JPH07310747A - 動圧軸受装置 - Google Patents
動圧軸受装置Info
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- JPH07310747A JPH07310747A JP13623394A JP13623394A JPH07310747A JP H07310747 A JPH07310747 A JP H07310747A JP 13623394 A JP13623394 A JP 13623394A JP 13623394 A JP13623394 A JP 13623394A JP H07310747 A JPH07310747 A JP H07310747A
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- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁性流体の飛散を防止して汚れ等の問題をな
くすこと。 【構成】 シャフト1を固定側とし、ポールピース11
a、11b側が回転側であり、シャフト1の軸2の端部
に大気開放部32側に拡開するテーパ部22を面取りに
より周設する。連続回転によって磁性流体15の温度が
上昇し、磁性流体15が膨張することによって大気開放
部32側の液面が外側に膨れても、固定側のシャフト1
のテーパ部22の空間により膨張した磁性流体15を吸
収できる。しかも遠心力により磁性流体15が外側のポ
ールピース11a側には飛散しない。したがって磁性流
体15の飛散による汚れ等の問題は発生しない。
くすこと。 【構成】 シャフト1を固定側とし、ポールピース11
a、11b側が回転側であり、シャフト1の軸2の端部
に大気開放部32側に拡開するテーパ部22を面取りに
より周設する。連続回転によって磁性流体15の温度が
上昇し、磁性流体15が膨張することによって大気開放
部32側の液面が外側に膨れても、固定側のシャフト1
のテーパ部22の空間により膨張した磁性流体15を吸
収できる。しかも遠心力により磁性流体15が外側のポ
ールピース11a側には飛散しない。したがって磁性流
体15の飛散による汚れ等の問題は発生しない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はハードディスクドライ
ブ(HHD)やポリゴンミラー等に用いられる動圧軸受
装置に関するものである。
ブ(HHD)やポリゴンミラー等に用いられる動圧軸受
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】動圧軸受装置の基本的な構成は従来例及
び実施例も同様なので、実施例における図3を用いて動
圧軸受装置の構成を概略的に説明する(なお動圧軸受装
置の詳細は実施例において説明する)。実施例を示す図
3において、回転側となるモータハブ9の穴10の軸芯
となる部分には、固定側となるシャフト1が設けられて
いる。このシャフト1は、マグネット4と、このマグネ
ット4の軸方向の両側に設けた2つの軸2、3とで構成
されており、このシャフト1の外周に非磁性体製のスリ
ーブ5を圧入嵌合している。またこのスリーブ5の上面
及び下面に対応して一対のポールピース11a、11b
がモータハブ9側に設けてある。
び実施例も同様なので、実施例における図3を用いて動
圧軸受装置の構成を概略的に説明する(なお動圧軸受装
置の詳細は実施例において説明する)。実施例を示す図
3において、回転側となるモータハブ9の穴10の軸芯
となる部分には、固定側となるシャフト1が設けられて
いる。このシャフト1は、マグネット4と、このマグネ
ット4の軸方向の両側に設けた2つの軸2、3とで構成
されており、このシャフト1の外周に非磁性体製のスリ
ーブ5を圧入嵌合している。またこのスリーブ5の上面
及び下面に対応して一対のポールピース11a、11b
がモータハブ9側に設けてある。
【0003】モータハブ9の内周面側とスリーブ5の外
周面側との間に形成される間隙12、13a、13b、
14a、14b内に作動油15が封入してある。そして
スリーブ5の外周面、上側のポールピース11aの下
面、下側のポールピース11bの上面、及びスリーブ5
の上下の両面には、モータハブ9の回転によって上記作
動油15に動圧を発生させるような表面加工が施されて
いる。つまり上記スリーブ5の外周部と上記モータハブ
9の穴10の内周壁とでジャーナル軸受を構成し、上記
スリーブ5の上下外端面と各ポールピース11a、11
bの内側面とでスラスト軸受を構成しているのである。
周面側との間に形成される間隙12、13a、13b、
14a、14b内に作動油15が封入してある。そして
スリーブ5の外周面、上側のポールピース11aの下
面、下側のポールピース11bの上面、及びスリーブ5
の上下の両面には、モータハブ9の回転によって上記作
動油15に動圧を発生させるような表面加工が施されて
いる。つまり上記スリーブ5の外周部と上記モータハブ
9の穴10の内周壁とでジャーナル軸受を構成し、上記
スリーブ5の上下外端面と各ポールピース11a、11
bの内側面とでスラスト軸受を構成しているのである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】図4は図3に示すA部
の拡大図であり、従来例を示している。ここでシャフト
1は固定側であり、モータハブ9及びポールピース11
aは回転側である。そしてポールピース11aの内周面
とシャフト1の外周面との間の間隙14a内には磁性流
体15を封入しており、磁気回路16による磁束にて磁
性流体15を保持して磁性流体15をシールするシール
部21を構成している。
の拡大図であり、従来例を示している。ここでシャフト
1は固定側であり、モータハブ9及びポールピース11
aは回転側である。そしてポールピース11aの内周面
とシャフト1の外周面との間の間隙14a内には磁性流
体15を封入しており、磁気回路16による磁束にて磁
性流体15を保持して磁性流体15をシールするシール
部21を構成している。
【0005】かかる図3及び図4に示すような動圧軸受
装置において、モータハブ9側の連続回転によって磁性
流体15の温度が上昇し、膨張することによって大気開
放部32側の液面が外方へと膨出するが、磁性流体15
が開放部32側にはみ出してしまうと、汚れ等の問題の
原因になる。そこで従来では、図4に示すように回転側
のポールピース11a(11b)の内側の端部にテーパ
部31を周設し、開放部32側を拡開したテーパ部31
により磁性流体15の膨張を吸収する空間を確保して、
液面がポールピース11aの表面に出ないようにしてい
る。ところが実際は、図4に示すように磁性流体15の
外側に配置された回転側のポールピース11aに面取り
をしてテーパ部31を形成しているため、遠心力によっ
て磁性流体15が面取りのテーパ部31に沿って表面に
はみ出し、飛散現象を起こしている。
装置において、モータハブ9側の連続回転によって磁性
流体15の温度が上昇し、膨張することによって大気開
放部32側の液面が外方へと膨出するが、磁性流体15
が開放部32側にはみ出してしまうと、汚れ等の問題の
原因になる。そこで従来では、図4に示すように回転側
のポールピース11a(11b)の内側の端部にテーパ
部31を周設し、開放部32側を拡開したテーパ部31
により磁性流体15の膨張を吸収する空間を確保して、
液面がポールピース11aの表面に出ないようにしてい
る。ところが実際は、図4に示すように磁性流体15の
外側に配置された回転側のポールピース11aに面取り
をしてテーパ部31を形成しているため、遠心力によっ
て磁性流体15が面取りのテーパ部31に沿って表面に
はみ出し、飛散現象を起こしている。
【0006】この発明は上記従来の欠点を解決するため
になされたものであって、その目的は、磁性流体の飛散
を防止して汚れ等の問題を解消することが可能な動圧軸
受装置を提供することにある。
になされたものであって、その目的は、磁性流体の飛散
を防止して汚れ等の問題を解消することが可能な動圧軸
受装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】そこでこの発明の動圧軸
受装置は、軸方向に着磁したシャフト1と、軸芯に設け
た挿通孔6に上記シャフト1を挿入嵌合したスリーブ5
と、上記スリーブ5の外周部に相対回転可能に遊嵌され
たハブ9と、上記スリーブ5の端面を覆うように上記ハ
ブ9側から上記シャフト1の近傍まで延びるポールピー
ス11aとを有し、上記スリーブ5の外周部とハブ9の
内周部との間にジャーナル軸受を構成し、上記ポールピ
ース11aの内周面と該内周面と対面するシャフト1の
外周面とで形成されるシール部21において、上記シャ
フト1からポールピース11aを経由する磁気経路に磁
性流体15を保持し、これにより軸受作動流体15を封
止するようにした動圧軸受装置であって、シャフト1の
軸方向の上記シール部21より外側部に大気開放部32
側に拡開するテーパ部22を周設したことを特徴として
いる。
受装置は、軸方向に着磁したシャフト1と、軸芯に設け
た挿通孔6に上記シャフト1を挿入嵌合したスリーブ5
と、上記スリーブ5の外周部に相対回転可能に遊嵌され
たハブ9と、上記スリーブ5の端面を覆うように上記ハ
ブ9側から上記シャフト1の近傍まで延びるポールピー
ス11aとを有し、上記スリーブ5の外周部とハブ9の
内周部との間にジャーナル軸受を構成し、上記ポールピ
ース11aの内周面と該内周面と対面するシャフト1の
外周面とで形成されるシール部21において、上記シャ
フト1からポールピース11aを経由する磁気経路に磁
性流体15を保持し、これにより軸受作動流体15を封
止するようにした動圧軸受装置であって、シャフト1の
軸方向の上記シール部21より外側部に大気開放部32
側に拡開するテーパ部22を周設したことを特徴として
いる。
【0008】
【作用】上記動圧軸受装置では、シャフト1のテーパ部
22により磁性流体15の膨張を吸収する空間を確保で
き、しかも従来のように外周部側にテーパ部32を形成
した構成ではなく、内周部側のシャフト1にテーパ部2
2を形成しているので、連続回転によって磁性流体15
に遠心力が作用しても、磁性流体15が表面に飛散する
のを防止し得る。そのため磁性流体15の表面への飛散
による汚れ等の問題の発生を防止することができる。
22により磁性流体15の膨張を吸収する空間を確保で
き、しかも従来のように外周部側にテーパ部32を形成
した構成ではなく、内周部側のシャフト1にテーパ部2
2を形成しているので、連続回転によって磁性流体15
に遠心力が作用しても、磁性流体15が表面に飛散する
のを防止し得る。そのため磁性流体15の表面への飛散
による汚れ等の問題の発生を防止することができる。
【0009】
【実施例】次にこの発明の動圧軸受装置の具体的な実施
例について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図3は
この発明の実施例の動圧軸受装置の断面図を示してい
る。まず動圧軸受装置の全体の構成について説明する。
図3において、1はシャフトであり、第1の軸2と、第
2の軸3と、マグネット4とで構成されている。円柱状
のマグネット4は、図示するように軸方向に着磁されて
おり、また円柱状の第1の軸2及び第2の軸3は磁性体
である。両軸2、3の間にマグネット4を挟持してい
る。ここでマグネット4の外径は、両軸2、3の外径よ
り径小としている。またマグネット4の外径寸法は磁気
的に充分の面積を得るものでよく、高精度加工は不要で
ある。マグネット4の材質としては、サマリュウム・コ
バルト磁石やネオジウム磁石、アルニコ磁石等の強力磁
石を用いており、これらの強力磁石を用いれば磁気的に
充分で面積(軸方向の端面の面積)を小さくできる。し
たがってマグネット4の外径を軸2、3の外径より細く
形成することができる。
例について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図3は
この発明の実施例の動圧軸受装置の断面図を示してい
る。まず動圧軸受装置の全体の構成について説明する。
図3において、1はシャフトであり、第1の軸2と、第
2の軸3と、マグネット4とで構成されている。円柱状
のマグネット4は、図示するように軸方向に着磁されて
おり、また円柱状の第1の軸2及び第2の軸3は磁性体
である。両軸2、3の間にマグネット4を挟持してい
る。ここでマグネット4の外径は、両軸2、3の外径よ
り径小としている。またマグネット4の外径寸法は磁気
的に充分の面積を得るものでよく、高精度加工は不要で
ある。マグネット4の材質としては、サマリュウム・コ
バルト磁石やネオジウム磁石、アルニコ磁石等の強力磁
石を用いており、これらの強力磁石を用いれば磁気的に
充分で面積(軸方向の端面の面積)を小さくできる。し
たがってマグネット4の外径を軸2、3の外径より細く
形成することができる。
【0010】5はスリーブであり、非磁性体で構成して
いる。このスリーブ5は略円筒状に形成されており、そ
の軸芯となる挿通孔6内に上記シャフト1を圧入嵌合し
ている。そして軸2、3及びマグネット4から成るシャ
フト1とスリーブ5とが一体となって中心軸としての機
械的強度を保有している。またスリーブ5を一体化した
シャフト1の下部は、ベース7に固定されている。なお
8は、モータコイルである。
いる。このスリーブ5は略円筒状に形成されており、そ
の軸芯となる挿通孔6内に上記シャフト1を圧入嵌合し
ている。そして軸2、3及びマグネット4から成るシャ
フト1とスリーブ5とが一体となって中心軸としての機
械的強度を保有している。またスリーブ5を一体化した
シャフト1の下部は、ベース7に固定されている。なお
8は、モータコイルである。
【0011】回転側となるモータハブ9は略円筒状に形
成され、磁性体製で構成されている。このモータハブ9
の軸芯にはスリーブ5の外径より大きい穴10が形成さ
れており、この穴10の上端部と下端部には円板状で磁
性体製の一対のポールピース11a、11bが固定され
ている。
成され、磁性体製で構成されている。このモータハブ9
の軸芯にはスリーブ5の外径より大きい穴10が形成さ
れており、この穴10の上端部と下端部には円板状で磁
性体製の一対のポールピース11a、11bが固定され
ている。
【0012】ここでスリーブ5の外周面とモータハブ9
の穴10の内周面との間に間隙12が形成され、またポ
ールピース11a、11bの下面及び上面とスリーブ5
の上面及び下面の間にも間隙13a、13bが形成され
ている。さらにポールピース11a、11bの内周面と
シャフト1の上下部の間にも間隙14a、14bが形成
され、これらの間隙12、13a、13b、14a、1
4bに作動油としての磁性流体15を封入している。
の穴10の内周面との間に間隙12が形成され、またポ
ールピース11a、11bの下面及び上面とスリーブ5
の上面及び下面の間にも間隙13a、13bが形成され
ている。さらにポールピース11a、11bの内周面と
シャフト1の上下部の間にも間隙14a、14bが形成
され、これらの間隙12、13a、13b、14a、1
4bに作動油としての磁性流体15を封入している。
【0013】上記間隙12及び13a、13bを形成す
る各面、つまり穴10の内周面又はスリーブ5の外周
面、上側のポールピース11aの下面、下側のポールピ
ース11bの上面又はスリーブ5の上下の両面には、モ
ータハブ9の回転によって上記磁性流体15に動圧を発
生させるような表面加工が施されている。つまり上記ス
リーブ5の外周部と上記モータハブ9の穴10の内周壁
とでジャーナル軸受を構成し、上記スリーブ5の上下外
端面と各ポールピース11a、11bの内側面とでスラ
スト軸受を構成しているのである。
る各面、つまり穴10の内周面又はスリーブ5の外周
面、上側のポールピース11aの下面、下側のポールピ
ース11bの上面又はスリーブ5の上下の両面には、モ
ータハブ9の回転によって上記磁性流体15に動圧を発
生させるような表面加工が施されている。つまり上記ス
リーブ5の外周部と上記モータハブ9の穴10の内周壁
とでジャーナル軸受を構成し、上記スリーブ5の上下外
端面と各ポールピース11a、11bの内側面とでスラ
スト軸受を構成しているのである。
【0014】また上記ポールピース11a、11bはシ
ール部21も構成している。つまりマグネット4によっ
て順に第1の軸2、上側のポールピース11a、モータ
ハブ9、下側のポールピース11b、第2の軸3を経て
マグネット4に返る磁気回路16が構成されるので、間
隙14a、14bには磁界が形成され、この間隙14
a、14bにおいて磁性流体15を封止し、このシール
作用によって、上記各間隙12、13a、13b内の流
体の漏洩を防止している。
ール部21も構成している。つまりマグネット4によっ
て順に第1の軸2、上側のポールピース11a、モータ
ハブ9、下側のポールピース11b、第2の軸3を経て
マグネット4に返る磁気回路16が構成されるので、間
隙14a、14bには磁界が形成され、この間隙14
a、14bにおいて磁性流体15を封止し、このシール
作用によって、上記各間隙12、13a、13b内の流
体の漏洩を防止している。
【0015】上記の構成において、モータハブ9及びポ
ールピース11a、11bが回転すると、各間隙12、
13a、13bに封入されている磁性流体15には動圧
が発生し、この動圧はモータハブ9の穴10の内周面、
スリーブ5、ポールピース11a、11bにそれぞれ作
用する。このときの半径方向のラジアル荷重はシャフト
1が支持し、軸方向のスラスト荷重は各ポールピース1
1a、11bを介してシャフト1が支持することにな
る。
ールピース11a、11bが回転すると、各間隙12、
13a、13bに封入されている磁性流体15には動圧
が発生し、この動圧はモータハブ9の穴10の内周面、
スリーブ5、ポールピース11a、11bにそれぞれ作
用する。このときの半径方向のラジアル荷重はシャフト
1が支持し、軸方向のスラスト荷重は各ポールピース1
1a、11bを介してシャフト1が支持することにな
る。
【0016】次に本発明の要旨の部分について詳述す
る。図1は図3のA部の拡大断面図であり、図2は図3
のB部の拡大断面図である。ここで図1〜図3では、シ
ャフト1を固定側とし、ポールピース11a、11b側
が回転側である。そして本実施例では、シャフト1の軸
2の端部に大気開放部32側に拡開するテーパ部22を
面取りにより周設している。図1に示すように、シャフ
ト1に対してθの角度でもって面取りを施してテーパ部
22を形成しているものである。また図2に示すよう
に、ポールピース11b側に対応したシャフト1の軸3
の端部にも上記と同様のテーパ部22を周設している。
る。図1は図3のA部の拡大断面図であり、図2は図3
のB部の拡大断面図である。ここで図1〜図3では、シ
ャフト1を固定側とし、ポールピース11a、11b側
が回転側である。そして本実施例では、シャフト1の軸
2の端部に大気開放部32側に拡開するテーパ部22を
面取りにより周設している。図1に示すように、シャフ
ト1に対してθの角度でもって面取りを施してテーパ部
22を形成しているものである。また図2に示すよう
に、ポールピース11b側に対応したシャフト1の軸3
の端部にも上記と同様のテーパ部22を周設している。
【0017】このように固定側のシャフト1のテーパ部
22を形成してあるので、連続回転によって磁性流体1
5の温度が上昇し、磁性流体15が膨張することによっ
て大気開放部32側の液面が外側に膨れても、固定側の
シャフト1のテーパ部22の空間により膨張した磁性流
体15を吸収できる。しかもモータハブ9等が回転し、
磁性流体15にその粘性に起因する回転が生じて遠心力
が作用しても、外側のポールピース11a、11bには
テーパ部を設けていないので、磁性流体15のポールピ
ース11a、11bの表面に沿う流出は生じ難くなる。
したがって磁性流体15の飛散による汚れ等を防止する
ことが可能になる。
22を形成してあるので、連続回転によって磁性流体1
5の温度が上昇し、磁性流体15が膨張することによっ
て大気開放部32側の液面が外側に膨れても、固定側の
シャフト1のテーパ部22の空間により膨張した磁性流
体15を吸収できる。しかもモータハブ9等が回転し、
磁性流体15にその粘性に起因する回転が生じて遠心力
が作用しても、外側のポールピース11a、11bには
テーパ部を設けていないので、磁性流体15のポールピ
ース11a、11bの表面に沿う流出は生じ難くなる。
したがって磁性流体15の飛散による汚れ等を防止する
ことが可能になる。
【0018】先の実施例ではシャフト1を固定側とした
場合に、シャフト1にテーパ部22を形成して磁性流体
15の飛散を防止するようにしたが、これとは逆にシャ
フト1を回転側とし、ポールピース11a、11b側を
固定側とした場合にも、上記同様に回心部に近いシャフ
ト1にテーパ部22を形成すればよい。また先の実施例
では、マグネット4と、第1の軸2と、第2の軸3とで
シャフト1を構成し、上記軸2、3にテーパ部22を形
成する場合について説明したが、マグネット4のみでシ
ャフト1を構成した場合には、マグネット4の端部に上
記テーパ部22を形成するようにしてもよい。
場合に、シャフト1にテーパ部22を形成して磁性流体
15の飛散を防止するようにしたが、これとは逆にシャ
フト1を回転側とし、ポールピース11a、11b側を
固定側とした場合にも、上記同様に回心部に近いシャフ
ト1にテーパ部22を形成すればよい。また先の実施例
では、マグネット4と、第1の軸2と、第2の軸3とで
シャフト1を構成し、上記軸2、3にテーパ部22を形
成する場合について説明したが、マグネット4のみでシ
ャフト1を構成した場合には、マグネット4の端部に上
記テーパ部22を形成するようにしてもよい。
【0019】ここで上記実施例では、モータハブ9の内
面とスリーブ5の外面との間に封入される作動油として
磁性流体15を用いて説明したが、流体を封止する箇所
(ポールピースとシャフトの間)にだけ磁性流体を使用
し、他の部分、つまり軸受の動圧を発生する部分には油
を用いるようにしてもよい。ただ実際には、磁性流体1
5だけを用いた方が信頼性は向上する。また上記実施例
では、シャフトの両端を封止する場合について説明した
が、一端側だけを封止する構成の動圧軸受装置の場合も
本発明を適用することができる。
面とスリーブ5の外面との間に封入される作動油として
磁性流体15を用いて説明したが、流体を封止する箇所
(ポールピースとシャフトの間)にだけ磁性流体を使用
し、他の部分、つまり軸受の動圧を発生する部分には油
を用いるようにしてもよい。ただ実際には、磁性流体1
5だけを用いた方が信頼性は向上する。また上記実施例
では、シャフトの両端を封止する場合について説明した
が、一端側だけを封止する構成の動圧軸受装置の場合も
本発明を適用することができる。
【0020】
【発明の効果】以上のようにこの発明の動圧軸受装置で
は、シャフトのテーパ部により磁性流体の膨張を吸収す
る空間を確保でき、しかも従来のように外周部側にテー
パ部を形成した構成ではなく、内周部側のシャフトにテ
ーパ部を形成しているので、連続回転によって磁性流体
に遠心力が作用しても、磁性流体が表面に飛散するのを
防止し得る。そのため磁性流体の表面への飛散による汚
れ等の問題の発生を防止することができる。
は、シャフトのテーパ部により磁性流体の膨張を吸収す
る空間を確保でき、しかも従来のように外周部側にテー
パ部を形成した構成ではなく、内周部側のシャフトにテ
ーパ部を形成しているので、連続回転によって磁性流体
に遠心力が作用しても、磁性流体が表面に飛散するのを
防止し得る。そのため磁性流体の表面への飛散による汚
れ等の問題の発生を防止することができる。
【図1】この発明の実施例の図3のA部の拡大断面図で
ある。
ある。
【図2】この発明の実施例の図3のB部の拡大断面図で
ある。
ある。
【図3】この発明の実施例の動圧軸受装置の断面図であ
る。
る。
【図4】従来例の要部拡大断面図である。
1 シャフト 2 第1の軸 3 第2の軸 4 マグネット 5 スリーブ 6 挿通孔 9 モータハブ 11a ポールピース 11b ポールピース 15 磁性流体(作動油) 21 シール部 22 テーパ部 32 大気開放部
Claims (1)
- 【請求項1】 軸方向に着磁したシャフト(1)と、軸
芯に設けた挿通孔(6)に上記シャフト(1)を挿入嵌
合したスリーブ(5)と、上記スリーブ(5)の外周部
に相対回転可能に遊嵌されたハブ(9)と、上記スリー
ブ(5)の端面を覆うように上記ハブ(9)側から上記
シャフト(1)の近傍まで延びるポールピース(11
a)とを有し、上記スリーブ(5)の外周部とハブ
(9)の内周部との間にジャーナル軸受を構成し、上記
ポールピース(11a)の内周面と該内周面と対面する
シャフト(1)の外周面とで形成されるシール部(2
1)において、上記シャフト(1)からポールピース
(11a)を経由する磁気経路に磁性流体(15)を保
持し、これにより軸受作動流体(15)を封止するよう
にした動圧軸受装置であって、シャフト(1)の軸方向
の上記シール部(21)より外側部に大気開放部(3
2)側に拡開するテーパ部(22)を周設したことを特
徴とする動圧軸受装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13623394A JPH07310747A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 動圧軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13623394A JPH07310747A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 動圧軸受装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07310747A true JPH07310747A (ja) | 1995-11-28 |
Family
ID=15170401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13623394A Pending JPH07310747A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 動圧軸受装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07310747A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100356074C (zh) * | 2004-07-29 | 2007-12-19 | 松下电器产业株式会社 | 流体轴承装置 |
-
1994
- 1994-05-13 JP JP13623394A patent/JPH07310747A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100356074C (zh) * | 2004-07-29 | 2007-12-19 | 松下电器产业株式会社 | 流体轴承装置 |
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