JPH069247A - 薄い被覆膜を有する太陽光を防ぐ窓ガラス - Google Patents
薄い被覆膜を有する太陽光を防ぐ窓ガラスInfo
- Publication number
- JPH069247A JPH069247A JP3075535A JP7553591A JPH069247A JP H069247 A JPH069247 A JP H069247A JP 3075535 A JP3075535 A JP 3075535A JP 7553591 A JP7553591 A JP 7553591A JP H069247 A JPH069247 A JP H069247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- window glass
- thickness
- glass according
- tantalum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3605—Coatings of the type glass/metal/inorganic compound
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/06—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals
- C03C17/09—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals by deposition from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3649—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer made of metals other than silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/25—Metals
- C03C2217/257—Refractory metals
- C03C2217/259—V, Nb, Ta
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T50/00—Aeronautics or air transport
- Y02T50/60—Efficient propulsion technologies, e.g. for aircraft
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】太陽光線に対する保護機能を有する薄膜被覆を
備えた一体式の窓ガラスを提供する。 【構成】薄膜（４）は、一体式の自動車窓ガラスを作製
するための透明な又は着色されたガラス板（３）を覆う
ためのものである。この膜（４）はスパッタリング法に
て付着された金属タンタルに基づく。これを、種々の金
属たとえばスズ、インジウム、亜鉛、アンチモン、カド
ミニウム及びタンタル等の酸化物に基づく層（５）で覆
ってもよい。太陽エネルギーの透過率は低く、そしてま
たガラスによる光の反射も少なく、それに対して反射の
外観は基材ガラスのそれと同様である。
備えた一体式の窓ガラスを提供する。 【構成】薄膜（４）は、一体式の自動車窓ガラスを作製
するための透明な又は着色されたガラス板（３）を覆う
ためのものである。この膜（４）はスパッタリング法に
て付着された金属タンタルに基づく。これを、種々の金
属たとえばスズ、インジウム、亜鉛、アンチモン、カド
ミニウム及びタンタル等の酸化物に基づく層（５）で覆
ってもよい。太陽エネルギーの透過率は低く、そしてま
たガラスによる光の反射も少なく、それに対して反射の
外観は基材ガラスのそれと同様である。
Description
【０００１】本発明は、薄膜の被覆を備えた一体式の窓
ガラスに関する。この窓ガラスは太陽光に対する保護を
提供し、そしてより具体的に言えば車両に、もっと詳し
く言えば自動車に取付けようとするものである。
ガラスに関する。この窓ガラスは太陽光に対する保護を
提供し、そしてより具体的に言えば車両に、もっと詳し
く言えば自動車に取付けようとするものである。
【０００２】最も最近の自動車モデルでは、窓ガラスの
面積そしてしばしば傾きはますますより大きくなってき
ている。客室の内部へ貫通しやすい太陽エネルギーは増
加しており、それゆえに、空調装置を備えない車両の高
温気象快適性はますます深刻な問題になっている。この
情況を改善するのを可能にする手段の一つは、入射する
太陽放射線のかなりの部分を吸収する薄膜の被覆を風防
ガラス以外の窓ガラスに備えつけることからなる。しか
しながら、そのような被覆については厳しい要件が存在
し、例えば、それらは反射率、殊に外側に向けての反射
率が制限されなくてはならず、同様にそれらの引掻き作
用及び湿度に対する抵抗は優れていなくてはならない。
本発明による被覆が既存の被覆と比べて決定的な改良を
提供するのが、これらの三つの基準である。
面積そしてしばしば傾きはますますより大きくなってき
ている。客室の内部へ貫通しやすい太陽エネルギーは増
加しており、それゆえに、空調装置を備えない車両の高
温気象快適性はますます深刻な問題になっている。この
情況を改善するのを可能にする手段の一つは、入射する
太陽放射線のかなりの部分を吸収する薄膜の被覆を風防
ガラス以外の窓ガラスに備えつけることからなる。しか
しながら、そのような被覆については厳しい要件が存在
し、例えば、それらは反射率、殊に外側に向けての反射
率が制限されなくてはならず、同様にそれらの引掻き作
用及び湿度に対する抵抗は優れていなくてはならない。
本発明による被覆が既存の被覆と比べて決定的な改良を
提供するのが、これらの三つの基準である。
【０００３】提起される技術的課題は次のように述べる
ことができる。すなわち、耐摩耗性及び耐湿性がガラス
だけのそれらとほとんど同じほど良好である非常に吸収
性の薄膜で被覆された窓ガラスをどのように得るか、と
いうことである。
ことができる。すなわち、耐摩耗性及び耐湿性がガラス
だけのそれらとほとんど同じほど良好である非常に吸収
性の薄膜で被覆された窓ガラスをどのように得るか、と
いうことである。
【０００４】ガラス上へ薄膜を付着させるために最もよ
く使われる技術の中で、一群の技術は高温での化学成長
（ｃｈｅｍｉｃａｌ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、例えば
熱分解の如きもの、あるいは気相化学成長（ＣＶＤ）を
利用し、その一方、他の群の技術は減圧下での堆積を利
用する。第一の群の技術にあっては、得られる膜の性能
に対して通常は制限がある。これは、製品はしばしば可
視光の透過率と赤外線の透過率との比が非常に小さいか
らである。それに反してこれらの技術には、最も普通に
は引掻き作用に対する耐性が良好であり且つ非常に耐湿
性の、極めて付着性の膜を提供するという利点がある。
減圧技術にあっては、光学的性能をもっとはるかに容易
に実現することができるけれども、対照的に、膜の機械
的又は化学的な耐性は熱分解された膜又はＣＶＤにより
製造された膜よりも明らかに劣るので、結果は異なる。
く使われる技術の中で、一群の技術は高温での化学成長
（ｃｈｅｍｉｃａｌ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、例えば
熱分解の如きもの、あるいは気相化学成長（ＣＶＤ）を
利用し、その一方、他の群の技術は減圧下での堆積を利
用する。第一の群の技術にあっては、得られる膜の性能
に対して通常は制限がある。これは、製品はしばしば可
視光の透過率と赤外線の透過率との比が非常に小さいか
らである。それに反してこれらの技術には、最も普通に
は引掻き作用に対する耐性が良好であり且つ非常に耐湿
性の、極めて付着性の膜を提供するという利点がある。
減圧技術にあっては、光学的性能をもっとはるかに容易
に実現することができるけれども、対照的に、膜の機械
的又は化学的な耐性は熱分解された膜又はＣＶＤにより
製造された膜よりも明らかに劣るので、結果は異なる。
【０００５】ところが、現代の自動車産業は、軽量でな
くてはならないために薄い窓ガラスを必要としている
が、それらにとっては入射する太陽エネルギーのわずか
な部分のみ、例えば３０％未満のみを通過させる一方
で、可視光に対してはなお十分に透過性のままであっ
て、例えば光の透過率が４０％を超えることも必要であ
る。これらの窓ガラスは、車両の後部に取付けられて、
「濃色の後尾（ｄａｒｋ ｔａｉｌ）」として知られる
概念を作り出そうというものである。
くてはならないために薄い窓ガラスを必要としている
が、それらにとっては入射する太陽エネルギーのわずか
な部分のみ、例えば３０％未満のみを通過させる一方
で、可視光に対してはなお十分に透過性のままであっ
て、例えば光の透過率が４０％を超えることも必要であ
る。これらの窓ガラスは、車両の後部に取付けられて、
「濃色の後尾（ｄａｒｋ ｔａｉｌ）」として知られる
概念を作り出そうというものである。
【０００６】この概念によれば、単一の車両においてそ
の窓ガラスの透過率を、風防ガラス（最も透明である）
から側面前方の窓ガラスへ、次いで側面後方の窓ガラス
へ、そして最後に背面の窓ガラス（最も透明度が低い）
への各段階によって低下させ、それにより風防ガラスを
通しての最大可視度についての要件（法規によれば光の
透過率は７５％を超える）に従うけれども、光の透過率
についての要件がそれほど厳しくないそのほかの窓ガラ
スの抗太陽エネルギー処理を強化することがもくろまれ
る。更に、重量の理由から可能な厚さの最も薄いガラス
を使用することが望ましいため、全体に着色されたガラ
スの場合には、一方では非常に濃い着色を有し、そして
他方では異なる着色度を有することが必要であろう（上
記の選ばれた例では四つ）。これらの二つの要件は実際
に達成することが非常に困難であって、これまでは、必
要とされる固有の吸収率を有する良好品質の平らなガラ
スを製造することは不可能であった。それらは一般に、
４ｍｍの厚さの場合に最低で４５％の程度のエネルギー
透過率に制限され、これらの透過率は非常に高い。これ
が、これらの支持ガラスから出発して唯一の可能な解決
策がそれらに一番効率的な膜の被覆、すなわち必要な吸
収率を提供する減圧下で適用された被覆を備えつけるこ
とであることの理由である。
の窓ガラスの透過率を、風防ガラス（最も透明である）
から側面前方の窓ガラスへ、次いで側面後方の窓ガラス
へ、そして最後に背面の窓ガラス（最も透明度が低い）
への各段階によって低下させ、それにより風防ガラスを
通しての最大可視度についての要件（法規によれば光の
透過率は７５％を超える）に従うけれども、光の透過率
についての要件がそれほど厳しくないそのほかの窓ガラ
スの抗太陽エネルギー処理を強化することがもくろまれ
る。更に、重量の理由から可能な厚さの最も薄いガラス
を使用することが望ましいため、全体に着色されたガラ
スの場合には、一方では非常に濃い着色を有し、そして
他方では異なる着色度を有することが必要であろう（上
記の選ばれた例では四つ）。これらの二つの要件は実際
に達成することが非常に困難であって、これまでは、必
要とされる固有の吸収率を有する良好品質の平らなガラ
スを製造することは不可能であった。それらは一般に、
４ｍｍの厚さの場合に最低で４５％の程度のエネルギー
透過率に制限され、これらの透過率は非常に高い。これ
が、これらの支持ガラスから出発して唯一の可能な解決
策がそれらに一番効率的な膜の被覆、すなわち必要な吸
収率を提供する減圧下で適用された被覆を備えつけるこ
とであることの理由である。
【０００７】ところがこの場合には、外側から見た窓ガ
ラスの外観に関連する新しい要件が生じる。この外観
は、通常の吸収性ガラスのように、可能な限り中間色で
あること、そしてそれが「濃色の後尾」の異なる窓ガラ
スにおいてほとんど変わらないことが必須である。
ラスの外観に関連する新しい要件が生じる。この外観
は、通常の吸収性ガラスのように、可能な限り中間色で
あること、そしてそれが「濃色の後尾」の異なる窓ガラ
スにおいてほとんど変わらないことが必須である。
【０００８】この方向での試みが行われており、例え
ば、欧州特許出願ＥＰ−０３７４０００号明細書は、炭
化チタンＴｉＣの膜でガラスを被覆し、炭化チタンの膜
自体を酸化スズインジウムの上層で被覆することを提案
する。この組み合わせは、太陽エネルギーに対して保護
するという機能を完壁に保証する。とは言うものの、反
射の外観は更になお改良することができ、また固定され
たガラスへの膜の付着力それ自体も向上させることがで
きる。更に、耐湿性及び耐摩耗性は非常に良好であると
は言え、それにもかかわらず基材のガラスのそれらの値
には達しない。
ば、欧州特許出願ＥＰ−０３７４０００号明細書は、炭
化チタンＴｉＣの膜でガラスを被覆し、炭化チタンの膜
自体を酸化スズインジウムの上層で被覆することを提案
する。この組み合わせは、太陽エネルギーに対して保護
するという機能を完壁に保証する。とは言うものの、反
射の外観は更になお改良することができ、また固定され
たガラスへの膜の付着力それ自体も向上させることがで
きる。更に、耐湿性及び耐摩耗性は非常に良好であると
は言え、それにもかかわらず基材のガラスのそれらの値
には達しない。
【０００９】ガラス上へ堆積させるためにタンタルを用
いることは公知である。例えば米国特許第４７７３７１
７号明細書は、高純度であって、反射色が鮮やかであ
り、この着色効果が金属フィルムとその上に付着させた
厚い界面膜との組み合わせにより得られる窓ガラスを記
載する。金属フィルムについて揚げられた９種類の金属
のうちに、タンタルが述べられている。
いることは公知である。例えば米国特許第４７７３７１
７号明細書は、高純度であって、反射色が鮮やかであ
り、この着色効果が金属フィルムとその上に付着させた
厚い界面膜との組み合わせにより得られる窓ガラスを記
載する。金属フィルムについて揚げられた９種類の金属
のうちに、タンタルが述べられている。
【００１０】窓ガラスに関連のない特開昭６２−１２３
４０３号公報には、着色された鏡を作製するための金属
としてタンタルを使用することが提案されており、この
金属は背面を陽極酸化により保護される。陽極酸化電圧
の調整をすることで、鏡の色を意のままに変えることが
可能になる。
４０３号公報には、着色された鏡を作製するための金属
としてタンタルを使用することが提案されており、この
金属は背面を陽極酸化により保護される。陽極酸化電圧
の調整をすることで、鏡の色を意のままに変えることが
可能になる。
【００１１】本発明は、自動車、より詳しく言うと「濃
色の後尾」の概念に従う車両に取付けようとする、単一
層窓ガラスとして使用するのに適しており、自動車窓ガ
ラスとしての用途に適合した性質、殊に光学反射性、耐
摩耗性及び耐湿性を有する窓ガラスを提供する。
色の後尾」の概念に従う車両に取付けようとする、単一
層窓ガラスとして使用するのに適しており、自動車窓ガ
ラスとしての用途に適合した性質、殊に光学反射性、耐
摩耗性及び耐湿性を有する窓ガラスを提供する。
【００１２】本発明によれば、シリコ−ソーダ−カルシ
ウム系ガラスを基礎材料とする太陽エネルギーを防ぐ窓
ガラスは１又は２以上の薄膜で被覆され、そして金属タ
ンタルに基づく膜をこのガラスと接触させ、存在する場
合には他の膜の厚さは４０ｎｍ未満である。
ウム系ガラスを基礎材料とする太陽エネルギーを防ぐ窓
ガラスは１又は２以上の薄膜で被覆され、そして金属タ
ンタルに基づく膜をこのガラスと接触させ、存在する場
合には他の膜の厚さは４０ｎｍ未満である。
【００１３】付着技術は、好ましくは、プラズマの電磁
的閉じ込めを用いる陰極スパッタリンである。
的閉じ込めを用いる陰極スパッタリンである。
【００１４】タンタル膜の厚さは２〜３０ｎｍであり、
自動車の横の窓ガラスの場合には４．５〜６．５ｎｍ、
好ましくは５ｎｍであり、自動車の屋根については２２
〜２８ｎｍである。
自動車の横の窓ガラスの場合には４．５〜６．５ｎｍ、
好ましくは５ｎｍであり、自動車の屋根については２２
〜２８ｎｍである。
【００１５】タンタルを酸化物の膜で覆う場合には、こ
れはスズ、インジウム、亜鉛、アンチモン、カドミウム
及びタンタルを含む群のうちの１又は２種以上の金属の
酸化物である。この膜の厚さは１０ｎｍよりも厚く、好
ましくは１２ｎｍより厚い。タンタル膜の厚さは、それ
が単独である場合と同じである。
れはスズ、インジウム、亜鉛、アンチモン、カドミウム
及びタンタルを含む群のうちの１又は２種以上の金属の
酸化物である。この膜の厚さは１０ｎｍよりも厚く、好
ましくは１２ｎｍより厚い。タンタル膜の厚さは、それ
が単独である場合と同じである。
【００１６】支持ガラスは好ましくは着色ガラスであ
り、特にＴＳＡ、ＴＳＡ＋＋又はＴＦＡタイプのもので
ある。横の窓ガラスの場合には、光の透過率は０．３０
〜０．７５であってＴＥ／ＴＬ比は０．７０未満であ
り、また自動車の屋根の場合には、光の透過率は最大で
０．１０である。
り、特にＴＳＡ、ＴＳＡ＋＋又はＴＦＡタイプのもので
ある。横の窓ガラスの場合には、光の透過率は０．３０
〜０．７５であってＴＥ／ＴＬ比は０．７０未満であ
り、また自動車の屋根の場合には、光の透過率は最大で
０．１０である。
【００１７】本発明は、非常に速く付着させることので
きる単純な金属膜によって、ガラス側での反射がガラス
単独のそれと同じ程度であり且つ殊に極めて耐摩耗性で
ある窓ガラスを得るのを可能にする。この耐引掻き性
は、なお更に耐湿性を著しく向上させる酸化物の被覆で
タンタルを覆うならばなお更に改良される。
きる単純な金属膜によって、ガラス側での反射がガラス
単独のそれと同じ程度であり且つ殊に極めて耐摩耗性で
ある窓ガラスを得るのを可能にする。この耐引掻き性
は、なお更に耐湿性を著しく向上させる酸化物の被覆で
タンタルを覆うならばなお更に改良される。
【００１８】本発明はまた、同じ構成を使って、同様の
外観及び同じ耐性を有する屋根用窓ガラスを得るのを可
能にする。
外観及び同じ耐性を有する屋根用窓ガラスを得るのを可
能にする。
【００１９】この明細書の記載と図面とによって、本発
明の作用、範囲及び利点を理解することが可能であろ
う。
明の作用、範囲及び利点を理解することが可能であろ
う。
【００２０】本発明による付着技術は好ましくは、例え
ば西独国特許第２４６３４３２号明細書又は米国特許第
４１１６８０６号明細書に記載されたような、プラズマ
を電磁的に閉じ込めた陰極スパッタリングである。
ば西独国特許第２４６３４３２号明細書又は米国特許第
４１１６８０６号明細書に記載されたような、プラズマ
を電磁的に閉じ込めた陰極スパッタリングである。
【００２１】例１ ここに揚げる例においては、西独国特許第２４６３４３
２号明細書の技術を利用する方法により吸収ガラス上に
タンタルの膜を付着させる。このガラスは、「ＴＳＡ
＋＋」として知られるタイプの厚さ４ｍｍの熱強化フロ
ートガラスである。その組成は伝統的なもの、すなわち
シリコ−ソーダ−カルシウム系であるが、その組成には
着色酸化物として酸化鉄と酸化コバルトが取入れられて
いる。Ｆｅ２Ｏ３の量は０．８０重量％であって、全鉄
分に関する第一鉄イオンの割合は０．２５であり、また
ＣｏＯの量は４重量ｐｐｍである。
２号明細書の技術を利用する方法により吸収ガラス上に
タンタルの膜を付着させる。このガラスは、「ＴＳＡ
＋＋」として知られるタイプの厚さ４ｍｍの熱強化フロ
ートガラスである。その組成は伝統的なもの、すなわち
シリコ−ソーダ−カルシウム系であるが、その組成には
着色酸化物として酸化鉄と酸化コバルトが取入れられて
いる。Ｆｅ２Ｏ３の量は０．８０重量％であって、全鉄
分に関する第一鉄イオンの割合は０．２５であり、また
ＣｏＯの量は４重量ｐｐｍである。
【００２２】陰極スパッタリングによりタンタルを付着
させるために、Ｔａを９９．８％含む金属ターゲットを
使用した。このターゲットの寸法は２１×９ｃｍであっ
た。装置は実験室用の陰極スパッタリング装置であっ
て、ターゲットを取付け、１０×１０ｃｍのガラス試験
片を直径３５ｃｍのターンテーブルで支持し、このター
ンテーブルでガラス試験片にターゲットの前を周期的に
通過させた。試験片とターゲットとの最小間隔は１０ｃ
ｍであった。ガス制御装置でもって、定められた流量の
種々のガスが上記閉鎖容器を通って循環するのを可能に
した。
させるために、Ｔａを９９．８％含む金属ターゲットを
使用した。このターゲットの寸法は２１×９ｃｍであっ
た。装置は実験室用の陰極スパッタリング装置であっ
て、ターゲットを取付け、１０×１０ｃｍのガラス試験
片を直径３５ｃｍのターンテーブルで支持し、このター
ンテーブルでガラス試験片にターゲットの前を周期的に
通過させた。試験片とターゲットとの最小間隔は１０ｃ
ｍであった。ガス制御装置でもって、定められた流量の
種々のガスが上記閉鎖容器を通って循環するのを可能に
した。
【００２３】まず第一に、掃気操作を行って装置及び何
らかの付着物、殊に有機質の付着物の基剤をパージし
た。次に第一工程を実施し、その間はプラズマの位置に
基材を置かず、２０ｃｍ３／ｍｉｎの流量でアルゴンを
流した（容積は標準の温度及び圧力条件（ＮＴＰ）下で
測定した）。陰極での電位を−２８０Ｖにした。次いで
陰極スパッタリングを３０分間実施し、これによりター
ゲットを清浄にしそして系の操作工程の準備を完了し
た。
らかの付着物、殊に有機質の付着物の基剤をパージし
た。次に第一工程を実施し、その間はプラズマの位置に
基材を置かず、２０ｃｍ３／ｍｉｎの流量でアルゴンを
流した（容積は標準の温度及び圧力条件（ＮＴＰ）下で
測定した）。陰極での電位を−２８０Ｖにした。次いで
陰極スパッタリングを３０分間実施し、これによりター
ゲットを清浄にしそして系の操作工程の準備を完了し
た。
【００２４】次にターンテーブルを作動させ、そして試
験片にターゲットの前を通過させて、電流を５００ｍＡ
で落ち着かせた。試験片がターゲットの前を通過するの
には６．５秒を要した。
験片にターゲットの前を通過させて、電流を５００ｍＡ
で落ち着かせた。試験片がターゲットの前を通過するの
には６．５秒を要した。
【００２５】真空装置から出して、タンタル膜の厚さを
測定し、５ｎｍであることが分った。次いで試験片を様
々な基準に従って評価した。これらのうちの一部は光学
的性能に関係し、その一方で他のものはガラス上での膜
の挙動に関係する。採用された光学的基準は、光の透過
率ＴＬと光の反射（光源Ａでの）であって、後者は膜側
（一般に、自動車の内部を向く面）で（ＲＬ）、あるい
は支持ガラスの側で（Ｒ´Ｌ）測定される。太陽放射線
についてのエネルギー透過率ＴＥも測定される。この例
においては、次の値、すなわちＴＬ＝０．４４，ＲＬ＝
０．１６，Ｒ′Ｌ＝０．０５，ＴＥ＝０．２９が得られ
る。これらの値は、自動車用途にとって適切であって、
特に、光の透過率はエネルギーの透過率と比べて相対的
に大きいことが分るであろう（ＴＥ／ＴＬ＝０．６
６）。
測定し、５ｎｍであることが分った。次いで試験片を様
々な基準に従って評価した。これらのうちの一部は光学
的性能に関係し、その一方で他のものはガラス上での膜
の挙動に関係する。採用された光学的基準は、光の透過
率ＴＬと光の反射（光源Ａでの）であって、後者は膜側
（一般に、自動車の内部を向く面）で（ＲＬ）、あるい
は支持ガラスの側で（Ｒ´Ｌ）測定される。太陽放射線
についてのエネルギー透過率ＴＥも測定される。この例
においては、次の値、すなわちＴＬ＝０．４４，ＲＬ＝
０．１６，Ｒ′Ｌ＝０．０５，ＴＥ＝０．２９が得られ
る。これらの値は、自動車用途にとって適切であって、
特に、光の透過率はエネルギーの透過率と比べて相対的
に大きいことが分るであろう（ＴＥ／ＴＬ＝０．６
６）。
【００２６】膜の機械的挙動に関しては、試験は摩耗試
験であって、米国のテーバー（Ｔａｂｅｒ）・インスト
ルメント・コーポレーションより入手した試験機である
モデル１７４標準摩耗試験機を用いて行われる。この試
験機には、５００ｇの荷重を負荷したＣＳ１０Ｆ研削砥
石が備えられる。
験であって、米国のテーバー（Ｔａｂｅｒ）・インスト
ルメント・コーポレーションより入手した試験機である
モデル１７４標準摩耗試験機を用いて行われる。この試
験機には、５００ｇの荷重を負荷したＣＳ１０Ｆ研削砥
石が備えられる。
【００２７】試験片を１０００回転させ、光の全透過率
τを積分球を使って摩耗前（τ０）と摩耗後（τ
１０００）に測定する。三番目の値は対照として働き、
これは未被覆ガラスの透過率τＶである。摩耗量は次式
の値Ｕにより測定される。
τを積分球を使って摩耗前（τ０）と摩耗後（τ
１０００）に測定する。三番目の値は対照として働き、
これは未被覆ガラスの透過率τＶである。摩耗量は次式
の値Ｕにより測定される。
【００２８】
【数１】
【００２９】図１においてガラス基材１の上の参照符号
１を有する膜を試験して、摩耗量Ｕが０．０２であるこ
とが示された。これは特別に小さい。実際のところ、同
じ用途向けであって原子番号２２から２８までの金属に
基づく膜は、同じ条件において、金属酸化物によるそれ
らの保護にもかかわらず０．４０の摩耗量を示す。同様
に、この０．０２という値を、それでもやはり非常に良
好であったフランス国特許出願第８８．１６１１２号明
細書に記載されたような酸化スズインジウムで保護され
た炭化チタン膜で達成された最良の結果と比較して、そ
れらの摩耗量がそれにもかかわらず０．０６より大きい
ことが分った。
１を有する膜を試験して、摩耗量Ｕが０．０２であるこ
とが示された。これは特別に小さい。実際のところ、同
じ用途向けであって原子番号２２から２８までの金属に
基づく膜は、同じ条件において、金属酸化物によるそれ
らの保護にもかかわらず０．４０の摩耗量を示す。同様
に、この０．０２という値を、それでもやはり非常に良
好であったフランス国特許出願第８８．１６１１２号明
細書に記載されたような酸化スズインジウムで保護され
た炭化チタン膜で達成された最良の結果と比較して、そ
れらの摩耗量がそれにもかかわらず０．０６より大きい
ことが分った。
【００３０】耐湿性又は耐湿性能については、ジュネー
ブの“Ｅｃｏｎｏｍｉｃ Ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎ ｆｏ
ｒ Ｅｕｒｏｐｅ”により制定された規定Ｒ４３の手順
を使用した。これは、試験片を５０℃及び９５％相対湿
度の環境に２週間留めることを必要とする。この規定に
より指定された評価は目視で行われ、試験後に劣化の形
跡が少しも認められないことが要求される。これは図１
の被覆の場合である。しかしながら、もっと一層正確な
評価を行うために、上記と同じ積分球を使って、試験の
前後に同一試験片との比較を行った。このようにして、
次式の値を有する劣化率Ｄを定義した。
ブの“Ｅｃｏｎｏｍｉｃ Ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎ ｆｏ
ｒ Ｅｕｒｏｐｅ”により制定された規定Ｒ４３の手順
を使用した。これは、試験片を５０℃及び９５％相対湿
度の環境に２週間留めることを必要とする。この規定に
より指定された評価は目視で行われ、試験後に劣化の形
跡が少しも認められないことが要求される。これは図１
の被覆の場合である。しかしながら、もっと一層正確な
評価を行うために、上記と同じ積分球を使って、試験の
前後に同一試験片との比較を行った。このようにして、
次式の値を有する劣化率Ｄを定義した。
【００３１】
【数２】
【００３２】この式中、τＨは試験終了時における被覆
された試験片の全透過率であり、τｏは試験開始時にお
ける同様の量であり、そしてτｖは未被覆ガラスの透過
率である。
された試験片の全透過率であり、τｏは試験開始時にお
ける同様の量であり、そしてτｖは未被覆ガラスの透過
率である。
【００３３】タンタルで被覆された図１の窓ガラスの場
合には、この劣化率は０．１５である。
合には、この劣化率は０．１５である。
【００３４】従って、上述の手順に従って評価された湿
度試験は、規定Ｒ４３によれば「良好」とみなされる結
果にもかかわらずある一定の劣化を示す、ということを
説明する。タンタルの膜を硬質の保護膜で覆ったのは、
この劣化を改善するためである。
度試験は、規定Ｒ４３によれば「良好」とみなされる結
果にもかかわらずある一定の劣化を示す、ということを
説明する。タンタルの膜を硬質の保護膜で覆ったのは、
この劣化を改善するためである。
【００３５】例２ 図２では、着色されたガラス基材３を見ることができ、
これは図１のガラス１と類似のものである。これもやは
り、タンタル膜４で覆われるが、この場合のこの金属は
金属酸化物に基づく追加の膜５で覆われる。
これは図１のガラス１と類似のものである。これもやは
り、タンタル膜４で覆われるが、この場合のこの金属は
金属酸化物に基づく追加の膜５で覆われる。
【００３６】この追加の膜は、例えば、反応性陰極スパ
ッタリング技術により付着させられる。上記と同じ実験
室用装置に、上記のタンタルターゲットを備えた陰極の
ほかに別の陰極を取付ける。後者のターゲットは、この
場合には純料なスズ（９９．９％純度）である。
ッタリング技術により付着させられる。上記と同じ実験
室用装置に、上記のタンタルターゲットを備えた陰極の
ほかに別の陰極を取付ける。後者のターゲットは、この
場合には純料なスズ（９９．９％純度）である。
【００３７】付着工程は次のように行われる。すなわ
ち、上記の第一の例のものとあらゆる点で同一の着色ガ
ラスの試験片を閉鎖容器に入れてから、装置を閉じてそ
の内部を真空にする。装置の掃気を行いそして流量２０
ｃｍ３／ｍｉｎ（ＮＴＰ）のアルゴンで装置をパージ
後、陰極に−２８０Ｖの電位を３０分間印加する。次い
で、タンタルの堆積を第一の例の場合のように実施す
る。
ち、上記の第一の例のものとあらゆる点で同一の着色ガ
ラスの試験片を閉鎖容器に入れてから、装置を閉じてそ
の内部を真空にする。装置の掃気を行いそして流量２０
ｃｍ３／ｍｉｎ（ＮＴＰ）のアルゴンで装置をパージ
後、陰極に−２８０Ｖの電位を３０分間印加する。次い
で、タンタルの堆積を第一の例の場合のように実施す
る。
【００３８】酸化物の膜の堆積も、「予備スパッタリン
グ」により開始し、その間にアルゴンと酸素との混合物
（酸素１５％）を２０ｃｍ３／ｍｉｎ（ＮＴＰ）の流量
で循環させる。１．３０パスカルの圧力を確立し、次い
で陰極に−３００Ｖを印加する。この予備操作の間に、
ガラスはシールドされる。数十分後に、ターンテーブル
を作動させる。堆積段階の間、電流は３００ｍＡに設定
される。ターンテーブルの回転速度は、１回転するのに
３分を要するような速度である。回転の終了時には堆積
を停止させる。この時には、ＳｎＯ２膜の厚さは１２ｎ
ｍである。
グ」により開始し、その間にアルゴンと酸素との混合物
（酸素１５％）を２０ｃｍ３／ｍｉｎ（ＮＴＰ）の流量
で循環させる。１．３０パスカルの圧力を確立し、次い
で陰極に−３００Ｖを印加する。この予備操作の間に、
ガラスはシールドされる。数十分後に、ターンテーブル
を作動させる。堆積段階の間、電流は３００ｍＡに設定
される。ターンテーブルの回転速度は、１回転するのに
３分を要するような速度である。回転の終了時には堆積
を停止させる。この時には、ＳｎＯ２膜の厚さは１２ｎ
ｍである。
【００３９】このように作製された試験片を前と同じ試
験にかける。結果は次のとおりである。 ＴＬ ＝０．４３ ＲＬ ＝０．１６ Ｒ′Ｌ＝０．０６ ＴＥ ＝０．２８ Ｕ ＝０．０２ Ｄ ＝０．００
験にかける。結果は次のとおりである。 ＴＬ ＝０．４３ ＲＬ ＝０．１６ Ｒ′Ｌ＝０．０６ ＴＥ ＝０．２８ Ｕ ＝０．０２ Ｄ ＝０．００
【００４０】このように、光学的な数値はタンタルだけ
の膜の場合と事実上同じままである。この場合にも、
０．６５の値を有するＴＥ／ＴＬは良好な性能指数を構
成する。摩耗についての値も同様なままである。湿分下
での劣化の値に関しては、これは注目すべきものであっ
て、５０℃で飽和湿度の雰囲気に２週間留めた後におい
て変化の徴候を少しも認めることができない。
の膜の場合と事実上同じままである。この場合にも、
０．６５の値を有するＴＥ／ＴＬは良好な性能指数を構
成する。摩耗についての値も同様なままである。湿分下
での劣化の値に関しては、これは注目すべきものであっ
て、５０℃で飽和湿度の雰囲気に２週間留めた後におい
て変化の徴候を少しも認めることができない。
【００４１】このような膜は、大規模な工業用装置を利
用して付着させることができ、そしてその場合には、そ
れは、近代的な建築物に特に所望される光の低反射率と
中間の色合いとを有する建築用窓ガラスの製造を可能に
する。
用して付着させることができ、そしてその場合には、そ
れは、近代的な建築物に特に所望される光の低反射率と
中間の色合いとを有する建築用窓ガラスの製造を可能に
する。
【００４２】例３ 例１と同じように、同じ装置を使って単一のタンタルタ
ーゲットを使用する。ガラス試験片も例１のように「Ｔ
ＳＡ＋＋」タイプのものである。
ーゲットを使用する。ガラス試験片も例１のように「Ｔ
ＳＡ＋＋」タイプのものである。
【００４３】この例では、純粋タンタル膜の堆積時間を
１２秒に増加し、その結果として実質的により厚く、従
ってより吸光性の膜を得る。更に、反応性タイプの酸化
タンタル堆積層を作り出すために同じターゲットを使用
し、すなわちプラズマ生成用アルゴンに１５％の割合で
酸素を加える。総流量は別２０ｃｍ３／ｍｉｎ（ＮＴ
Ｐ）のままである。ターンテーブルの回転速度は１回転
当り４分である。ターゲットを通り過ぎてから１回だけ
進行させた。膜の分析から、厚さ９ｎｍの金属タンタル
の膜があり、その上に１２ｎｍの酸化物膜が重なってい
ることが示された。このようにして、下記の特性を有す
る試験片が得られた。 ＴＬ ＝０．３５ ＲＬ ＝０．１９ Ｒ′Ｌ＝０．１０ ＴＥ ＝０．２４ ＴＥ／ＴＬ＝０．６９
１２秒に増加し、その結果として実質的により厚く、従
ってより吸光性の膜を得る。更に、反応性タイプの酸化
タンタル堆積層を作り出すために同じターゲットを使用
し、すなわちプラズマ生成用アルゴンに１５％の割合で
酸素を加える。総流量は別２０ｃｍ３／ｍｉｎ（ＮＴ
Ｐ）のままである。ターンテーブルの回転速度は１回転
当り４分である。ターゲットを通り過ぎてから１回だけ
進行させた。膜の分析から、厚さ９ｎｍの金属タンタル
の膜があり、その上に１２ｎｍの酸化物膜が重なってい
ることが示された。このようにして、下記の特性を有す
る試験片が得られた。 ＴＬ ＝０．３５ ＲＬ ＝０．１９ Ｒ′Ｌ＝０．１０ ＴＥ ＝０．２４ ＴＥ／ＴＬ＝０．６９
【００４４】ガラス側での透過光及び反射光の色の測定
も行って、ＴＳＡ＋＋タイプの着色ガラスの試験片のも
のと比較した。実際において、自動車で「濃色の後尾」
の概念を作り出すことが要望される場合には、車両の前
方から後方へ次々に続く異なる窓ガラスの外観は互いに
余りにも違わないことが重要である。このパラメーター
はガラス側からの反射について特に重要である。と言う
のも、車両の全体的な印象を与えるのがこの特性である
からである。接近したままであるということが、反射の
強度及び色にとって重要なことである。既に述べた値
Ｒ′Ｌのほかに、主波長λ′Ｄ（ｎｍ）と純度係数Ｐ′
（％）も測定した。透過に関しては、「濃色の後尾」の
車両の前部から後部へと原則により低下するエネルギー
透過率ＴＥを必然的に引き起こす光の透過率ＴＬの変化
を受け入れることを明らかに強いられるが、λＤとＰに
より特徴づけられる色もまた一つの窓ガラスから次の窓
ガラスへと余りにも大きく変化してはならない。
も行って、ＴＳＡ＋＋タイプの着色ガラスの試験片のも
のと比較した。実際において、自動車で「濃色の後尾」
の概念を作り出すことが要望される場合には、車両の前
方から後方へ次々に続く異なる窓ガラスの外観は互いに
余りにも違わないことが重要である。このパラメーター
はガラス側からの反射について特に重要である。と言う
のも、車両の全体的な印象を与えるのがこの特性である
からである。接近したままであるということが、反射の
強度及び色にとって重要なことである。既に述べた値
Ｒ′Ｌのほかに、主波長λ′Ｄ（ｎｍ）と純度係数Ｐ′
（％）も測定した。透過に関しては、「濃色の後尾」の
車両の前部から後部へと原則により低下するエネルギー
透過率ＴＥを必然的に引き起こす光の透過率ＴＬの変化
を受け入れることを明らかに強いられるが、λＤとＰに
より特徴づけられる色もまた一つの窓ガラスから次の窓
ガラスへと余りにも大きく変化してはならない。
【００４５】例えば後部の側面窓ガラスを作製するため
の、例３の窓ガラスについての結果を、フロントドアの
ために使用される末被覆の厚さ３ｍｍのＴＳＡ＋＋ガラ
スについての結果と比較して示せば、次のとおりであ
る。
の、例３の窓ガラスについての結果を、フロントドアの
ために使用される末被覆の厚さ３ｍｍのＴＳＡ＋＋ガラ
スについての結果と比較して示せば、次のとおりであ
る。
【００４６】これらの結果は、反射光の色はぴったりと
同じであり、反射率はほんのわずかしか違わず、そして
純度係数は限られたままであることから、非常によく調
和していることを示す。透過に関しては、非常に低い純
度（≦４％）の場合、主波長は著しく変わるにもかかわ
らず色合いは中間のままである。
同じであり、反射率はほんのわずかしか違わず、そして
純度係数は限られたままであることから、非常によく調
和していることを示す。透過に関しては、非常に低い純
度（≦４％）の場合、主波長は著しく変わるにもかかわ
らず色合いは中間のままである。
【００４７】例４ 前述の例とは違うものとして、例４の窓ガラスは「濃色
の後尾」を有する自動車の横面又は後面の窓に取付けよ
うとするものではなく、透明な屋根を作製しようとする
ものである。
の後尾」を有する自動車の横面又は後面の窓に取付けよ
うとするものではなく、透明な屋根を作製しようとする
ものである。
【００４８】この窓ガラスは、調整を別に行うことを除
いて、例３と同じ基材ガラスから例３と同じ装置で製造
される。この場合には、金属タンタルの膜ははるかに厚
い（２５ｎｍ）が、Ｔａ２Ｏ５の保護膜の厚さは同じで
あり、すなわち１２ｎｍである。
いて、例３と同じ基材ガラスから例３と同じ装置で製造
される。この場合には、金属タンタルの膜ははるかに厚
い（２５ｎｍ）が、Ｔａ２Ｏ５の保護膜の厚さは同じで
あり、すなわち１２ｎｍである。
【００４９】特性は次のとおりである。 ＴＬ ＝０．０９ ＲＬ ＝０．４３ Ｒ′Ｌ ＝０．３０ ＴＥ ＝０．０７ λ′Ｄ ＝４９３ｎｍ Ｐ′ ＝ ７％ λＤ ＝４８７ｎｍ Ｐ ＝ ７％ 反射率が明らかにより高いことは別として、外観（色）
は単一ガラスのそれに非常に近い。
は単一ガラスのそれに非常に近い。
【００５０】例５ 厚さ４ｍｍの標準的な透明フロートガラスの試験片を使
用した。この試験片を例１のマグネトロン陰極スパッタ
リング装置に入れた。
用した。この試験片を例１のマグネトロン陰極スパッタ
リング装置に入れた。
【００５１】前と同じタンタルターゲットを使って、同
じ条件（−２８０Ｖ，５００ｍＡ）で堆積を行う。堆積
時間も同じである。
じ条件（−２８０Ｖ，５００ｍＡ）で堆積を行う。堆積
時間も同じである。
【００５２】タンタルの堆積を完了したならば、試験片
を陰極スパッタリング装置から取出し、化学気相成長
（ＣＶＤ）装置へ入れる。使用する方法は通常の方法で
あって、例えば欧州特許出願ＥＰ−３３５７６９号明細
書に記載されたものである。試験片を２５０℃の温度に
し、そしてこの閉鎖容器内へ下記流量のアルゴン、酸素
及びジエチル亜鉛の混合物を導入する。 閉鎖容器内の圧力は１３０００パスカルである。６０秒
後に堆積を停止させる。試験片を取出したらその光学的
特性を測定する。
を陰極スパッタリング装置から取出し、化学気相成長
（ＣＶＤ）装置へ入れる。使用する方法は通常の方法で
あって、例えば欧州特許出願ＥＰ−３３５７６９号明細
書に記載されたものである。試験片を２５０℃の温度に
し、そしてこの閉鎖容器内へ下記流量のアルゴン、酸素
及びジエチル亜鉛の混合物を導入する。 閉鎖容器内の圧力は１３０００パスカルである。６０秒
後に堆積を停止させる。試験片を取出したらその光学的
特性を測定する。
【００５３】連続する膜の厚さは、タンタル膜が５．５
ナノメートル、酸化亜鉛膜が１２ナノメートルである。
光学的特性は次のとおりである。 ＴＬ ＝０．３５ ＴＥ ＝０．４０ ＲＬ ＝０．２４ Ｒ′Ｌ＝０．１１
ナノメートル、酸化亜鉛膜が１２ナノメートルである。
光学的特性は次のとおりである。 ＴＬ ＝０．３５ ＴＥ ＝０．４０ ＲＬ ＝０．２４ Ｒ′Ｌ＝０．１１
【００５４】前述の例では、本発明の膜を受取るための
支持体として、五番目の例の場合の標準的な透明ガラス
や最初の四つの例の場合のＴＳＡ＋＋タイプの極度に着
色された緑色ガラスを使用す。しかしながら結果は全
て、「ＴＳＡ標準品」として知られるガラスのような、
自動車窓ガラスを製造するために通常使用されるタイプ
のガラスに対しても申し分ない。「ＴＳＡ標準品」とし
て知られるガラスもやはり緑色であり、その化学組成は
シリコ−ソーダ−カルシウム系のフロートガラスのそれ
であるが、Ｆｅ２Ｏ３の量は０．５７重量％であり、全
鉄分に対する第一鉄イオンの割合は０．２５％である。
フランス国特許第２２９５３２８号明細書に記載された
ような、ＴＳＡとして知られるブロンズガラスも、本発
明の膜のための優れた支持体の代表例である。
支持体として、五番目の例の場合の標準的な透明ガラス
や最初の四つの例の場合のＴＳＡ＋＋タイプの極度に着
色された緑色ガラスを使用す。しかしながら結果は全
て、「ＴＳＡ標準品」として知られるガラスのような、
自動車窓ガラスを製造するために通常使用されるタイプ
のガラスに対しても申し分ない。「ＴＳＡ標準品」とし
て知られるガラスもやはり緑色であり、その化学組成は
シリコ−ソーダ−カルシウム系のフロートガラスのそれ
であるが、Ｆｅ２Ｏ３の量は０．５７重量％であり、全
鉄分に対する第一鉄イオンの割合は０．２５％である。
フランス国特許第２２９５３２８号明細書に記載された
ような、ＴＳＡとして知られるブロンズガラスも、本発
明の膜のための優れた支持体の代表例である。
【００５５】上記の五つの例のうちで、最初の四つは陰
極スパッタリング法を使用し、そして五番目の例はこの
同じ方法とＣＶＤ法とを組み合わせる。とは言うもの
の、他の真空法又は化学的方法を同様に申し分なく使用
することもできる。このように、タンタル膜は真空蒸発
（熱）により又は電子銃により付着させてもよく、その
一方で保護膜については、既に述べた反応性陰極スパッ
タリング及びＣＶＤとは別に、例えば溶融したＩＴＯタ
ーゲットからの、非反応性の陰極スパッタリングを使用
してもよく、あるいはやはり、欧州特許出願第２３０１
８０号明細書に記載されたのと類似のプラズマＣＶＤ技
術を使用してもよい。とは言うものの、タンタルを例え
ばアルゴンプラズマの電磁的な閉じ込めのような陰極ス
パッタリング技術で堆積させる場合には、酸素の存在下
での反応性スパッタリングを利用することを除いて、同
じターゲットを使用する同じ技術で特に単純な条件で酸
化タンタルの外層を堆積させることが可能である。
極スパッタリング法を使用し、そして五番目の例はこの
同じ方法とＣＶＤ法とを組み合わせる。とは言うもの
の、他の真空法又は化学的方法を同様に申し分なく使用
することもできる。このように、タンタル膜は真空蒸発
（熱）により又は電子銃により付着させてもよく、その
一方で保護膜については、既に述べた反応性陰極スパッ
タリング及びＣＶＤとは別に、例えば溶融したＩＴＯタ
ーゲットからの、非反応性の陰極スパッタリングを使用
してもよく、あるいはやはり、欧州特許出願第２３０１
８０号明細書に記載されたのと類似のプラズマＣＶＤ技
術を使用してもよい。とは言うものの、タンタルを例え
ばアルゴンプラズマの電磁的な閉じ込めのような陰極ス
パッタリング技術で堆積させる場合には、酸素の存在下
での反応性スパッタリングを利用することを除いて、同
じターゲットを使用する同じ技術で特に単純な条件で酸
化タンタルの外層を堆積させることが可能である。
【００５６】このように、本発明による窓ガラスは、単
一ガラス板のエネルギー透過率を実質的に低下させる一
方で、同時に自動車の他の窓ガラスと非常に類似の反射
外観を有し、そして自動車の横の窓ガラスの場合には、
反射が少なく、それにもかかわらず耐摩耗性と湿った媒
体の攻撃に対する耐性が非常に良好である膜を提供する
ことを可能にする。このような窓ガラスは、建築物用の
窓についても自動車用の窓についても多くの用途を見い
だすことができる。
一ガラス板のエネルギー透過率を実質的に低下させる一
方で、同時に自動車の他の窓ガラスと非常に類似の反射
外観を有し、そして自動車の横の窓ガラスの場合には、
反射が少なく、それにもかかわらず耐摩耗性と湿った媒
体の攻撃に対する耐性が非常に良好である膜を提供する
ことを可能にする。このような窓ガラスは、建築物用の
窓についても自動車用の窓についても多くの用途を見い
だすことができる。
【図１】ガラスにより支持されたタンタル被覆を模式的
に示す断面図である。
に示す断面図である。
【図２】酸化物の被覆で保護された、ガラス基材上のタ
ンタル被覆を模式的に示す断面図である。
ンタル被覆を模式的に示す断面図である。
１…ガラス基材 ２…タンタル膜 ３…ガラス基材 ４…タンタル膜 ５…酸化物膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジャキュエ タバル フランス国，95590 プレスル，リュ ド ゥ ラジェラニエール，２ (72)発明者 グエンサー テルマス ドイツ連邦共和国，4650 ゲルセンキルヘ ン，パンヒュッテ 58
Claims (17)
- 【請求項１】 １又は２以上の薄膜で覆われたシリコ−
ソーダ−カルシウム系ガラスに基づく太陽光を防ぐ窓ガ
ラスであって、ガラスと接している薄膜が金属タンタル
に基づいており、且つ、他の膜が存在している場合には
この他の膜の厚さが４０ｎｍ未満であることを特徴とす
る窓ガラス。 - 【請求項２】 前記１又は２以上の薄膜の付着が真空下
で行われることを特徴とする、請求項１記載の窓ガラ
ス。 - 【請求項３】 前記付着の技術がプラズマを電磁的に閉
じ込める陰極スパッタリングであることを特徴とする、
請求項２記載の窓ガラス。 - 【請求項４】 前記タンタルの膜のみが存在しており、
その厚さが２〜３０ｎｍであることを特徴とする、請求
項１から３までのいずれか一つに記載の窓ガラス。 - 【請求項５】 前記膜の厚さが４．５〜６．５ｎｍであ
ることを特徴とする、請求項４記載の窓ガラス。 - 【請求項６】 前記膜の厚さが２２〜２８ｎｍであるこ
とを特徴とする、請求項４記載の窓ガラス。 - 【請求項７】 前記タンタルに基づく膜が、スズ、イン
ジウム、亜鉛、アンチモン、カドミニウ及びタンタルを
含む群のうちの１又は２種以上の金属の酸化物の膜で覆
れていることを特徴とする、請求項１から６までのいず
れか一つに記載の窓ガラス。 - 【請求項８】 前記酸化物の厚さが１０ｎｍを超えるこ
とを特徴とする、請求項７記載の窓ガラス。 - 【請求項９】 前記タンタル膜の厚さが約５ｎｍである
ことを特徴とする、請求項７又は８記載の窓ガラス。 - 【請求項１０】 前記タンタル膜の厚さが約２５ｎｍで
あることを特徴とする、請求項７又は８記載の窓ガラ
ス。 - 【請求項１１】 前記酸化物膜の厚さが約１２ｎｍであ
ることを特徴とする、請求項９又は１０記載の窓ガラ
ス。 - 【請求項１２】 当該支持体ガラスが着色されているこ
とを特徴とする、請求項１から１１までのいずれか一つ
に記載の窓ガラス。 - 【請求項１３】 前記支持体ガラスがＴＳＡ又はＴＳＡ
＋＋又はＴＦＡとして知られるタイプのガラスであるこ
とを特徴とする、請求項１２記載の窓ガラス。 - 【請求項１４】 光の透過率が０．３０〜０．７５であ
ることを特徴とする、請求項５，７，８，９，１１，１
２又は１３記載の窓ガラス。 - 【請求項１５】 光の透過率が０．１０未満であること
を特徴とする、請求項６，７，８，１０，１１，１２又
は１３記載の窓ガラス。 - 【請求項１６】 エネルギーの透過率の光の透過率に対
する比が０．７０未満であることを特徴とする、請求項
１３又は１４記載の窓ガラス。 - 【請求項１７】 当該ガラスによる光の反射率が最大で
０．１０であることを特徴とする、請求項１４又は１６
記載の窓ガラス。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9000593 | 1990-01-19 | ||
| FR9000593A FR2657343B1 (fr) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Couche mince pour vitrage de protection solaire. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH069247A true JPH069247A (ja) | 1994-01-18 |
| JP3280041B2 JP3280041B2 (ja) | 2002-04-30 |
Family
ID=9392928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07553591A Expired - Fee Related JP3280041B2 (ja) | 1990-01-19 | 1991-01-19 | 薄い被覆膜を有する太陽光を防ぐ窓ガラス |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5714268A (ja) |
| EP (1) | EP0438357B1 (ja) |
| JP (1) | JP3280041B2 (ja) |
| DE (1) | DE69121253T2 (ja) |
| ES (1) | ES2093084T3 (ja) |
| FR (1) | FR2657343B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100786002B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2007-12-14 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 후막 도체 페이스트 |
| JP2009179511A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 被膜付きガラス板 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0678483B1 (fr) * | 1991-04-30 | 1998-12-23 | Saint-Gobain Vitrage | Substrat en verre revêtu de multicouches minces pour la protection solaire |
| FR2698093B1 (fr) * | 1992-11-17 | 1995-01-27 | Saint Gobain Vitrage Int | Vitrage à propriétés de transmission variant avec l'incidence. |
| US6231971B1 (en) | 1995-06-09 | 2001-05-15 | Glaverbel | Glazing panel having solar screening properties |
| US20020127380A1 (en) * | 1996-02-26 | 2002-09-12 | Tadakatsu Suzuki | Low-reflective thin-film substrate |
| EP1087241A3 (de) * | 1999-09-23 | 2003-05-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichteter Gegenstand mit Färbung und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US7695785B2 (en) * | 2006-07-14 | 2010-04-13 | Guardian Industries Corp. | Coated article with oxides and/or oxynitrides of antimony and/or zinc dielectric layer(s) and corresponding method |
| US10550034B2 (en) * | 2014-07-25 | 2020-02-04 | Agc Glass Europe | Decorative glass panel |
| EP2977202A1 (fr) * | 2014-07-25 | 2016-01-27 | AGC Glass Europe | Vitrage chauffant |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3274024A (en) * | 1962-11-16 | 1966-09-20 | Gen Telephone & Elect | Energy converter |
| US3826728B2 (en) * | 1970-05-20 | 1994-07-12 | Boc Group Plc | Transparent article having reduced solar radiation transmittance and method of making same |
| DE2215151C3 (de) * | 1972-03-28 | 1979-05-23 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Verfahren zum Herstellen von dünnen Schichten aus Tantal |
| FR2276601A1 (fr) * | 1974-06-27 | 1976-01-23 | France Etat | Filtres de bande et application a la fabrication de lunettes de protection |
| FR2293328A1 (fr) * | 1974-12-03 | 1976-07-02 | Saint Gobain | Vitrage teinte pour vehicules automobiles |
| US4322276A (en) * | 1979-06-20 | 1982-03-30 | Deposition Technology, Inc. | Method for producing an inhomogeneous film for selective reflection/transmission of solar radiation |
| JPS5931147A (ja) * | 1982-08-17 | 1984-02-20 | 株式会社豊田中央研究所 | 可視光透過性熱線しやへい膜およびその製造方法 |
| NO157212C (no) * | 1982-09-21 | 1988-02-10 | Pilkington Brothers Plc | Fremgangsmaate for fremstilling av belegg med lav emisjonsevne. |
| US4702955A (en) * | 1985-07-24 | 1987-10-27 | Ovonic Synthetic Materials Company, Inc. | Multilayer decorative coating |
| JPS62123403A (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-04 | Sharp Corp | カラ−ミラ− |
| FR2591587A1 (fr) * | 1985-12-17 | 1987-06-19 | Saint Gobain Vitrage | Film organo-mineral depose sur un substrat en verre eventuellement revetu d'une ou plusieurs couches metalliques minces. |
| ATE115098T1 (de) * | 1986-01-29 | 1994-12-15 | Pilkington Plc | Beschichtetes glas. |
| US4773717A (en) * | 1986-11-03 | 1988-09-27 | Ovonic Synthetic Materials Co. | Transparency having a second surface multilayer decorative coating |
| JPS63242948A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-07 | Asahi Glass Co Ltd | 熱線反射ガラス |
| US4965121A (en) * | 1988-09-01 | 1990-10-23 | The Boc Group, Inc. | Solar control layered coating for glass windows |
| JPH02225346A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-07 | Central Glass Co Ltd | 熱線反射ガラス |
-
1990
- 1990-01-19 FR FR9000593A patent/FR2657343B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-01-18 ES ES91400103T patent/ES2093084T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1991-01-18 DE DE69121253T patent/DE69121253T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-18 EP EP91400103A patent/EP0438357B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1991-01-19 JP JP07553591A patent/JP3280041B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-02-28 US US08/608,207 patent/US5714268A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100786002B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2007-12-14 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 후막 도체 페이스트 |
| JP2009179511A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 被膜付きガラス板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5714268A (en) | 1998-02-03 |
| DE69121253T2 (de) | 1997-03-27 |
| ES2093084T3 (es) | 1996-12-16 |
| DE69121253D1 (de) | 1996-09-19 |
| FR2657343A1 (fr) | 1991-07-26 |
| EP0438357B1 (fr) | 1996-08-14 |
| JP3280041B2 (ja) | 2002-04-30 |
| EP0438357A1 (fr) | 1991-07-24 |
| FR2657343B1 (fr) | 1993-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2876325B2 (ja) | 被覆ガラス材料及びその被覆方法 | |
| EP0275474B1 (en) | Low emissivity film for high temperature processing | |
| KR100250604B1 (ko) | 광학 간섭 필터 및 이의 제조방법 | |
| US5085926A (en) | Neat reflecting glass with multilayer coating | |
| US6416194B1 (en) | Thermostable back-surface mirrors | |
| CA1337483C (en) | Low emissivity film for high temperature processing | |
| US4898789A (en) | Low emissivity film for automotive heat load reduction | |
| US6190776B1 (en) | Heat treatable coated glass | |
| JPH05116993A (ja) | 日射防護用の薄い多重フイルムで被覆されたガラス基材 | |
| AU764332B2 (en) | Protective layers for sputter coated article | |
| JPS5931147A (ja) | 可視光透過性熱線しやへい膜およびその製造方法 | |
| JP2012062244A (ja) | 反射防止膜を含む透明基板 | |
| JP2831064B2 (ja) | 一体構造の太陽光遮蔽用ガラス板 | |
| JP3280041B2 (ja) | 薄い被覆膜を有する太陽光を防ぐ窓ガラス | |
| US5894047A (en) | Heat reflecting glass | |
| BE1010322A5 (fr) | Vitrage possedant des proprietes de protection solaire. | |
| WO2020240589A1 (en) | A solar protective vehicle glazing | |
| KR930009324B1 (ko) | 백금층등이 피복된 프레스트레스 된 및/또는 만곡된 유리판의 제조방법 | |
| US20250026109A1 (en) | Glazing unit for head up display | |
| JP2811885B2 (ja) | 熱線遮蔽ガラス | |
| WO2022146636A1 (en) | Article coated with a solar control coating having solar protection and thermal insulation | |
| JP2576637B2 (ja) | 熱線反射ガラス | |
| JPH05221689A (ja) | 熱線遮蔽ガラス | |
| EP2281787A1 (en) | Heat treatable coated glass | |
| WO2024220634A1 (en) | Durable coated article having a metal layer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |