[go: up one dir, main page]

JPH07151980A - 逆投影ピント検査装置および調整装置 - Google Patents

逆投影ピント検査装置および調整装置

Info

Publication number
JPH07151980A
JPH07151980A JP22842494A JP22842494A JPH07151980A JP H07151980 A JPH07151980 A JP H07151980A JP 22842494 A JP22842494 A JP 22842494A JP 22842494 A JP22842494 A JP 22842494A JP H07151980 A JPH07151980 A JP H07151980A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
focus
projection
back projection
objective lens
light receiving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP22842494A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3670686B2 (ja
Inventor
Takaomi Sekiya
尊臣 関谷
Moriyasu Shirayanagi
守康 白柳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pentax Corp
Original Assignee
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd filed Critical Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority to JP22842494A priority Critical patent/JP3670686B2/ja
Publication of JPH07151980A publication Critical patent/JPH07151980A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3670686B2 publication Critical patent/JP3670686B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 誤差が少なく、また、深度バランスの調整が
簡単にできる逆投影ピント検査装置および調整装置を提
供すること。 【構成】 対物レンズ15と相対していないファイバー
バンドル11の観測系側端面13aから逆投影する光源
20と、上記ファイバーバンドル11の対物レンズ側端
面12aから射出され、上記対物レンズ15を透過した
逆投影光を分割するハーフミラー41、42と、上記フ
ァイバーバンドル11の対物レンズ側端面12aから異
なる光学距離に配置され、上記光路分割手段41、42
により分割された逆投影光をそれぞれ受光する撮像装置
51、52、53とを備えたピント検査装置、および、
上記撮像装置51、52、53が受光した像に基づいて
上記対物レンズ15を光軸に沿って移動させてピント調
整を行なう移動ステージ33を備えたピント調整装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ファイバースコープ等
の光学系のピント調整を、像側から物体側に逆投影して
結像させた像に基づいて行なう逆投影ピント検査装置お
よび調整装置に関する。
【0002】
【従来技術およびその問題点】内視鏡などに利用される
ファイバースコープは、通常、対物レンズでファイバー
バンドルの物体側端面に結像した像を、ファイバーバン
ドルの反対側端面で、接眼レンズ光学系、またはモニタ
ー系を介して観察するが、この対物レンズはファイバー
バンドルに対して固定される。したがって、製造過程に
おいて、対物レンズのピント調整が不可欠である。この
ピント調節方法として、ファイバーバンドルに観察系側
から光を入射し、対物レンズにより物体側に結像された
ファイバーバンドルの端面構造の像に基づいてピント調
整する逆投影法が特開平4-149509号公報に開示されてい
る。
【0003】しかし、この従来例では、1個の光電変換
素子を1か所に置いているだけなので、その位置におけ
るピント調整は可能であるが、その前後の物体に対する
ピントバランス調整、深度バランスの調整は行なえな
い。
【0004】図8および図9には、ファイバーバンドル
の端面の走査位置とその光強度との関係を示してある。
通常、ファイバーバンドル103は、多数のオプティカ
ルファイバー101の六方細密充填構造であるから、図
8(A)、図9(A)に示すように非等方光学系であ
る。しかも、通常、センサの幅はファイバ1本の幅(直
径)よりも非常に小さい。その比は、例えば、図8、9
において、オプティカルファイバー101に対して数分
の1以下である。したがって、一列のセンサで走査する
と、走査位置がずれたり、あるいはファイバーバンドル
103の端面の光軸周りの回転角が変わると、サンプリ
ングした光強度、あるいは強度分布が変化してしまう
(図8(B)、図9(B)参照)。そのため、測定誤差
が大きく、正確なピント調整が困難である、という問題
があった。
【0005】
【発明の目的】本発明は、上記従来のピント調整手段の
問題に鑑みてなされたもので、誤差が少なく、また、深
度バランスの調整が簡単にできる逆投影ピント検査装置
および調整装置を提供することを目的とする。
【0006】
【発明の概要】この目的を達成する本発明は、光ファイ
バーバンドルを有する光学系の対物レンズのピント検査
を行なう装置であって、対物レンズと相対していない光
ファイバーバンドルの観察系側端面から逆投影光を照射
する光源と、上記ファイバーバンドルの対物レンズ側端
面から射出され、上記対物レンズを透過した逆投影光を
分割する光路分割手段と、上記光路分割手段により分割
された逆投影光をそれぞれ受光する、上記ファイバーバ
ンドルの端面から異なる光学距離に配置された複数の逆
投影光受光手段と、を備えたことに特徴を有する。請求
項2に記載の本発明は、光ファイバーバンドルを有する
光学系の対物レンズのピント調整を行なう装置であっ
て、対物レンズと相対していない光ファイバーバンドル
の観察系側端面から逆投影光を照射する光源と、上記フ
ァイバーバンドルの対物レンズ側端面から射出され、上
記対物レンズを透過した逆投影光を分割する光路分割手
段と、上記光路分割手段により分割された逆投影光をそ
れぞれ受光する、上記ファイバーバンドルの端面から異
なる光学距離に配置された複数の逆投影光受光手段と、
上記複数の逆投影光受光手段が受光した像に基づいて上
記対物レンズのピント調整を行なうピント調整手段と、
を備えたことに特徴を有する逆投影ピント調整装置であ
る。
【0007】
【実施例】以下図示実施例に基づいて本発明を説明す
る。図1は、本発明を適用した、ファイバースコープ用
の逆投影ピント調整装置の一実施例を示すブロック図で
ある。このファイバースコープ10は、光ファイバーバ
ンドル11およびその物側端部(物体空間側の端部)1
2に装着される対物レンズ15を備えている。対物レン
ズ15は、物側端部12に嵌装された対物レンズ固定筒
17内に固定されている。なお、ファイバースコープ1
0の通常の使用状態では、対物レンズ15を介して光フ
ァイバーバンドル11の物側端部12の物側端面12a
に結像され、光ファイバーバンドル11の観測系側端面
13aに伝送された物体像は、図示しない接眼レンズ系
を通して観察され、あるいはCCD撮像装置等により撮
像してモニタTVに映し出される。
【0008】光ファイバーバンドル11は、観測系側端
部13が投影装置20に固定され、物側端部12が、焦
点調整装置を構成する移動ステージ33の固定具34に
固定され、さらに対物レンズ15(対物レンズ固定筒1
7)が固定台35に固定される。
【0009】移動ステージ33および固定台35は共通
のベンチ31上に装着されている。移動ステージ33
は、固定台35に対して直線的に、図示しないマイクロ
アジャスト機構により精密移動可能に構成されている。
対物レンズ15および物側端部12は、その光軸Oが移
動ステージ33の移動方向と平行になるように、移動ス
テージ33の固定具34および固定台35にそれぞれ固
定される。
【0010】観測系側端部13の観測系側端面13aに
は、集光レンズ23を介して光源21の光が入射され
る。本実施例では、ほぼ均一な光束を観測系側端面13
aに入射している。観測系側端面13aに入射された光
束は、光ファイバーバンドル11により伝達されて、物
側端面12aから射出(逆投影)される。ここで、光フ
ァイバーバンドル11は、コア部とクラッド部を有する
光ファイバーの六方細密充填構造であるという性質上、
物側端部12aは、二次元的な規則性のある二次光源に
なる。
【0011】対物レンズ15の物界側には、光軸O上に
順に、第1のハーフミラー41、第2のハーフミラー4
2および第3の撮像装置(逆投影像受光手段)53が配
置されている。第1のハーフミラー41の反射方向には
第1の撮像装置(逆投影像受光手段)51が配置され、
第2のハーフミラー42の反射方向には第2の撮像装置
(逆投影像受光手段)52が配置されている。これらの
ハーフミラー41、42および撮像装置51、52、5
3は、図示しないが、ベンチ31と共通の固定構造に固
定されている。ここで、第1の撮像装置51は、このフ
ァイバースコープ10により観察する最至近観察距離
(近点)に相当する光学距離に配置され、第3の撮像装
置53は、同最遠観察距離(遠点)に配置され、第2の
撮像装置52は、このファイバースコープ10の予定合
焦物距離に配置されている。
【0012】各撮像装置51〜53の受光面には、逆投
影された物側端面12aの像が対物レンズ15により結
像される。撮像装置51〜53は、多数の光電変換素子
を有する一次元あるいは二次元センサ、例えばCCDイ
メージセンサで構成される。CCDイメージセンサの場
合には周知の通り、一水平ライン単位での水平走査(X
方向)および垂直方向(Y方向)の垂直走査がなされ
る。なお、一次元センサの場合には、主走査および副走
査可能な構成に形成する。撮像装置51〜53は、受光
した像を光電変換し、電気的な画像信号として画像入出
力装置61に出力する。
【0013】画像入出力装置61は、撮像装置51〜5
3から入力した画像信号を所定の規格のディジタル画像
データに変換してパーソナルコンピュータ、ワークステ
ーションなどのコンピュータ63に出力し、またビデオ
信号に変換して端面像をTVモニタ67に表示する。こ
のTVモニタ67は、各撮像装置51〜53が受光した
像を切り替えながら再生する構成でもよく、あるいは画
面を分割して同時に表示する構成でもよい。さらに、モ
ニタを3個設けて、各撮像装置51〜53が受光した像
をそれぞれに同時に表示する構成でもよい。
【0014】一方、コンピュータ63は、画像入出力装
置61から入力した画像データに基づいて、光軸O付近
のコントラスト分布を横軸方向(撮像装置51〜53の
横方向)に演算し、演算結果をグラフとしてCRT65
に表示する。本実施例では、コンピュータ63は、光軸
付近の水平方向画像データを垂直方向に複数ライン分サ
ンプリングし、平均化処理を施して水平方向の光強度分
布曲線を算出し、CRT65に表示する。観測系側端面
12aにおけるサンプリング部分を図3の(A)、図4
の(A)に示し、その演算結果を図3の(B)、図4の
(B)に示した。
【0015】ここで、図3は、物側端面12aの像が撮
像装置51〜53のいずれかに鮮明に結像された場合、
つまりデフォーカス量がほぼ0の合焦状態を表わし、図
4は、同物側端面12aの像が撮像装置51〜53のい
ずれかに不鮮明に結像された場合、つまりデフォーカス
量が大きい非合焦状態を表わしている。これらの図から
明らかなように、合焦状態のときには平均強度に対する
光強度のピークと底との差(振幅)、つまりコントラス
トが大きく、非合焦状態のときには平均強度に対する光
強度のピークと底との差(振幅)、つまりコントラスト
が小さいことが分かる。
【0016】図5ないし図7には、移動ステージ33を
駆動して物側端面12aと対物レンズ15との間隔を変
化させたときのコントラストの変化状態を示したグラフ
である。各グラフにおいて、縦軸はコントラストを、横
軸は対物レンズ15と物側端面12aとの距離(以下
「レンズ距離Z」という)を示している。各グラフにお
いて、ピーク位置が合焦レンズ距離(位置)であり、コ
ントラストが低くなる程デフォーカスが大きくなること
を示している。
【0017】図5は、第2の撮像装置52により得たコ
ントラスト曲線52cを示してある。このグラフから、
レンズ距離ZがZ0 のときに、第2の撮像装置52に対
して合焦することが分かる。図6には、第1、第2の撮
像装置51、53により得たコントラスト曲線51c、
53cを、図7には、第1、第2、第3の撮像装置5
1、52、53により得たコントラスト曲線51c、5
2c、53cを示している。
【0018】図6より、コントラスト曲線51c、53
cが交わるレンズ距離Z0 にピント調整、つまり移動ス
テージ33を移動して対物レンズ15と物側端面12a
の距離を調整すれば、近点と遠点との間では、このレン
ズ距離Z0 で合焦する合焦物体の前後で合焦物体からの
距離に応じてほぼ均等なボケ具合となる。つまり、遠点
および近点においてほぼ均等なボケ具合となる。
【0019】また、図6、図7のグラフに基づいて、遠
点側あるいは近点側を重視したピント調整も簡単にでき
る。しかも、例えば、予定遠点が第3の撮像装置53よ
りも遠くにある場合は、レンズ距離Z0 よりも近いレン
ズ距離Z1 をベスト位置とすることにより、第3の撮像
装置53を移動することなくピント調整ができる。本実
施例のピント調整は移動ステージ33を移動して行なう
が、その移動は操作者自身が手動操作で行っても、ある
いはコンピュータ制御によって行う構成としてもよい。
また、本実施例をピント検査装置として使用するときに
は、ピント調整機構は使用しないので、これはなくても
よい。
【0020】図2には、第2、第3の撮像装置52、5
3の前方(対物レンズ15側)に、像倍率を小さくする
変倍レンズ72、73を配置した実施例を示してある。
内視鏡等のファイバースコープの場合、対物レンズ15
の画角は通常超広角なので、物側端面12aの像を対物
レンズ15から逆投影すると、遠方では像が非常に大き
く投影されてしまい、第1の撮像装置51と同サイズの
第2、第3の撮像装置52、53では周期構造を捕えら
れない場合を生じる。また、デフォーカス状態をモニタ
に映し出した像により肉眼で観察する場合には、各位置
における像の大きさが等しい方が観察が容易である。
【0021】そこで、第2、第3の撮像装置52、53
の前に倍率の異なる変倍レンズ72、73を配置して、
第1、第2、第3の撮像装置51、52、53にほぼ等
倍の物側端面12aの像が形成されるようにした。ま
た、遠点、近点が非常に近い場合には撮像装置51〜5
3を配置するスペースが無くなるので、光路延長光学系
を設けて配置スペースを確保する。
【0022】図示実施例では、撮像装置を3か所に設け
たが、本発明は2か所でも、4か所以上に設けてもよ
い。撮像装置の相対位置は固定したものでもよいが、移
動可能に構成すれば、より広範囲な条件でのピント調整
が容易になる。また、撮像装置を回転可能にするか、あ
るいは撮像装置が出力する画像データのサンプリング方
向、サンプリング幅を変更可能にすることにより、被検
光学系の周期、非周期構造にかかわらず同一条件でのピ
ント調整が可能になる。光路分割手段はハーフミラーに
限定されず、ビームスプリッタなどの光学素子を利用で
きる。光源21の光を観測系側端面13aに集光させて
いるが、コントラストが得られるパターン像を投影して
もよい。要するに、コントラスト法により焦点検出を行
なう場合には、コントラストのある像が得られる光源で
あればよいのである。また、焦点検出も、コントラスト
法に限定されることはない。
【0023】
【発明の効果】以上の通り請求項1に記載の本発明は、
ファイバースコープの物側の光路を二以上に分割して分
割光路の異なる光学距離に複数の受光手段を配置し、フ
ァイバースコープの観察系側から光を入射して上記各受
光手段に逆投影するので、その上記各受光手段が受光し
た逆投影像に基づいてピントの検査が容易にできる。さ
らに請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の各受光
手段が受光した逆投影像に基づいてピントを調整する調
整装置を備えているので、受光手段を移動することなく
異なる物体距離に対してのピント調整や、被写界深度を
考慮したピント調整が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したファイバースコープのピント
検査装置および調整装置の一実施例を示すブロック図で
ある。
【図2】同実施例の受光部の変形例を示すブロック図で
ある。
【図3】同実施例の光ファイバーバンドルの物側端面の
像およびサンプリング(走査)態様と光強度分布の関係
を示す図である。
【図4】同実施例の光ファイバーバンドルの物側端面の
像およびサンプリング(走査)態様と光強度分布の関係
を示す図である。
【図5】対物レンズ、光ファイバーバンドルの物側端面
間の距離とコントラストとの関係を示すグラフ図であ
る。
【図6】対物レンズ、光ファイバーバンドルの物側端面
間の距離とコントラストとの関係を示すグラフ図であ
る。
【図7】対物レンズ、光ファイバーバンドルの物側端面
間の距離とコントラストとの関係を示すグラフ図であ
る。
【図8】従来の光ファイバーバンドルの物側端面の像、
走査態様と光強度分布の関係を示す図である。
【図9】従来の光ファイバーバンドルの物側端面の像、
走査態様と光強度分布の関係を示す図である。
【符号の説明】
10 ファイバースコープ 11 光ファイバーバンドル 12a 物側端面 13a 観測系側端面 15 対物レンズ 31 ベンチ 33 移動ステージ 35 固定台 51 第1の撮像装置 52 第2の撮像装置 53 第3の撮像装置 61 画像入出力装置 63 コンピュータ 65 ディスプレイ 72 変倍レンズ 73 変倍レンズ

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ファイバーバンドルを有する光学系の
    対物レンズのピント検査を行なう装置であって、 対物レンズと相対していない光ファイバーバンドルの観
    察系側端面から逆投影光を照射する光源と、 上記ファイバーバンドルの対物レンズ側端面から射出さ
    れ、上記対物レンズを透過した逆投影光を分割する光路
    分割手段と、 上記光路分割手段により分割された逆投影光をそれぞれ
    受光する、上記ファイバーバンドルの端面から異なる光
    学距離に配置された複数の逆投影光受光手段と、を備え
    たことを特徴とする逆投影ピント検査装置。
  2. 【請求項2】 光ファイバーバンドルを有する光学系の
    対物レンズのピント調整を行なう装置であって、 対物レンズと相対していない光ファイバーバンドルの観
    察系側端面から逆投影光を照射する光源と、 上記ファイバーバンドルの対物レンズ側端面から射出さ
    れ、上記対物レンズを透過した逆投影光を分割する光路
    分割手段と、 上記光路分割手段により分割された逆投影光をそれぞれ
    受光する、上記ファイバーバンドルの端面から異なる光
    学距離に配置された複数の逆投影光受光手段と、 上記複数の逆投影光受光手段が受光した像に基づいて上
    記対物レンズのピント調整を行なうピント調整手段と、
    を備えたことを特徴とする逆投影ピント調整装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または2において、上記逆投影
    光受光手段は、各々で異なる倍率の投影光学系を含むこ
    とを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  4. 【請求項4】 請求項1から3のいずれか一項に記載の
    上記逆投影光受光手段は、受光した逆投影像を電気的な
    画像データに変換する光電変換手段を含むことを特徴と
    する逆投影ピント検査装置および調整装置。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の光電変換手段は、二次
    元画像データを取り込むこと、を特徴とする逆投影ピン
    ト検査装置および調整装置。
  6. 【請求項6】 請求項4に記載の光電変換手段は、二次
    元センサーであること、を特徴とする逆投影ピント検査
    装置および調整装置。
  7. 【請求項7】 請求項5に記載に装置はさらに、上記二
    次元画像データの中から、任意の方向、任意の幅の画像
    データをサンプリングするサンプリング手段を有するこ
    とを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  8. 【請求項8】 請求項6または7において、上記二次元
    画像データを平均化して一次元データ化する解析手段を
    含むことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整
    装置。
  9. 【請求項9】 請求項4から8のいずれか一項におい
    て、上記画像データに基づくコントラストデータをピン
    ト情報として利用することを特徴とする逆投影ピント検
    査装置および調整装置。
  10. 【請求項10】 請求項1から9のいずれか一項におい
    て、上記ファイバーバンドルの物体側端面において等デ
    フォーカスとなることが望まれる2つの物距離に配置さ
    れた逆投影像受光手段を含むことを特徴とする逆投影ピ
    ント検査装置および調整装置。
  11. 【請求項11】 請求項1から9のいずれか一項におい
    て、上記ファイバーバンドルの物体側端面において異な
    るデフォーカスとなることが望まれる複数の物距離に配
    置された逆投影像受光手段を含むことを特徴とする逆投
    影ピント検査装置および調整装置。
  12. 【請求項12】 請求項1から9のいずれか一項におい
    て、上記ファイバーバンドルの物体側端面において最良
    像面が望まれる物距離に配置された逆投影像受光手段を
    含むことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整
    装置。
  13. 【請求項13】 請求項10から12のいずれか一項に
    おいて、上記各逆投影受光手段が受光し変換した画像デ
    ータに基づいてピント評価を行なう評価手段を備えたこ
    とを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  14. 【請求項14】 請求項10において、上記評価手段に
    よる両逆投影像受光手段に基づく評価が等しくなるよう
    に上記ピント調整手段によりピント調整を行なうことを
    特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  15. 【請求項15】 請求項10において、上記両逆投影受
    光手段におけるデフォーカスが等しくなるようにピント
    調整手段によりピント調整を行なうことを特徴とする逆
    投影ピント検査装置および調整装置。
  16. 【請求項16】 請求項10から12のいずれか一項に
    おいて、上記評価手段による評価が、近距離側の評価よ
    りも遠距離側の評価の方が良くなるようにピント調整手
    段によりピント調整を行なうことを特徴とする逆投影ピ
    ント検査装置および調整装置。
  17. 【請求項17】 請求項10から12のいずれか一項に
    おいて、上記評価手段による評価が、遠距離側の評価よ
    りも近距離側の評価の方が良くなるようにピント調整手
    段によりピント調整を行なうことを特徴とする逆投影ピ
    ント検査装置および調整装置。
  18. 【請求項18】 請求項12において、上記最良像面が
    得られる物距離に配置された逆投影像受光手段に基づく
    評価が最良になるように上記ピント調整手段によりピン
    ト調整を行なうことを特徴とする逆投影ピント検査装置
    および調整装置。
JP22842494A 1993-09-27 1994-09-22 逆投影ピント検査装置および調整装置 Expired - Fee Related JP3670686B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22842494A JP3670686B2 (ja) 1993-09-27 1994-09-22 逆投影ピント検査装置および調整装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23956093 1993-09-27
JP5-239560 1993-09-27
JP22842494A JP3670686B2 (ja) 1993-09-27 1994-09-22 逆投影ピント検査装置および調整装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07151980A true JPH07151980A (ja) 1995-06-16
JP3670686B2 JP3670686B2 (ja) 2005-07-13

Family

ID=26528247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22842494A Expired - Fee Related JP3670686B2 (ja) 1993-09-27 1994-09-22 逆投影ピント検査装置および調整装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3670686B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JP3670686B2 (ja) 2005-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0834758B1 (en) Continuous volume imaging system for scanning microscopy
JP6865740B2 (ja) ライン走査イメージングにおけるリアルタイム合焦
US6839469B2 (en) Multiparallel three dimensional optical microscopy system
US20160151131A1 (en) Camera for recording surface structures, such as for dental purposes
JP2011024842A5 (ja)
JP2012073285A (ja) 撮像方法および顕微鏡装置
CN112334744B (zh) 用于多图像激光束质量测量的聚焦校正的方法和设备
JPH11211439A (ja) 表面形状計測装置
JPH1068616A (ja) 形状計測装置
JPH0868721A (ja) 光学系のピント評価方法、調整方法、ピント評価装置、調整装置、およびチャート装置
JPH09126739A (ja) 立体形状計測装置
JP2004054262A (ja) 電子カメラを用いた光学素子整合デバイス
JP2016148569A (ja) 画像測定方法、及び画像測定装置
JP4714674B2 (ja) 光補正要素を有した顕微鏡画像処理システム
KR20140071901A (ko) 공초점 광학식 검사 장치 및 공초점 광학식 검사 방법
JP3670686B2 (ja) 逆投影ピント検査装置および調整装置
JP2006519408A5 (ja)
JP4788968B2 (ja) 焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置
JP3389595B2 (ja) 光ファイバ観察装置および融着接続装置
KR100519266B1 (ko) 공초점 현미경
JP4828737B2 (ja) Mtf測定装置
DE112015006182T5 (de) Abtastbeobachtungsvorrichtung und Bildanzeigeverfahren der Abtastbeobachtungsvorrichtung
CN219122497U (zh) 一种拍摄装置
TWI794928B (zh) 可變變焦成像裝置以及光學成像系統
JPH06225225A (ja) 画像の解像力を向上させる方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050412

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Effective date: 20050415

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 5

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100422

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees