JPH06285826A - Manufacture of green sheet with back tape - Google Patents
Manufacture of green sheet with back tapeInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えばセラミック多層
回路基板用等に用いられるグリーンシートの製造方法に
関し、特にドクターブレード法等によって形成されるバ
ックテープ付グリーンシートの製造方法に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a green sheet used for, for example, a ceramic multilayer circuit board, and more particularly to a method for producing a green sheet with a back tape formed by a doctor blade method or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、例えばセラミック多層回路基
板等の製造に用いられるグリーンシートとして、グリー
ンシートの取り扱いの良さの点から、グリーンシートの
一方の面に樹脂製のフィルムを貼り付けたいわゆるバッ
クテープ付グリーンシートが使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a green sheet used for manufacturing, for example, a ceramic multilayer circuit board, from the viewpoint of handling the green sheet, a so-called backing in which a resin film is attached to one surface of the green sheet. A green sheet with tape is used.
【０００３】このバックテープ付グリーンテープを製造
する場合には、下記の手順で行われている。まず、セラ
ミックパウダーと有機成分である溶剤，分散剤，バイン
ダー，可塑剤等を、ボールミルにより混合、粉砕して、
スラリーを作製する。次に、そのスラリーをフィルター
による濾過、減圧脱泡した後に、ドクターブレード法に
よってキャリアフィルム上にグリーンシートの成形を行
う。そして、乾燥した後に、グリーンシートをキャリヤ
フィルムから剥離し、熱アニール処理（熱による乾燥収
縮加工）を施して再度充分に乾燥収縮させる。その後、
乾燥したグリーンシートと収縮防止用のバックテープと
を、シート側に溶剤を塗布しながら貼り合わせてバック
テープ付グリーンシートを完成する。When manufacturing this green tape with a back tape, the procedure is as follows. First, ceramic powder and organic components such as solvent, dispersant, binder, and plasticizer are mixed and crushed by a ball mill,
Make a slurry. Next, after filtering the slurry with a filter and defoaming under reduced pressure, a green sheet is formed on a carrier film by a doctor blade method. Then, after drying, the green sheet is peeled from the carrier film, and subjected to thermal annealing treatment (drying shrinking process by heat) to be sufficiently dried and shrunk again. afterwards,
The dried green sheet and the shrink-preventing back tape are bonded together while applying a solvent to the sheet side to complete a green sheet with a back tape.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たバックテープ付グリーンシートの製造方法の場合に
は、下記の様な問題があり、必ずしも好適ではなかっ
た。 即ち、従来の方法では、ドクターブレード法にてグリ
ーンシートをキャリアフィルム上に成形し、キャリヤフ
ィルムを剥離した後に、充分乾燥し、再度溶剤を塗布し
てバックテープを貼るという手順を採用しているので、
製造工程が複雑で非常に手間がかかるという問題があっ
た。However, the above-described method for producing a green sheet with a back tape has the following problems and is not always suitable. That is, in the conventional method, a procedure of forming a green sheet on a carrier film by a doctor blade method, peeling the carrier film, sufficiently drying, applying a solvent again, and applying a back tape is adopted. So
There is a problem that the manufacturing process is complicated and takes a lot of time and effort.
【０００５】また、バックテープ付グリーンシートを
成形するのに、キャリヤフィルム及びシート収縮防止用
バックテープの両方が必要であるので、材料的にも無駄
が多いという問題があった。尚、２層のキャリアフィル
ムの間にグリーンシートを挟んでバックテープ付グリー
ンシートを形成するという技術（特開昭６２−２１８１
０７号公報参照）も提案されているが、この方法の場合
も、２種類のフィルムを使用しなければならないという
問題は解決されない。Further, since both the carrier film and the back tape for preventing sheet shrinkage are required to form the green sheet with a back tape, there is a problem in that much material is wasted. A technique of forming a green sheet with a back tape by sandwiching a green sheet between two layers of carrier films (Japanese Patent Laid-Open No. 62-2181).
No. 07), but the problem of having to use two kinds of films is not solved even in this method.
【０００６】更に、従来の方法では、非常に薄いグリ
ーンシートの場合、キャリヤフィルムからの剥離や貼り
合わせ等の工程の作業が困難であり、事実上バックテー
プの貼り付けが不可能であった。 その上、特にグリーンシート中の有機成分がアクリル
系樹脂の場合には、グリーンシートに溶剤が付着すると
膨潤してその形状が崩れ、しかもバックテープの剥離が
できなくなるという問題があった。Further, according to the conventional method, in the case of a very thin green sheet, it is difficult to carry out the steps such as peeling from the carrier film and bonding, and it is practically impossible to bond the back tape. In addition, when the organic component in the green sheet is an acrylic resin, there is a problem that when the solvent adheres to the green sheet, the green sheet swells and loses its shape, and the back tape cannot be peeled off.
【０００７】本発明は、前記課題を解決するためになさ
れ、簡単な工程で、材料的にも無駄を省き、かつ極めて
薄いグリーンシートの取り扱いも可能にし、その上膨潤
性の高いグリーンシートに対しても適用ができるバック
テープ付グリーンシートの製造方法を提供することを目
的とする。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and in a simple process, it is possible to reduce waste of material and handle an extremely thin green sheet. Even if it applies, it aims at providing the manufacturing method of the green sheet with a back tape.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の請求項１の発明は、フィルム上にグリーンシートを形
成するバックテープ付グリーンシートの製造方法におい
て、前記フィルムとして、高剪断性及び高耐引っ張り性
及び耐熱性を備えたフィルムを用い、前記グリーンシー
ト形成後に該フィルムをバックテープとして使用するこ
とを特徴とするバックテープ付グリーンシートの製造方
法を要旨とする。In order to achieve this object, the invention of claim 1 is a method for producing a green sheet with a back tape for forming a green sheet on a film, wherein the film has a high shear property and a high shear property. A method for producing a green sheet with a back tape is characterized in that a film having tensile resistance and heat resistance is used and the film is used as a back tape after forming the green sheet.
【０００９】請求項２の発明は、前記グリーンシートを
成形する方法が、ドクターブレード法であることを特徴
とする前記請求項１記載のバックテープ付のグリーンシ
ートの製造方法を要旨とする。A second aspect of the present invention is summarized as a method for producing a green sheet with a back tape according to the first aspect, wherein the method for forming the green sheet is a doctor blade method.
【００１０】請求項３の発明は、前記フィルムが、熱ア
ニール処理を施したものであることを特徴とする前記請
求項１又は請求項２記載のバックテープ付のグリーンシ
ートの製造方法を要旨とする。The invention of claim 3 is characterized in that the film is heat-annealed, and a method of manufacturing a green sheet with a back tape according to claim 1 or 2 is summarized. To do.
【００１１】請求項４の発明は、前記フィルムが、グリ
ーンシートとフィルムの剥離性を確保する離型性コーテ
ィングを施したものであることを特徴とする前記請求項
１ないし請求項３のいずれかに記載のバックテープ付グ
リーンシートの製造方法を要旨とする。The invention of claim 4 is characterized in that the film is provided with a releasable coating for ensuring releasability between the green sheet and the film. The gist is the method for producing a green sheet with a back tape described in.
【００１２】ここで、前記バックテープと兼用するフィ
ルムの材質としては、例えば遮光性ポリエチレンテレフ
タレート、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等を
採用できる。また、前記フィルムの高剪断性としては、
生加工でのパンチ打抜き性が良好である程度でよく、例
えばＭＤ１８〜２０kg／cm2の範囲が好適である。更
に、前記フィルムの厚さに関しては、あまり厚くなると
打抜き性が低下するが、逆に、グリーンシート成形時に
フィルムに加わる引っ張り力や熱等に耐えるためには、
なるべく厚い方が有利である。従って、両者の条件を満
足するため、フィルムの厚みとしては２５〜５０μmの
範囲が望ましく、その内で３８μm程度が最も好適であ
る。Here, as the material of the film which also serves as the back tape, for example, light-shielding polyethylene terephthalate, polyphenylene sulfide (PPS) or the like can be adopted. Further, as the high shear property of the film,
The punching property in raw processing is good and may be of a certain degree. For example, the range of MD 18 to 20 kg / cm 2 is suitable. Further, with respect to the thickness of the film, if the thickness is too thick, the punching property decreases, but conversely, in order to withstand the pulling force and heat applied to the film during green sheet molding,
The thicker the better, the better. Therefore, in order to satisfy both conditions, the thickness of the film is preferably in the range of 25 to 50 μm, of which 38 μm is most preferable.
【００１３】更に、前記高耐引っ張り力とは、グリーン
シート成形時にフィルムに加わる引っ張り力に耐えられ
る程度（例えば２０kg／mm2以上）でよく、また、耐熱
性とは、グリーンシートを乾燥する際に加熱する温度
（例えば１５０℃）に耐えられる程度であればよい。Further, the high tensile strength is sufficient to withstand the tensile strength applied to the film at the time of forming the green sheet (for example, 20 kg / mm 2 or more), and the heat resistance means that the green sheet is dried. It is sufficient that it can withstand the temperature of heating to 150 ° C. (for example, 150 ° C.).
【００１４】[0014]
【作用】本発明では、グリーンシートを形成するフィル
ムとして、高剪断性及び高耐引っ張り性及び耐熱性を備
えたフィルムを使用している。従って、例えばドクター
ブレード法によってグリーンシートを形成する際に、フ
ィルムが強く引っ張られても、フィルムが破損すること
がない。しかも、グリーンシートにパンチングをする場
合には、フィルムごとグリーンシートにパンチングを行
なうことが可能である。その上、グリーンシートを乾燥
する際の加熱によっても損なわれることがない。つま
り、本発明に使用されるフィルムは、高剪断性及び高耐
引っ張り性及び耐熱性を備えているので、このフィルム
１種類で、従来のキャリアフィルム及びバックテープの
機能を果たすことが可能である。In the present invention, a film having high shear resistance, high tensile resistance and heat resistance is used as the film forming the green sheet. Therefore, when the green sheet is formed by, for example, the doctor blade method, even if the film is strongly pulled, the film is not damaged. Moreover, when punching the green sheet, it is possible to punch the green sheet together with the film. Moreover, it is not damaged even by heating when drying the green sheet. That is, since the film used in the present invention has high shear resistance, high tensile resistance, and heat resistance, it is possible to perform the functions of the conventional carrier film and back tape with this single type of film. .
【００１５】[0015]
【実施例】以上説明した本発明の構成・作用を一層明ら
かにするために、以下本発明の好適な実施例について説
明する。まず、ドクターブレード法によってグリーンシ
ートの成形を行うため、セラミックパウダー（１００重
量部），バインダー（１４重量部），可塑剤（５重量
部），その他若干の分散剤，溶剤等を、ボールミルの中
に投入して、一定時間分散混合を行い、スラリーを調製
した。尚、本実施例として、特に平均粒径３．２〜３．
７μmのセラミックパウダーを用いた。Preferred embodiments of the present invention will be described below in order to further clarify the structure and operation of the present invention described above. First, in order to form a green sheet by the doctor blade method, ceramic powder (100 parts by weight), binder (14 parts by weight), plasticizer (5 parts by weight), some other dispersants, solvents, etc. are put in a ball mill. Then, the mixture was dispersed and mixed for a certain period of time to prepare a slurry. In this embodiment, the average particle diameter is 3.2 to 3.
7 μm ceramic powder was used.
【００１６】次にそのスラリーをフィルターによる濾
過、減圧脱泡した後、図１に示すグリーンシート形成装
置１にて、ドクターブレード法により、０．４［mm］ｔ
の厚みのグリーンシート２の成形を行った。つまり、キ
ャリアフィルム３を連続的に送るとともに、そのキャリ
ヤフィルム３上にグリーンシート２を形成した。尚、前
記キャリヤフィルム３としては、３８μm厚みの高剪断
性を有する遮光性ポリエチレンテレフタレート製のフィ
ルムに対し、１５０℃で３０分にわたり熱アニール処理
を施してある程度収縮させ、その後離型性コーティング
であるシリコンコートを、１５０℃より低い温度でキャ
リヤフィルム３の表面に形成したものを用いた。Next, after filtering the slurry with a filter and defoaming under reduced pressure, 0.4 [mm] t is applied by the doctor blade method in the green sheet forming apparatus 1 shown in FIG.
The green sheet 2 having a thickness of 1 was formed. That is, the carrier film 3 was continuously fed, and the green sheet 2 was formed on the carrier film 3. As the carrier film 3, a film of high shearing light-shielding polyethylene terephthalate having a thickness of 38 μm is subjected to thermal annealing at 150 ° C. for 30 minutes to shrink it to some extent, and then is a releasable coating. A silicon coat formed on the surface of the carrier film 3 at a temperature lower than 150 ° C. was used.
【００１７】そして、このキャリアフィルム３を貼り付
けた状態のグリーンシート２を乾燥機４内にて充分乾燥
した後に、キャリヤフィルム３と共に巻き取ることによ
り、バックテープ付グリーンシートを完成した。つまり
キャリアフィルム３は剥離されることなくそのままバッ
クテープとして使用される。Then, the green sheet 2 with the carrier film 3 attached thereto is sufficiently dried in a dryer 4 and then wound with the carrier film 3 to complete a green sheet with a back tape. That is, the carrier film 3 is used as it is as a back tape without being peeled off.
【００１８】この様にしてバックテープ付グリーンシー
トを製造することによって、下記の効果を奏する。 本実施例の（バックテープを兼ねる）キャリヤフィル
ム３は、３８μmの厚さを有し材質的にも十分な耐引っ
張り性を備えているので、キャリヤフィルム３上にグリ
ーンシート２を形成する際には、引っ張りに伴う歪や、
縦方向のシワ等が生じること無く、一定厚みのグリーン
シート２を安定して成形することができた。By producing the green sheet with the back tape in this manner, the following effects can be obtained. The carrier film 3 (also serving as a back tape) of this embodiment has a thickness of 38 μm and has sufficient tensile resistance in terms of material, so that when the green sheet 2 is formed on the carrier film 3. Is the strain associated with pulling,
It was possible to stably form the green sheet 2 having a constant thickness without causing wrinkles in the vertical direction.
【００１９】本実施例のキャリヤフィルム３は高剪断
性を備えているので、グリーンシート２をキャリヤフィ
ルム３と共に切断し、パンチによる孔開け加工を行った
ところ、小径ピン（φ０．１〜０．５［mm］）からガイ
ドピン（φ２．０、３．０、５．０［mm］）まで普通に
打抜くことができ、加工性は良好であった。Since the carrier film 3 of this embodiment has a high shearing property, when the green sheet 2 is cut together with the carrier film 3 and punched with a punch, a small diameter pin (φ0.1 to 0. It was possible to punch normally from 5 [mm]) to guide pins (φ2.0, 3.0, 5.0 [mm]), and the workability was good.
【００２０】グリーンシート２とバックテープ（キャ
リヤフィルム３）の接着性に関しては、パンチ孔開け加
工中は剥離することなく、バックテープがグリーンシー
ト２を保護しており、バックテープを剥離する場合は、
シリコンによるコーティングがなされているので、グリ
ーンシート２に歪み，伸び，亀裂等の負担を掛けること
無く剥離することができた。Regarding the adhesiveness between the green sheet 2 and the back tape (carrier film 3), the back tape protects the green sheet 2 without peeling off during punching, and when the back tape is peeled off, ,
Since the coating is made of silicon, the green sheet 2 can be peeled off without being strained, stretched or cracked.
【００２１】グリーンシート２を切断して□１００
［mm］の基板を作ったところ、寸法公差を±０．３％以
内に安定させることができた。 従来の様に、グリーンシート２からキャリヤフィルム
３を剥離しないので、極めて薄いグリーンシート２の製
造も容易である。Cut the green sheet 2 to 100
When we made a [mm] substrate, we were able to stabilize the dimensional tolerance within ± 0.3%. Since the carrier film 3 is not peeled from the green sheet 2 as in the conventional case, it is easy to manufacture the extremely thin green sheet 2.
【００２２】グリーンシート２をバックテープに溶剤
を用いて貼り付けないので、溶剤に対して不適なアクリ
ル系グリーンシートにも適用できる。 セラミックパウダーの粒径が通常のものより大きいの
で、溶剤が抜け易く、よってグリーンシート２のキャリ
ヤフィルム３に面する側の乾燥が促進される。Since the green sheet 2 is not attached to the back tape by using a solvent, it can be applied to an acrylic green sheet which is not suitable for the solvent. Since the particle size of the ceramic powder is larger than that of a normal one, the solvent is easily removed, and thus the drying of the side of the green sheet 2 facing the carrier film 3 is promoted.
【００２３】また、バインダー及び可塑剤の量の調整
によって、グリーンシート２がべとつき難くなり、乾燥
が容易になった。 次に、製造条件を若干変更して行った実験例について説
明する。 （実験例１）キャリヤフィルムの剪断性の違いによるパ
ンチ打抜き性の比較。Further, by adjusting the amounts of the binder and the plasticizer, the green sheet 2 becomes less sticky and the drying becomes easier. Next, an example of an experiment performed by slightly changing the manufacturing conditions will be described. (Experimental Example 1) A comparison of punch punching properties depending on the shearing properties of carrier films.
【００２４】前記実施例の高剪断性を有する遮光性ポリ
エチレンテレフタレート製のキャリヤフィルムの材質
を、通常の剪断性を有するポリエチレンテレフタレート
に変更して、他は同じ条件でグリーンシートの成形を行
ったところ、パンチ打抜き時にバリ，切れ残り，歪が発
生した。この傾向は径の太いガイドピンに於てより顕著
であった。The material of the carrier film made of the light-shielding polyethylene terephthalate having a high shearing property in the above-mentioned example was changed to a polyethylene terephthalate having a normal shearing property, and the green sheet was molded under the same conditions. Burr, uncut portion, and distortion occurred when punching. This tendency was more remarkable in the large diameter guide pin.
【００２５】つまり、キャリヤフィルムとバックテープ
を兼用する場合には、前記実施例の様に剪断性に優れた
フィルムを使用することが必要であることは明かであ
る。 （実験例２）高剪断性キャリヤフィルムの厚みを違えた
場合によるパンチ打抜き性の比較。That is, when the carrier film and the back tape are also used, it is clear that it is necessary to use a film having excellent shearing property as in the above-mentioned embodiment. (Experimental Example 2) Comparison of punch punching properties when the thickness of the high shearing carrier film is changed.
【００２６】パンチ打抜き性を確保できる最大厚みを検
討するため、前記実施例のキャリヤフィルムと同材質
で、厚みを５種類（１６，２５，３８，５０，７５［μ
m］）に変えて、他は同じ条件でグリーンシート成形を
行なった。その結果、小径ピンの場合は５０μmまで、
ガイドピンの場合は３８μmまで良好なパンチ打ち抜き
性を確保できた。理想としては３８μmの遮光性ポリエ
チレンテレフタレート製のキャリヤフィルム（商品名：
ルミラー，東レ製）が、バックテープ付グリーンシート
成形用キャリヤフィルムには最適であることが判った。 （実験例３）高剪断性キャリヤフィルムの通常品と熱ア
ニール品との寸法安定性の比較。In order to investigate the maximum thickness that can ensure punching performance, the same material as the carrier film of the above-mentioned embodiment is used, and the thickness is 5 kinds (16, 25, 38, 50, 75 [μ
m]) and other conditions were the same, and green sheet molding was performed. As a result, up to 50 μm for small diameter pins,
In the case of the guide pin, a good punch punching property up to 38 μm could be secured. Ideally, a 38 μm light-shielding polyethylene terephthalate carrier film (trade name:
Lumirror, manufactured by Toray) was found to be the most suitable carrier film for forming green sheets with back tape. (Experimental Example 3) Comparison of dimensional stability between a normal product and a thermally annealed product of a high shearing carrier film.
【００２７】使用するキャリヤフィルムを、熱アニール
処理を施していない高剪断性ポリエチレンテレフタレー
トフィルムに変更して、他は同じ条件でグリーンシート
成形を行なった。そのバックテープ付グリーンシートを
切断して□１００［mm］の基板を作ったところ、寸法公
差が±０．７％以内となり、熱アニール処理を施したキ
ャリヤフィルムを使用した場合に比べて寸法安定性が劣
化していた。The carrier film used was changed to a high-shearing polyethylene terephthalate film which had not been heat-annealed, and green sheet molding was carried out under the same conditions. When the green sheet with the back tape was cut to make a substrate of □ 100 [mm], the dimensional tolerance was within ± 0.7%, and the dimension was more stable than when using a carrier film that had been thermally annealed. The sex was deteriorated.
【００２８】つまり、熱アニール処理を施していないも
のは、耐熱性に劣り加熱乾燥時に収縮するので、寸法誤
差が大きくなる。 （実験例４）シリコンコートを施していない通常の高剪
断性ポリエチレンテレフタレートフィルムとシリコンコ
ート品とのグリーンシート剥離性の比較。That is, those that have not been subjected to the thermal annealing treatment are inferior in heat resistance and contract during heating and drying, resulting in a large dimensional error. (Experimental example 4) Comparison of the peelability of a normal high-shearing polyethylene terephthalate film not coated with silicon and a silicon-coated product with respect to a green sheet.
【００２９】使用するキャリヤフィルムを、表面に離型
性コーティングを施していない高剪断性ポリエチレンテ
レフタレートフィルムに変更して、他は同じ条件でグリ
ーンシート成形を行なった。そのグリーンシートのバッ
クテープを剥離したところ、接着力が強すぎてグリーン
シートに歪及び伸びが発生した。特にシート強度の小さ
いアクリルシートの場合、全く剥離できなかった。The carrier film used was changed to a high-shearing polyethylene terephthalate film having no release coating on the surface, and green sheet molding was performed under the same conditions. When the back tape of the green sheet was peeled off, the adhesive strength was too strong and the green sheet was distorted and stretched. In particular, an acrylic sheet having a small sheet strength could not be peeled at all.
【００３０】尚、本発明は、上記実施例に何等限定され
ず、本発明の要旨の範囲内において各種の態様で実施で
きることは勿論である。例えば、グリーンシートのキャ
リヤフィルム側の乾燥が甘いことを積極的に利用して、
シート積層時の溶剤の塗布の省略或は塗布量の減量が図
れる。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that the present invention can be carried out in various modes within the scope of the gist of the present invention. For example, positively utilizing that the dryness of the carrier film side of the green sheet is
It is possible to omit the application of the solvent or reduce the application amount when stacking the sheets.
【００３１】[0031]
【発明の効果】本発明では、グリーンシートを形成する
フィルムとして、高剪断性及び高耐引っ張り性及び耐熱
性を備えたフィルムを使用している。従って、例えばド
クターブレード法によってグリーンシートを形成する際
に、フィルムが強く引っ張られても、フィルムが破損す
ることがない。しかも、グリーンシートにパンチングを
行なう場合には、フィルムごとグリーンシートにパンチ
ングを行なうことが可能である。その上、グリーンシー
トを乾燥する際の加熱によっても損なわれることがな
い。つまり、本発明に使用されるフィルムは、高剪断性
及び高耐引っ張り性及び耐熱性を備えているので、この
フィルム１種類で、従来のキャリアフィルム及びバック
テープの機能を果たすことができる。According to the present invention, a film having high shear resistance, high tensile resistance and heat resistance is used as a film forming a green sheet. Therefore, when the green sheet is formed by, for example, the doctor blade method, even if the film is strongly pulled, the film is not damaged. Moreover, when punching the green sheet, it is possible to punch the green sheet together with the film. Moreover, it is not damaged even by heating when drying the green sheet. That is, since the film used in the present invention has high shear resistance, high tensile resistance, and heat resistance, one type of this film can fulfill the functions of the conventional carrier film and back tape.
【００３２】しかも、本発明では、従来の様にキャリヤ
フィルムを剥離しないので、極めて薄いグリーンシート
の製造も容易である。また、グリーンシートをバックテ
ープに溶剤を用いて貼り付けることがないので、溶剤に
対して不適なアクリル系グリーンシートにも本発明を適
用できる。Moreover, according to the present invention, since the carrier film is not peeled off as in the conventional case, an extremely thin green sheet can be easily manufactured. Further, since the green sheet is not attached to the back tape by using a solvent, the present invention can be applied to an acrylic green sheet which is not suitable for the solvent.
【００３３】また、前記グリーンシートを成形する方法
がドクターブレード法であると、グリーンシートの連続
形成が容易であるので好適である。更に、前記フィルム
に予め熱アニール処理を施しておくと、加熱乾燥の際に
収縮が起きず、簡単な方法で耐熱性が向上するので好ま
しい。Further, it is preferable that the method of forming the green sheet is the doctor blade method because continuous formation of the green sheet is easy. Furthermore, it is preferable to subject the film to a thermal annealing treatment in advance, because shrinkage does not occur during heat drying and heat resistance is improved by a simple method.
【００３４】その上、前記フィルム上に離型性コーティ
ングを施しておくと、グリーンシートをフィルムから剥
離するので容易であるので好適である。Moreover, it is preferable to apply a release coating on the film, because the green sheet can be easily peeled from the film.
【図１】 グリーンシート形成装置を示す説明図であ
る。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a green sheet forming apparatus.
１…グリーンシート形成装置 ２…グリーンシート ３…キャリヤシート（バックテープ） 1 ... Green sheet forming device 2 ... Green sheet 3 ... Carrier sheet (back tape)
Claims (4)
バックテープ付グリーンシートの製造方法において、 前記フィルムとして、高剪断性及び高耐引っ張り性及び
耐熱性を備えたフィルムを用い、前記グリーンシート成
形後に該フィルムをバックテープとして使用することを
特徴とするバックテープ付グリーンシートの製造方法。1. A method for producing a green sheet with a back tape for forming a green sheet on a film, wherein a film having high shearing property, high tensile resistance and heat resistance is used as the film, and after the green sheet is formed. A method for producing a green sheet with a back tape, which comprises using the film as a back tape.
ドクターブレード法であることを特徴とする前記請求項
１記載のバックテープ付のグリーンシートの製造方法。2. A method for forming the green sheet comprises:
The method for producing a green sheet with a back tape according to claim 1, wherein the method is a doctor blade method.
たものであることを特徴とする前記請求項１又は請求項
２記載のバックテープ付のグリーンシートの製造方法。3. The method for producing a green sheet with a back tape according to claim 1 or 2, wherein the film is subjected to a thermal annealing treatment.
ルムの剥離性を確保する離型性コーティングを施したも
のであることを特徴とする前記請求項１ないし請求項３
のいずれかに記載のバックテープ付グリーンシートの製
造方法。4. The film according to any one of claims 1 to 3, wherein the film is provided with a releasable coating for ensuring releasability between the green sheet and the film.
A method for producing a green sheet with a back tape according to any one of 1.
Priority Applications (1)
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| JP07819493A JP3425179B2 (en) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | Manufacturing method of green sheet with back tape |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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| JPH06285826A true JPH06285826A (en) | 1994-10-11 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3425179B2 (en) |
-
1993
- 1993-04-05 JP JP07819493A patent/JP3425179B2/en not_active Expired - Lifetime
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