JPH08163879A - 超音波振動子および超音波モータ - Google Patents
超音波振動子および超音波モータInfo
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- JPH08163879A JPH08163879A JP6303330A JP30333094A JPH08163879A JP H08163879 A JPH08163879 A JP H08163879A JP 6303330 A JP6303330 A JP 6303330A JP 30333094 A JP30333094 A JP 30333094A JP H08163879 A JPH08163879 A JP H08163879A
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- Japan
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- ultrasonic
- elastic body
- prismatic elastic
- longitudinal direction
- piezoelectric element
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 単純な構成で低電圧駆動が可能な高耐久性を
有する超音波振動子および超音波モータを得る。 【構成】 超音波振動子１０は基本弾性体１１と積層型
圧電素子１５と挟持用弾性体１６と駆動子１７とから構
成されている。基本弾性体１１の４側面には積層型圧電
素子１５が接着されている。超音波振動子１０の上端に
はロータが押圧固定されている。
有する超音波振動子および超音波モータを得る。 【構成】 超音波振動子１０は基本弾性体１１と積層型
圧電素子１５と挟持用弾性体１６と駆動子１７とから構
成されている。基本弾性体１１の４側面には積層型圧電
素子１５が接着されている。超音波振動子１０の上端に
はロータが押圧固定されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気機械変換素子を駆
動源とした超音波振動子およびそれを用いた超音波モー
タに関する。
動源とした超音波振動子およびそれを用いた超音波モー
タに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電磁型モータに代わる新しいモー
タとして超音波モータが注目されている。この超音波モ
ータは、従来の電磁型モータに比べて以下のような利点
を有している。 （１）ギヤなしで低回転高トルクが得られる。 （２）保持力が大きい。 （３）高分解能である。 （４）静粛性にとんでいる。 （５）磁気的ノイズを発生せず、またノイズの影響を受
けない。
タとして超音波モータが注目されている。この超音波モ
ータは、従来の電磁型モータに比べて以下のような利点
を有している。 （１）ギヤなしで低回転高トルクが得られる。 （２）保持力が大きい。 （３）高分解能である。 （４）静粛性にとんでいる。 （５）磁気的ノイズを発生せず、またノイズの影響を受
けない。
【０００３】上記のような利点を有する超音波モータの
発明としては、先に本出願人が提案した特開平５−３２
８７５５号公報記載の発明がある。上記発明は、図１１
に示すように、超音波モータは角柱形状の超音波振動子
１と回転子２と締結部材３と押圧手段４とから構成され
る。超音波振動子１は圧電素子群５，６と共振器７，８
と複数の電極板とから構成されている。
発明としては、先に本出願人が提案した特開平５−３２
８７５５号公報記載の発明がある。上記発明は、図１１
に示すように、超音波モータは角柱形状の超音波振動子
１と回転子２と締結部材３と押圧手段４とから構成され
る。超音波振動子１は圧電素子群５，６と共振器７，８
と複数の電極板とから構成されている。
【０００４】上記構成の超音波モータは、圧電素子群
５，６に位相の９０°異なる正弦波電圧を印加すると振
動面の直交した１次の屈曲振動が励起され、これにより
超音波振動子の端面に超音波楕円振動が励起される。す
ると、回転子２は楕円の向きに対応して時計回り、また
は反時計回りに回転する。
５，６に位相の９０°異なる正弦波電圧を印加すると振
動面の直交した１次の屈曲振動が励起され、これにより
超音波振動子の端面に超音波楕円振動が励起される。す
ると、回転子２は楕円の向きに対応して時計回り、また
は反時計回りに回転する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記特開平
５−３２８７５５号公報に記載される超音波モータには
以下のような問題点があった。すなわち、圧電素子およ
び共振器を締結部材により締結させるのであるが、その
締結圧力のばらつきにより共振周波数が大幅に変化して
しまう。また、圧電素子として０．３〜０．５ｍｍ厚の
ものを使用するため、駆動電圧が数百Ｖｐ−ｐと高くな
ってしまう。
５−３２８７５５号公報に記載される超音波モータには
以下のような問題点があった。すなわち、圧電素子およ
び共振器を締結部材により締結させるのであるが、その
締結圧力のばらつきにより共振周波数が大幅に変化して
しまう。また、圧電素子として０．３〜０．５ｍｍ厚の
ものを使用するため、駆動電圧が数百Ｖｐ−ｐと高くな
ってしまう。
【０００６】請求項１の目的は、共振周波数がばらつか
ない超音波振動子を提供するとともに、低電圧駆動可能
な超音波振動子を提供することにある。請求項２の目的
は、共振周波数がばらつかない超音波モータを提供する
とともに、低電圧駆動可能な超音波モータを提供するこ
とにある。
ない超音波振動子を提供するとともに、低電圧駆動可能
な超音波振動子を提供することにある。請求項２の目的
は、共振周波数がばらつかない超音波モータを提供する
とともに、低電圧駆動可能な超音波モータを提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、角柱
状弾性体と、該角柱状弾性体の長手方向と平行な４側面
のうちの少なくとも２面にその変位方向が角柱状弾性体
の長手方向となるように挟持された複数の積層型圧電素
子と、前記角柱状弾性体の長手方向と直角な端面に接合
された円環状駆動子とからなり、前記複数の積層型圧電
素子のそれぞれに位相差を持たせた交番電圧を印加する
ことにより、互いに振動モード面が直交する縮退した屈
曲共振振動を同時に励起し、前記円環状駆動子の位置で
超音波楕円振動を励起することを特徴とする超音波振動
子である。
状弾性体と、該角柱状弾性体の長手方向と平行な４側面
のうちの少なくとも２面にその変位方向が角柱状弾性体
の長手方向となるように挟持された複数の積層型圧電素
子と、前記角柱状弾性体の長手方向と直角な端面に接合
された円環状駆動子とからなり、前記複数の積層型圧電
素子のそれぞれに位相差を持たせた交番電圧を印加する
ことにより、互いに振動モード面が直交する縮退した屈
曲共振振動を同時に励起し、前記円環状駆動子の位置で
超音波楕円振動を励起することを特徴とする超音波振動
子である。
【０００８】請求項２の目的は、角柱状弾性体と、該角
柱状弾性体の長手方向と平行な４側面のうちの少なくと
も２面にその変位方向が角柱状弾性体の長手方向となる
ように挟持された複数の積層型圧電素子と、前記角柱状
弾性体の長手方向と直角な端面に接合された円環状駆動
子と、該円環状駆動子に対して押圧保持されたロータと
からなり、前記複数の積層型圧電素子のそれぞれに位相
差を持たせた交番電圧を印加することにより、互いに振
動モード面が直交する縮退した屈曲共振振動を同時に励
起し、前記円環状駆動子の位置で超音波楕円振動を励起
させて前記ロータを回転駆動させることを特徴とする超
音波モータである。
柱状弾性体の長手方向と平行な４側面のうちの少なくと
も２面にその変位方向が角柱状弾性体の長手方向となる
ように挟持された複数の積層型圧電素子と、前記角柱状
弾性体の長手方向と直角な端面に接合された円環状駆動
子と、該円環状駆動子に対して押圧保持されたロータと
からなり、前記複数の積層型圧電素子のそれぞれに位相
差を持たせた交番電圧を印加することにより、互いに振
動モード面が直交する縮退した屈曲共振振動を同時に励
起し、前記円環状駆動子の位置で超音波楕円振動を励起
させて前記ロータを回転駆動させることを特徴とする超
音波モータである。
【０００９】
【作用】請求項１の作用は、複数からなる積層型圧電素
子の内、第１の一対の積層型圧電素子に電圧を印加する
と第１の屈曲共振振動が励起出来る。また、第２の一対
の積層型圧電素子に電圧を印加すると前記第１の屈曲振
動の振動面と直交する第２の屈曲共振振動が励起出来
る。第１の一対の積層型圧電素子と第２の一対の積層型
圧電素子とに位相がπ／２異なる電圧を印加すると、第
１の屈曲共振振動と第２の屈曲共振振動とが同時に励起
され、円環状駆動子の位置で超音波楕円振動を形成する
ことが出来る。
子の内、第１の一対の積層型圧電素子に電圧を印加する
と第１の屈曲共振振動が励起出来る。また、第２の一対
の積層型圧電素子に電圧を印加すると前記第１の屈曲振
動の振動面と直交する第２の屈曲共振振動が励起出来
る。第１の一対の積層型圧電素子と第２の一対の積層型
圧電素子とに位相がπ／２異なる電圧を印加すると、第
１の屈曲共振振動と第２の屈曲共振振動とが同時に励起
され、円環状駆動子の位置で超音波楕円振動を形成する
ことが出来る。
【００１０】請求項２の作用は、請求項１の作用により
超音波楕円振動が励起された円環状駆動子にロータを押
圧すると、超音波楕円振動の振動に向きにしたがってロ
ータは時計廻りもしくは反時計廻りに回転駆動される。
超音波楕円振動が励起された円環状駆動子にロータを押
圧すると、超音波楕円振動の振動に向きにしたがってロ
ータは時計廻りもしくは反時計廻りに回転駆動される。
【００１１】
【実施例１】図１〜図７は本実施例を示し、図１は超音
波振動子の正面図、図２は基本弾性体の正面図、図３は
超音波振動子の平面図、図４は静止状態と共振状態とを
示す説明図、図５は超音波モータの正面図、図６は同平
面図、図７は部材の一部を示す分解断面図である。
波振動子の正面図、図２は基本弾性体の正面図、図３は
超音波振動子の平面図、図４は静止状態と共振状態とを
示す説明図、図５は超音波モータの正面図、図６は同平
面図、図７は部材の一部を示す分解断面図である。
【００１２】図１に示すように、超音波振動子１０は基
本弾性体１１と積層型圧電素子１５と挟持用弾性体１６
と駆動子１７とから構成されている。図２に示すよう
に、基本弾性体１１はステンレス材からなり断面が正方
形状をした角柱形状であり、ほぼ上半分はその断面が大
きく形成され（８ｍｍ×８ｍｍ）、残りの下半分は小さ
く形成され（４ｍｍ×４ｍｍ）、その境には段差部１４
が設けられている。そして、長手方向中心部にはφ３ｍ
ｍの穴１２があけられるとともに中心部にはφ２ｍｍの
タップ１３が切られている。
本弾性体１１と積層型圧電素子１５と挟持用弾性体１６
と駆動子１７とから構成されている。図２に示すよう
に、基本弾性体１１はステンレス材からなり断面が正方
形状をした角柱形状であり、ほぼ上半分はその断面が大
きく形成され（８ｍｍ×８ｍｍ）、残りの下半分は小さ
く形成され（４ｍｍ×４ｍｍ）、その境には段差部１４
が設けられている。そして、長手方向中心部にはφ３ｍ
ｍの穴１２があけられるとともに中心部にはφ２ｍｍの
タップ１３が切られている。
【００１３】以下、超音波振動子１０の作成方法につい
て説明する。図１に示すように、基本弾性体１１の４側
面に積層型圧電素子１５を図のように段差１４につき当
てるようにして挟持用弾性体１６によりビスを用いて固
定する。この時、５０Ｎから２００Ｎ程度の圧縮力を加
えながら、エポキシ系の接着剤を用いて固定する。接着
する面は、積層型圧電素子１５が基本弾性体１１および
挟持用弾性体１６と接するすべての面である。図３に示
すβ，γ，δの方向から見た面に関しても同様の方法で
作成する。
て説明する。図１に示すように、基本弾性体１１の４側
面に積層型圧電素子１５を図のように段差１４につき当
てるようにして挟持用弾性体１６によりビスを用いて固
定する。この時、５０Ｎから２００Ｎ程度の圧縮力を加
えながら、エポキシ系の接着剤を用いて固定する。接着
する面は、積層型圧電素子１５が基本弾性体１１および
挟持用弾性体１６と接するすべての面である。図３に示
すβ，γ，δの方向から見た面に関しても同様の方法で
作成する。
【００１４】積層型圧電素子１５から出ている電気端子
は、それぞれ対向する面に設けられた積層型圧電素子１
５どうしが逆の伸縮となるように結線する。具体的に
は、例えば図１に示すＢ（＋）とＢ’（−），Ｂ（−）
とＢ’（＋）のように結線する。結線したＡ，Ａ’端子
を以下電気端子Ａとし（Ａ’端子はＡ端子の積層型圧電
素子１５と対向する面に配設された積層型圧電素子１５
からでる電気端子であり図示を省略する）、Ｂ，Ｂ’端
子を以下電気端子Ｂとする。振動子の先端部には円環状
の樹脂にアルミナセラミックの砥粒を分散させた砥石か
らなる駆動子１７が接合されている。
は、それぞれ対向する面に設けられた積層型圧電素子１
５どうしが逆の伸縮となるように結線する。具体的に
は、例えば図１に示すＢ（＋）とＢ’（−），Ｂ（−）
とＢ’（＋）のように結線する。結線したＡ，Ａ’端子
を以下電気端子Ａとし（Ａ’端子はＡ端子の積層型圧電
素子１５と対向する面に配設された積層型圧電素子１５
からでる電気端子であり図示を省略する）、Ｂ，Ｂ’端
子を以下電気端子Ｂとする。振動子の先端部には円環状
の樹脂にアルミナセラミックの砥粒を分散させた砥石か
らなる駆動子１７が接合されている。
【００１５】次に、超音波振動子１０の作用について説
明する。超音波振動子１０は積層型圧電素子１５の電気
端子Ａに５０ｋＨｚの交番電圧を印加すると、図４に示
すようなα（β）方向の２次の屈曲振動が励起できる。
積層圧電素子の電気端子Ｂに５０ｋＨｚの交番電圧を印
加すると、図４に示すようなγ（δ）方向の２次の屈曲
振動が励起できる。そこで、電気端子Ａに共振周波数周
波で振幅１０Ｖｐ−ｐの交番電圧を印加し、電気端子Ｂ
に位相が９０度ずれた同一周波数，同振幅の交番電圧を
印加すると、図１に示すように、駆動子１７の各部分に
おいて円環の接線方向の超音波楕円振動（Ｃ．Ｗ．また
はＣ．Ｃ．Ｗ．）が励起出来た。
明する。超音波振動子１０は積層型圧電素子１５の電気
端子Ａに５０ｋＨｚの交番電圧を印加すると、図４に示
すようなα（β）方向の２次の屈曲振動が励起できる。
積層圧電素子の電気端子Ｂに５０ｋＨｚの交番電圧を印
加すると、図４に示すようなγ（δ）方向の２次の屈曲
振動が励起できる。そこで、電気端子Ａに共振周波数周
波で振幅１０Ｖｐ−ｐの交番電圧を印加し、電気端子Ｂ
に位相が９０度ずれた同一周波数，同振幅の交番電圧を
印加すると、図１に示すように、駆動子１７の各部分に
おいて円環の接線方向の超音波楕円振動（Ｃ．Ｗ．また
はＣ．Ｃ．Ｗ．）が励起出来た。
【００１６】次に、上記超音波振動子１０を用いた超音
波モータ２０について説明する。図５に示すように、超
音波モータ２０は超音波振動子１０とネジの切られた軸
２１とロータ２４とコイルバネ２２と調節ネジ２３との
各部材から構成される。以下、超音波モータ２０の作成
方法について、図７を参考に説明する。超音波振動子１
０の穴１２に軸２１が挿入されてタップ１３の切られた
部分で接着される。ロータ２４は図７にその断面図を示
すように、中心部にベアリング２６が圧入され、また超
音波振動子１０の駆動子１７と接触する部分にはジルコ
ニアセラミクスからなる円環状の摺動部材２５が接合さ
れている。ロータ２４はバネ２２により超音波振動子１
０に押圧固定される。押圧力は調節ネジ２３により調節
される。超音波モータ２０を固定する場合にはその下部
に突き出た軸２１を図示しない基台にねじ込み固定す
る。
波モータ２０について説明する。図５に示すように、超
音波モータ２０は超音波振動子１０とネジの切られた軸
２１とロータ２４とコイルバネ２２と調節ネジ２３との
各部材から構成される。以下、超音波モータ２０の作成
方法について、図７を参考に説明する。超音波振動子１
０の穴１２に軸２１が挿入されてタップ１３の切られた
部分で接着される。ロータ２４は図７にその断面図を示
すように、中心部にベアリング２６が圧入され、また超
音波振動子１０の駆動子１７と接触する部分にはジルコ
ニアセラミクスからなる円環状の摺動部材２５が接合さ
れている。ロータ２４はバネ２２により超音波振動子１
０に押圧固定される。押圧力は調節ネジ２３により調節
される。超音波モータ２０を固定する場合にはその下部
に突き出た軸２１を図示しない基台にねじ込み固定す
る。
【００１７】上記構成の超音波モータ２０は、先に示し
たように超音波振動子１０の電気端子Ａと電気端子Ｂと
に周波数５０ｋＨｚ，振幅１０Ｖｐ−ｐ、位相差＋９０
度または−９０度の交番電圧を印加する。すると、ロー
タ２４が時計廻りまたは反時計廻りに回転する。
たように超音波振動子１０の電気端子Ａと電気端子Ｂと
に周波数５０ｋＨｚ，振幅１０Ｖｐ−ｐ、位相差＋９０
度または−９０度の交番電圧を印加する。すると、ロー
タ２４が時計廻りまたは反時計廻りに回転する。
【００１８】本実施例によれば、振動源として積層型圧
電素子を用いたので駆動電圧を下げることができる。ま
た、圧電素子および共振器を締結部材により締結させる
構造ではないので、共振周波数もばらつきも押さえられ
る。さらに、積層型圧電素子を圧縮力を加えた状態で組
み立ててあるため圧電素子内部での破壊が無くなり、寿
命が大幅に延びる。また、屈曲２次振動を用いたので振
動子の中央部に節ができ、そこで振動子を固定できる。
さらに、単純な構造であるのでコストダウンが図りやす
い。また、この振動子を利用して超音波モータを構成し
た場合は、高効率な超音波モータを提供することができ
る。
電素子を用いたので駆動電圧を下げることができる。ま
た、圧電素子および共振器を締結部材により締結させる
構造ではないので、共振周波数もばらつきも押さえられ
る。さらに、積層型圧電素子を圧縮力を加えた状態で組
み立ててあるため圧電素子内部での破壊が無くなり、寿
命が大幅に延びる。また、屈曲２次振動を用いたので振
動子の中央部に節ができ、そこで振動子を固定できる。
さらに、単純な構造であるのでコストダウンが図りやす
い。また、この振動子を利用して超音波モータを構成し
た場合は、高効率な超音波モータを提供することができ
る。
【００１９】
【実施例２】図８〜図１０は本実施例を示し、図８は超
音波振動子の正面図、図９は同平面図、図１０は静止状
態と共振状態とを示す説明図である。
音波振動子の正面図、図９は同平面図、図１０は静止状
態と共振状態とを示す説明図である。
【００２０】本実施例の超音波振動子３０が前記実施例
１の超音波振動子１０に対して主に異なる点は、基本弾
性体１１の４側面を平面に形成し、４側面のほぼ長手方
向全長にわたって積層型圧電素子１５を設けた点であ
る。電気的な配線に関しては前記実施例１と同様であ
る。超音波振動子３０の製造方法については前記実施例
１と同様なので説明を省略する。
１の超音波振動子１０に対して主に異なる点は、基本弾
性体１１の４側面を平面に形成し、４側面のほぼ長手方
向全長にわたって積層型圧電素子１５を設けた点であ
る。電気的な配線に関しては前記実施例１と同様であ
る。超音波振動子３０の製造方法については前記実施例
１と同様なので説明を省略する。
【００２１】超音波振動子３０の作用が前記実施例１と
異なる点は、図１０に示すように、超音波振動子３０に
振動面が直交する２方向の１次の屈曲振動を励起する点
である。これにより、駆動子１７の各部において前記実
施例１に示したものと同様な超音波楕円振動を発生させ
ることができる。
異なる点は、図１０に示すように、超音波振動子３０に
振動面が直交する２方向の１次の屈曲振動を励起する点
である。これにより、駆動子１７の各部において前記実
施例１に示したものと同様な超音波楕円振動を発生させ
ることができる。
【００２２】本実施例の超音波振動子３０を用いた超音
波モータの構成が前記実施例１と異なる点は、図示を省
略したが、前記実施例１と同様な軸を超音波振動子３０
の穴１２に挿入し、１次の屈曲振動の節位置で固定する
点である。超音波モータの作用は、前記実施例１と同様
であり、説明を省略する。
波モータの構成が前記実施例１と異なる点は、図示を省
略したが、前記実施例１と同様な軸を超音波振動子３０
の穴１２に挿入し、１次の屈曲振動の節位置で固定する
点である。超音波モータの作用は、前記実施例１と同様
であり、説明を省略する。
【００２３】本実施例によれば、前記実施例１に比べて
積層圧電素子の接着面積を大きくしたので振動の出力を
大きくすることができる。また、それによりモータ出力
を大きくすることができる。
積層圧電素子の接着面積を大きくしたので振動の出力を
大きくすることができる。また、それによりモータ出力
を大きくすることができる。
【００２４】以上の各実施例においては、直交する１次
または２次の屈曲振動を利用した超音波振動子または超
音波モータについて述べたが、本発明はこれに限定する
ものではなく、さらに高次の屈曲振動を用いても良い。
または２次の屈曲振動を利用した超音波振動子または超
音波モータについて述べたが、本発明はこれに限定する
ものではなく、さらに高次の屈曲振動を用いても良い。
【００２５】
【発明の効果】請求項１の効果は、振動源として積層型
圧電素子を用いたので駆動電圧を下げることができる。
また、圧電素子および共振器を締結部材により締結させ
る構造ではないので、共振周波数もばらつきも押さえら
れる。さらに、積層型圧電素子を圧縮力を加えた状態で
組み立ててあるため圧電素子内部での破壊が無くなり、
寿命が大幅に延びる。また、単純な構造であるのでコス
トダウンが図りやすい。
圧電素子を用いたので駆動電圧を下げることができる。
また、圧電素子および共振器を締結部材により締結させ
る構造ではないので、共振周波数もばらつきも押さえら
れる。さらに、積層型圧電素子を圧縮力を加えた状態で
組み立ててあるため圧電素子内部での破壊が無くなり、
寿命が大幅に延びる。また、単純な構造であるのでコス
トダウンが図りやすい。
【００２６】請求項２の効果は、請求項１により得た超
音波振動子を用いたことにより、単純な構成で低電圧駆
動が可能な高耐久の回転モータを実現できる。
音波振動子を用いたことにより、単純な構成で低電圧駆
動が可能な高耐久の回転モータを実現できる。
【図１】実施例１を示す正面図である。
【図２】実施例１を示す正面図である。
【図３】実施例１を示す平面図である。
【図４】実施例１を示す説明図である。
【図５】実施例１を示す正面図である。
【図６】実施例１を示す平面図である。
【図７】実施例１を示す分解断面図である。
【図８】実施例２を示す正面図である。
【図９】実施例２を示す平面図である。
【図１０】実施例２を示す説明図である。
【図１１】従来例を示す斜視図である。
１０ 超音波振動子 １１ 基本弾性体 １５ 積層型圧電素子 １６ 挟持用弾性体 １７ 駆動子 ２０ 超音波モータ ２１ 軸 ２２ コイルバネ ２３ 調節ネジ ２４ ロータ ２５ 摺動材 ２６ ベアリング
Claims (2)
- 【請求項１】 角柱状弾性体と、該角柱状弾性体の長手
方向と平行な４側面のうちの少なくとも２面にその変位
方向が角柱状弾性体の長手方向となるように挟持された
複数の積層型圧電素子と、前記角柱状弾性体の長手方向
と直角な端面に接合された円環状駆動子とからなり、前
記複数の積層型圧電素子のそれぞれに位相差を持たせた
交番電圧を印加することにより、互いに振動モード面が
直交する縮退した屈曲共振振動を同時に励起し、前記円
環状駆動子の位置で超音波楕円振動を励起することを特
徴とする超音波振動子。 - 【請求項２】 角柱状弾性体と、該角柱状弾性体の長手
方向と平行な４側面のうちの少なくとも２面にその変位
方向が角柱状弾性体の長手方向となるように挟持された
複数の積層型圧電素子と、前記角柱状弾性体の長手方向
と直角な端面に接合された円環状駆動子と、該円環状駆
動子に対して押圧保持されたロータとからなり、前記複
数の積層型圧電素子のそれぞれに位相差を持たせた交番
電圧を印加することにより、互いに振動モード面が直交
する縮退した屈曲共振振動を同時に励起し、前記円環状
駆動子の位置で超音波楕円振動を励起させて前記ロータ
を回転駆動させることを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6303330A JPH08163879A (ja) | 1994-12-07 | 1994-12-07 | 超音波振動子および超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6303330A JPH08163879A (ja) | 1994-12-07 | 1994-12-07 | 超音波振動子および超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08163879A true JPH08163879A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=17919682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6303330A Withdrawn JPH08163879A (ja) | 1994-12-07 | 1994-12-07 | 超音波振動子および超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08163879A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006340424A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Ngk Insulators Ltd | 圧電ステータ素子及びそれを用いたマイクロ超音波モータ |
| EP2423190A1 (en) | 2002-05-16 | 2012-02-29 | Shionogi&Co., Ltd. | Compounds Exhibiting PGD 2 Receptor Antagonism |
| CN112994517A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-06-18 | 吉林大学 | 一种微小型设备用超薄压电超声电机及其驱动方法 |
-
1994
- 1994-12-07 JP JP6303330A patent/JPH08163879A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2423190A1 (en) | 2002-05-16 | 2012-02-29 | Shionogi&Co., Ltd. | Compounds Exhibiting PGD 2 Receptor Antagonism |
| JP2006340424A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Ngk Insulators Ltd | 圧電ステータ素子及びそれを用いたマイクロ超音波モータ |
| JP4628872B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-02-09 | 日本碍子株式会社 | 圧電ステータ素子及びそれを用いたマイクロ超音波モータ |
| CN112994517A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-06-18 | 吉林大学 | 一种微小型设备用超薄压电超声电机及其驱动方法 |
| CN112994517B (zh) * | 2021-04-23 | 2024-04-02 | 吉林大学 | 一种微小型设备用超薄压电超声电机及其驱动方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020305 |