JPH02225346A - 熱線反射ガラス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、冷暖房効果を向上させるよう日射の透過率を
減じた熱線反射ガラス、特に車両用窓ガラスとして通し
、例えば運転者の視野確保に対し、必要性に応じて可視
光透過率を３０％以上で幅広く選択できるものであって
、かつことに側面あるいはドア用窓ガラス、リヤ用窓ガ
ラスとして単板でも使用可能な熱線反射ガラスに関する
。

［従来の技術］ 従来、例えば車両用窓ガラスとして透明誘電体または透
明導電膜／１！／透明誘電体または透明導電膜の構成で
高い可視光透過率を達成し、銀の高反射性能を利用して
日射透過率の低い断熱ガラスとして、これを合せガラス
にすることで使用されている。しかしながら銀膜は耐摩
耗性、耐湿性に弱く、合せガラスに加工処理せずに放置
しておくと数日以内で膜に異変が発現し、膜の変色変質
が起り、手で触れただけで剥離する現象になるという非
常に弱いものであった。

このため最近では合せガラスでなくても単板のままで使
用しても耐候性、耐久性があるというものが種々提案さ
れている０例えば特開昭６３−２０６３３３号公報には
、単板熱線反射ガラスが記載されており、ガラス板面に
熱線反射膜としてガラス板側から数えて順に第１眉と第
３Ｎが透明誘電体膜又は透明導電性酸化物膜、第２層が
窒化物膜、第３層上の最上層が酸化物の厚膜とが積層さ
れ、最上層が露出面でなっている、例えばＳ　ｉ０２膜
／ＴｉＯ□膜／ＴｉＮＦ！／ＴｉＯ２膜／ガラス板の構
成からなるものが開示されており、また特開昭６４−５
９３０号公報には、高透過ソーラーコントロールガラス
が記載されており、ガラス板面に、ガラス板側から順に
第１層として酸化スズ膜、第２層として低光吸収性膜、
第３層として窒化チタン膜、第４層として低光吸収性膜
、第５層として酸化スズ膜が積層されており、場合によ
っては第６Ｎとして酸化けい素膜又は酸化アルミニウム
膜を主成分としたオーバコート保護膜が被覆されてもよ
い、例えばＳｉｎ、膜／ＳｎＯ２膜／　Ｔ　ｉ０２膜／
ＴｉＮ膜／Ｔｔ％膜／　Ｓ　ｎ　％Ｗｉ　／ガラス板の
構成とするものが開示せれでおり、さらに特開昭６３−
２４７３５２号公報には、反応性スパッタリングによる
透明コーティングについて記載されており、基材、基材
上のコーテイング膜およびコーティング上の保護膜を含
む構成であるコートした物品であって、この保護膜がア
ルミニウムおよびけい素を含む合金であるターゲットを
反応性ガス中、特に０；Ｌ％がＮ、Ｌ＋０２．ガス中で
１０〜３０％存在するなかでスパッタすることにより形
成された反応生成物の無定形層を含む膜であるものが開
示されており、さらにまた特開昭６０−８１０４８号公
報には、ガラス上にＴｉＯえ膜を形成し、次いでＴ１０
□とＴｉＮの馴染み層を設け、その上にＴｉＮ膜を積層
する窒化チタン薄膜付きガラスおよびその作製方法が記
載されており、またＣｒ、Ｔｉ。

Ｚｒ、Ｔａ、Ｎｉあるいはステンレスの金属膜を用いる
ものとしては、特開昭６１−５５６０３号公報に記載の
高耐久性赤外反射鏡あるいは特開昭６３−２４２９４８
号公報に記載の熱線反射ガラス等が知られている。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述したような例えば特開昭６３−２０６３３３号公報
に記載の単板熱線反射ガラスならびに特開昭６４−５９
３０号公報に記載の高透過ソーラーコントロールガラス
についてはいずれも金属と同等の導電性能ならびに熱線
反射性能を得ようとすると膜厚を厚くする必要があって
生産性が低下し、しかも酸化物と窒化物の密着性は必ず
しも充分強くないものであり、保護膜としてもＳ　ｉ　
％　Ｆ４膜は透明性ならびに耐久性の点はよいが、Ｓｉ
ｎ、は絶縁物であり、設備コストの大きいＲＦスパッタ
法あるいはディッピング法が必要であり、生産性の問題
あるいはホコリや高温（５００°Ｃ程度）乾燥による品
質の低下の問題があるものである。

また特開昭６３−２４７３５２号公報に記載の反応性ス
パッタリングによる透明コーティングについては表面に
おける耐摩耗性ならびに耐食性は向上するものの必ずし
も各層での密着性ならびに耐薬品性を充分満足するよう
なものにできるものではないものであり、場合によって
は透明性が充分でなくなることがあり得るものである。

さらにまた特開昭６０−８１０４８号公報に記載のもの
は、耐摩耗性に対して必ずしも充分ではなく、また特開
昭６１−５５６０３号公報あるいは特開昭６３−２４２
９４８号公報に記載のものはガラス側から見た際の可視
光反射率が大きくなりやすくかつ密着性あるいは耐摩耗
性等においても必ずしも充分なものとはいい難いもので
あって、特に例えば自動車用窓ガラスのうち単板で用い
るドアあるいはサイドガラスには充分採用できるとは言
えないものである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、Ａｇ薄膜より耐湿性等のある金属薄膜を、この金属
薄膜と酸化物ｇＪ膜の間に窒化物薄膜または窒化物を主
体とした酸化物との複金薄膜を介在させて強い密着力で
保護し、しかもガラスとなじみがよい酸化物薄膜がガラ
ス板表面上となり、かつ比較的強い耐久性あるいは耐摩
耗性を有する酸化物薄膜上に、加えて特定の酸化物薄膜
または酸化物を主体とした窒化物との複合薄膜が最外側
表面となるように積層せしめたことにより、各層の密着
力の向上とあいまって金属薄膜の耐食性をも優れたもの
とするとともに、より耐摩耗性、より耐候性等がある熱
線反射ガラス、特に可視光透過率が３０％以上であって
日射の透過率等が減じた単板でも充分使用可能な熱線反
射ガラスを提供するものである。

すなわち、本発明は、透明ガラス基板表面に、第１層か
ら第６層まで順次積層して成る多層薄膜を有する熱線反
射ガラスにおいて、第１Ｍおよび第５層は膜厚が２００
−１０００人であるＴｔ、Ｚｒ、Ｔａ。

Ｓｎ、Ｃｒの酸化物Ｆｊｌ膜、第２層および第４層は被
膜時雰囲気中でのＮ工：０□比が１００：０〜５０　：
　５０のもとで成膜した膜厚が３０〜２００人であるＴ
Ｉ、Ｚｒ、Ｔａ。

Ｃｒ　、　Ｎ　ｉ　−Ｃｒ　、　ＳＵＳの窒化物または
窒素酸化物、第３層は膜厚が３０−１５０人であるＴｔ
、Ｚｒ、Ｔａ、　Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ５ＵＳの金属薄膜、
第６Ｎは被膜時雰囲気中でのＮ２ｊ旺比がＯ：１００〜
５０　：　５０のもとで成膜したＳｉ・ＡＩ、５ｉ−Ｔ
ｉ’、５ｉ−Ｎｉの酸化物または窒素酸化物薄膜あるい
は被膜時雰囲気中でのＮえ：０□比が１００：０〜５０
　：　５０のもとで成膜したＡｌの窒化物または窒素酸
化物′ｇｔ膜であって膜厚が３００Å以上から成り、か
つ可視光透過率が３０％以上、日射透過率が６０％以下
、可視光反射率が２０％以下であることを特徴とする熱
線反射ガラスを提供するものである。

ここで、第１Ｎおよび第５層として膜厚が２００〜１０
００人であるＴｔ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｓｎ、Ｃｒの酸化物薄
膜としたのは、Ｔｉ０％、　ＺｒＯ，ならびにＳｎ％　
（０＜　ｘ≦２　）　、Ｔａ（］ｙ＝　（０＜　ｘ≦５
７２）、Ｃｒ０２（０＜　ｘ≦３／２）、としてガラス
基板に前述の第２層以降の薄膜をより強く密着させると
ともに可視光ｉ！ｉ過率ならびに反射率を膜の干渉によ
り制御する一つとして必要であって、該膜厚として２０
０〜１ｏｏｏ人、好ましくは２５０〜８００人の範囲で
上記効果が得られるものである。また第２層および第４
層として膜厚が３０〜２００人である被膜時雰囲気中で
のＮ２：Ｏ，比が１００：０〜５０　：　５０のもとで
成膜したＴｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、ＳＵＳ
の窒化物または窒素酸化物薄膜としたのは、ＣｒＮ：ｔ
Ｏｙ　（０＜　ｘ≦１，０≦ｙ≦３７２）、ＴａＮ、Ｌ
Ｏｙ　（０＜　ｘ≦１．Ｏ≦ｙ≦５７２）、ＺｒＮ、Ｏ
ｙならびにＴｉＮｘ０ｙ　（０＜　ｘ≦１，０≦ｙ≦２
　）　、Ｎｉ−ＣｒＮ２Ｏ，Ａ”らびに５ＵＳＮ：ｚｏ
ｙ（０＜　ｘ≦１゜０≦ｙ≦１）として第３層と第１層
ならびに第５層との密着性をより高め膜の強度を向上さ
すだめのものであり、かつ成膜時における第３層の金属
薄膜の熱線反射性能あるいは色調の変動を発現しにりく
シ、しかも金属薄膜の耐食性をも向上させようとするた
めのものであって、窒化物ならびに複合化合物薄膜であ
る窒素酸化物薄膜のなかでも窒化物が５０％以上にした
方がより上記効果をもたらすこととなり、その量的なこ
とも傾斜させることもできるものであり、これらの膜厚
を３０〜２００人、好ましくは４０〜１５０人、最適に
は４０〜１００人の範囲で上記効果が得られるものであ
り、特に３０Å以下では均一すｙｉ膜とはなり難いもの
である。さらに第３層として膜厚が３０−１５０人であ
るＴｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、ＳＵＳの金属
薄膜としたのは、複層あるいは合せガラスでなければ使
用し難いＡｇ、Ａｕ等の貴金属より耐水性、耐摩耗性、
耐食性があり、可視光透過率等をコントロールできしか
も熱線反射性能を有し、酸化物薄膜あるいは窒化物薄膜
に比して熱線反射性能が良いためであり、膜厚を３０〜
１５０人、好ましくは４０〜１．３０人の範囲で上記効
果が得られ、特にこの範囲外であれば可視光透過率、日
射透過率あるいは可視光反射率について所期の値を得る
のに他の干渉薄膜と整合せしめても、所期の値にコント
ロールし難くなるためである。

さらにまた、第６Ｎとして膜厚が３００Å以上である被
膜時雰囲気中でのＮえコロ２比がＯｎ　１００〜５０：
５０のもとで成膜した５ｔ−ＡＩ、５ｔ−Ｔｉ、５ｉ−
Ｎｉ酸化物または窒素酸化物薄膜あるいは被膜時雰囲気
中でのＮ２．：０□比が１ｏｏ：ｏ〜５０：５０のもと
で成膜したＡｌの窒化物あるいは窒素酸化物Ｆｊ！膜と
したのは、Ｓｉ・ＡＩＮス０夕（０≦、　＜７／３．０
　＜　ｙ≦７７２）、５ｉ４ｔＮ、ｚｑｙ（０≦ｘ　＜
７／３．０　＜　ｙ≦４　）　、５ｉ＝Ｎｉ％Ｑｙ（Ｏ
≦ｘ＜７／３．０＜ｙ≦３　）　、ＡＩＮ、、Ｏ，ｙ　
（０＜　ｘ≦１，０≦ｙ≦７／２〉として第５層の酸化
物’ａ、膜でも比較的強い薄膜であるがさらに薄膜の耐
摩耗性を向上せしめて硬薄膜とするものであり、しかも
第５層とも密着性にすぐれたものとし、より強度アップ
になるものであり、ＤＣスパッタ法で成膜でき製造上非
常に有利であって生産性も向上し、充分Ｓ　ｉ、　ｏ２
．、Ａ　１ｚ０３等を含んだ酸化物薄膜、ならびに酸化
物と窒化物との複合薄膜となるものであり、第１層から
第５層に至る各密着部の強度アップとともに充分膜剥離
を防止することができるものであり、膜厚を３００Å以
上にすれば、耐摩耗性として例えばＣＦ−１０Ｆ　ＣＲ
耗輸）を用いてのテーバ試験にて１０００回回転後にお
ける可視光透過率の変化を５％以下とすることができ膜
の変化はほとんど目立たないものとすることができるも
のであり、好ましくは４００〜２０００人の範囲であり
、２０００人を超えると厚すぎてクラック等の不具合を
発現することがあるからである。上述のように各層間の
密着力の向上はもちろん膜全体としても密着性、耐摩耗
性が著しく向上するとともに耐薬品性も向上し、単板と
して車両用、建築用窓ガラスとして有用なものとなるも
のである。

また可視光透過率を３０％以上としたのは、３０％未満
であれば、例えば車両用窓ガラス、特に後部でのドア等
の窓ガラスとして用いた際、安全運転ができにくいほど
透視性がなくなるためであり、好ましくは３５％以上で
ある。さらに日射透過率を６０％以下としたのは、少な
くともこの程度を超えると冷暖房効果を向上させ、例え
ば車内の居住性を向上するために役立たせる効果が少な
いものとなるためである。さらにまた可視光反射率を２
０％以下としたのは、２０％を超えると例えば車両用窓
ガラスとして用いた際、運転時にミラー効果で室内の像
が視野内に入り、運転者の安全性を妨げ、逆に対向車の
運転者にはまぶしさを与え安全性から好ましくないもの
であり、好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％
以下である。

なお、透明ガラス基板としては無色または着色の無ｉｔ
あるいは有機質ガラス板であってもよいことは言うまで
もない。

し作用］ 前述したとおり、本発明の熱線反射ガラスは、各特定膜
厚のＴｉ、２ｒ、Ｔａ、Ｓｎ、Ｃｒの酸化物薄膜、Ｔｉ
。

Ｚｒ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、ＳＵＳの窒化物または
窒素酸化物薄膜、Ｔｉ、　Ｚｒ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃ
ｒ、ＳＵＳの金属薄膜ならびにＳｉ・ＡＩ　、５ｉ−Ｔ
ｉ、５ｉ−Ｎｉの酸化物または窒素酸化物薄膜あるいは
Ａｌ窒化物または窒素酸化物薄膜の各特異な薄膜を巧み
に組み合わせ、しかも、可視光透過率、日射透過率、可
視光反射率をそれぞれ特定したものとしたことにより、
各薄膜層の密着性を高めるとともに割合耐食性のある金
属Ｆｉｌ膜をさらに保護するようにし、積層した多Ｎｌ
ｌ！全体の耐摩耗性ならびに耐食性が向上することとな
って耐久性優れ、単板ガラス板としても充分採用できる
ものとなり、しかも適度の干渉効果をもたらし可視光透
過率も３０％以上で目的によって種々に自在に選択する
ことができ、低日射透過率であるので断熱機能も優れ、
さらに可視光反射率も低いものとすることができ、例え
ば車内側からの運転者等に対するミラー効果もほとんど
な（、車内の像が視野内に入り視界を妨げるようなこと
にはならず、高い安全性と居住性を備え建築用窓ガラス
ではもちろん、車両用窓ガラスとしてもフロントガラス
あるいはそれ以外のドア用またはサイドガラス、リアガ
ラスにも充分採用し得る有用な汚れやクラック等の欠陥
のない高品位の熱線反射ガラスを効率よく提供できるも
のである。

［実施例］ 以下、実施例により本発明を具体的に説明する。ただし
本発明は係る実施例に限定されるものではない。

及践旦ユ 大きさ６００Ｘ　６００ｅｍ、Ｈさ３．０ｍｍの可視光
透過率約８９，５％のクリア板ガラス（ＦＬ３）を中性
洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコールで順次洗浄し
、乾燥した後、ＤＣマグネトロン反応スパッタリング装
置の真空槽内にセットしであるＴａと５ＵＳ３１６とＡ
Ｉ・Ｓｔ　（５０：５０匈ｔχ）のターゲットに対向し
て上方を往復できるようセントし、つぎに前記槽内を真
空ポンプで約５　Ｘ　１０　Ｔｏｒｒまでに脱気した後
、該真空槽内に０ガスを導入して真空度を約２．５Ｘ　
１０　Ｔｏｒｒに保持し、前記Ｔａのターゲットに約２
．５ＫＷの電力を印加し、ＤＣマグネトロン反応スパッ
タのなかを、前記Ｔａターゲット上方においてスピード
約２０１／鳳ｉｎで前記板ガラスを搬送することによっ
て約５００人厚さのＴａユ０５薄膜を第１層として成膜
した。

つぎに、Ｔａ工０５成膜が完了した後、板ガラスを前記
真空槽中においたまま、再び約５×ｌ０Ｔｏｒｒまでの
真空度にし、０２８　Ｎ２＝　１　：　１のガスを導入
して真空度を約２．５Ｘ　１０　Ｔｏｒｒにし、前記Ｔ
ａターゲットに約２．５ＫＷの電力を印加し、ＤＣマグ
ネトロンスパッタのなかを、前記Ｔａのターゲット上方
にてスピード約４５０ｍｍ／ｗｉｎで前記板ガラスのＴ
ａ２０５成膜表面に約５０人厚さのＴａＮ；ｔ（ｌｙ薄
膜を第２層として成膜積層した。

さらに、ＴａＮＸ０ｙ成膜が完了した後、仮ガラスを前
記真空槽中においたまま、再び約５　Ｘ　１０　Ｔｏｒ
ｒまで真空度にし、Ａｒガスを導入して真空度を約３　
ｘ　ＩＱ　Ｔｏｒｒにし、前記５ＵＳ３１６ターゲツ］
・に約１、ＯＫＷの電力を印加し、ＤＣマグネトロンス
パッタのなかを、前記ＳｕＳのターゲット上方にてスピ
ード約１５００鶴／膳ｊｎで前記板ガラスのＴａＮｘ０
７成膜表面に約４０人厚さのＳＵＳ薄膜を第３層として
成膜積層した。

次いで、Ａｒガスをストップし、前述の第２層と同様に
して再び約５　Ｘ　１０　Ｔｏｒｒまでの真空度にし、
０□：Ｎ２＝１：１のガスを導入して真空度を約２．５
　Ｘ　１０　Ｔｏｒｒにし、前記Ｔａターゲットに約２
．５ＫＷ電力を印加し、上記板ガラスをスピード約４５
０膳膳／■ｉｎで搬送し、上述のＳＵＳ成膜表面に約５
０人厚さのＴａＮ工Ｏｙ薄膜を第４層として成膜積層し
た。

さらに、上述の０２．とＮ２の混合ガスに変えて０２ガ
スを導入し、前述の第１層薄膜と同様にして成膜条件の
うち上述の板ガラスの搬送スピードのみ約２５ｍ　／ｓ
ｉｎに変更して上述のＴａＮ２０ｙ成膜表面に約４００
人厚さのＴａ２０５薄膜を第５層として成膜積層した。

さらにまた、Ｔａ２０５成膜完了した後、再び約５　Ｘ
　１０　Ｔｏｒｒまでの真空度にし、０２：Ｎｚ＝１：
づ １のガスを導入して真空度を約２．５Ｘ　１０　Ｔｏｒ
ｒにし、前記ＡＩ　−５ｉ　（５０：５０ｗｔχ）のタ
ーゲットに約２．５ＫＷの電力を印加し、ＤＣマグネト
ロンスパッタのなかを、前記Ａｌ−５ｉのターゲット上
方にてスピード約２０ｍ／ｓｉｎで搬送することによっ
て、上述のＴａえ０５成膜表面に約５００人厚さのＡＩ
　−５ｉＮえＯｙ薄膜を第６層（最外表面）として成膜
積層した。

得られた６層の多層膜を有する熱線反射ガラスについて
、可視光透過率ならびに可視光反射率（３８０〜７８０
ｎ■）ならびに日射透過率（３４０〜１８００ｎｍ）に
ついては３４０型自記分光光度計（日立製作所製）とＪ
ＩＳＺ８７２２．　ＪＩＳＲ３１，０６ニよッテそれぞ
れその光学的特性求めた。さらにテーバ試験による透過
率の差については、テーバ試験機（ＭＯＤＥＬ５０３、
　ＴＹＢＥＲ社製）に膜面を上にしたｉｏａｍ角の試験
片をセットし、膜面に荷重５００ｇのかかった摩耗輪（
Ｃ５−１０Ｆ）が２ケ所で当たるようになっているもの
で、１０００回回転した後、可視光透過率を測定し、試
験前の測定値と対比し、その変化量すなわち差をもって
表わした数値である。また砂消しゴムテストについては
、市販の砂消しゴム（ＬＩＯＮ５０１）で膜面を約１０
秒間かるくこすり、膜のキズのつき具合によって判定し
、Ｏ印は多少のキズが発現する程度でほとんど目立たな
かったもの、Ｘ印は例えばすり落とされたような状態に
なったキズが目立つものである。さらに耐薬品性のうち
耐酸試験については、約６０°Ｃの温度で０．１５Ｎの
塩酸溶液中に前記試験片を約４８時間浸漬した後、膜の
劣化状態を見て判断したものであり、耐アルカリ試験に
ついては、約６０°Ｃの温度で０．１２５ＮのＮａＯＨ
溶液に試験片を約４８時間浸漬した後、膜の劣化状態を
見て判断したものであり、それぞれＯ印はほとんど劣化
が見られなかったもの、×印は劣化が明らかに目立った
ものである。前述の各測定値は表２に示す通りで断熱性
に優れ、より優れた住居性ならびに安全性を示し、耐摩
耗性、耐食性を充分有し、耐候性耐久性を向上したもの
となり、単板窓ガラスとして有用なものとなり、所期の
めざすものが得られた。

実施例２ 実施例１と同様の方法で、まず第１層として真空度的２
．５Ｘ　１．ＯＴｏｒｒで０２ガス中を電力約１，０Ｋ
１１１の印加して搬送スピード約４０ｍｍ／ｌｉｎによ
り約５００人厚さのＳｎＯユ薄膜を形成し、ついで第２
Ｎづ として真空度的２．５．Ｘ　１０　Ｔｏｒｒ　、　Ｎ、
Ｚ　：　Ｏ，＝　１　：１ガス、電力約２．５にＷ１搬
送スピード４００ｍｍ／ｓｉｎにより約５０人厚さのＴ
ｉＮ鶴ｙ薄膜を積層し、その表面に第３層として真空度
的３　Ｘ　１０　Ｔｏｒｒ　、　Ａｒガス、電力約１．
５ＫＩＩＱ送スピ一ド約８００ｍ＋ｉ／ｗｉｎにより約
５０人厚さのＴｔ薄膜を積層し、さらに第４層として上
述の第２層と同じ条件で約５０人厚さのＴｉＮメ０７Ｆ
！膜を積層し、さらに第５層として第１層と搬送スピー
ドのみ約３３ｍ　／ｗｉｎに変えて約６００人厚さのＳ
　ｎ　０２　ＦＪ膜を積層し、その表面に第６層として
Ｎｉ−５ｉターゲツト（Ｎｉ　：５ｉ＝５０：５０ｗｔ
ｚ）、真空度的２．５Ｘ　１０　Ｔｏｒｒ、Ｎ２：　Ｏ
Ｚ＝　１　：　１ガス、電力約２．５ＫＪ搬送スピ一ド
約３Ｑｍｍ／ａｉｉｎにより約５００人厚さのＮ１５ｉ
Ｎえら薄膜を最外表面として積層し得た。

得られた熱線反射ガラスは実施例１と同様に試験した結
果、表２に示す通り、実施例１と同様所期の目標通りの
特性で充分満足すべきものであった。

実施例３〜１１ 実施例１ならびに実施例２と同様の方法で、表１に示す
成膜条件によってそれぞれ表２に示す各薄膜層および膜
厚を得て、その構成において実施例１で示した測定法等
によって同様の評価方法で行い、その結果を表２にそれ
ぞれ示したとおり各実施例共、実施例１と同程度のもの
が得られた。

比較例１〜５ 実施例１と同様の方法によって表１に示す要領で行い、
表２に示すように本発明のｊ膜厚と膜構成が範囲外のも
のならびに膜厚と膜構成としては範囲内にあるものの日
射透過率が範囲外のものについて示した。

得られた熱線反射ガラスについて、実施例１と同様の測
定法等に従ってそれぞれ評価したものをそれぞれ表２に
示した。

それぞれ実施例に比して耐摩耗性、耐薬品性に劣り、膜
構成ならびに膜厚が本発明の範囲内のものでも日射透過
率が不充分となるものであり、必ずしも優れた特性の熱
線反射ガラスとは言い難いものであった。

［発明の効果］ 以上前述したように本発明は通常のスパフタリングで、
特定物である酸化物、窒化物、金属ならびに窒素酸化物
の薄膜を特定膜厚で特異に組み合わせて多Ｎ膜として積
層した構成にせしめ、しかも光学上ならびに安全上の特
性値が特定できるものとなし得、高品位の断熱ガラスで
あって耐摩耗性、耐食性ならびに耐候耐久性に優れたも
のとなり、単板窓ガラスとして有用な熱線反射ガラスを
効率よく提供できるものである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透明ガラス基板表面に、第１層から第６層まで順次積層
   して成る多層薄膜を有する熱線反射ガラスにおいて、第
   １層および第５層は膜厚が２００〜１０００ÅであるＴ
   ｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｓｎ、Ｃｒの酸化物薄膜、第２層およ
   び第４層は被膜時雰囲気中でのＮ＿２：Ｏ＿２比が１０
   ０：０〜５０：５０のもとで成膜した膜厚が３０〜２０
   ０ÅであるＴｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｎｉ・Ｃｒ、ＳＵ
   Ｓの窒化物または窒素酸化物薄膜、第３層は膜厚が３０
   〜１５０ÅであるＴｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｎｉ・Ｃｒ
   、ＳＵＳの金属薄膜、第６層は被膜時雰囲気中でのＮ＿
   ２：Ｏ＿２比が０：１００〜５０：５０のもとで成膜し
   たＳｉ・Ａｌ、Ｓｉ・Ｔｉ、Ｓｉ・Ｎｉの酸化物または
   窒素酸化物薄膜あるいは被膜時雰囲気中でのＮ＿２：Ｏ
   ＿２比が１００：０〜５０：５０のもとで成膜したＡｌ
   の窒化物または窒素酸化物薄膜であって膜厚が３００Å
   以上から成り、かつ可視光透過率が３０％以上、日射透
   過率が６０％以下、可視光反射率が２０％以下であるこ
   とを特徴とする熱線反射ガラス。