JPH0666484B2 - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
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- JPH0666484B2 JPH0666484B2 JP61226801A JP22680186A JPH0666484B2 JP H0666484 B2 JPH0666484 B2 JP H0666484B2 JP 61226801 A JP61226801 A JP 61226801A JP 22680186 A JP22680186 A JP 22680186A JP H0666484 B2 JPH0666484 B2 JP H0666484B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/878—Conductive materials the principal material being non-metallic, e.g. oxide or carbon based
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高精度位置決めに用いられる電歪効果素子に関
する。
する。
第２図はこの種の電歪効果素子の従来例の斜視図であ
る。複合ペロブスカイト構造を有するチタン酸ジルコン
酸鉛からなる電歪セラミック部材１と銀を用いた内部電
極導体２を交互に重ね合わせて積層焼結体が形成されて
いる。積層焼結体の対向する側面には、内部電極導体層
２の端面を一層おきに絶縁するために絶縁膜３が被着さ
れている。そして外部電極導体４により内部電極導体層
２を端面にて一層おきに交互に接続して一対のくし歯形
電極が形成されている。電歪効果素子に電気信号を加え
るために一対の外部電極導体４にリード線５が半田６で
半田づけして取り付けられている。なお、外部電極導体
４は銀、銀−パラジウムなどにガラスフリットを添加し
た導体ペーストを印刷、焼成して形成されている。
る。複合ペロブスカイト構造を有するチタン酸ジルコン
酸鉛からなる電歪セラミック部材１と銀を用いた内部電
極導体２を交互に重ね合わせて積層焼結体が形成されて
いる。積層焼結体の対向する側面には、内部電極導体層
２の端面を一層おきに絶縁するために絶縁膜３が被着さ
れている。そして外部電極導体４により内部電極導体層
２を端面にて一層おきに交互に接続して一対のくし歯形
電極が形成されている。電歪効果素子に電気信号を加え
るために一対の外部電極導体４にリード線５が半田６で
半田づけして取り付けられている。なお、外部電極導体
４は銀、銀−パラジウムなどにガラスフリットを添加し
た導体ペーストを印刷、焼成して形成されている。
上述した従来の電歪効果素子は、外部電極導体層４に半
田付けを行なうと半田に銀が食われて外部電極導体層４
と電歪セラミック部材１との間の接着力が低下し電歪効
果素子は振動部品であるため、駆動時リード線に余分な
力が加わり、最悪の場合は破断してしまうという欠点が
ある。
田付けを行なうと半田に銀が食われて外部電極導体層４
と電歪セラミック部材１との間の接着力が低下し電歪効
果素子は振動部品であるため、駆動時リード線に余分な
力が加わり、最悪の場合は破断してしまうという欠点が
ある。
本発明の電歪効果素子は、電圧セラミック部材と内部電
極導体とが交互に重ね合わされてなる積層焼結体を含
み、積層焼結体の１つの側面に露出する内部電極導体層
の端面に一層おきに絶縁層が被着され、前記側面と対向
する積層焼結体の側面に露出する内部電極導体層の端面
のうち、前記絶縁層が被着されていない内部電極導体層
の端面にも絶縁層が被着され、各側面において絶縁層お
よび露出する内部電極導体層とを共通に覆って一層おき
に内部電極導体層と接続された外部電極導体が設けられ
て２つのくし歯形内部電極が形成されている電歪効果素
子において、外部電極導体が導電性ガラス膜と導体膜の
２層からなることを特徴とする。
極導体とが交互に重ね合わされてなる積層焼結体を含
み、積層焼結体の１つの側面に露出する内部電極導体層
の端面に一層おきに絶縁層が被着され、前記側面と対向
する積層焼結体の側面に露出する内部電極導体層の端面
のうち、前記絶縁層が被着されていない内部電極導体層
の端面にも絶縁層が被着され、各側面において絶縁層お
よび露出する内部電極導体層とを共通に覆って一層おき
に内部電極導体層と接続された外部電極導体が設けられ
て２つのくし歯形内部電極が形成されている電歪効果素
子において、外部電極導体が導電性ガラス膜と導体膜の
２層からなることを特徴とする。
このように、外部電極導体に対し導電性ガラス膜とニッ
ケルや銅などの無電解メッキ膜の２層構造を採用するこ
とにより、セラミックとの密着力は導電性ガラス膜が受
けもち、また導電性ガラス膜の表面の小さな凸凹に無電
解メッキ膜がスパイク状に食い込むので接着力が従来品
に比べて数倍増加する。
ケルや銅などの無電解メッキ膜の２層構造を採用するこ
とにより、セラミックとの密着力は導電性ガラス膜が受
けもち、また導電性ガラス膜の表面の小さな凸凹に無電
解メッキ膜がスパイク状に食い込むので接着力が従来品
に比べて数倍増加する。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の電歪効果素子の一実施例の部分断面図
である。第２図と同番号は同じものを示す。
である。第２図と同番号は同じものを示す。
本実施例では、導電性ガラス膜７とニッケルメッキ膜８
の２層により内部電極導体層２を端面にて一層おきに交
互に接続して一対のくし歯形電極を構成せしめる外部電
極導体が形成されている。
の２層により内部電極導体層２を端面にて一層おきに交
互に接続して一対のくし歯形電極を構成せしめる外部電
極導体が形成されている。
次に、本実施例の電歪効果素子の製造方法について説明
する。まず、ペロブスカイト結晶構造を多成分固溶体セ
ラミックの粉末（例えばPZT）に有機バインダー（例え
ばポリビニールブチラール樹脂）の粉末を混合してグリ
ーンシートを作る。この上に銀ペーストを印刷塗布した
後、60〜80層に積層して高温度焼結（例えば1000℃以
上）を行なうことによって積層焼結体が形成される。つ
いで、この積層焼結体の対向する側面に露出した内部電
極導体層２の端面には、電気泳動法によるガラスの塗布
および焼結により絶縁層３が出来る。この対向側面に導
電性ガラスペースト（焼成後の面積抵抗が200mΩ／□以
下の特性を有するアルカリ金属酸化物）をスクリーン印
刷で膜厚30μｍ位に形成し、これを焼成温度800℃で焼
成する。このようにして導電性ガラス膜７が形成された
積層焼結体を無電解ニッケルメッキ浴に浸漬して導電性
ガラス膜７が形成された部分にニッケルメッキ膜８を被
着形成する。
する。まず、ペロブスカイト結晶構造を多成分固溶体セ
ラミックの粉末（例えばPZT）に有機バインダー（例え
ばポリビニールブチラール樹脂）の粉末を混合してグリ
ーンシートを作る。この上に銀ペーストを印刷塗布した
後、60〜80層に積層して高温度焼結（例えば1000℃以
上）を行なうことによって積層焼結体が形成される。つ
いで、この積層焼結体の対向する側面に露出した内部電
極導体層２の端面には、電気泳動法によるガラスの塗布
および焼結により絶縁層３が出来る。この対向側面に導
電性ガラスペースト（焼成後の面積抵抗が200mΩ／□以
下の特性を有するアルカリ金属酸化物）をスクリーン印
刷で膜厚30μｍ位に形成し、これを焼成温度800℃で焼
成する。このようにして導電性ガラス膜７が形成された
積層焼結体を無電解ニッケルメッキ浴に浸漬して導電性
ガラス膜７が形成された部分にニッケルメッキ膜８を被
着形成する。
上述のように作成された電歪効果素子に半田付けでリー
ド線を接続した後、接続部の接着強度を測定すると従来
0.2〜0.3Kg/mm2であったものが、本実施例では0.7〜1.1
Kg/mm2と３倍以上も強度が向上した。
ド線を接続した後、接続部の接着強度を測定すると従来
0.2〜0.3Kg/mm2であったものが、本実施例では0.7〜1.1
Kg/mm2と３倍以上も強度が向上した。
なお、無電解銅メッキ膜を形成してもよい。この無電解
銅メッキを形成するために、下地の導電性ガラス膜７に
銀を添加する。この場合の製造方法は前述の実施例と同
様であり、省略する。本実施例のリード線の接続部の接
着強度も0.8〜1.1Kg/mm2と大きく、かつ外部電極導体の
面積抵抗も８mΩ/cm2と従来の銀電極に比べて1/2と低下
した。
銅メッキを形成するために、下地の導電性ガラス膜７に
銀を添加する。この場合の製造方法は前述の実施例と同
様であり、省略する。本実施例のリード線の接続部の接
着強度も0.8〜1.1Kg/mm2と大きく、かつ外部電極導体の
面積抵抗も８mΩ/cm2と従来の銀電極に比べて1/2と低下
した。
上述した実施例では導体膜としてニッケルと銅のメッキ
膜に例を取ったが、Cu,Cu-Niなどの蒸着膜、銀、銀−パ
ラジウムなどの導電ペーストを焼付けた膜であっても同
様の効果があることはもちろんである。
膜に例を取ったが、Cu,Cu-Niなどの蒸着膜、銀、銀−パ
ラジウムなどの導電ペーストを焼付けた膜であっても同
様の効果があることはもちろんである。
以上説明したように本発明は、外部電極導体に対し導電
性ガラス膜と導体膜の２層構造をとることにより、以下
のような効果がある。
性ガラス膜と導体膜の２層構造をとることにより、以下
のような効果がある。
半田付けによる導体部の半田食われがなくなる。
電歪セラミック部材と外部電極導体の接着力が向上
し、電歪効果素子の振動時の信頼性が改善される。
し、電歪効果素子の振動時の信頼性が改善される。
外部電極導体の導電率が大きくなる。
第１図は本発明の電歪効果素子の一実施例の部分断面
図、第２図は従来例の斜視図である。 １……電歪セラミック部材、 ２……内部電極導体層、 ３……絶縁層、 ７……導電性ガラス膜、 ８……ニッケルメッキ膜。
図、第２図は従来例の斜視図である。 １……電歪セラミック部材、 ２……内部電極導体層、 ３……絶縁層、 ７……導電性ガラス膜、 ８……ニッケルメッキ膜。
Claims (2)
- 【請求項１】圧電セラミック部材と内部電極導体とが交
互に重ね合わされてなる積層焼結体を含み、積層焼結体
の１つの側面に露出する内部電極導体層の端面に一層お
きに絶縁層が被着され、前記側面と対向する積層焼結体
の側面に露出する内部電極導体層の端面のうち、前記絶
縁層が被着されていない内部電極導体層の端面にも絶縁
層が被着され、前記各側面において前記絶縁層および露
出する内部電極導体層とを共通に覆って一層おきに前記
内部電極導体層と接続された外部電極導体が設けられて
２つのくし歯形内部電極が形成されている電歪効果素子
において、 前記外部電極導体が導電性ガラス膜と導体膜の２層から
なることを特徴とする電歪効果素子。 - 【請求項２】前記導体膜が金属メッキ膜、蒸着膜、ペー
スト焼付膜のいずれか一つからなる特許請求の範囲第１
項記載の電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61226801A JPH0666484B2 (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61226801A JPH0666484B2 (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | 電歪効果素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6380585A JPS6380585A (ja) | 1988-04-11 |
| JPH0666484B2 true JPH0666484B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=16850825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61226801A Expired - Lifetime JPH0666484B2 (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666484B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2536101B2 (ja) * | 1988-11-17 | 1996-09-18 | 日本電気株式会社 | 電歪効果素子 |
| JPH02137278A (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-25 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPH11115190A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-04-27 | Fujitsu Ltd | インクジェットプリンタ |
| DE19928187C1 (de) * | 1999-06-19 | 2000-12-28 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| US7525240B2 (en) | 2004-04-26 | 2009-04-28 | Tdk Corporation | Electronic component |
-
1986
- 1986-09-24 JP JP61226801A patent/JPH0666484B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6380585A (ja) | 1988-04-11 |
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