JPH0672772B2 - Ｉｃパッケージのリード端子検査装置 - Google Patents
Ｉｃパッケージのリード端子検査装置Info
- Publication number
- JPH0672772B2 JPH0672772B2 JP63267077A JP26707788A JPH0672772B2 JP H0672772 B2 JPH0672772 B2 JP H0672772B2 JP 63267077 A JP63267077 A JP 63267077A JP 26707788 A JP26707788 A JP 26707788A JP H0672772 B2 JPH0672772 B2 JP H0672772B2
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- Japan
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- lead terminal
- image
- illumination
- package
- lead
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 ICパッケージのリード端子の検査装置に関し、 リード端子の投影像の識別の難しさを解消し検査の信頼
性の向上を図ることを目的とし、 ICパッケージのリード端子検査装置であって、リード端
子の投影像を異なる方向から得るため一方を真上から照
明し他方を所定の傾きで照明する第１及び第２の照明部
と、前記第１及び第２の照明部による第１及び第２の投
影像を順次に撮影する撮像部と、前記第１及び第２の照
明部の照明を切り換えるシャッタ機構部と、前記撮像部
による第１及び第２の撮像の座標値を求めこれらの座標
値からリード端子の縦方向の浮きを算出し基準値と比較
する画像処理部と、前記シャッタ機構部及び画像処理部
の動作を制御する制御部とにより構成される。
性の向上を図ることを目的とし、 ICパッケージのリード端子検査装置であって、リード端
子の投影像を異なる方向から得るため一方を真上から照
明し他方を所定の傾きで照明する第１及び第２の照明部
と、前記第１及び第２の照明部による第１及び第２の投
影像を順次に撮影する撮像部と、前記第１及び第２の照
明部の照明を切り換えるシャッタ機構部と、前記撮像部
による第１及び第２の撮像の座標値を求めこれらの座標
値からリード端子の縦方向の浮きを算出し基準値と比較
する画像処理部と、前記シャッタ機構部及び画像処理部
の動作を制御する制御部とにより構成される。
本発明はICパッケージのリード端子の検査、特にリード
端子の浮きの検査装置に関する。
端子の浮きの検査装置に関する。
情報機器には種々のICパッケージが使用されている。IC
パッケージには非常の多くの足（リード端子）がある
が、これらのリード端子は、ソケットとの位置関係から
出来るだけ浮き等の変形をなくし一列に並んでいること
が望ましい。そのため製造メーカの出荷時には厳しい検
査がなされるが、昨今の需要増大に伴い検査の効率向上
と信頼性の向上が要望されている。
パッケージには非常の多くの足（リード端子）がある
が、これらのリード端子は、ソケットとの位置関係から
出来るだけ浮き等の変形をなくし一列に並んでいること
が望ましい。そのため製造メーカの出荷時には厳しい検
査がなされるが、昨今の需要増大に伴い検査の効率向上
と信頼性の向上が要望されている。
第７図（ａ），（ｂ）は従来のICパッケージのリード端
子の浮き検査を行うための検査装置の要部配置図であ
る。第７図（ａ）は検査装置を上方から見た図、（ｂ）
は側面から見た図である。図において、ICPはICパッケ
ージ、LTはリード端子、LGT1,LGT2は照明装置、CMRはカ
メラである２台の照明装置LGT1,LGT2によってリード端
子の正面から同時に照明を当て、リード端子からの反射
光をカメラCMRにより撮像する。
子の浮き検査を行うための検査装置の要部配置図であ
る。第７図（ａ）は検査装置を上方から見た図、（ｂ）
は側面から見た図である。図において、ICPはICパッケ
ージ、LTはリード端子、LGT1,LGT2は照明装置、CMRはカ
メラである２台の照明装置LGT1,LGT2によってリード端
子の正面から同時に照明を当て、リード端子からの反射
光をカメラCMRにより撮像する。
第８図は撮像した状態を示し、複数の斜線部はリード端
子の先端部の像である。浮きの検査は各像のＹ軸方
向の座標値を求め、その平均値を重心座標値ｃとし、こ
の重心座標値と各像の差を求め基準値と比較すること
により行う。
子の先端部の像である。浮きの検査は各像のＹ軸方
向の座標値を求め、その平均値を重心座標値ｃとし、こ
の重心座標値と各像の差を求め基準値と比較すること
により行う。
第９図は従来の実際の撮像を示す図である。斜線部はリ
ード端子の実際の撮像である。第７図（ｂ）に示すよう
に、この場合、カメラは先端部の像に焦点を合わせる
がの像の他に、立下がり部の像と折り曲げ部の像
を同時に撮像することになる。リード端子の折り曲げ部
の長さｄが短いタイプでは焦点が接近しているため反射
光が混合され、図示のようにこれらの像の識別が不明瞭
となり正確な重心座標値を得ることが困難であり検査に
支障を来している。
ード端子の実際の撮像である。第７図（ｂ）に示すよう
に、この場合、カメラは先端部の像に焦点を合わせる
がの像の他に、立下がり部の像と折り曲げ部の像
を同時に撮像することになる。リード端子の折り曲げ部
の長さｄが短いタイプでは焦点が接近しているため反射
光が混合され、図示のようにこれらの像の識別が不明瞭
となり正確な重心座標値を得ることが困難であり検査に
支障を来している。
本発明の目的は、リード端子の投影像の識別の難しさを
解消し検査の信頼性の向上を図ることが可能なリード端
子検査装置を提供することにある。
解消し検査の信頼性の向上を図ることが可能なリード端
子検査装置を提供することにある。
本発明は、第３図に基本構成図を示すように、ICパッケ
ージのリード端子検査装置であって、リード端子の投影
像を異なる方向から得るため一方を真上から照明し他方
を所定の傾きで照明する第１及び第２の照明部（LGT1,L
GT2）と、前記第１及び第２の照明部による第１及び第
２の投影像を順次に撮影する撮像部（CMR）と、前記第
１及び第２の照明部の照明を切り換えるシャッタ機構部
（３）と、前記撮像部による第１及び第２の撮像の座標
値を求めこれらの座標値からリード端子の縦方向の浮き
を算出し基準値と比較する画像処理部（４）と、前記シ
ャッタ機構部及び画像処理部の動作を制御する制御部
（５）とを具備することを特徴とする。
ージのリード端子検査装置であって、リード端子の投影
像を異なる方向から得るため一方を真上から照明し他方
を所定の傾きで照明する第１及び第２の照明部（LGT1,L
GT2）と、前記第１及び第２の照明部による第１及び第
２の投影像を順次に撮影する撮像部（CMR）と、前記第
１及び第２の照明部の照明を切り換えるシャッタ機構部
（３）と、前記撮像部による第１及び第２の撮像の座標
値を求めこれらの座標値からリード端子の縦方向の浮き
を算出し基準値と比較する画像処理部（４）と、前記シ
ャッタ機構部及び画像処理部の動作を制御する制御部
（５）とを具備することを特徴とする。
第１図（ａ），（ｂ）は本発明の要部配置図である。図
に示すように、先ず、第１の照明装置LGT1によりリード
端子LTの真上上方から照明し、その投影像をカメラCMR
で撮像し像の座標値を求める。次に、第２の照明装置LG
T2により同様にリード端子の斜め上方から照明しその撮
像の座標値を求める。そして２つの座標値の三角関数よ
りリード端子の浮きを算出する。
に示すように、先ず、第１の照明装置LGT1によりリード
端子LTの真上上方から照明し、その投影像をカメラCMR
で撮像し像の座標値を求める。次に、第２の照明装置LG
T2により同様にリード端子の斜め上方から照明しその撮
像の座標値を求める。そして２つの座標値の三角関数よ
りリード端子の浮きを算出する。
第２図はカメラにより撮像されたリード端子の投影像で
ある。図において、実線は照明装置LGT1による像、点線
は照明装置LGT2による像である。Ｓはリード端子の浮き
により生じる投影像のずれ量である。このずれ量からリ
ード端子の浮きを後述するように画像処理部（４）によ
り算出する。
ある。図において、実線は照明装置LGT1による像、点線
は照明装置LGT2による像である。Ｓはリード端子の浮き
により生じる投影像のずれ量である。このずれ量からリ
ード端子の浮きを後述するように画像処理部（４）によ
り算出する。
第３図は本発明のリード端子検査装置の基本構成ブロッ
ク図である。図において、１は２つの照明部（LGT1,LGT
2）、２は撮像部（カメラ）（CMR）、３はシャッタ機構
部、４は画像処理部、５はマイクロコンピュータからな
る制御部である。照明部１はリード端子の投影像を異な
る方向から得るための第１及び第２の照明装置を有し、
カメラ２は前記第１及び第２の照明装置による第１及び
第２の投影像を順次撮影し、シャッタ機構部３は前記第
１及び第２の照明装置の照明光を断続し、画像処理部４
は前記カメラによる第１及び第２の撮影像の座標値を求
めこれらの座標値からリード端子の縦方向の浮きを算出
し基準値と比較する。第４図は第３図装置の基本処理フ
ローチャートである。先ず、照明装置LGT1によりリード
端子に照明しカメラでその撮像を求め（１）、その撮像
の座標値を算出する（２）。次に、照明装置LGT2により
リード端子に照明しカメラでその撮像を求め（３）、そ
の撮像の座標値を算出する（４）。そして後述する方法
によりこれらの座標値の三角関数からリード端子の浮き
量を算出し（５）、基準値と比較してリード端子浮きの
良否を判定する（６）。
ク図である。図において、１は２つの照明部（LGT1,LGT
2）、２は撮像部（カメラ）（CMR）、３はシャッタ機構
部、４は画像処理部、５はマイクロコンピュータからな
る制御部である。照明部１はリード端子の投影像を異な
る方向から得るための第１及び第２の照明装置を有し、
カメラ２は前記第１及び第２の照明装置による第１及び
第２の投影像を順次撮影し、シャッタ機構部３は前記第
１及び第２の照明装置の照明光を断続し、画像処理部４
は前記カメラによる第１及び第２の撮影像の座標値を求
めこれらの座標値からリード端子の縦方向の浮きを算出
し基準値と比較する。第４図は第３図装置の基本処理フ
ローチャートである。先ず、照明装置LGT1によりリード
端子に照明しカメラでその撮像を求め（１）、その撮像
の座標値を算出する（２）。次に、照明装置LGT2により
リード端子に照明しカメラでその撮像を求め（３）、そ
の撮像の座標値を算出する（４）。そして後述する方法
によりこれらの座標値の三角関数からリード端子の浮き
量を算出し（５）、基準値と比較してリード端子浮きの
良否を判定する（６）。
第５図は本発明の照明装置とカメラの一実施例配置図で
ある。図において、51は照明装置の位置を制御するマイ
クロコンピュータによる位置制御装置、52は照射光を誘
導する光ファイバ、53は照明装置LGT2の角度を調整する
調整装置、54はICパッケージ（ICP）を吸着するバキュ
ームパッドである。前述のように、照明装置LGT1の投影
像と照明装置LGT2の投影像を順次カメラにて撮像し画像
処理部にて座標値を求める。
ある。図において、51は照明装置の位置を制御するマイ
クロコンピュータによる位置制御装置、52は照射光を誘
導する光ファイバ、53は照明装置LGT2の角度を調整する
調整装置、54はICパッケージ（ICP）を吸着するバキュ
ームパッドである。前述のように、照明装置LGT1の投影
像と照明装置LGT2の投影像を順次カメラにて撮像し画像
処理部にて座標値を求める。
第６図（ａ），（ｂ）は本発明の撮影像を示す図であ
る。（ａ）はリード端子の側面から、（ｂ）は上面から
見た浮きを示している。（ａ）において斜線部はリード
端子の先端像、（ｂ）において実線は照明装置LGT1に
よる投影像、点線は照明装置LGT2による投影像である。
る。（ａ）はリード端子の側面から、（ｂ）は上面から
見た浮きを示している。（ａ）において斜線部はリード
端子の先端像、（ｂ）において実線は照明装置LGT1に
よる投影像、点線は照明装置LGT2による投影像である。
ここで照明装置LGT1による投影像の幅をａ、照明装置LG
T2による投影像の幅をａ′、浮きの高さの任意の設定値
をｘ、ずれ量をＳ、リード端子の板厚をＨ、照明装置LG
T2の入射角をθとする。
T2による投影像の幅をａ′、浮きの高さの任意の設定値
をｘ、ずれ量をＳ、リード端子の板厚をＨ、照明装置LG
T2の入射角をθとする。
このような関係において、照明装置LGT2の入射角θは、 θ＝tan-1（ａ−ａ′）/H ……（１） と表せる。
式（１）から明らかなように、ずれ量Ｓは、 Ｓ＝ｘ・tanθ ……（２） と表せるから、投影像のずれ量Ｓは浮きｘと関係し、浮
きｘを所定の許容基準値に設定すれば、式（２）からＳ
の範囲を見ることによりリード端子浮き検査を行うこと
ができる。例えば、 Ｓ≦ｘ・tanθを良品と判定し、 Ｓ＞ｘ・tanθを不良品と判定する。
きｘを所定の許容基準値に設定すれば、式（２）からＳ
の範囲を見ることによりリード端子浮き検査を行うこと
ができる。例えば、 Ｓ≦ｘ・tanθを良品と判定し、 Ｓ＞ｘ・tanθを不良品と判定する。
この場合、前述のように、式（１），（２）の算出を画
像処理部４にて行う。
像処理部４にて行う。
以上説明したように、本発明によれば、リード端子の折
り曲げ部の長さに無関係に検査ができ、投影光の識別は
不要となり、かつ照明装置の位置調整も容易となるた
め、検査の能率向上と信頼性の向上を図ることができ
る。
り曲げ部の長さに無関係に検査ができ、投影光の識別は
不要となり、かつ照明装置の位置調整も容易となるた
め、検査の能率向上と信頼性の向上を図ることができ
る。
第１図（ａ），（ｂ）は本発明による第１及び第２の照
明装置とICパッケージとリード端子とカメラの要部配置
図、 第２図は第１図のカメラにより撮像されたリード端子の
投影像を示す図、 第３図は本発明のリード端子検査装置の基本構成ブロッ
ク図、 第４図は第３図装置の処理フローチャート、 第５図は本発明の照明装置とカメラの一実施例要部構成
図、 第６図（ａ），（ｂ）は本発明のリード端子の側面及び
上面から見たリード端子の投影像を示す図、 第７図（ａ），（ｂ）は従来のICパッケージのリード端
子の検査の要部配置図、 第８図は従来の先端部の撮像を示す図、及び 第９図は従来の実際の撮像明する図である。 （符号の説明） 1,LGT1,LGT2……照明装置、 2,CMR……カメラ、３……シャッタ機構部、 ４……画像処理部、５……制御部、 ICP……ICパッケージ、LT……リード端子。
明装置とICパッケージとリード端子とカメラの要部配置
図、 第２図は第１図のカメラにより撮像されたリード端子の
投影像を示す図、 第３図は本発明のリード端子検査装置の基本構成ブロッ
ク図、 第４図は第３図装置の処理フローチャート、 第５図は本発明の照明装置とカメラの一実施例要部構成
図、 第６図（ａ），（ｂ）は本発明のリード端子の側面及び
上面から見たリード端子の投影像を示す図、 第７図（ａ），（ｂ）は従来のICパッケージのリード端
子の検査の要部配置図、 第８図は従来の先端部の撮像を示す図、及び 第９図は従来の実際の撮像明する図である。 （符号の説明） 1,LGT1,LGT2……照明装置、 2,CMR……カメラ、３……シャッタ機構部、 ４……画像処理部、５……制御部、 ICP……ICパッケージ、LT……リード端子。
Claims (1)
- 【請求項１】ICパッケージのリード端子検査装置であっ
て、 リード端子の投影像を異なる方向から得るため一方を真
上から照明し他方を所定の傾きで照明する第１及び第２
の照明部（LGT1,LGT2）と、 前記第１及び第２の照明部による第１及び第２の投影像
を順次に撮影する撮像部（CMR）と、 前記第１及び第２の照明部の照明を切り換えるシャッタ
機構部（３）と、 前記撮像部による第１及び第２の撮像の座標値を求めこ
れらの座標値からリード端子の縦方向の浮きを算出し基
準値と比較する画像処理部（４）と、 前記シャッタ機構部及び画像処理部の動作を制御する制
御部（５）と、 を具備することを特徴とするICパッケージのリード端子
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63267077A JPH0672772B2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | Ｉｃパッケージのリード端子検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63267077A JPH0672772B2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | Ｉｃパッケージのリード端子検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02114104A JPH02114104A (ja) | 1990-04-26 |
| JPH0672772B2 true JPH0672772B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=17439709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63267077A Expired - Lifetime JPH0672772B2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | Ｉｃパッケージのリード端子検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0672772B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0781849B2 (ja) * | 1992-11-24 | 1995-09-06 | 株式会社ジャスト | 電子部品のリード形状検査装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6486532A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-31 | Dakku Eng Kk | Two-field image sensing method |
-
1988
- 1988-10-25 JP JP63267077A patent/JPH0672772B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02114104A (ja) | 1990-04-26 |
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