
【００１３】負荷ボールをセラミック材で形成すること
により、耐食性がより一層向上する。また、潤滑被膜が
減少をきたした場合でも、負荷ボールとねじ軸およびボ
ールナットとがセラミックと金属の接触になるので凝着
現象が生じず、回転不能に陥るおそれが少ない。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従って説明す
る。
【００１５】図１に示す実施例は、本発明をガイドプレ
ート式のボールねじに適用したものである。このボール
ねじは、外周面に螺旋状の内側軌道面１ａを形成したね
じ軸１と、内周面に螺旋状の外側軌道面２ａを形成した
ボールナット２と、内・外側軌道面１ａ、２ａ間に形成
される螺旋状の空間に配された複数のボール３と、螺旋
状の空間を接続して一連のボール循環路を形成する循環
部材としてのデフレクタ５およびガイドプレート６とで
構成される。ねじ軸１とボールナット２間を転動してい
るボール３がボールナット２の内周に設けられたデフレ
クタ５によってすくい上げられ、ボールナット２に取り
付けたガイドプレート６の循環溝６ａを通って再びねじ
軸１とボールナット２との間の空間に戻って循環する。
【００１６】図２に拡大して示すように、複数のボール
３のうち、例えば３分の２はボールねじ荷重を負荷する
負荷ボール３１、残りの３分の１はボールねじ荷重を負
荷しない非負荷ボール３２であり、負荷ボール３１と非
負荷ボール３２とが２対１の割合で交互配置されてい
る。負荷ボール３１は軸受鋼等の金属材、非負荷ボール
３２はＰＴＦＥ系の高分子材（ポリイミドベースにＰＴ
ＦＥを添加した高分子材を含む）で形成されたものであ
る。負荷ボール３１の表面には、結晶性のＰＴＦＥから
なる潤滑被膜３１ａが形成されている。ここで、「結晶
性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜」とは、いわゆるスパッ
タリング被膜のようにＰＴＦＥの結晶構造（分子構造）
が細分化されていないものをいい、例えば、ＰＴＦＥの
粉末を有機溶媒に分散させてなる処理液を被処理物にス
プレーすることにより、あるいは、被処理物を処理液中
に浸漬することにより形成することができる。
【００１７】上記のような潤滑被膜３１ａは、ＰＴＦＥ
本来の優れた潤滑性能を発揮し、ボールねじの耐久性を
高める。また、潤滑被膜３１ａが摩耗等によって減少を
きたすような場合でも、非負荷ボール３２から供給され
るＰＴＦＥ潤滑粉（ボール循環路を形成する部材の表
面、すなわち、ねじ軸１の内側軌道面１ａ、ボールナッ
ト２の外側軌道面２ａ、デフレクタ５の内周面、ガイド
プレート６の循環溝６ａの表面との接触によって非負荷
ボール３２の表面から削り取られて生成される。）の転
着によって膜厚の減少分が補われるので、良好な潤滑性
能が長期にわたって維持される。
【００１８】また、このボールねじを腐食性雰囲気下で
使用する場合には、負荷ボール３１に加え、ねじ軸１の
内側軌道面１ａおよびボールナット２の外側軌道面２
ａ、さらに必要であればデフレクタ５の内周面およびガ
イドプレート６の循環溝６ａの表面に結晶性のＰＴＦＥ
からなる潤滑被膜を形成すると良い。これら潤滑被膜は
潤滑に寄与する他、ボール循環路の表面を腐食性雰囲気
から保護し、ボールねじに良好な耐食性を付与する。し
かも、非負荷ボール３２からＰＴＦＥの潤滑粉が供給さ
れることにより、良好な耐食性が長期にわたって維持さ
れる。これら部材を耐食性材料で形成する場合に比べ、
格段のコスト低減になる。
【００１９】この実施例では、非負荷ボール３２を負荷
ボール３１よりも僅かに小径にしてある。これは、ＰＴ
ＦＥ潤滑粉の供給量が最適量になるよう配慮したもので
ある。すなわち、非負荷ボール３２から供給されるＰＴ
ＦＥ潤滑粉は、良好な潤滑性、耐食性の維持に必要な量
であれば良く、過量の潤滑粉は発塵を生じさせる可能性
があるからである。この構成は、非負荷ボール３２とボ
ール循環路の表面との摩擦力を低減することにより、過
量の潤滑粉が生成されるのを防止し、これにより、ボー
ルねじから排出される発塵量を極力抑制し、もって低発
塵性を確保するためのものである。半導体製造設備のよ
うな清浄度の高い環境下で使用する場合に有利である。
また、トルク低減にもなる。
【００２０】低発塵性よりも潤滑性が優先される場合に
は、図３に示すように、非負荷ボール３２を負荷ボール
と同径あるいは僅かに大径にすると良い。非負荷ボール
３２とボール循環路の表面との摩擦力が高められること
により、非負荷ボール３２から供給されるＰＴＦＥ潤滑
粉の供給量が増し、潤滑被膜の減少分がより効果的に補
われる。
【００２１】図４に示す実施例は、非負荷ボール３２の
表面に結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜３２ａを形成
したものである。潤滑剤の供給源としての非負荷ボール
３２に予めＰＴＦＥの潤滑被膜３２ａを形成しておくこ
とにより、ＰＴＦＥ潤滑粉の生成、転着がよりスムーズ
に誘起されので、特に、初期運転時に有利である。
【００２２】図５に示す実施例は、負荷ボール３１をセ
ラミック材で形成したものである。耐食性がより一層向
上する。また、仮に潤滑被膜３１ａおよび転着被膜が減
少し、負荷ボール３１とねじ軸１およびボールナット２
との直接接触が生じるような場合でも、セラミックと金
属の接触になるので、凝着による回転不能に陥るおそれ
がなく、信頼性がより一層向上する。
【００２３】尚、負荷ボール３１と非負荷ボールの個数
割合は２：１程度が望ましいが、これに限定されず、使
用条件等を考慮して適宜設定すれば良い。また、以上の
実施例は、本発明をガイドプレート式のボールねじに適
用したものであるが、本発明はリターンチューブ式、循
環コマ式のボールねじ等にも同様に適用することがで
き、その場合も同様の作用効果を奏する。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、少なくとも負荷ボ
ールの表面に形成された結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑
被膜は、負荷ボールとボール循環路との接触部において
良好な潤滑作用をなすと同時に、反応性ガスなどから母
材表面を保護する作用をなす。また、ＰＴＦＥからなる
潤滑被膜は、大気・真空両雰囲気下で良好な耐久性を示
す。しかも、潤滑被膜が摩耗等によって減少をきたすよ
うな場合でも、ＰＴＦＥ系の高分子材で形成された非負
荷ボールから供給されるＰＴＦＥの潤滑粉の転着が期待
できるので、良好な潤滑性、耐食性が長期にわたって維
持される。
【００２５】負荷ボールをセラミック材で形成すること
により、耐食性がより一層向上する。また、潤滑被膜が
減少をきたした場合でも、負荷ボールとねじ軸およびボ
ールナットとがセラミックと金属の接触になるので凝着
現象が生じず、回転不能に陥るおそれが少ない。
【００２６】したがって、本発明によれば、良好な耐久
性を有すると共に、耐食性雰囲気下、大気・真空両雰囲
気下での使用にも耐え得るボールねじを提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す斜視図（図ａ）、断面図
（図ｂ）である。
【図２】ボール周辺部の拡大断面図である。
【図３】本発明の他の実施例に係わるボール周辺部の拡
大断面図である。
【図４】本発明の他の実施例に係わるボール周辺部の拡
大断面図である。
【図５】本発明の他の実施例に係わるボール周辺部の拡
大断面図である。
【符号の説明】
１ ねじ軸 １ａ 内側軌道面 ２ ボールナット ２ａ 外側軌道面 ３ ボール ３１ 負荷ボール ３１ａ 潤滑被膜 ３２ 非負荷ボール ３２ａ 潤滑被膜

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 外周面に螺旋状の内側軌道面を形成した
    ねじ軸と、内周面に螺旋状の外側軌道面を形成したボー
    ルナットと、前記内・外側軌道面間に形成される螺旋状
    の空間に配された複数のボールと、前記螺旋状の空間を
    接続して一連のボール循環路を形成する循環部材とを有
    するボールねじにおいて、 前記複数のボールのうち一部のボールを荷重を負荷しな
    い非負荷ボールとし、かつ、この非負荷ボールを自己潤
    滑性を有するＰＴＦＥ系の高分子材で形成すると共に、
    荷重を負荷する負荷ボールの表面および前記ボール循環
    路を形成する各部材の表面のうち少なくとも前記負荷ボ
    ールの表面に結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜を形成
    したことを特徴とする真空機器用ボールねじ。
  2. 【請求項２】 前記負荷ボールをセラミック材で形成し
    たことを特徴とする請求項１の真空機器用ボールねじ。
JP6142702A 1994-06-24 1994-06-24 真空機器用ボールねじ Pending JPH084873A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6142702A JPH084873A (ja) 1994-06-24 1994-06-24 真空機器用ボールねじ
DE19522934A DE19522934A1 (de) 1994-06-24 1995-06-23 Kugelumlaufspindel
US08/794,487 US5782135A (en) 1994-06-24 1997-02-04 Ball screw for vacuum apparatus

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6142702A JPH084873A (ja) 1994-06-24 1994-06-24 真空機器用ボールねじ

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JPH084873A true JPH084873A (ja) 1996-01-12

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JP6142702A Pending JPH084873A (ja) 1994-06-24 1994-06-24 真空機器用ボールねじ

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JP (1) JPH084873A (ja)
DE (1) DE19522934A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017109624A (ja) * 2015-12-17 2017-06-22 日立オートモティブシステムズ株式会社 パワーステアリング装置

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10267103A (ja) * 1997-03-27 1998-10-09 Toshiba Corp ボールねじ機構
US6216821B1 (en) * 1997-07-24 2001-04-17 Nsk Ltd. Lubricating apparatus for ball screw
JPH11166608A (ja) * 1997-12-02 1999-06-22 Ntn Corp ボールねじ
JP3831507B2 (ja) * 1998-01-14 2006-10-11 株式会社ジェイテクト 軸受部材
JP2001173667A (ja) * 1999-12-20 2001-06-26 Koyo Seiko Co Ltd 転動装置
FR2809790B1 (fr) * 2000-05-30 2002-09-27 Ratier Figeac Soc Vis a billes avec intercalaires entre les billes porteuses
US6419397B1 (en) 2000-12-01 2002-07-16 The Torrington Company Housed steering column
DE10131203A1 (de) * 2001-06-28 2003-01-09 Bosch Gmbh Robert Automatische Auswuchtvorrichtung für rotierende Systeme
JP3932885B2 (ja) * 2001-07-17 2007-06-20 日本精工株式会社 ボールねじ
US6499374B1 (en) * 2001-07-30 2002-12-31 Tsubaki Nakashima Co., Ltd. Ball screw with alternately disposed steel balls and ceramic balls
JP2003156116A (ja) * 2001-11-19 2003-05-30 Ntn Corp ボールねじ、およびそれを備えたベルト式無段変速装置
ITRM20010725A1 (it) * 2001-12-11 2003-06-11 Umbra Cuscinetti Spa Vite a circolazione di sfere a lunga durata e ridotta rumorosita'.
AUPS028002A0 (en) 2002-02-01 2002-02-28 Ausman Engineering And Associates Pty Ltd A bearing assembly
DE502004006291D1 (de) * 2003-03-13 2008-04-10 Schneeberger Holding Ag Linearbewegungsführung
FR2859515B1 (fr) * 2003-09-08 2006-12-15 Usifroid Palier a usure reduite
FR2859514B1 (fr) * 2003-09-08 2006-12-08 Usifroid Palier a usure reduite
US8051730B2 (en) * 2008-12-15 2011-11-08 Hiwin Technologies Corp. Ball screw unit with lubrication apparatus
US8387474B2 (en) 2009-05-21 2013-03-05 Hiwin Technologies Corp. Lubricating device for motion guide apparatus
US8302499B2 (en) * 2009-12-17 2012-11-06 Hiwin Technologies Corp. Linear transmission system with a lubrication device
TWI558808B (zh) 2014-06-25 2016-11-21 Hiwin Tech Corp A linear device for heating the lubricating element and a synthetic lubricating oil for use therewith
US9784363B2 (en) 2015-11-19 2017-10-10 Hiwin Technologies Corp. Lubricating device for ball screw device
DE102020118230A1 (de) * 2020-07-10 2022-01-13 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Kugelgewindetrieb und Verfahren zum Betrieb eines Kugelgewindetriebs
JP7188620B2 (ja) * 2020-08-24 2022-12-13 日本精工株式会社 ボールねじ装置のグリース封入方法及びグリース封入装置、並びに、ボールねじ装置の製造方法、直動アクチュエータの製造方法、車両用ブレーキの製造方法、及び車両の製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2869377A (en) * 1954-09-13 1959-01-20 Pieterse Marius Cornelis Devices for the transmission of movements
US3132719A (en) * 1962-05-14 1964-05-12 Vard Division Royal Ind Ball nut and screw lubricator
US5150398A (en) * 1988-07-06 1992-09-22 Kabushiki Kaisha Toshiba Bearing and rotary anode X-ray tube employing the bearing
JP2571138Y2 (ja) * 1990-06-04 1998-05-13 日本トムソン株式会社 小型ボールねじ
GB2250549B (en) * 1990-11-30 1995-01-11 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Rolling bearing with solid lubricant
US5163757A (en) * 1991-08-02 1992-11-17 Cleveland State University Metal oxide lubrication for ceramic bearing system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017109624A (ja) * 2015-12-17 2017-06-22 日立オートモティブシステムズ株式会社 パワーステアリング装置

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Publication number Publication date
US5782135A (en) 1998-07-21
DE19522934A1 (de) 1996-01-04

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