JPH07147207A - チップ抵抗器の製造方法 - Google Patents
チップ抵抗器の製造方法Info
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- JPH07147207A JPH07147207A JP5293070A JP29307093A JPH07147207A JP H07147207 A JPH07147207 A JP H07147207A JP 5293070 A JP5293070 A JP 5293070A JP 29307093 A JP29307093 A JP 29307093A JP H07147207 A JPH07147207 A JP H07147207A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 安価にチップ抵抗器を製造することを目的と
する。 【構成】 分割溝2を有する絶縁基板1の表面上に、一
対の第一次薄膜上面電極層3を形成する工程Bと、抵抗
体層4を形成する工程Cと、一対の第二次厚膜上面電極
層6を形成する工程Eと、抵抗体層4の抵抗値を修正す
る工程Fと、この抵抗体層4をオーバーコートガラス層
8で覆う工程Gと、絶縁基板1を一次分割する工程H
と、端面電極層9を形成する工程Iと、一次分割した基
板を個片1bに分割する工程とJと、電極部にめっき層
10を形成する工程Kとからなり、抵抗値が安定し信頼
性に優れた安価なチップ抵抗器を製造できる。
する。 【構成】 分割溝2を有する絶縁基板1の表面上に、一
対の第一次薄膜上面電極層3を形成する工程Bと、抵抗
体層4を形成する工程Cと、一対の第二次厚膜上面電極
層6を形成する工程Eと、抵抗体層4の抵抗値を修正す
る工程Fと、この抵抗体層4をオーバーコートガラス層
8で覆う工程Gと、絶縁基板1を一次分割する工程H
と、端面電極層9を形成する工程Iと、一次分割した基
板を個片1bに分割する工程とJと、電極部にめっき層
10を形成する工程Kとからなり、抵抗値が安定し信頼
性に優れた安価なチップ抵抗器を製造できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的に電子回路に用
いられるチップ抵抗器の製造方法に関する。
いられるチップ抵抗器の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、ハイブリッドICの小形・軽量・
薄形化が進むにつれ、電子部品の高密度実装化、省資源
化、信頼性の向上等をねらった新製品開発が進んできて
いる。電子部品の一つとしてのチップ抵抗器において
も、従来にも増して小形で高精度であり、しかも低コス
トのものが需要者側から広く要望されてきている。
薄形化が進むにつれ、電子部品の高密度実装化、省資源
化、信頼性の向上等をねらった新製品開発が進んできて
いる。電子部品の一つとしてのチップ抵抗器において
も、従来にも増して小形で高精度であり、しかも低コス
トのものが需要者側から広く要望されてきている。
【0003】以下、従来のチップ抵抗器の製造方法の一
例を図3の工程図に基づいて説明する。
例を図3の工程図に基づいて説明する。
【0004】すなわち、まず、工程aにおいて高純度の
アルミナ基板等からなる耐熱性の絶縁基板21の受け入
れを行う。この絶縁基板21には短冊状及び個片状に分
割するための分割溝22が形成されている。次に、工程
bで絶縁基板21上の各個片状部の両側部にAu系の上
面電極層23を形成する。そして工程cにおいてこの上
面電極層23の一部に重なるように抵抗体層24を形成
する。次に、工程dでこの抵抗体層24の抵抗値を所定
の値に修正するために、レーザートリミング法等によっ
て抵抗体層24にトリミング溝25を形成する抵抗値修
正の工程を実行する。
アルミナ基板等からなる耐熱性の絶縁基板21の受け入
れを行う。この絶縁基板21には短冊状及び個片状に分
割するための分割溝22が形成されている。次に、工程
bで絶縁基板21上の各個片状部の両側部にAu系の上
面電極層23を形成する。そして工程cにおいてこの上
面電極層23の一部に重なるように抵抗体層24を形成
する。次に、工程dでこの抵抗体層24の抵抗値を所定
の値に修正するために、レーザートリミング法等によっ
て抵抗体層24にトリミング溝25を形成する抵抗値修
正の工程を実行する。
【0005】次に、工程eでは工程dで形成した抵抗体
層24を保護するために、その表面にオーバーコート用
のガラス層26を形成する。次の工程fは絶縁基板21
を短冊状基板21aに分割する一次基板分割工程であ
り、この工程は次の工程gにて短冊状基板21aの端面
に端面電極層27を形成するための準備工程である。
層24を保護するために、その表面にオーバーコート用
のガラス層26を形成する。次の工程fは絶縁基板21
を短冊状基板21aに分割する一次基板分割工程であ
り、この工程は次の工程gにて短冊状基板21aの端面
に端面電極層27を形成するための準備工程である。
【0006】また次の工程hは短冊状基板21aを個片
状基板21bに分割する二次基板分割工程であり、次工
程iで露出している電極面をめっきを施す準備工程とな
るもので、工程iにおいてはんだ付け時の信頼性の確保
のための電極めっき層28を電極面に形成するように
し、これらの工程a〜iによってチップ抵抗器を形成し
ていた。
状基板21bに分割する二次基板分割工程であり、次工
程iで露出している電極面をめっきを施す準備工程とな
るもので、工程iにおいてはんだ付け時の信頼性の確保
のための電極めっき層28を電極面に形成するように
し、これらの工程a〜iによってチップ抵抗器を形成し
ていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のチップ
抵抗器は抵抗温度係数を±50ppm/℃以内とするた
め、一般的に上面電極層23にAu系のペーストを使用
するが、厚膜のAuは高価なため生産コストの増大につ
ながるものであった。このために、上面電極層23にA
u系の金属有機物ペースト(レジネートペースト)を使
用すれば、薄膜による上面電極層が形成でき、安価にチ
ップ抵抗器を製造することはできる。しかしながら、上
面電極層が薄膜のために工程dの抵抗値修正工程におい
て、絶縁基板21の表面粗さの影響を受けやすくなり、
測定端子との接触不良を生じて抵抗値不良が多発すると
いう課題を有していた。
抵抗器は抵抗温度係数を±50ppm/℃以内とするた
め、一般的に上面電極層23にAu系のペーストを使用
するが、厚膜のAuは高価なため生産コストの増大につ
ながるものであった。このために、上面電極層23にA
u系の金属有機物ペースト(レジネートペースト)を使
用すれば、薄膜による上面電極層が形成でき、安価にチ
ップ抵抗器を製造することはできる。しかしながら、上
面電極層が薄膜のために工程dの抵抗値修正工程におい
て、絶縁基板21の表面粗さの影響を受けやすくなり、
測定端子との接触不良を生じて抵抗値不良が多発すると
いう課題を有していた。
【0008】本発明は上記課題を解決するもので、上面
電極層に厚膜のAuペーストを使用した場合と同等の優
れた信頼性を有し、しかも抵抗値修正工程において測定
端子との接触不良をなくすことで、抵抗値不良による歩
留悪化を低減させ、安価にチップ抵抗器を提供できるよ
うにすることを目的としている。
電極層に厚膜のAuペーストを使用した場合と同等の優
れた信頼性を有し、しかも抵抗値修正工程において測定
端子との接触不良をなくすことで、抵抗値不良による歩
留悪化を低減させ、安価にチップ抵抗器を提供できるよ
うにすることを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のチップ抵抗器の製造方法は、表裏面の少なく
とも一方に互いに相対するように設けた縦方向及び横方
向の分割溝を有する絶縁基板の表面上に、Au系の金属
有機物からなる電極材料を印刷し焼成して一対の第一次
薄膜上面電極層を形成する工程と、この一対の第一次薄
膜上面電極層に重なるように抵抗体層を形成する工程
と、この抵抗体層に掛からないようにし、かつ前記第一
次薄膜上面電極層上に一対の第二次厚膜上面電極層を形
成する工程と、前記抵抗体層の抵抗値を修正する工程
と、この抵抗体層を完全に覆うようにオーバーコートガ
ラス層を形成する工程と、前記絶縁基板に端面電極層を
形成するために前記絶縁基板を一次分割する工程と、こ
の一次分割した基板の端面部に電極層の形成を行う工程
と、電極用めっき層を形成するために前記一次分割した
基板を個片に二次分割する工程と、二次分割後露出した
電極部にめっき層を形成する工程とを備えたものであ
る。
に本発明のチップ抵抗器の製造方法は、表裏面の少なく
とも一方に互いに相対するように設けた縦方向及び横方
向の分割溝を有する絶縁基板の表面上に、Au系の金属
有機物からなる電極材料を印刷し焼成して一対の第一次
薄膜上面電極層を形成する工程と、この一対の第一次薄
膜上面電極層に重なるように抵抗体層を形成する工程
と、この抵抗体層に掛からないようにし、かつ前記第一
次薄膜上面電極層上に一対の第二次厚膜上面電極層を形
成する工程と、前記抵抗体層の抵抗値を修正する工程
と、この抵抗体層を完全に覆うようにオーバーコートガ
ラス層を形成する工程と、前記絶縁基板に端面電極層を
形成するために前記絶縁基板を一次分割する工程と、こ
の一次分割した基板の端面部に電極層の形成を行う工程
と、電極用めっき層を形成するために前記一次分割した
基板を個片に二次分割する工程と、二次分割後露出した
電極部にめっき層を形成する工程とを備えたものであ
る。
【0010】
【作用】上記した構成により、第一次薄膜上面電極層に
は金属有機物ペーストを使用しているので材料コストを
下げることができるとともに、第一次薄膜上面電極層の
上に第二次厚膜上面電極層として厚膜電極層を抵抗体に
掛からないように重ねて形成しているので、抵抗値を修
正する工程において測定端子がこの第二次厚膜上面電極
層と接触するため、薄膜上面電極層のみ形成した場合と
は異なり、基板の表面粗さの影響を受けず、測定端子結
合時の接触不良による抵抗値不良を低減できる。
は金属有機物ペーストを使用しているので材料コストを
下げることができるとともに、第一次薄膜上面電極層の
上に第二次厚膜上面電極層として厚膜電極層を抵抗体に
掛からないように重ねて形成しているので、抵抗値を修
正する工程において測定端子がこの第二次厚膜上面電極
層と接触するため、薄膜上面電極層のみ形成した場合と
は異なり、基板の表面粗さの影響を受けず、測定端子結
合時の接触不良による抵抗値不良を低減できる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図1,図
2を用いて説明する。
2を用いて説明する。
【0012】図1はチップ抵抗器の製造方法の一例を示
す工程図で、図2はその工程によって製造した製品の断
面図である。図において、Aは受け入れ工程であり、ま
ず、工程Aで耐熱性及び絶縁性に優れた例えばアルミナ
96からなる絶縁基板1を受け入れる。この絶縁基板1
の表裏面には、絶縁基板1を短冊状及び個片状に分割で
きるように、両面に互いに相対するように設けた縦方向
及び横方向の分割溝2がグリーンシート時の金型成形等
によって形成されている。
す工程図で、図2はその工程によって製造した製品の断
面図である。図において、Aは受け入れ工程であり、ま
ず、工程Aで耐熱性及び絶縁性に優れた例えばアルミナ
96からなる絶縁基板1を受け入れる。この絶縁基板1
の表裏面には、絶縁基板1を短冊状及び個片状に分割で
きるように、両面に互いに相対するように設けた縦方向
及び横方向の分割溝2がグリーンシート時の金型成形等
によって形成されている。
【0013】次に、工程Bでは、絶縁基板1の表面に形
成した各個片状部の両側部にAuを主成分とした金属有
機物からなる電極ペーストをスクリーン印刷し、かつベ
ルト式連続焼成炉によって850℃の温度で、ピーク時
間6分、IN−OUT(保持)時間45分のプロファイ
ル(設定条件)によって焼成して第一次薄膜上面電極層
3を形成する。
成した各個片状部の両側部にAuを主成分とした金属有
機物からなる電極ペーストをスクリーン印刷し、かつベ
ルト式連続焼成炉によって850℃の温度で、ピーク時
間6分、IN−OUT(保持)時間45分のプロファイ
ル(設定条件)によって焼成して第一次薄膜上面電極層
3を形成する。
【0014】次に、工程Cでは、第一次薄膜上面電極層
3の一部に重なるようにRuO2系からなる抵抗ペース
トをスクリーン印刷し、かつベルト式連続焼成炉によっ
て850℃の温度で、ピーク時間6分、IN−OUT時
間45分のプロファイルにより焼成して抵抗体層4を各
個片部に形成する。
3の一部に重なるようにRuO2系からなる抵抗ペース
トをスクリーン印刷し、かつベルト式連続焼成炉によっ
て850℃の温度で、ピーク時間6分、IN−OUT時
間45分のプロファイルにより焼成して抵抗体層4を各
個片部に形成する。
【0015】次に、工程Dでは、工程Cで形成した抵抗
体層4を保護し、後工程でのレーザートリミング性を向
上させるために、抵抗体層4を完全に覆うようにプリコ
ート用のガラスペーストをスクリーン印刷し、かつベル
ト式連続焼成炉によって600℃の温度で、ピーク時間
6分、IN−OUT時間45分のプロファイルにより焼
成してプリコートガラス層5を形成する。
体層4を保護し、後工程でのレーザートリミング性を向
上させるために、抵抗体層4を完全に覆うようにプリコ
ート用のガラスペーストをスクリーン印刷し、かつベル
ト式連続焼成炉によって600℃の温度で、ピーク時間
6分、IN−OUT時間45分のプロファイルにより焼
成してプリコートガラス層5を形成する。
【0016】次に、工程Eでは、後工程Fの抵抗値修正
工程において測定端子結合時の接触不良による抵抗値不
良をなくすために、第一次薄膜上面電極層3の上に55
0〜650℃の軟化点を有するAg系のペーストをスク
リーン印刷し、かつベルト式連続焼成炉によって600
℃の温度で、ピーク時間6分、IN−OUT時間45分
のプロファイルにより焼成して第二次厚膜上面電極層6
を形成する。そして、抵抗体層4の抵抗値を所定の値に
修正するために、レーザー光によって抵抗体層4にトリ
ミング溝7を形成する抵抗値修正の工程Fを実行する。
工程において測定端子結合時の接触不良による抵抗値不
良をなくすために、第一次薄膜上面電極層3の上に55
0〜650℃の軟化点を有するAg系のペーストをスク
リーン印刷し、かつベルト式連続焼成炉によって600
℃の温度で、ピーク時間6分、IN−OUT時間45分
のプロファイルにより焼成して第二次厚膜上面電極層6
を形成する。そして、抵抗体層4の抵抗値を所定の値に
修正するために、レーザー光によって抵抗体層4にトリ
ミング溝7を形成する抵抗値修正の工程Fを実行する。
【0017】次に、工程Gで前工程までに得た抵抗体層
4の保護のために、プリコートガラス層5を完全に覆う
ようにオーバーコート用のガラスペーストをスクリーン
印刷し、かつベルト式連続焼成炉によって600℃の温
度で、ピーク時間6分、IN−OUT時間45分のプロ
ファイルにより焼成してオーバーコートガラス層8を形
成する。
4の保護のために、プリコートガラス層5を完全に覆う
ようにオーバーコート用のガラスペーストをスクリーン
印刷し、かつベルト式連続焼成炉によって600℃の温
度で、ピーク時間6分、IN−OUT時間45分のプロ
ファイルにより焼成してオーバーコートガラス層8を形
成する。
【0018】次の工程Hは絶縁基板1を短冊状に分割し
て短冊状基板1aを得る基板一次分割工程であり、この
工程Hは次工程Iで端面電極層9を形成するための準備
工程となり、端面電極を露出させる工程である。
て短冊状基板1aを得る基板一次分割工程であり、この
工程Hは次工程Iで端面電極層9を形成するための準備
工程となり、端面電極を露出させる工程である。
【0019】工程Iでは、短冊状基板1aの側面に、第
二次厚膜上面電極層6の一部と重なるように厚膜のAg
ペーストをローラーによって塗布し、かつベルト式連続
焼成炉によって600℃の温度で、ピーク時間6分、I
N−OUT時間45分のプロファイルにて焼成して端面
電極層9を形成する。
二次厚膜上面電極層6の一部と重なるように厚膜のAg
ペーストをローラーによって塗布し、かつベルト式連続
焼成炉によって600℃の温度で、ピーク時間6分、I
N−OUT時間45分のプロファイルにて焼成して端面
電極層9を形成する。
【0020】次に、端面電極層9にめっきを施すための
準備工程として、端面電極層9が形成済みとなった短冊
状基板1aを、個片状基板1bに分割する基板二次分割
の工程Jを実行する。
準備工程として、端面電極層9が形成済みとなった短冊
状基板1aを、個片状基板1bに分割する基板二次分割
の工程Jを実行する。
【0021】そして最後に、露出している第二次厚膜上
面電極層6と端面電極層9のはんだ付け時の電極喰われ
(消失)の防止及びはんだ付け時の信頼性の確保のた
め、電解めっきによってNi,Sn−Pbのめっき層1
0を形成する工程Kを実行する。
面電極層6と端面電極層9のはんだ付け時の電極喰われ
(消失)の防止及びはんだ付け時の信頼性の確保のた
め、電解めっきによってNi,Sn−Pbのめっき層1
0を形成する工程Kを実行する。
【0022】以上の工程A〜Kの実行により、図2に示
すようなチップ抵抗器11を試作した。
すようなチップ抵抗器11を試作した。
【0023】このように本発明のチップ抵抗器の製造方
法により、抵抗値修正工程における測定端子結合時の接
触不良による抵抗値不良率を、上面電極層に金属有機物
ペーストを使用した従来のチップ抵抗器の10%からほ
ぼ0%にまで低減させることができた。
法により、抵抗値修正工程における測定端子結合時の接
触不良による抵抗値不良率を、上面電極層に金属有機物
ペーストを使用した従来のチップ抵抗器の10%からほ
ぼ0%にまで低減させることができた。
【0024】なお、本発明の実施例では、抵抗体層4を
保護するためにプリコート用ガラスペーストを印刷・焼
成する工程Dを加えているが、この工程Dを削除しても
よい。
保護するためにプリコート用ガラスペーストを印刷・焼
成する工程Dを加えているが、この工程Dを削除しても
よい。
【0025】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明の
チップ抵抗器の製造方法によれば、次のような効果が得
られる。 (1) Au系の金属有機物ペーストを焼成して、第一
次薄膜上面電極層を形成するので、重なり合った抵抗膜
層との間の反応拡散を低減させることができ、厚膜Au
系ペーストを上面電極層に使用した従来のチップ抵抗器
と同等の特性を有するチップ抵抗器を安価に提供でき
る。 (2) プリコートガラス層と端面電極層に囲まれた第
一次薄膜上面電極層の全面を厚膜Agペーストによる第
二次厚膜上面電極層で被覆すれば、抵抗値修正工程にお
いて測定端子がこの第二次厚膜上面電極層と接触するた
め、絶縁基板の表面粗さの影響を受けず、測定端子結合
時の接触不良による抵抗値不良をなくすることができ
る。また、第二次厚膜上面電極層を形成するために導電
性樹脂ペーストを使用する場合も考えられるが、その場
合よりも厚膜グレーズペーストを使用して高温(600
℃)で形成することにより、上面電極強度を強くするこ
とができる。
チップ抵抗器の製造方法によれば、次のような効果が得
られる。 (1) Au系の金属有機物ペーストを焼成して、第一
次薄膜上面電極層を形成するので、重なり合った抵抗膜
層との間の反応拡散を低減させることができ、厚膜Au
系ペーストを上面電極層に使用した従来のチップ抵抗器
と同等の特性を有するチップ抵抗器を安価に提供でき
る。 (2) プリコートガラス層と端面電極層に囲まれた第
一次薄膜上面電極層の全面を厚膜Agペーストによる第
二次厚膜上面電極層で被覆すれば、抵抗値修正工程にお
いて測定端子がこの第二次厚膜上面電極層と接触するた
め、絶縁基板の表面粗さの影響を受けず、測定端子結合
時の接触不良による抵抗値不良をなくすることができ
る。また、第二次厚膜上面電極層を形成するために導電
性樹脂ペーストを使用する場合も考えられるが、その場
合よりも厚膜グレーズペーストを使用して高温(600
℃)で形成することにより、上面電極強度を強くするこ
とができる。
【図1】本発明の一実施例のチップ抵抗器の製造方法を
示す工程図
示す工程図
【図2】同製造方法で得たチップ抵抗器の断面図
【図3】従来のチップ抵抗器の製造方法を示す工程図
1 絶縁基板 1b 個片状基板(個片) 2 分割溝 3 第一次薄膜上面電極層 4 抵抗体層 6 第二次厚膜上面電極層 8 オーバーコートガラス層 9 端面電極層 10 めっき層 11 チップ抵抗器
フロントページの続き (72)発明者 福岡 章夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項1】 表裏面の少なくとも一方に互いに相対す
るように設けた縦方向及び横方向の分割溝を有する絶縁
基板の表面上に、Au系の金属有機物からなる電極材料
を印刷し焼成して一対の第一次薄膜上面電極層を形成す
る工程と、この一対の第一次薄膜上面電極層に重なるよ
うに抵抗体層を形成する工程と、この抵抗体層に掛から
ないようにし、かつ前記第一次薄膜上面電極層上に一対
の第二次厚膜上面電極層を形成する工程と、前記抵抗体
層の抵抗値を修正する工程と、この抵抗体層を完全に覆
うようにオーバーコートガラス層を形成する工程と、前
記絶縁基板に端面電極層を形成するために前記絶縁基板
を一次分割する工程と、この一次分割した基板の端面部
に電極層の形成を行う工程と、電極用めっき層を形成す
るために前記一次分割した基板を個片に二次分割する工
程と、二次分割後露出した電極部にめっき層を形成する
工程とを備えたことを特徴とするチップ抵抗器の製造方
法。 - 【請求項2】 第二次厚膜上面電極層は、550〜65
0℃の軟化点を有するAg系の厚膜グレーズペーストを
印刷・焼成して形成することを特徴とする請求項1記載
のチップ抵抗器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5293070A JPH07147207A (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | チップ抵抗器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5293070A JPH07147207A (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | チップ抵抗器の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07147207A true JPH07147207A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=17790066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5293070A Pending JPH07147207A (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | チップ抵抗器の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07147207A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030052196A (ko) * | 2001-12-20 | 2003-06-26 | 삼성전기주식회사 | 박막 칩 저항기 및 그 제조방법 |
US7103965B2 (en) | 2002-01-17 | 2006-09-12 | Rohm Co., Ltd. | Method of making chip resistor |
-
1993
- 1993-11-24 JP JP5293070A patent/JPH07147207A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030052196A (ko) * | 2001-12-20 | 2003-06-26 | 삼성전기주식회사 | 박막 칩 저항기 및 그 제조방법 |
US7103965B2 (en) | 2002-01-17 | 2006-09-12 | Rohm Co., Ltd. | Method of making chip resistor |
US7352273B2 (en) | 2002-01-17 | 2008-04-01 | Rohm Co., Ltd. | Chip resistor |
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