JPH07163954A - 洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】個々のワークの状態に係わらず均一な洗浄品質
が得られる洗浄方法及び洗浄装置を提供する。 【構成】洗浄槽５内の洗浄液３にワーク４を浸漬して洗
浄する。洗浄槽５に清浄な洗浄液３を供給し、油分、異
物等が混入した洗浄液３を洗浄槽５外に排出する。洗浄
槽５内の洗浄液３の電導度を測定し、所定時間内の電導
度の変動の大きさが所定の判定値以下になったときに前
記洗浄の終了を判定する。または、前記所定時間内の電
導度の変動が無くなったときに前記洗浄の終了を判定す
る。洗浄液３を洗浄槽５外で濾過し、循環する。洗浄装
置１は、洗浄槽５、洗浄液供給手段９、洗浄液排出手段
８からなり、洗浄槽５に電導度測定手段２０を設け、終
了判定手段２１を設ける。洗浄液排出手段８と洗浄液供
給手段９とを接続する洗浄液循環手段１０を設け、洗浄
液循環手段１０に洗浄液濾過手段１２を設ける。洗浄槽
５の底部に超音波振動子２を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、洗浄槽に収容された洗
浄液にワークを浸漬して超音波洗浄等により洗浄する方
法及び洗浄装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、成形加工品等のワークを底部に超
音波振動子を備える超音波洗浄槽に収容された洗浄液に
ワークを浸漬し、前記超音波振動子から前記洗浄液に超
音波を放射して洗浄する超音波洗浄方法が知られてい
る。このような超音波洗浄方法では、溶存気体を脱気し
た洗浄液を使用することにより優れた洗浄効果が得ら
れ、ワークに応じて脱気の程度を変えることにより、バ
リの除去またはワーク表面に付着している材料屑などの
固体の異物、油分を介してワーク表面に付着している材
料屑などの固体の異物もしくは油分自体等の洗浄を行う
ことができる。

【０００３】前記超音波洗浄方法では、ワークの洗浄に
よりワークから除去された油分、異物等が前記洗浄液に
混入し、放置すると該洗浄液の洗浄能力が短時間で失わ
れる。そこで、通常は前記洗浄液を前記超音波洗浄槽外
に取り出して濾過することにより、該洗浄液に混入した
油分、異物等が除去し、清浄な洗浄液として前記超音波
洗浄槽に循環することにより、その洗浄能力の維持が図
られている。

【０００４】前記超音波洗浄方法では、ワークは前記洗
浄液に所定の洗浄時間浸漬されて洗浄される。前記洗浄
時間はワークの形態に応じて経験的に割り出されたもの
であり、前記洗浄液は前記のように常に清浄な状態に維
持されているので、予め前記洗浄時間を設定しておくこ
とにより、ワークの洗浄を一定の条件下に効率よく行う
ことができる。

【０００５】しかしながら、予め設定された前記洗浄時
間に従って洗浄を行うと、前記洗浄時間が個々のワーク
の状態に係わらず一定になるので、ワーク毎の洗浄品質
にムラができることがあるとの不都合がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる不都
合を解消して、個々のワークの状態に係わらず均一な洗
浄品質を得ることができる洗浄方法及び洗浄装置を提供
することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明の洗浄方法は、洗浄槽に収容された洗浄液
にワークを浸漬して洗浄するときに、該洗浄槽に清浄な
洗浄液を供給すると共に、該ワークの洗浄により除去さ
れた油分、異物等が混入した洗浄液を該洗浄槽外に排出
する洗浄方法において、前記洗浄槽内の前記洗浄液の電
導度を測定し、所定時間内の該電導度の変動の大きさが
所定の判定値以下になったときに前記洗浄の終了を判定
することを特徴とする。

【０００８】本発明の洗浄方法は、前記所定時間内の該
電導度の変動が無くなったときに前記洗浄の終了を判定
するようにしてもよい。

【０００９】また、本発明の洗浄方法は、前記油分、異
物等が混入した洗浄液を前記洗浄槽外で濾過し、前記清
浄な洗浄液として前記洗浄槽に循環することを特徴とす
る。

【００１０】本発明の洗浄方法は、洗浄液を収容する洗
浄槽と、該洗浄槽にワークを浸漬して洗浄するときに該
洗浄槽に清浄な洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、該
ワークの洗浄により除去された油分、異物等が混入した
洗浄液を該洗浄槽外に排出する洗浄液排出手段とからな
る洗浄装置において、該洗浄槽に該洗浄液の電導度を測
定を測定する電導度測定手段を設け、該電導度測定手段
により測定された前記洗浄液の電導度の所定時間内の変
動の大きさが所定の判定値以下になったときに前記洗浄
の終了を判定する終了判定手段を設けてなる洗浄装置に
より有利に実施することができる。

【００１１】前記洗浄装置では、前記洗浄液排出手段と
前記洗浄液供給手段とを接続して該洗浄液排出手段によ
り前記洗浄槽から取り出された洗浄液を該洗浄液供給手
段により該洗浄槽に循環させる洗浄液循環手段を設け、
該洗浄液循環手段に前記油分、異物等を濾過する洗浄液
濾過手段を設けてなることを特徴とする。また、前記洗
浄装置は、前記洗浄槽の底部に超音波振動子を設けてな
ることを特徴とする。

【００１２】

【作用】洗浄槽に収容された洗浄液中でワークを洗浄を
行うと、ワークから除去された油分及び固体の異物が洗
浄液に混入する。このとき、前記洗浄槽に清浄な洗浄液
を供給する一方、前記ワークの洗浄により除去された油
分及び固体の異物が混入した洗浄液を該洗浄槽外に排出
するようにしておくと、前記油分及び固体の異物の量
が、ワークの洗浄開始直後に一旦増加するが、次第に減
少し、再び洗浄槽内の洗浄液が清浄な状態に戻される。

【００１３】前記油分及び固体の異物は前記洗浄液中で
電荷の移動を媒介するので、前記洗浄液の電導度は前記
洗浄液中の前記油分及び固体の異物の量に対応して増減
する。即ち、ワークを洗浄する前の清浄な洗浄液では極
く低い電導度が、ワークの洗浄が開始された直後には急
激に高くなり、洗浄が進行して該ワークから該洗浄液に
混入する油分及び固体の異物の量が逓減されると、次第
に低くなる。

【００１４】従って、前記洗浄槽内の前記洗浄液の電導
度を測定すれば、一旦増大した電導度が減少に転じ、所
定時間内の該電導度の変動の大きさが所定の判定値以下
になったときには前記洗浄液に混入した前記油分及び固
体の異物が排出され、それ以上新たな混入が無くなった
ことを判断され、該時点を以て前記洗浄の終了が判定さ
れる。

【００１５】本発明の洗浄方法では、所定時間内の電導
度の変動が無くなったときに前記洗浄の終了を判定する
ようにすることにより、前記判定が容易になる。

【００１６】本発明の洗浄方法では、前記油分、異物等
が混入した洗浄液を前記洗浄槽外で濾過し、前記清浄な
洗浄液として前記洗浄槽に循環することにより、前記洗
浄槽内の洗浄液に含まれる前記油分及び固体の異物の量
が低減され、前記と同様に前記洗浄液の電導度から前記
洗浄の終了が判定される。また、前記のように洗浄液を
循環させることにより、洗浄液を繰り返し使用すること
ができ、経費が節減される。

【００１７】本発明の洗浄装置では、洗浄槽に収容され
た洗浄液にワークを浸漬することにより洗浄を行うとき
に、前記洗浄液供給手段により前記洗浄槽に清浄な洗浄
液が供給される一方、前記洗浄液排出手段により前記ワ
ークから除去された油分、異物等の混入した洗浄液が該
洗浄槽外に排出される。そして、前記洗浄槽に設けられ
た電導度測定手段により前記洗浄槽内の洗浄液の電導度
が経時的に測定され、該電導度の所定時間内の変動の大
きさが所定の判定値以下になったときに前記終了判定手
段により前記洗浄の終了が判定される。

【００１８】前記洗浄装置では、前記洗浄液排出手段と
前記洗浄液供給手段とを接続する洗浄液循環手段を設
け、該洗浄液循環手段に前記油分、異物等を濾過する洗
浄液濾過手段を設けることにより、前記洗浄液排出手段
により前記洗浄槽から取り出された洗浄液が前記濾過手
段により前記油分及び異物等が濾過され、清浄な洗浄液
として前記洗浄液供給手段により前記洗浄槽に循環され
る。

【００１９】また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄槽の
底部に超音波振動子を設け、超音波洗浄を行うときに、
特に有利に用いられる。前記超音波洗浄によれば、前記
ワークに付着している前記油分、異物等が急速に除去さ
れ、前記前記洗浄液排出手段により前記洗浄槽外に排出
されることにより優れた洗浄効果が得られる。前記超音
波洗浄は極めて迅速に行われるので、前記洗浄液の電導
度の変動が容易に把握され、前記超音波洗浄の終了が確
実に判定される。

【００２０】

【実施例】次に、添付の図面を参照しながら本発明の洗
浄方法及び洗浄装置についてさらに詳しく説明する。図
１は本発明の洗浄装置の一構成例を示す模式図であり、
図２は洗浄時間と油分残渣量及び電流値との関係を示す
グラフである。

【００２１】図１に示すように、本実施例の超音波洗浄
装置１は底部に超音波振動子装置２を備え槽内に供給さ
れた洗浄液３にワーク４を浸漬したときに超音波振動子
装置２から洗浄液３に超音波を放射してワーク４の洗浄
を行う超音波洗浄槽５と、超音波洗浄槽５に隣接して設
けられ超音波洗浄槽５にワーク４を浸漬したときにオー
バーフローする洗浄液３を収容するオーバーフロー槽６
とからなり、超音波洗浄槽５とオーバーフロー槽６と
は、傾斜した排液路７により接続されている。

【００２２】また、超音波振動子装置２はステンレス製
の密封容器内に図示しない超音波振動子を収容してな
り、該超音波振動子は外部の超音波発振器から送られる
超音波信号に基づいて、所定の超音波を放射する。超音
波振動子装置２は超音波によるエロージョンから保護す
るために、その表面にニッケルメッキが施されている。

【００２３】超音波洗浄槽５の側面には洗浄液取出し口
８と洗浄液供給口９とが相対向して設けられ、洗浄液取
出し口８及び洗浄液供給口９は、超音波洗浄槽５の外部
で導管１０を介して接続されており、導管１０の途中に
設けられたポンプ１１により、超音波洗浄槽５内の洗浄
液３が洗浄液取出し口８から導管１０を経由して洗浄液
供給口９に循環するようになっている。尚、洗浄液取出
し口８及び洗浄液供給口９には、超音波洗浄槽５から取
り出され、或は超音波洗浄槽５に供給される洗浄液３に
より超音波洗浄槽５内で超音波振動子装置２に平行な層
流を形成するようにする整流装置（図示せず）が内蔵さ
れている。

【００２４】導管１０にはポンプ１８の下流にフィルタ
ー１２が設けられ、ワーク４の洗浄により洗浄液３に混
入する油分またはバリ、材料屑等の固体の異物を濾過し
て除去するようになっている。

【００２５】また、導管１０にはフィルター１２の下流
に洗浄液３の溶存気体を脱気する脱気装置１３が設けら
れている。脱気装置１３は、減圧された密封槽中に洗浄
液３を導入して該密封槽中の減圧空間に洗浄液３中の溶
存気体を放出させて脱気する真空脱気装置、中空糸状気
体分離膜を多数収容し、洗浄液３を該中空糸状気体分離
膜内に流通させるとともに該中空糸状気体分離膜外を減
圧して洗浄液３中の溶存気体を該中空糸状気体分離膜を
介して分離する気体分離膜モジュール等が用いられる。

【００２６】洗浄液３は、脱気装置１３により脱気さ
れ、その溶存酸素濃度がワーク４の形態または洗浄目的
に応じて０．０１〜５ｐｐｍの範囲で調整される。尚、
超音波洗浄装置１は空気中で使用されるため、洗浄液３
に溶存している気体は実際には空気であるが、空気の組
成は酸素：窒素≒１：４でほぼ一定であるので、全溶存
気体濃度を示す指標として溶存酸素濃度を用いている。

【００２７】超音波洗浄槽５及びオーバーフロー槽６の
底部には、それぞれ洗浄液３の排出用導管１４ａ，１４
ｂが設けられており、排出用導管１４ａ，１４ｂはポン
プ１１の上流側で導管１０に接続されている。また、導
管１０は脱気装置１３の下流で補助導管１５を分岐し、
補助導管１４は超音波洗浄槽５の上部に設けられた補助
供給口１６に接続されている。前記導管１０、排出用導
管１４ａ，１４ｂ、補助導管１５には、適宜バルブ１７
が配設され、各導管の流量を調整できるようになってい
る。また、超音波洗浄槽５の底部には必要に応じて洗浄
液３を加温できるように、ヒーター１８が設けられてい
る。

【００２８】図１示の超音波洗浄装置１では、外部に直
流１２Ｖの電源１９を設け、超音波洗浄槽５に浸漬され
た電極板１９ａ，１９ｂに接続し、直流電源１９と直列
に接続された電流検出回路２０により洗浄液３の電導度
を測定するようになっている。また、電流検出回路２０
は、前記電導度の所定時間内の変動の大きさからワーク
４の洗浄の終了を判定する終了判定手段２１に接続され
ている。

【００２９】さらに、超音波洗浄装置１には、ワーク４
を超音波洗浄装置１に移送し、搬出する移動手段２２、
移動手段２２により搬送されたワーク４を移載して、超
音波洗浄槽５に浸漬する昇降手段２３が設けられてお
り、前記終了判定手段２１は昇降手段２３に接続されて
その作動を制御する様になっている。

【００３０】次に、本実施例の超音波洗浄装置１による
洗浄方法について、ワーク４としてコンプレッサーのベ
ーン（鉄製）を洗浄する場合を例にとって、説明する。
コンプレッサーのベーンは、＃１５００の砥粒（平均粒
子径８．０μｍ）及び鉱物油により両面ラップ加工が施
されており、その表面には砥粒及び材料屑が鉱物油とと
もに付着している。

【００３１】本実施例の洗浄方法では、まず、図示しな
いステンレス製の収納カゴに収容された前記ベーン（ワ
ーク４）が、移動手段２２により前工程から超音波洗浄
装置１に移送され、前記収納カゴごと昇降手段２３に移
載される。次いで、昇降手段２３が下降し、該収納カゴ
に収容された前記ベーン（ワーク４）が超音波洗浄槽５
内に浸漬される。そして、終了判定手段２１が作動し
て、直ちに電流検出回路２０により、洗浄液３の電導度
の測定が開始される。

【００３２】超音波洗浄槽５には、弱アルカリ洗浄剤５
％を含む水道水が洗浄液３として供給されており、洗浄
液３はポンプ１１により洗浄液取出し口８から取り出さ
れ導管１０によりフィルター１２及び脱気装置１３を経
由して洗浄液供給口９及び補助供給口１６から超音波洗
浄槽５に循環されている。前記循環は、超音波洗浄槽５
の容積の０．２５〜０．９５％／秒程度の洗浄液３が排
出、供給される様にして行われる。本実施例では、６０
リットルの容積を有する超音波洗浄槽５に対して、０．
２５リットル／秒の洗浄液３が排出、供給される。

【００３３】次に、超音波振動子装置２に収容されてい
る超音波振動子から、洗浄液３に超音波を放射してワー
ク４の超音波洗浄を行う。前記超音波は、出力６００
ｗ、周波数２５ｋＨｚで、１ｗ／ｃｍ² の密度である。

【００３４】ワーク４の超音波洗浄が開始されると、洗
浄液３は前記溶存酸素濃度になるように脱気されている
ので、キャビテーションの崩壊による衝撃波がワーク４
の表面に作用し、油分及び該油分を介して付着している
固体の異物がワーク４の表面から除去され、洗浄液３に
混入する。すると、前記油分及び固体の異物は洗浄液３
中で電荷の移動を媒介するので、洗浄液３の電導度が高
くなり、電流検出回路２０により電極板１９ａ，１９ｂ
間の電流の増加として検出される。

【００３５】洗浄液３は前記のように洗浄液取出し口８
から取り出され、フィルター１２により濾過されたの
ち、洗浄液供給口９及び補助供給口１６から超音波洗浄
槽５に循環されているので、ワーク４の洗浄が進行して
除去される油分及び固体の異物が減少すると、超音波洗
浄槽５内の洗浄液３が次第に清浄化され、前記洗浄液３
の電導度が逓減される。この電導度の逓減は電流検出回
路２０により経時的に測定されており、終了判定手段２
１に出力されている。そして、終了判定手段２１は、所
定時間内で前記電導度の変動が無くなったことを検知す
ると、洗浄が終了したものと判定し、昇降手段２３を上
昇させて前記収納カゴを超音波洗浄槽５から引き上げ
る。

【００３６】次に、引き上げられた前記収納カゴは、昇
降手段２３から移送手段２２に移載されて超音波洗浄装
置１から搬出され、洗浄操作が終了する。

【００３７】前記洗浄操作において、経時的に連続して
ワーク４の油分残渣量を測定したところ、下記表１のよ
うな結果が得られた。尚、前記油分残渣量はワーク４に
付着している油分を四塩化炭素により抽出し、所定量の
四塩化炭素中の油分濃度を赤外線吸収法により測定する
ことにより求めた。

【００３８】

【表１】

【００３９】表１から、洗浄時間が３０秒以上になる
と、ワーク４に付着している油分の残渣量が洗浄前に付
着していた油分の痕跡量となり、良品として扱うことが
できることが明らかである。

【００４０】次に、表１の洗浄時間に対応する時間ごと
に、洗浄液３の電導度として電流検出回路２０により測
定された電極板１９ａ，１９ｂ間の洗浄液３の電流値
を、下記表２に示す。

【００４１】

【表２】

【００４２】表２から、洗浄が始まると間もなく急激に
高くなった電流値が、洗浄の進行につれて次第に低下
し、ワーク４に付着している油分が痕跡量となる３０秒
以降には１．５ｍＡでその変動が無くなることが明らか
である。これは、洗浄の開始直後には油分、砥粒及び材
料屑等が洗浄液３に混入して、洗浄液３中で電荷の移動
を媒介するものが急激に増加するが、洗浄液３は前記の
ように循環されフィルター１２で濾過されるために洗浄
液３中の油分、砥粒及び材料屑等が次第に減少し、ワー
ク４に付着している油分が痕跡量になるに及んで、一定
になるものと考えることができる。

【００４３】表１及び表２の結果を合成したグラフを図
２に示す。表１、表２及び図２から明らかなように、本
実施例では超音波洗浄により、ワーク４に付着している
油分の残渣量が急速に減少し、洗浄開始から３０秒経過
した後には殆ど痕跡量となっているが、洗浄液３の電流
値は洗浄開始後一旦増加し、３０秒後には一定になる。
そして、この時点以降では変動が無くなるので、前記電
流値の変動を容易に把握することができ、洗浄の終了を
確実に判定することができる。

【００４４】本実施例では、前記電流値は洗浄開始から
３０秒以降では全く変動が無くなったが、所定時間例え
ば任意の３０秒間に前記電流値が緩い傾きで減少してお
り、その変動幅が所定の電流値以下、例えば１ｍＡ以下
になったときには、それ以上洗浄を継続しても実質的に
洗浄効果に影響がないものとして、洗浄が終了したもの
と判定するようにしてもよい。

【００４５】また、図１示の超音波洗浄装置１では、超
音波洗浄槽５に浸漬された電極板１９ａ，１９ｂの間の
洗浄液３の電流値を測定しているが、超音波洗浄槽５に
前記ステンレス製のカゴを浸漬してワーク４の洗浄を行
うときには、超音波洗浄槽５の容積を効率よく使用する
ために、電極板１９ａ，１９ｂを浸漬するスペースが得
られないことがある。このようなときには、電極板１９
ａ，１９ｂの一方をワーク４が収容されるステンレス製
のカゴまたは超音波振動子装置２に代え、前記ステンレ
ス製のカゴまたは超音波振動子装置２を電極板として用
いるようにしてもよく、前記ステンレス製のカゴ及び超
音波振動子装置２を直流電源１９に接続して前記ステン
レス製のカゴ及び超音波振動子装置２を電極板として用
いるようにしてもよい。前記ステンレス製のカゴ及び超
音波振動子装置２を電極板として用いるときには、例え
ば、前記ステンレス製のカゴを直流電源１９の陽極側
に、超音波振動子装置２を直流電源１９の陰極側に接続
する。

【００４６】さらに、超音波洗浄槽５が電導性材料から
なるときには、超音波洗浄槽５を電極として利用しても
よい。超音波洗浄槽５を電極とするときには、超音波洗
浄槽５とワーク４または超音波振動子装置２との間の洗
浄液３の電流値を測定するか、或は洗浄液３に電極板１
９ａまたは１９ｂを浸漬して電極板１９ａまたは１９ｂ
と超音波洗浄槽５との間の洗浄液３の電流値を測定す
る。

【００４７】

【発明の効果】以上のことから明らかなように、本発明
の洗浄方法によれば、ワークを洗浄する際に、前記洗浄
槽内の前記洗浄液の電導度を測定して、所定時間内の該
電導度の変動の大きさが所定の判定値以下になったとき
に前記洗浄が終了したものと判定することにより、個々
のワークの洗浄ごとに適切な時点で洗浄を終了すること
ができ、ワーク間でのバラツキのない優れた洗浄品質を
得ることができる。

【００４８】本発明の洗浄方法では、前記電導度が所定
時間内に変動が無くなったときに前記洗浄の終了を判定
するようにすることにより、前記判定を容易に行うこと
ができる。

【００４９】また、本発明の洗浄方法では、前記油分、
異物等が混入した洗浄液を前記洗浄槽外で濾過し、前記
清浄な洗浄液として前記洗浄槽に循環することにより、
前記洗浄槽内の洗浄液に含まれる前記油分及び固体の異
物の量が低減されるので、前記と同様に前記洗浄液の電
導度から前記洗浄の終了を判定することができると共
に、洗浄液を繰り返し使用することができるので、経費
を節減することができる。

【００５０】本発明の洗浄装置では、洗浄槽に収容され
た洗浄液にワークを浸漬することにより洗浄を行うとき
に、前記洗浄液供給手段により前記洗浄槽に清浄な洗浄
液が供給する一方、前記洗浄液排出手段により前記ワー
クから除去された油分、異物等の混入した洗浄液が該洗
浄槽外に排出して、前記洗浄槽に設けられた電導度測定
手段により前記洗浄槽内の洗浄液の電導度を経時的に測
定することにより、該電導度の所定時間内の変動の大き
さが所定の判定値以下になった時点をもって、前記終了
判定手段により前記洗浄の終了を判定することができ
る。

【００５１】前記洗浄装置では、前記洗浄液排出手段と
前記洗浄液供給手段とを接続する洗浄液循環手段を設
け、該洗浄液循環手段に前記油分、異物等を濾過する洗
浄液濾過手段を設けることにより、前記洗浄液排出手段
により前記洗浄槽から取り出された洗浄液を前記濾過手
段により濾過して、清浄な洗浄液として前記洗浄液供給
手段により前記洗浄槽に循環することができる。

【００５２】また、本発明の洗浄装置では、前記洗浄槽
の底部に超音波振動子を設けて超音波洗浄を行う際に
は、前記超音波洗浄は極めて迅速に行われるので、前記
洗浄液の電導度の変動が明確になる。従って、前記電導
度の変動を容易に把握することができ、前記超音波洗浄
の終了を確実に判定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の洗浄装置の一構成例を示す模式図。

【図２】洗浄時間と油分残渣量及び電流値との関係を示
すグラフ。

【符号の説明】

３…洗浄液、５…洗浄槽、８…洗浄液排出手段、９…洗
浄液供給手段、１０…洗浄液循環手段、１２…洗浄液濾
過手段、２０…電導度測定手段、２１…終了判定手段。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄槽に収容された洗浄液にワークを浸漬
   して洗浄するときに、該洗浄槽に清浄な洗浄液を供給す
   ると共に、該ワークの洗浄により除去された油分、異物
   等が混入した洗浄液を該洗浄槽外に排出する洗浄方法に
   おいて、前記洗浄槽内の前記洗浄液の電導度を測定し、
   所定時間内の該電導度の変動の大きさが所定の判定値以
   下になったときに前記洗浄の終了を判定することを特徴
   とする洗浄方法。
2. 【請求項２】前記所定時間内の該電導度の変動が無くな
   ったときに前記洗浄の終了を判定することを特徴とする
   請求項１記載の洗浄方法。
3. 【請求項３】前記油分、異物等が混入した洗浄液を前記
   洗浄槽外で濾過し、前記清浄な洗浄液として前記洗浄槽
   に循環することを特徴とする請求項１記載の洗浄方法。
4. 【請求項４】洗浄液を収容する洗浄槽と、該洗浄槽にワ
   ークを浸漬して洗浄するときに該洗浄槽に清浄な洗浄液
   を供給する洗浄液供給手段と、該ワークの洗浄により除
   去された油分、異物等が混入した洗浄液を該洗浄槽外に
   排出する洗浄液排出手段とからなる洗浄装置において、 該洗浄槽に該洗浄液の電導度を測定を測定する電導度測
   定手段を設け、該電導度測定手段により測定された前記
   洗浄液の電導度の所定時間内の変動の大きさが所定の判
   定値以下になったときに前記洗浄の終了を判定する終了
   判定手段を設けてなることを特徴とする洗浄装置。
5. 【請求項５】前記洗浄液排出手段と前記洗浄液供給手段
   とを接続して該洗浄液排出手段により前記洗浄槽から取
   り出された洗浄液を該洗浄液供給手段により該洗浄槽に
   循環させる洗浄液循環手段を設け、該洗浄液循環手段に
   前記油分、異物等を濾過する洗浄液濾過手段を設けてな
   ることを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。
6. 【請求項６】前記洗浄槽の底部に超音波振動子を設けて
   なることを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。