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JPH06294899A - Curved total reflection mirror camera - Google Patents

Curved total reflection mirror camera

Info

Publication number
JPH06294899A
JPH06294899A JP5083171A JP8317193A JPH06294899A JP H06294899 A JPH06294899 A JP H06294899A JP 5083171 A JP5083171 A JP 5083171A JP 8317193 A JP8317193 A JP 8317193A JP H06294899 A JPH06294899 A JP H06294899A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
total reflection
mirror
reflection mirror
curved total
curved
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5083171A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Chuji Katayama
忠二 片山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MC SCI KK
Original Assignee
MC SCI KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MC SCI KK filed Critical MC SCI KK
Priority to JP5083171A priority Critical patent/JPH06294899A/en
Publication of JPH06294899A publication Critical patent/JPH06294899A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 焦点F2 の位置の微調整等が容易にできる操
作性のよい湾曲全反射ミラーカメラを提供すること。 【構成】 X線源の焦点F1 から出射されたX線1を湾
曲全反射ミラー12,13によってX線検出手段4上の
焦点F2 に集束させる湾曲全反射ミラーカメラにおい
て、使用している湾曲全反射ミラー12,13にはミラ
ー回転移動機構14,15を装備する。そして、それぞ
れのミラー回転移動機構14,15は、前記X線源の焦
点F1 を回転中心とし、該当の湾曲全反射ミラーの反射
面に直交する平面内で、該当の湾曲全反射ミラーを回転
移動させる構成とする。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide a curved total reflection mirror camera with good operability, which enables easy fine adjustment of the position of the focal point F2. A curved total reflection mirror camera used in a curved total reflection mirror camera in which X-rays 1 emitted from a focal point F1 of an X-ray source are focused on a focal point F2 on an X-ray detection means 4 by curved total reflection mirrors 12 and 13. The reflection mirrors 12 and 13 are equipped with mirror rotation moving mechanisms 14 and 15, respectively. The respective mirror rotation moving mechanisms 14 and 15 rotate and move the corresponding curved total reflection mirror in a plane orthogonal to the reflecting surface of the corresponding curved total reflection mirror with the focal point F1 of the X-ray source as the center of rotation. Let it be configured to.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、X線源の焦点F1 から
出射されたX線を湾曲全反射ミラーによってX線検出手
段上の焦点F2 に集束させる湾曲全反射ミラーカメラに
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a curved total reflection mirror camera for focusing X-rays emitted from a focal point F1 of an X-ray source on a focal point F2 on an X-ray detecting means by a curved total reflection mirror.

【0002】[0002]

【従来の技術】図2は、湾曲全反射ミラーカメラの概略
構成を示したものである。この湾曲全反射ミラーカメラ
は、X線源の焦点F1 から出射された発散X線1を、垂
直ミラー2と水平ミラー3との2枚の湾曲全反射ミラー
によってX線検出手段4上に点集束させるもので、図中
の符号5はミラー2,3によって集光されたX線が照射
される試料であり、F2 はX線検出手段4上の焦点(X
線の集束位置)である。
2. Description of the Related Art FIG. 2 shows a schematic structure of a curved total reflection mirror camera. This curved total reflection mirror camera focuses a divergent X-ray 1 emitted from a focal point F1 of an X-ray source on an X-ray detection means 4 by two curved total reflection mirrors, a vertical mirror 2 and a horizontal mirror 3. Reference numeral 5 in the figure denotes a sample irradiated with the X-rays condensed by the mirrors 2 and 3, and F2 denotes a focus (X
The focus position of the line).

【0003】前記焦点F1 は、サイズ的には、例えば、
0.3×0.3mm2 程度の微小焦点である。なお、図
示はしていないが、試料5と水平ミラー3との間には、
不要な散乱X線をカットするガードスリットが配置され
る。
The size of the focus F1 is, for example,
The focal point is about 0.3 × 0.3 mm 2. Although not shown, between the sample 5 and the horizontal mirror 3,
A guard slit for cutting unnecessary scattered X-rays is arranged.

【0004】前記垂直ミラー2は湾曲した反射面2aが
水平面に対して直交した状態に保持され、水平ミラー3
は湾曲した反射面3aが鉛直面に対して直交した状態に
保持されている。即ち、垂直ミラー2と水平ミラー3と
は、互いに直交する関係に配置されている。
The vertical mirror 2 is held in a state where the curved reflecting surface 2a is orthogonal to the horizontal plane, and the horizontal mirror 3
Is held in a state where the curved reflecting surface 3a is orthogonal to the vertical plane. That is, the vertical mirror 2 and the horizontal mirror 3 are arranged so as to be orthogonal to each other.

【0005】前記X線検出手段4としては、X線フィル
ムや、X線を蓄積する蛍光体層を使用したイメージング
プレートや、その他の位置感応型のX線検出器等の利用
が考えられる。
The X-ray detecting means 4 may be an X-ray film, an imaging plate using a phosphor layer for accumulating X-rays, or other position-sensitive X-ray detectors.

【0006】以上のような構成の湾曲全反射ミラーカメ
ラは、小角分解能に優れることから、小角領域での散乱
の測定に利用され、また、ウイルス,生体膜,筋肉など
の生体の超分子構造の研究や、繊維状生体高分子や合成
高分子の構造研究に広く利用されている。
The curved total reflection mirror camera having the above-described structure is used for the measurement of scattering in the small angle region because of its excellent small angle resolution, and the supramolecular structure of a living body such as a virus, a biological membrane or a muscle. It is widely used in research and structural studies of fibrous biopolymers and synthetic polymers.

【0007】このような湾曲全反射ミラーカメラでは、
焦点F2 の位置を調整するために、各垂直ミラー2およ
び水平ミラー3の湾曲状態や設置位置を微調整すること
が必要になる。そこで、従来では、垂直ミラー2および
水平ミラー3のそれぞれには、ベント機構と、ミラー回
転機構と、並進機構とを装備している。
In such a curved total reflection mirror camera,
In order to adjust the position of the focal point F2, it is necessary to finely adjust the curved state and installation position of each vertical mirror 2 and horizontal mirror 3. Therefore, conventionally, each of the vertical mirror 2 and the horizontal mirror 3 is equipped with a vent mechanism, a mirror rotation mechanism, and a translation mechanism.

【0008】ここに、ベント機構は、図3に示すよう
に、湾曲全反射ミラー7の中央を固定支持しておくとと
もに、湾曲全反射ミラー7の4隅の支持箇所に反射面7
aと直交する方向の力fをかけることによって、反射面
7aの湾曲状態を調整する機構である。
As shown in FIG. 3, the vent mechanism fixedly supports the center of the curved total reflection mirror 7 and also supports the reflecting surfaces 7 at the four corners of the curved total reflection mirror 7.
This is a mechanism for adjusting the curved state of the reflecting surface 7a by applying a force f in a direction orthogonal to a.

【0009】ミラー回転機構は、図4に示すように、湾
曲全反射ミラー7の反射面7aの中央を回転中心Oとし
て、反射面7aと直交する方向にミラー7を回転させる
機構である(図中の2点鎖線は回転操作前の位置、斜線
を施した実線部分は回転操作後の位置を示している)。
例えば、前述の垂直ミラー2の場合は水平方向の回転動
作を制御、水平ミラー3の場合は垂直方向の回転動作を
制御する。
As shown in FIG. 4, the mirror rotating mechanism is a mechanism for rotating the mirror 7 in a direction orthogonal to the reflecting surface 7a with the center of the reflecting surface 7a of the curved total reflection mirror 7 as a rotation center O (FIG. 4). The two-dot chain line in the figure shows the position before the rotating operation, and the shaded solid line shows the position after the rotating operation).
For example, in the case of the above-mentioned vertical mirror 2, the horizontal rotation operation is controlled, and in the case of the horizontal mirror 3, the vertical rotation operation is controlled.

【0010】前記並進機構は、図5に示すように、反射
面7aと直交する方向に湾曲全反射ミラー7を並行移動
させるものである(図中の2点鎖線は並行移動操作前の
位置、斜線を施した実線部分は並行移動操作後の位置を
示している)。
As shown in FIG. 5, the translation mechanism moves the curved total reflection mirror 7 in a direction orthogonal to the reflecting surface 7a (the two-dot chain line in the figure indicates the position before the parallel movement operation, The shaded solid line shows the position after the parallel movement operation).

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述の湾曲
全反射ミラーカメラで測定を行う場合には、事前に焦点
F2 の位置の調整を行う。
By the way, when the curved total reflection mirror camera described above is used for the measurement, the position of the focus F2 is adjusted in advance.

【0012】この調整操作では、まず、焦点F1 から出
射された発散X線1がX線検出手段4上に点集束するよ
うに、前述のベント機構やミラー回転機構や並進機構を
操作して、二つのミラー2,3の位置や湾曲状態を設定
する。そして、焦点F2 がX線検出手段4の端に位置し
ているような場合には、ミラー2,3の位置を微調整す
ることによって、焦点F2 位置がX線検出手段4の中央
にくるように調整する。
In this adjustment operation, first, the vent mechanism, the mirror rotation mechanism, and the translation mechanism described above are operated so that the divergent X-rays 1 emitted from the focal point F1 are point-focused on the X-ray detection means 4. The position and the curved state of the two mirrors 2 and 3 are set. Then, when the focus F2 is located at the end of the X-ray detecting means 4, the position of the focus F2 is brought to the center of the X-ray detecting means 4 by finely adjusting the positions of the mirrors 2 and 3. Adjust to.

【0013】このような調整操作では、各ミラー2,3
に対する入射角(視射角)は0.5゜以下の高精度で設
定する必要があり、各ミラー2,3の入射角の設定操作
は慎重を要し、かつ手間のかかる作業となる。
In such adjustment operation, each mirror 2, 3
Since it is necessary to set the incident angle (emission angle) with respect to 0.5 degree or less with high accuracy, the setting operation of the incident angle of each mirror 2 and 3 requires a careful and time-consuming operation.

【0014】ところが、前述した従来の湾曲全反射ミラ
ーカメラは、ミラー2,3の位置を並進機構による並行
移動によって調整する。この並行移動動作を行った場
合、図6に示すように、2点鎖線で示した並進前と、実
線で示した並進後とでは、入射角が変ってしまう。その
ため、従来の湾曲全反射ミラーカメラでは、一旦、X線
検出手段4上に点集束するようにミラー2,3の位置や
湾曲状態を設定しても、焦点F2 の位置の微調整等のた
めにミラー2,3を並進させた場合には、再度、ミラー
回転機構等を操作して、入射角の設定をやり直さなけれ
ばならず、焦点F2 の位置の微調整等の作業に非常に手
間がかかるという問題が生じていた。
However, in the conventional curved total reflection mirror camera described above, the positions of the mirrors 2 and 3 are adjusted by the parallel movement of the translation mechanism. When this parallel movement operation is performed, as shown in FIG. 6, the incident angle changes between before the translation indicated by the chain double-dashed line and after the translation indicated by the solid line. Therefore, in the conventional curved total reflection mirror camera, even if the positions and the curved states of the mirrors 2 and 3 are once set so that they are focused on the X-ray detecting means 4, the position of the focus F2 is finely adjusted. When the mirrors 2 and 3 are translated, the mirror rotation mechanism and the like must be operated again to set the incident angle again, which is very troublesome for fine adjustment of the position of the focus F2. There was a problem of this.

【0015】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、焦点F2 の位置の微調整等のために湾曲全反射ミラ
ーを移動させる場合に、その前に設定しておいた入射角
を変えずに湾曲全反射ミラーを移動させることができ、
入射角の再設定等の作業が不要で、焦点F2 の位置の微
調整等が容易にできる操作性のよい湾曲全反射ミラーカ
メラを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances. When the curved total reflection mirror is moved for fine adjustment of the position of the focal point F2, the incident angle set before that is changed. You can move the curved total reflection mirror without
It is an object of the present invention to provide a curved total reflection mirror camera with good operability that does not require work such as resetting the incident angle and can easily perform fine adjustment of the position of the focal point F2.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明に係る湾曲全反射
ミラーカメラは、X線源の焦点F1 から出射されたX線
を湾曲全反射ミラーによってX線検出手段上の焦点F2
に集束させるものであるが、使用している湾曲全反射ミ
ラーにはミラー回転移動機構を装備している。そして、
前記ミラー回転移動機構は、前記X線源の焦点F1 を回
転中心とし、前記湾曲全反射ミラーの反射面に直交する
平面内で、湾曲全反射ミラーを回転移動させる構成とさ
れている。
In a curved total reflection mirror camera according to the present invention, an X-ray emitted from a focus F1 of an X-ray source is focused by a curved total reflection mirror on a focus F2 on an X-ray detecting means.
The curved total reflection mirror used is equipped with a mirror rotation moving mechanism. And
The mirror rotating / moving mechanism is configured to rotate and move the curved total reflection mirror in a plane orthogonal to the reflecting surface of the curved total reflection mirror with the focal point F1 of the X-ray source as the center of rotation.

【0017】[0017]

【作用】本発明に係る湾曲全反射ミラーカメラでは、焦
点F2 の位置の微調整等は、ミラー回転移動機構によっ
て湾曲全反射ミラーを回転移動させることによって行う
が、このミラー回転移動機構による移動操作では、焦点
F1 を回転中心とした回転運動となるため、湾曲全反射
ミラーにおける入射角が変化しない。
In the curved total reflection mirror camera according to the present invention, fine adjustment of the position of the focus F2 is performed by rotating the curved total reflection mirror by the mirror rotation moving mechanism. Then, since the rotational movement is about the focal point F1, the incident angle at the curved total reflection mirror does not change.

【0018】[0018]

【実施例】図1は、本発明に係る湾曲全反射ミラーカメ
ラの一実施例を示したものである。この一実施例の湾曲
全反射ミラーカメラは、X線源の焦点F1 から出射され
た発散X線1を、垂直ミラー12と水平ミラー13との
2枚の湾曲全反射ミラーによってX線検出手段4上に点
集束させるもので、図中の符号5はミラー12,13に
よって集光されたX線が照射される試料であり、F2 は
X線検出手段4上の焦点(X線の集束位置)である。
1 shows an embodiment of a curved total reflection mirror camera according to the present invention. In the curved total reflection mirror camera of this embodiment, the divergent X-ray 1 emitted from the focal point F1 of the X-ray source is converted into X-ray detection means 4 by two curved total reflection mirrors, a vertical mirror 12 and a horizontal mirror 13. A point is focused on the upper part, and reference numeral 5 in the drawing is a sample irradiated with the X-rays condensed by the mirrors 12 and 13, and F2 is a focal point on the X-ray detecting means 4 (focusing position of the X-ray). Is.

【0019】前記焦点F1 は、サイズ的には、例えば、
0.3×0.3mm2 程度の微小焦点である。なお、図
示はしていないが、試料5と水平ミラー3との間には、
不要な散乱X線をカットするガードスリットが配置され
る。
The focus F1 is, for example, in terms of size,
The focal point is about 0.3 × 0.3 mm 2. Although not shown, between the sample 5 and the horizontal mirror 3,
A guard slit for cutting unnecessary scattered X-rays is arranged.

【0020】前記垂直ミラー12は湾曲した反射面12
aが水平面に対して直交した状態に保持され、水平ミラ
ー13は湾曲した反射面13aが鉛直面に対して直交し
た状態に保持されている。即ち、垂直ミラー12と水平
ミラー13とは、互いに直交する関係に配置されてい
る。
The vertical mirror 12 has a curved reflecting surface 12
a is held perpendicular to the horizontal plane, and the horizontal mirror 13 is held such that the curved reflecting surface 13a is perpendicular to the vertical plane. That is, the vertical mirror 12 and the horizontal mirror 13 are arranged in a relationship orthogonal to each other.

【0021】前記X線検出手段4としては、X線フィル
ムや、X線を蓄積する蛍光体層を使用したイメージング
プレートや、その他の位置感応型のX線検出器等の利用
が考えられる。
The X-ray detecting means 4 may be an X-ray film, an imaging plate using a phosphor layer for accumulating X-rays, or other position-sensitive X-ray detectors.

【0022】この一実施例の湾曲全反射ミラーカメラで
は、焦点F2 の位置を調整するために、垂直ミラー12
および水平ミラー13のそれぞれには、先に図3を用い
て説明したベント機構と図4を用いて説明したミラー回
転機構とが従来と同様に装備されているが、さらには、
従来の並進機構に代わって、ミラー回転移動機構14,
15が装備されている。
In the curved total reflection mirror camera of this embodiment, the vertical mirror 12 is used to adjust the position of the focus F2.
Each of the horizontal mirror 13 and the horizontal mirror 13 is equipped with the vent mechanism described above with reference to FIG. 3 and the mirror rotation mechanism described with reference to FIG. 4 as in the conventional case.
Instead of the conventional translation mechanism, the mirror rotation moving mechanism 14,
Equipped with 15.

【0023】前記ミラー回転移動機構14は、前記X線
源の焦点F1 を回転中心とし、前記垂直ミラー12の反
射面12aに直交する平面(即ち、水平面)内で、当該
垂直ミラー12を回転移動させるものである。図中の符
号14aは焦点F1 を通る鉛直軸で、14bは前記鉛直
軸14aを回転軸とした腕部材である。この腕部材の先
端が前記垂直ミラー12に連結されている。腕部材14
bは図示略の駆動手段により回転操作される。腕部材1
4bを前記鉛直軸14a回りに回転させる駆動手段は、
送りねじ等を利用した進退機構など、公知の適宜機構を
利用することができる。
The mirror rotation moving mechanism 14 rotates the vertical mirror 12 in a plane (that is, a horizontal plane) orthogonal to the reflecting surface 12a of the vertical mirror 12 with the focal point F1 of the X-ray source as the center of rotation. It is what makes me. Reference numeral 14a in the drawing is a vertical axis passing through the focal point F1, and 14b is an arm member having the vertical axis 14a as a rotation axis. The tip of this arm member is connected to the vertical mirror 12. Arm member 14
b is rotationally operated by a drive means (not shown). Arm member 1
The drive means for rotating 4b about the vertical axis 14a is
A known appropriate mechanism such as an advancing / retreating mechanism using a feed screw can be used.

【0024】前記ミラー回転移動機構15は、前記X線
源の焦点F1 を回転中心とし、前記水平ミラー13の反
射面13aに直交する平面(即ち、鉛直面)内で、当該
水平ミラー13を回転移動させるものである。図中の符
号15aは焦点F1 を通る水平軸で、15bは前記水平
軸15aを回転軸とした腕部材である。この腕部材15
bの先端が前記水平ミラー13に連結されている。腕部
材15bは図示略の駆動手段により回転操作される。腕
部材15bを前記水平軸15a回りに回転させる駆動手
段は、送りねじ等を利用した進退機構など、公知の適宜
機構を利用することができる。
The mirror rotating / moving mechanism 15 rotates the horizontal mirror 13 in a plane (that is, a vertical plane) orthogonal to the reflecting surface 13a of the horizontal mirror 13 with the focal point F1 of the X-ray source as the center of rotation. It is something to move. Reference numeral 15a in the drawing is a horizontal axis passing through the focal point F1, and 15b is an arm member having the horizontal axis 15a as a rotation axis. This arm member 15
The tip of b is connected to the horizontal mirror 13. The arm member 15b is rotationally operated by a driving means (not shown). As the drive means for rotating the arm member 15b around the horizontal axis 15a, a well-known appropriate mechanism such as an advancing / retreating mechanism using a feed screw can be used.

【0025】以上の一実施例の湾曲全反射ミラーカメラ
では、発散X線1がX線検出手段4上に点集束するよう
に、垂直ミラー12,水平ミラー13の順に、それぞれ
のミラーに装備されたベント機構やミラー回転機構を操
作することによって、各ミラー12,13上への最適の
入射角を設定する。そして、最適の入射角を一旦設定し
た後に、X線検出手段4上の焦点F2 の位置を微調整す
る場合には、前記ミラー回転移動機構14,15の操作
によって、垂直ミラー12および水平ミラー13の位置
を調整する。
In the curved total reflection mirror camera of the above embodiment, the vertical mirror 12 and the horizontal mirror 13 are provided in this order in order so that the divergent X-rays 1 are focused on the X-ray detecting means 4. By operating the bent mechanism and the mirror rotation mechanism, the optimum incident angle on each mirror 12, 13 is set. When the position of the focal point F2 on the X-ray detecting means 4 is finely adjusted after the optimum incident angle is once set, the vertical mirror 12 and the horizontal mirror 13 are operated by operating the mirror rotation moving mechanisms 14 and 15. Adjust the position of.

【0026】このミラー回転移動機構14,15による
回転移動は、図7に示すように、焦点F1 を回転中心と
した回転運動となるため、例えば、ミラーの位置をM1
からM2のように移動させても、ミラーに対する入射角
は変化しない。したがって、最初に正しく各ミラーへの
入射角を設定調整すれば、その後、焦点F2 の位置の微
調整等のために各ミラー12,13を移動させたとして
も、入射角の再設定等の作業が不要で、焦点F2 の位置
の微調整等が容易なり、焦点F2 の位置の微調整時等の
操作性が大幅に改善されることになる。
As shown in FIG. 7, the rotational movements by the mirror rotational movement mechanisms 14 and 15 are rotational movements about the focal point F1. Therefore, for example, the position of the mirror is set to M1.
From M to M2, the angle of incidence on the mirror does not change. Therefore, if the incident angles to the respective mirrors are first correctly set and adjusted, then even if the respective mirrors 12 and 13 are moved for fine adjustment of the position of the focal point F2, the work of resetting the incident angles and the like will be performed. Is unnecessary, fine adjustment of the position of the focus F2 is facilitated, and operability at the time of fine adjustment of the position of the focus F2 is greatly improved.

【0027】なお、前述の一実施例では、各ミラー1
2,13には、本発明に係るミラー回転移動機構14,
15の他に、従来からのベント機構とミラー回転機構と
を装備した構成としたが、必要に応じて、従来のミラー
回転機構は省いてもよい。
Incidentally, in the above-described embodiment, each mirror 1
Reference numerals 2 and 13 denote mirror rotation moving mechanism 14 according to the present invention.
In addition to 15, the conventional vent mechanism and the mirror rotation mechanism are provided, but the conventional mirror rotation mechanism may be omitted if necessary.

【0028】また、前記一実施例では、2枚の湾曲全反
射ミラーを使用する形式のカメラについて説明したが、
本発明は、一枚の湾曲全反射ミラーを使用して入射X線
を線状に集束させる場合にも、適用することができるこ
とはいうまでもない。
Further, in the above-mentioned one embodiment, the camera of the type using two curved total reflection mirrors has been described.
It goes without saying that the present invention can also be applied to the case where incident X-rays are linearly focused using one curved total reflection mirror.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る湾曲全反射ミラーカメラでは、焦点F2 の位置の
微調整等は、ミラー回転移動機構によって湾曲全反射ミ
ラーを回転移動させることによって行うが、このミラー
回転移動機構による移動操作では、焦点F1 を回転中心
とした回転運動となるため、湾曲全反射ミラーにおける
入射角が変化しない。
As is apparent from the above description, in the curved total reflection mirror camera according to the present invention, fine adjustment of the position of the focal point F2 is performed by rotating the curved total reflection mirror by the mirror rotation moving mechanism. However, in the moving operation by this mirror rotation moving mechanism, since the rotational movement is about the focal point F1, the incident angle at the curved total reflection mirror does not change.

【0030】したがって、最初に正しく湾曲全反射ミラ
ーへの入射角を設定調整すれば、その後、焦点F2 の位
置の微調整等のために湾曲全反射ミラーを移動させたと
しても、入射角の再設定等の作業が不要で、焦点F2 の
位置の微調整等が容易なり、焦点F2 の位置の微調整時
等の操作性が大幅に改善されることになる。
Therefore, if the incident angle to the curved total reflection mirror is first correctly set and adjusted, then even if the curved total reflection mirror is moved for fine adjustment of the position of the focal point F2 or the like, the incident angle is re-adjusted. No work such as setting is required, fine adjustment of the position of the focus F2 is facilitated, and operability at the time of fine adjustment of the position of the focus F2 is greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】湾曲全反射ミラーカメラの概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a curved total reflection mirror camera.

【図3】従来の湾曲全反射ミラーカメラに装備されてい
るベント機構の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view of a vent mechanism equipped in a conventional curved total reflection mirror camera.

【図4】従来の湾曲全反射ミラーカメラに装備されてい
るミラー回転機構の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a mirror rotation mechanism equipped in a conventional curved total reflection mirror camera.

【図5】従来の湾曲全反射ミラーカメラに装備されてい
る並進機構の説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a translation mechanism equipped in a conventional curved total reflection mirror camera.

【図6】従来の湾曲全反射ミラーカメラにおける問題の
説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram of a problem in a conventional curved total reflection mirror camera.

【図7】本発明の一実施例の作用説明図である。FIG. 7 is an explanatory view of the operation of the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 発散X線 4 X線検出手段 F1 ,F2 焦点 12 垂直ミラー(湾曲全反射ミラー) 13 水平ミラー(湾曲全反射ミラー) 14,15 ミラー回転移動機構 1 divergent X-ray 4 X-ray detection means F1, F2 focus 12 vertical mirror (curved total reflection mirror) 13 horizontal mirror (curved total reflection mirror) 14, 15 mirror rotation moving mechanism

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 X線源の焦点F1 から出射されたX線を
湾曲全反射ミラーによってX線検出手段上の焦点F2 に
集束させる湾曲全反射ミラーカメラであって、 前記X線源の焦点F1 を回転中心とし、前記湾曲全反射
ミラーの反射面に直交する平面内で、湾曲全反射ミラー
を回転移動させるミラー回転移動機構を装備したことを
特徴とする湾曲全反射ミラーカメラ。
1. A curved total reflection mirror camera for converging X-rays emitted from a focal point F1 of an X-ray source to a focal point F2 on an X-ray detecting means by a curved total reflection mirror, the focal point F1 of the X-ray source. A curved total reflection mirror camera equipped with a mirror rotation moving mechanism that rotationally moves the curved total reflection mirror in a plane orthogonal to the reflection surface of the curved total reflection mirror with the center of rotation as the center of rotation.
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