JPH06273248A

JPH06273248A - 圧力センサとその製造方法

Info

Publication number: JPH06273248A
Application number: JP8281293A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Nakamizo; 佳幸中溝; Kiyoyuki Tanaka; 清之田中; Koji Fukuhisa; 孝治福久
Original assignee: Hokuriku Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Hokuriku Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1993-03-16
Filing date: 1993-03-16
Publication date: 1994-09-30
Anticipated expiration: 2013-08-06
Also published as: JP2782572B2

Abstract

(57)【要約】【目的】センサの気密性が高く、被測定圧力媒体が外
部に漏れることがなく、かつ高精度で簡単な構成にす
る。【構成】半導体の圧力センサ素子２０と、センサ素子
２０の熱膨張率と近い熱膨張率の金属製の管であって被
測定圧を導入する圧力導入筒２５を設ける。センサ素子
２０を収容する樹脂製のセンサケース２１と一体に、リ
ードフレーム端子２２と圧力導入筒２５をインサート成
形し、センサケース２１内の圧力導入筒２５の基端部
に、センサ素子２０を気密状態に接合する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、流体の圧力を検出す
る圧力センサであって、特に半導体素子により流体圧力
を受けて電気的に圧力を検出する圧力センサとその製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、流体の圧力を精度良く測ることの
できる小型圧力センサとして、半導体式圧力センサが提
供されている。この半導体式圧力センサは、図５の縦断
面図に示すように、金属製の本体１に、ガラス台座２を
介してセンサ素子３が固定されている。本体１は、カバ
ー４で覆われ、カバー４内は大気圧に開放されている。
本体１のセンサ素子３の取付部には、透孔５が形成さ
れ、圧力導入筒６がこの透孔５に取り付けられている、
センサ素子３とガラス台座２は、陽極接合により気密状
態に接合され、ガラス台座２と本体１とは、ハンダ付け
により密閉状態にされている。従って、圧力導入筒６か
ら導入された圧力はセンサ素子３にかかり、大気圧には
抜けないように形成されている。さらにセンサ素子３の
電極部と本体１に取りつけられた端子７とが金線８によ
りワイヤボンディングされている。

【０００３】この半導体式圧力センサの測定方法は、ま
ず、圧力導入筒６から被測定圧がかかると、大気圧と被
測定圧との差により、センサ素子３に物理的な歪が生じ
る。この歪は、被測定圧と大気圧との差に比例する。そ
して、センサ素子３の圧力検出面に歪が生じると、セン
サ素子３に形成された抵抗の値が、歪の大きさに比例し
て変化する。この抵抗値の変化を検出し、増幅して出力
することにより被測定圧と大気圧の差圧を測定すること
ができる。

【０００４】また、本願出願人による特開平４−１５５
９７０号公報に開示するように、半導体圧力センサにお
いて、樹脂ケースにリードフレーム端子をインサート成
形し、このケース内の端子の基端部に、センサ素子を固
定した圧力センサも提案されている。この場合、センサ
素子は、端子の基端部に連接した接続片に、気密状態で
固定されているものである

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の前者の場合、センサ素子３をガラス台座２に密着さ
せ、このガラス台座２と本体部１とをハンダ付けするも
のであり、組み立て工数がかかり、部品のコストも高い
ものである。さらに、センサ素子と他の部材との接合箇
所が多く、導入した圧力が大気側に漏れやすく、正確に
測定できなかったり、有毒なガスが外部に漏れたりする
恐れがあった。また、上記従来の技術の後者の場合も、
インサート成形したリードフレームの接続片と樹脂との
間の気密性がなく、この接続片と樹脂との間から被測定
圧が漏れ、上記と同様の問題が生じるものであった。

【０００６】この発明は上記従来の技術の問題点に鑑み
て成されたもので、センサの気密性が高く、被測定圧力
媒体が外部に漏れることがなく、かつ高精度で簡単な構
成の圧力センサとその製造方法を提供することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、半導体の圧
力センサ素子と、上記センサ素子の熱膨張率と近い熱膨
張率の金属製の管であって被測定圧を導入する圧力導入
筒を有し、このセンサ素子を収容する樹脂製のセンサケ
ースと一体に、リードフレーム端子と上記圧力導入筒を
インサート成形し、上記圧力導入筒の上記センサケース
内基端部に上記センサ素子を気密状態に接合した圧力セ
ンサである。

【０００８】またこの発明は、被測定圧を導入す金属製
の圧力導入筒と、リードフレーム端子とを設け、センサ
素子を収容する樹脂製のケースと一体的に上記リードフ
レーム端子と圧力導入筒とをインサート成形し、上記圧
力導入筒の上記ケース内基端部に上記センサ素子を気密
状態に接合する圧力センサの製造方法である。

【０００９】

【作用】この発明の圧力センサは、圧力導入筒に直接セ
ンサ素子が密着接合されているので、被測定圧力媒体が
圧力導入筒を経て、半導体の圧力センサ素子の裏面側に
直接侵入し、圧力センサの圧力導入筒とセンサ素子以外
の構成要素には被測定圧がかからないようにしたもので
ある。

【００１０】

【実施例】以下この発明の一実施例について図面に基づ
いて説明する。この実施例の圧力センサは、Ｓｉ半導体
のセンサ素子２０がセンサケース２１内に設けられ、セ
ンサ素子２０とリードフレーム端子２２の基端部２２ａ
とが、金線２３によりワイヤボンディングされている。
センサケース２１は、ＰＰＳ樹脂等の耐熱性のある樹脂
であり、リードフレーム端子２２と、圧力導入筒２５と
がインサート成形により一体に設けられている。

【００１１】この圧力導入筒２５は、シリコンの熱膨張
率（３．２×１０^-6）に近い熱膨張率の鉄−ニッケル系
合金であり、さらにクロムやアルミ又は銅を含有するも
のでも良い。この圧力導入筒２５は、鍛造により形成さ
れた円筒状の管であり、基端部にはセンサ取付用のフラ
ンジ部２６が形成され、センサ素子２０が、シリコン系
や金属接着用の接着剤２７により気密状態に接着されて
いる。そして、この圧力導入筒２５は、センサケース２
１の中央部から下方に突出して形成されている。

【００１２】この実施例の圧力センサの製造方法は、先
ず、図４に示すリードフレーム３０を形成し、このリー
ドフレーム３０の各リードフレーム端子２２の基端部２
２ａと圧力導入筒２５のフランジ部２６が対面するよう
に設置して、これらを囲むように、センサケース２１を
インサート成型する。この時、フランジ部２６の端面は
矩形状に樹脂が被らない露出部分を形成するとともに、
リードフレーム端子２２の基端部２２ａの表面も樹脂が
被らないように露出させる。その後、センサケース２１
の内部に位置した圧力導入筒２５のフランジ部２６に、
センサ素子２０を、接着剤２７で接着し、センサ素子２
０の周囲を密閉し、センサ素子２０の表裏の間で気体が
漏れないようにする。そして、リードフレーム端子２２
の基端部２２ａとセンサ素子２０の電極との間を、金線
２３でワイヤボンディングする。さらにセンサ素子２０
の表面側に樹脂被覆等を施し、リードフレーム端子２２
を折り曲げて所定の形状に成形し、この実施例の圧力セ
ンサの組立が終了する。

【００１３】ここで、この圧力センサは、リードフレー
ム３０に多数同時に形成された後、個々の基板に取り付
けられるものである。従って、リードフレーム３０に
は、リードフレーム端子２２が、リードフレーム３０の
両側部の保持部３２から切り離されても、リードフレム
３０の保持部３２からセンサケース２１及び圧力導入筒
２５が脱落しないように、ケースとともにインサート成
形される保持片３４が四方に形成されている。この保持
片３４は、保持部３２に連結し、リードフレーム端子２
２が切断されて、所定形状に形成された後、基板にこの
圧力センサを組み込む際に切断される。

【００１４】以上のように構成された圧力センサは、図
３に示すように、リードフレーム端子２２が、基板４０
にハンダ付けられ、基板４０に取り付けられた外部接続
端子４２に電気的に接続される。ここで、図３におい
て、中心線の右側がリードフレーム端子２２の延出方向
の縦断面であり、中心線の左側は上記リードフレーム端
子２２の延出方向と直交する方向の縦断面である。基板
４０が固定されたセンサケース２１は、外装ケース本体
４１に取りつけられ、圧力導入筒２５が、この外装ケー
ス本体４１の取付部４４に嵌め込まれる。取付部４４
は、外装ケース本体４１と一体に成形され、被測定圧力
媒体が導かれる圧力導入部４５に同軸的に連通してい
る。外装ケース本体４１は、ＰＰＳ樹脂等の耐薬品性及
び耐蝕性に優れた樹脂により形成されている。そして、
取付部４４に嵌入された圧力導入筒２５の外側面と、取
付部４４の内壁面との間には、Ｏリング４６が緊密に嵌
め込まれている。Ｏリング４６は、両側が圧力導入筒２
５と取付部４４とによって弾性的に気密状態に圧接され
ているとともに、取付部４４の下面には接触せず、ま
た、取付部４４の上面に固定されたストッパ板４７にも
接触しない状態に固定されている。

【００１５】センサケース２１内は、センサ素子２０の
表面側に、柔軟なポリウレタンゲルやシリコンゲル等の
充填材が充填され、センサ素子２０等が完全に密閉され
ている。また、外装ケース本体４１には、蓋部材４８が
取り付けられている。蓋部材４８は、その内面に形成さ
れた取付部５０に、センサケース２１の開口部が嵌合
し、センサケース２１を確実に保持するとともに、圧力
導入筒２５が取付部４４から抜けないように保持してい
る。また、蓋部材４８には、大気圧側に接続される大気
圧導入口４９が形成され、大気圧がセンサ素子２０の表
側に確実にかかるように形成されている。

【００１６】この実施例の圧力センサの使用法方は、圧
力導入部４５を被測定圧力側に接続し、大気圧圧力導入
口４９を大気圧側に開放する。被測定圧力媒体は、例え
ば、ＬＰガス等の可燃性ガス、その他の有毒ガスや高圧
ガス等に使用することができる。

【００１７】この実施例の圧力センサによれば、圧力測
定するガス等は、圧力導入部４５を通り、圧力導入筒２
５を経てセンサ素子２０の裏面側に直接接触し圧力がセ
ンサ素子２０に直接かかるものである。従って、感度が
きわめて高く、装置も小型化でき、低い圧力の検出に際
してもきわめて正確な測定が可能である。さらに、セン
サ素子２０は、これと熱膨張率の近い圧力導入筒２５に
直接接合されているので、熱歪による応力がセンサ素子
２０にはほとんど伝わらず、しかも気密性がきわめて高
く、信頼性も高いものにすることができる。さらに、腐
食性ガス等に対する耐久性も高いものである。また、こ
の圧力センサを組み込んだ外装ケース本体４１のセンサ
装置においても、圧力を測定するガスは、圧力導入部４
５、Ｏリング４６、圧力導入筒２５及びセンサ素子２０
にのみ接触するものであり、他の構成要素や接合部には
触れず、上記各部材は、対腐食性、耐久性等に対する信
頼性はきわめて高いものが選択できる。従って、有毒ガ
スや可燃性ガスの測定に際しても十分な安全性を確保す
ることができるものである。

【００１８】尚、この発明の圧力センサは、上記の実施
例に限定されるものではなく、センサ素子と圧力導入筒
との接合方法は接着剤以外の接合方法でも良いものであ
る。また、センサ素子をインサート成形前に圧力導入筒
に接合しても良いものである。圧力導入筒の材質は適宜
変更可能であり、センサ素子の熱膨張率と近いものであ
れば良い。

【００１９】

【発明の効果】この発明の圧力センサは、上記センサ素
子と圧力導入筒を互いに直接接合したので、気密性に対
する信頼性をきわめて高いものにすることができる。さ
らに、この圧力センサは、センサ素子の熱膨張率と近い
熱膨張率の圧力導入筒にセンサ素子を取り付けたので、
センサ素子に熱歪が伝わらず、正確な測定が可能であ
る。また、この圧力センサの製造も、インサート成形に
より簡単に行うことができ、センサ素子と圧力導入筒と
の接合も容易に可能であり、製造コストも安価なものに
することができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の圧力センサの縦断面図で
ある。

【図２】この実施例の圧力センサの平面図である。

【図３】この実施例の圧力センサを外装ケースに取り付
けた状態の縦断面図でる。

【図４】この実施例の圧力センサに用いられるリードフ
レームの平面図である。

【図５】従来の技術の圧力センサの縦断面図である。

【符号の説明】

２０センサ素子２１センサケース２２リードフレーム端子２５圧力導入筒

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体の圧力センサ素子と、上記センサ
素子の熱膨張率と近い熱膨張率の金属製の管であって被
測定圧を導入する圧力導入筒を有し、このセンサ素子を
収容する樹脂製のセンサケースと一体に、リードフレー
ム端子と上記圧力導入筒とをインサート成形し、上記圧
力導入筒の上記センサケース内の基端部に上記センサ素
子を気密状態に接合したことを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】被測定圧を導入す金属製の圧力導入筒
と、リードフレーム端子とを設け、センサ素子を収容す
る樹脂製のセンサケースと一体的に上記リードフレーム
端子と圧力導入筒とをインサート成形し、上記圧力導入
筒の上記ケース内基端部に上記センサ素子を気密状態に
接合することを特徴とする圧力センサの製造方法。