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JPS63153870A - 電歪効果素子 - Google Patents

電歪効果素子

Info

Publication number
JPS63153870A
JPS63153870A JP61302512A JP30251286A JPS63153870A JP S63153870 A JPS63153870 A JP S63153870A JP 61302512 A JP61302512 A JP 61302512A JP 30251286 A JP30251286 A JP 30251286A JP S63153870 A JPS63153870 A JP S63153870A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductive
effect element
conductive member
electrode conductor
electrostrictive effect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61302512A
Other languages
English (en)
Inventor
Takayuki Inoi
隆之 猪井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP61302512A priority Critical patent/JPS63153870A/ja
Publication of JPS63153870A publication Critical patent/JPS63153870A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/06Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/063Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、シート状の圧電セラミック部材と内部電極導
体とが交互に積層された積層焼結体を含み、この積層焼
結体の対向する一対の側面に露出する内部電極導体の一
方の端部がこの一対の側面において互い違いに絶縁され
、絶縁されていない内部電極導体の他方の端部は、これ
らの側面ごとに設けられた外部電極導体にそれぞれ接続
されている電歪効果素子に関する。
[従来の技術] 第3図は、この種の電歪効果素子の従来例の斜視図であ
る。この電歪効果素子120は圧電セラミック部材11
と、銀・パラジウム合金を用いた内部電極導体21とが
交互に積層され、内部電極導体21の一方の端面はガラ
ス絶縁部材31によって互い違いに一層おきに絶縁され
ていて、内部電極導体21の他方の絶縁されていない端
面は、一対の側面にそれぞれ設けられた外部電極導体5
1に一層おきにそれぞれ電気的に接続されている。この
外部電極導体51は導電性ペーストをスクリーン印刷し
た後焼成することによって形成される。電歪効果素子に
電気信号を加えるために。
外部電極導体51に半田5を介してリード線41および
42が半田付けされている。
[発明が解決しようとする問題点] 上述した従来の電歪効果素子は以下のような欠点がある
(1)銀系の導電性ペーストを印刷焼成して外部電極が
形成されているが、導電性ペーストの焼成温度(約60
0℃前後)がガラス絶縁部材を焼成する温度に近いので
焼成の際にガラス絶縁部材中に銀が拡散して、特に湿度
雰囲気中において電気絶縁性を劣化させる。
(2)また、リード線を半田付けする際に外部電極に半
田量われが生じて、導通の信頼性に問題を生ずる。
(3)さらに、電歪効果素子の側面上の外部電極に直接
リード線を半田付けする場合には、半田量の微妙な調節
が必要である。すなわち、半田量が多いと、電歪効果素
子の伸縮時に半田と外部電極との間に応力が働き、動作
時の信頼性が低下し、逆に半田量が少ないと、リード線
の線径を小さくしなければならないため、リード線が切
れやすくなる。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の電歪効果素子は、前記外部電極導体として薄板
状の導電性部材が用いられ、該導電性部材が導電性接着
剤により前記内部電極導体に接続されていることを特徴
とする。
[作用] 外部電極導体に導電性部材を使用することにより、半田
量われの直接原因である半田と銀、パラジウム等の導体
層との直接接触がなくなり、特に導電性部材の一部を外
部電極導体から突出させる時は、リード線の半田付けの
際の外部電極の半田量われが防止され、また、低温硬化
型の導電性接着剤を用いることにより焼成による絶縁層
への悪影響を除くことができる。
[実施例] 次に1本発明の実施例について図面を参照して説明する
第1図は本発明の電歪効果素子の一実施例の斜視図であ
る。
この電歪効果素子100は、2つの厚い圧電セラミック
部材11.および112の間に薄い圧電セラミック部材
12.〜12nと銀・パラジウム内部電極導体211〜
21n@とを交互に重ね合わせた積層焼結体と、この積
層焼結体の対向する一対の側面において、内部電極導体
211〜21閾の露出する端面の一方を互い違いに絶縁
する絶縁部材31.〜31r1.Iと、絶縁されていな
い他の端面をこの側面ごとに設けられた外部電極導体5
1に接続する一対の櫛型の外部電極導体51と、これに
接続するリード線41.42とからなっている。外部電
極導体51はニッケル薄板2,3を導電性エポキシ樹脂
接着剤lにより内部電極導体21、〜21r+44に接
続してなり、ニッケル薄板2.3は電歪効果素子100
の下端においてL字状に折り曲げられリード線41.4
2が半田5により半田付けされている。
次に、本実施例の電歪効果素子lOOの製造方法につい
て説明する。まず、ペロブスカイト結晶構造を持つ多成
分固溶体セラミックの粉末(例えばPb(ZrTi)0
3)に有機バインダー(例えばポリビニル・ブチラール
樹脂)の粉末を混合してグリーンシートを作り、この上
に銀・パラジウムペーストを印刷塗布した後、60〜8
0層に積層して高温焼結(例えば1000℃以上)を行
うことによって積層焼結体を形成する。
次に、この積層焼結体の対向する側面に露出した内部電
極導体21.〜21.の端面に、電気泳動法によるガラ
ス粉末の塗布および焼結により絶縁部材311〜31n
、+を形成する。続いて、この対向側面のうちまず一方
の面に導電性エポキシ樹脂接着剤lを印刷し、側面の長
さより長く帯状に切断されたニッケル薄板2を絶縁部材
と直交する方向に治具で押えつけて接着を保ったまま1
80℃、30分間の条件で硬化させる0次に反対側面に
も同様にして導電性エポキシ樹脂接着剤1を印刷し、こ
の上にニッケル薄板3を治具で押えつけて接着を保った
まま180℃、30分間の条件で硬化させる6以上によ
り、一対の外部電極導体が形成された積層焼結体ができ
る。
次に、この積層焼結体の上下面およびニッケル薄板2.
3のうち積層焼結体の側面から突出している部分にテー
プを貼り付け、まず弾性を有するウレタン樹脂を被覆し
、さらにこの上に粉体塗装法によりエポキシ樹脂を被覆
して有機高分子の多層膜を形成する。そして、ニッケル
薄板2.3のうち積層焼結体の側面にかかっていない部
分に半田5によりリード線41.42を半田付けして接
続する。このようにして導電性部材の一部が対向する側
面より突出している電歪効果素子ができる。
第2図は本発明の外部電極導体の他の実施例の斜視図で
ある0本実施例は、前述の実施例におけるニッケル薄板
2.3の代りにメツシュ状の材料、ニッケルメツシュ板
6.7を使用したものである。このニッケルメツシュ板
6.7の接着方法およびリード線41.42の接続法は
、前述の実施例の場合と同様でよい。
なお、以上の実施例に用いた導電性エポキシ樹脂接着剤
1はフレキシブルタイプのものであるので、電歪効果素
子の動作時の伸び縮みに影響°を及ぼすごとはない、ま
た、特にメツシュ状の導電性部材を使用することにより
導電性部材もフレキシブルになるという利点がある。
この導電性接着剤としてはフレキシブルな合成樹脂と、
導電性フィラーとして金属体あるいはグラファイトを含
むものが好適である。また、導電性部材としては銅、ニ
ッケルおよびステンレス鋼のいずれかの板材あるいは線
材からなるものが好適である。
[発明の効果] 以上説明したように本発明は、外部電極導体を、導電性
接着剤を介して板または線材の銅、ニッケルあるいはス
テンレス鋼など薄板状の導電性部材を接着することによ
って形成することにより・ リード線の半田付けの際の
外部電極の半田應われを防止できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の電歪効果素子の一実施例の斜視図、第
2図は外部電極導体に他の導電性部材を使用した実施例
の斜視図、第3図は従来の電歪効果素子の斜視図である
。 ioo、110、l 20 、、、、、、電歪効果素子
、10 、 、  l o2.、、、、、、、、、、、
、、保護層。 111.112.12t 〜12n ・・・・・・・・・・・・・・・・・・圧電セラミック
部材・21、〜21間01001.内部電極導体、31
1〜31掴00000.絶縁部材、41.42 、、、
、、、、、、、リード線、51 、、、、、、、、、、
外部電極導体、1 、、、、、、、、、、、、導電性エ
ポキシ樹脂接着剤、2.3 、、、、、、、、ニッケル
薄板、4 、、、、、、、、、、、、有機高分子の多層
膜。 5 、、、、、、、、、、、、半田、 6.7 、、、、、、、、ニッケルメツシュ板。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、シート状の圧電セラミック部材と内部電極導体とが
    交互に積層された積層焼結体を含み、該積層焼結体の対
    向する一対の側面に露出する内部電極導体の一方の端部
    が前記一対の側面において互い違いに絶縁され、絶縁さ
    れていない前記内部電極導体の他方の端部は前記側面ご
    とに設けられた外部電極導体にそれぞれ接続されている
    電歪効果素子において、 前記外部電極導体として薄板状の導電性部材が用いられ
    、該導電性部材が導電性接着剤により前記内部電極導体
    に接続されていることを特徴とする電歪効果素子。 2、前記導電性部材の一部が、前記対向する一対の側面
    より突出している特許請求の範囲第1項に記載の電歪効
    果素子。 3、前記導電性接着剤が、フレキシブルな合成樹脂と、
    導電性フィラーとしての金属体を含む特許請求の範囲第
    1項または第2項に記載の電歪効果素子。 4、前記導電性接着剤が、フレキシブルな合成樹脂と、
    導電性フィラーとしてのグラファイトを含む特許請求の
    範囲第1項または第2項に記載の電歪効果素子。 5、前記導電性部材が、銅、ニッケル、ステンレス鋼の
    いずれかによって造られた薄板からなる特許請求の範囲
    第1項ないし第4項のいずれか1項に記載の電歪効果素
    子。 6、前記導電性部材が、銅、ニッケル、ステンレス鋼の
    いずれかによって造られたメッシュ状の薄板からなる特
    許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれか1項に記載
    の電歪効果素子。
JP61302512A 1986-12-17 1986-12-17 電歪効果素子 Pending JPS63153870A (ja)

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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03154387A (ja) * 1989-11-13 1991-07-02 Fujitsu Ltd 圧電アクチュエータ素子の電極構造
JPH04145673A (ja) * 1990-10-08 1992-05-19 Nec Corp 積層セラミック圧電素子
JPH04274377A (ja) * 1991-03-01 1992-09-30 Nec Corp 積層圧電アクチュエータ
JPH0585059U (ja) * 1991-09-05 1993-11-16 日本特殊陶業株式会社 圧電積層体
JP2004508695A (ja) * 2000-04-11 2004-03-18 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧電式多層アクチュエータ
US7525240B2 (en) 2004-04-26 2009-04-28 Tdk Corporation Electronic component
WO2009125553A1 (ja) 2008-04-11 2009-10-15 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
WO2009130863A1 (ja) 2008-04-21 2009-10-29 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
WO2012115230A1 (ja) * 2011-02-24 2012-08-30 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
JP2013211419A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Kyocera Corp 積層型圧電素子および圧電アクチュエータ

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59175176A (ja) * 1983-03-24 1984-10-03 Nec Corp 電歪効果素子の製造方法
JPS60121784A (ja) * 1983-12-05 1985-06-29 Nippon Soken Inc 積層型圧電体
JPS61124183A (ja) * 1984-11-20 1986-06-11 Nippon Soken Inc 積層型圧電体

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59175176A (ja) * 1983-03-24 1984-10-03 Nec Corp 電歪効果素子の製造方法
JPS60121784A (ja) * 1983-12-05 1985-06-29 Nippon Soken Inc 積層型圧電体
JPS61124183A (ja) * 1984-11-20 1986-06-11 Nippon Soken Inc 積層型圧電体

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03154387A (ja) * 1989-11-13 1991-07-02 Fujitsu Ltd 圧電アクチュエータ素子の電極構造
JPH04145673A (ja) * 1990-10-08 1992-05-19 Nec Corp 積層セラミック圧電素子
JPH04274377A (ja) * 1991-03-01 1992-09-30 Nec Corp 積層圧電アクチュエータ
JPH0585059U (ja) * 1991-09-05 1993-11-16 日本特殊陶業株式会社 圧電積層体
JP2004508695A (ja) * 2000-04-11 2004-03-18 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧電式多層アクチュエータ
US7525240B2 (en) 2004-04-26 2009-04-28 Tdk Corporation Electronic component
WO2009125553A1 (ja) 2008-04-11 2009-10-15 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
US7969066B2 (en) 2008-04-11 2011-06-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer peiezoelectric actuator having a stress-absorbing external-electrode member with portions thereof not bonded to a base electrode
WO2009130863A1 (ja) 2008-04-21 2009-10-29 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
WO2012115230A1 (ja) * 2011-02-24 2012-08-30 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
JP5586777B2 (ja) * 2011-02-24 2014-09-10 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
US9478725B2 (en) 2011-02-24 2016-10-25 Kyocera Corporation Multi-layer piezoelectric element, and injection device and fuel injection system provided with the same
JP2013211419A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Kyocera Corp 積層型圧電素子および圧電アクチュエータ

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