[go: up one dir, main page]

JPH06235007A - エアロゾル分解によるパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製造法 - Google Patents

エアロゾル分解によるパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製造法

Info

Publication number
JPH06235007A
JPH06235007A JP5249233A JP24923393A JPH06235007A JP H06235007 A JPH06235007 A JP H06235007A JP 5249233 A JP5249233 A JP 5249233A JP 24923393 A JP24923393 A JP 24923393A JP H06235007 A JPH06235007 A JP H06235007A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
palladium
aerosol
particles
carrier gas
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5249233A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2650838B2 (ja
Inventor
Toivo T Kodas
トイヴオ・タルモ・コーダス
Shirley W Lyons
シヤーリー・ウイーバー・ライアンズ
Howard D Glicksman
ハワード・デイビツド・グリツクスマン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
University of New Mexico UNM
EIDP Inc
Original Assignee
University of New Mexico UNM
EI Du Pont de Nemours and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by University of New Mexico UNM, EI Du Pont de Nemours and Co filed Critical University of New Mexico UNM
Publication of JPH06235007A publication Critical patent/JPH06235007A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2650838B2 publication Critical patent/JP2650838B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/16—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes
    • B22F9/30—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with decomposition of metal compounds, e.g. by pyrolysis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2301/00—Metallic composition of the powder or its coating
    • B22F2301/25—Noble metals, i.e. Ag Au, Ir, Os, Pd, Pt, Rh, Ru

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 十分に高密度で高純度を有し、かつ球形の形
態をもつパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製法の提
供。 【構成】 この方法は Ａ． 熱揮発性溶剤中で熱分解性パラジウム含有化合物
の不飽和溶液をつくり、 Ｂ． 本質的に不活性キャリヤーガス中に分散させた工
程Ａで得られる溶液の微細小滴からなるエアロゾルをつ
くり、 Ｃ． エアロゾルをパラジウム含有化合物の分解温度よ
り高いがパラジウム金属の融点より低い作業温度に加熱
し、それによりパラジウム、酸化パラジウム又はそれら
の混合物の微細粒子をつくりそして緻密化し、そして Ｄ． パラジウム、酸化パラジウム又はそれらの混合物
の粒子をキャリヤーガス、反応副生成物及び溶媒揮発生
成物から分離する連続する段階からなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はパラジウム及び酸化パラ
ジウム粉末の改良された製造方法に関する。特に本発明
は高い純度及び球状形態を持つ十分に緻密化された粉末
の製造方法に関する。
【０００２】発明の背景 金、銀、パラジウム、白金及びそれらの混合物又は合金
を含む貴金属は電子工業において厚膜ペーストの製造に
使用される。パラジウム及び銀の混合物は混成集積回路
用導体組成物として広く使用される。それらは金組成物
より廉価であり、大部分の誘電体及び抵抗器系と連合可
能でありそして超音波結線に適している。銀へのパラジ
ウムの添加は回路のはんだ付けに対する適合性を高め、
銀の溶融温度を誘電体焼成温度と両立し得るように高
め、そして誘電体特性の低下及び短絡を引き起こすこと
がある銀移動の問題を減らす。
【０００３】パラジウム又はパラジウム合金は多層セラ
ミックキャパシター（ＭＬＣｓ）用電極材料として使用
される。多層セラミックキャパシターの内部電極用に意
図する厚膜インキの金属成分の性質は極めて重要であ
り、なぜなら金属粉末とインキの有機媒質との間、及び
インキ自身と取り囲むＭＬＣの誘電体材料との間の適合
性が要求されるからである。多層セラミックキャパシタ
ーにおける使用に適するＰｄ粉末は有機媒質中で解凝集
されて適当に分散され、そして低温焼結を最小にするた
め表面部分で少なくなければならない。
【０００４】印刷回路技術においてはより緻密でよりい
っそう正確な電子回路が要求される。この要求を満足す
るため、導線はより幅狭くそして線同志の間隔はより狭
くなってきた。これは多層セラミックキャパシターがよ
り薄く且つ細い電極を必要とする場合特に真実である。
緻密で密集した細い線を作るために必要な金属粉末は大
きさが一定で滑らかな球体に可及的近くなければならな
い。導電性金属粉末は小さい粒径、一様な粒径サイズそ
して均一な組成を持たなければならない。酸化パラジウ
ムは滑らかで緻密な球形の酸化パラジウム粒子をつくる
ことが不可能なため電子分野の応用において広く使用さ
れるに至らなかった。
【０００５】現在金属粉末の製造に使用される多くの方
法はパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製造に適用す
ることができる。化学還元法、霧化又は微粉砕のような
物理的方法、熱分解及び電気化学的方法を使用すること
ができる。電子分野の応用に使用するパラジウム粉末は
一般に化学沈殿法を使用して製造される。パラジウム塩
例えばクロロパラジウム酸又は硝酸パラジウムが化学沈
殿パラジウム粉末及び酸化パラジウムの出発材料として
使用される。酸化パラジウムは酸性パラジウム塩溶液の
pHを水酸化パラジウムが沈殿するまで上げる溶液加水分
解によりつくられる。次いでこの物質を脱水分解及び乾
燥により酸化パラジウムに変換する。この方法はコント
ロールすることが困難であり、そして不規則な形の凝集
した粒子を生成する傾向がある。酸化パラジウムは高温
の空気中でパラジウム粉末を酸化することによってもつ
くることができる。この方法によってつくられる粉末は
低密度で極めて不均一である。
【０００６】パラジウム粉末をつくる場合、パラジウム
塩を還元剤例えばヒドラジン、ホルムアルデヒド、次亜
リン酸、ヒドロキノン、ホウ水素化ナトリウム、ギ酸及
びギ酸ナトリウムを使用して還元する。簡単な金属塩の
化学的還元によりつくられる金属粉末は調整することが
困難であり、表面積が変動し、形が不揃いでありそして
凝集する傾向がある。エアロゾル分解法は前駆体溶液の
粉末への変換を含む。この方法は小滴の生成、小滴のガ
スと共に加熱した反応器への移送、蒸発による溶媒の除
去、塩の分解による多孔質固体粒子の形成、そして次に
粒子を高密度化し十分に緻密で球形の純粋な粒子を得る
ことを含む。必要条件は小滴対小滴又は粒子対粒子の相
互作用がないこと及び小滴又は粒子と担体ガスとの間に
化学的相互作用がないことである。
【０００７】そして以下の先行技術が知られている。特
開昭６２−２４０４（特願昭６０−１３９９０４）Asad
aら、この参照例は金属塩の溶液をミスト化し、そして
ミストを金属塩の分解温度より高い温度に加熱すること
により得られる金属粉末からつくる厚膜ペーストに関す
る。この参照例は「合金」をつくるためのミスト化法の
使用を開示している。それはミストを所望の金属又は合
金の融点より少なくとも１００℃高い温度まで加熱しな
ければならないことも開示している。特公昭６３−３１
５２２(特開昭６２−１８０７)(特願昭６０−１３９９
０３)Asadaら、金属塩（一つ又は複数）を含む溶液を噴
霧して液滴をつくり、液滴を塩の分解温度より高く、金
属溶融温度より高くそして金属酸化物分解温度より高い
温度に加熱し、この場合金属は金属溶融温度より低い温
度で酸化物を形成して分解した金属粒子を融合すること
による金属粉末の製造。
【０００８】米国特許４,３９６４２０ 熱反応器中で銀及び金属塩の混合水溶液を実質的に塩の
分解温度より高くしかし個々の化合物の融点より低い壁
温度で噴霧。 Nagashimaら、「化学火炎法による金属硫酸塩の水溶液
から金属微粒子の製造」、日本化学雑誌、１２, ２２９
３〜２３００ 金属微粒子を化学火炎法により製造した。火炎温度が融
点より低い場合金属粒子は非球形であり、火炎温度が金
属の融点より十分に高い場合粒子は溶融を経て完全な球
形になった。 Katoら、「噴霧熱分解法による銀粒子の製造」、日本化
学雑誌、Ｎｏ．１２：２３４２〜４（１９８５） この参照例は噴霧熱分解による球形、非凝集銀微粒子の
製造の研究を記述している。Ａｇの融点（９６１℃）よ
り高い温度の場合粒子表面は滑らかであり、そして粒径
分布は反応体の濃度の増加と共に増加すると発表してい
る。一方、粒子の密度は反応温度がＡｇの融点より下が
る場合低下する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】粉末生成に対してエア
ロゾル分解法適用の成功が限られる主要な問題は粒子形
成に対するコントロールの欠如である。特に、十分に緻
密な粒子を形成させるためには材料を融点より高温で処
理するべきことが要件であり、そして融点より低い作業
は不純で高密度化されていない中空型粒子を生じる傾向
があった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】従って本発明は Ａ． 熱揮発性溶剤中で熱分解性パラジウム含有化合物
の不飽和溶液をつくり、 Ｂ． 不活性担体ガス中で分散された工程Ａからの溶液
の微細な小滴であって、その小滴濃度が凝集の結果小滴
濃度の１０％の低下を生じる濃度より低いものより本質
的になるエアロゾルを形成させ、 Ｃ． パラジウム含有化合物の分解温度より高いがパラ
ジウムの融点より低い操作温度にエアロゾルを加熱し、
それによって（１）溶剤を蒸発させ、（２）パラジウム
含有化合物を分解してパラジウム、酸化パラジウム又は
それらの混合物の微細粒子をつくり、そして（３）粒子
を高密度化し、そして Ｄ． パラジウム、酸化パラジウム及びそれらの混合物
の粒子を担体ガス、反応副生成物及び溶剤揮発生成物か
ら分離する、連続する段階からなるパラジウム、酸化パ
ラジウム及びそれらの混合物の微細粒子の製造法に関す
る。
【００１１】パラジウム含有化合物の溶剤に関連して本
明細書で使用する「揮発性」なる用語は溶剤が最高操作
温度に達した時、揮発及び／又は分解により完全に蒸気
又はガスに変換されることを意味する。パラジウム含有
化合物に関連して本明細書で使用する「熱分解性」なる
用語は物質が最高操作温度に達した時パラジウム金属、
酸化パラジウム又はそれらの混合物に完全に分解されそ
して副生成物を揮発させることを意味する。例えば、Ｐ
ｄ(ＮＯ3)2は分解されてＮＯxガス及びＰｄ及び／又は
ＰｄＯを形成する。
【００１２】発明の詳述 パラジウム含有化合物：可溶性パラジウム塩のいずれも
それがエアロゾルの形成に使用する担体ガスに対して不
活性であるかぎり使用することができる。適当な塩の例
はＰｄ(ＮＯ3)2、Ｐｄ(ＳＯ4)、Ｐｄ3(Ｐｄ4)2などであ
る。しかしながら不溶性パラジウム塩は適当でない。パ
ラジウム塩は０.２モル／リッターのような低温度及び
上の方は塩の溶解性限界の直下において使用することが
できる。０.２モル／リッターより低い濃度又は飽和の
９０％より高い濃度は使用しないのが好ましい。本発明
の方法のパラジウム源としては水溶性パラジウム塩を使
用するのが好ましいが、それにもかかわらずこの方法は
水性又は有機溶媒に溶解させた他の溶剤可溶性パラジウ
ム化合物例えば有機金属パラジウム化合物を使用して能
率良く実行することができる。
【００１３】作業上の可変要因：本発明の方法は次の基
本的な基準を満足するかぎり広範囲の種々の作業条件下
で実行することができる。 １． エアロゾル中のパラジウム化合物の濃度は、液体
溶媒を除去する前に固体の沈殿を防ぐため供給温度にお
ける飽和濃度より低くそして好ましくは飽和濃度より少
なくとも１０％低くなければならない。 ２． エアロゾル中の小滴の濃度は、反応器中で起こる
小滴の集合があっても、小滴濃度の１０％を超える低下
を生じないように十分に低くなければならない。 ３． 反応器の温度は金属パラジウムの融点（１５５４
℃）より低くなければならない。
【００１４】パラジウム含有化合物の飽和点で作業をす
ることが肝要であるが、その濃度はそれと異っても本方
法の操作において決定的ではない。もっと低い濃度のパ
ラジウム化合物を使用することができる。しかしなが
ら、単位時間当たりにつくることができる粒子の量を最
大にするためより高い濃度を使用するのが通常は好まし
い。小滴発生のための慣用的な装置のいずれも本発明の
エアロゾルをつくるために使用することができ、例えば
ネブライザー、Collisonネブライザー、超音波ネブライ
ザー、振動オリフィスエアロゾル発生機、遠心アトマイ
ザー、二液アトマイザー、電気噴霧アトマイザーなどで
ある。粉末の粒子サイズは発生する小滴サイズの直接の
関数である。エアロゾル中の小滴のサイズは本発明の方
法の実施にとって重要ではない。しかしながら、上で述
べたように小滴の数は粒子サイズ分布を拡げる過剰な集
合を招かないようにあまり多くないことが重要である。
【００１５】その上、所定のエアロゾル発生機にとっ
て、パラジウム含有化合物の溶液の濃度は粒子サイズに
対して直接の影響を持つ。特に粒子サイズは濃度の三乗
根の近似の関数である。従ってパラジウム含有化合物濃
度が高い程、沈殿する金属又は金属酸化物の粒子サイズ
は大きい。粒子サイズに対するより大きなコントロール
を必要とする場合は異なるエアロゾル発生機を使用しな
ければならない。パラジウム含有化合物の溶剤に対して
そしてパラジウム含有化合物自体に対して不活性である
事実上いかなる蒸気物質も本発明の実施のための担体ガ
スとして使用することができる。適当な蒸気物質の例は
空気、窒素、酸素、水蒸気、アルゴン、ヘリウム、二酸
化炭素などである。これらの内、空気と窒素が好まし
い。本発明を実行することができる温度範囲は極めて広
くそしてパラジウム含有化合物の分解温度から上方の、
但しパラジウムの融点（１５５４℃）より低い範囲にわ
たる。本発明の方法の特異な特徴は、それを純粋なパラ
ジウム金属、酸化パラジウム（ＰｄＯ）並びにパラジウ
ム金属及び酸化パラジウムの混合物の微細粒子の製造に
等しく容易に使用できることである。
【００１６】一般に、粉末製品中の金属及び金属酸化物
の分布は作業温度の関数である。ＰｄＯの分解温度（８
７０℃）より低い低温の作業温度においてはＰｄＯが優
勢である。ＰｄＯの分解温度より高い場合Ｐｄ金属が優
勢である。２つの物質が入れ替わる温度は一部分本発明
に使用する担体ガスの如何により変化する。例えば担体
ガスが空気の場合、ＰｄＯの分解はその融点（８７０
℃）の近くで起こる。ＰｄＯからＰｄ金属への入れ替わ
りは温度が約９００℃に達するまで完了しない。一方窒
素をキャリヤーガスとして使用する場合、温度が８００
℃に達したときＰｄＯが分解しそしてＰｄ金属は緻密化
する。
【００１７】エアロゾルの加熱に使用する装置の種類は
それ自身では重要でなく、直接又は間接加熱のいずれも
使用することができる。例えば管状炉を使用することが
でき、又は燃焼炎中の直接加熱を使用することができ
る。エアロゾル加熱の速度（そしてその結果滞留時間も
同様に）は反応の速度論又は金属もしくは金属酸化物の
形態のいずれの観点からも重要でないことが本発明の利
点である。反応温度に達しそして粒子が十分に緻密化し
たらそれらをキャリヤーガス、反応副生成物及び溶媒揮
発生成物から分離し、１つ又は複数の装置例えばフィル
ター、サイクロン、静電分離器、バッグフィルター、フ
ィルターディスク、スクラバーなどで集める。反応が完
了したときのガスは担体ガス、パラジウム含有化合物の
分解生成物及び溶媒蒸気からなる。従って、Ｎ2を担体
ガスとして使用して水性硝酸銀からパラジウム又は酸化
パラジウムをつくる場合、本発明の方法で生じる排出ガ
スは酸化窒素（１つ又は複数）、水及びＮ2からなる。
【００１８】試験装置：この研究に使用した実験装置を
略図として図１に示す。担体ガス供給源１はＮ2又は空
気を調節器３及び流量計５を経てエアロゾル発生機７に
供給する。溶液貯槽９はエアロゾル発生機７に反応溶液
を供給し、そこで担体ガスと反応溶液は均質に混合され
て担体ガス中に分散された反応溶液の小滴からなるエア
ロゾルが形成される。発生機７でつくられたエアロゾル
はムライト管を持つリンドバーグ炉である反応機１３を
通過し、そこでエアロゾルは加熱される。圧力を反応機
７と反応機１３との間にあるゲージ１１で監視する。加
熱したエアロゾルの温度をサーモカップル１５で測定
し、そしてエアロゾルを加熱したフィルター１７を通過
させる。次いで担体ガス及び炉中で分解反応により生じ
る揮発生成物をフィルター１７の下流側から排出され
る。
【００１９】下に記述する試験作業を実行する場合、加
圧した担体ガスをエアロゾル反応機に送り、次にエアロ
ゾルを加熱した反応機を通過させた。エアロゾル小滴を
炉中で乾燥し、反応させそして緻密化し、そして生じる
微細金属又は酸化金属粒子をフィルター上に集めた。フ
ィルターのサーモカップルはその温度を示し、これをフ
ィルターにおける水凝縮を防ぐため約６０℃に維持し
た。フィルターの目詰まりによる圧力の突然の上昇を示
すように圧力ゲージを反応機の上流に置いた。担体ガス
は最初空気であったが、しかし純粋パラジウム及び／又
は酸化パラジウムの形成のため超高純度（ＵＨＰ）窒素
を反応温度を下げるめたに使用した。金属粒子特性に与
える小滴サイズの効果を測るため２種類のエアロゾル反
応機、すなわち（１）改造したBGI Collison ＤＮ−２
５発生機および（２）ＴＳＩ−３０７６一定出力アトマ
イザーを使用した。反応温度は３００と９５０℃の間で
変化させた。滞留時間は流速及び反応温度の関数として
異なり、従って１４〜３８秒にわたった。フィルターは
ナイロン膜フィルターであった。溶液貯槽中の水性Ｐｄ
(ＮＯ3)2の濃度は０.５〜１.９モル／リットルであっ
た。
【００２０】本発明の方法を実証するため１３の工程試
験を実行した。これらの試験の作業条件をそれからつく
られたパラジウム及び酸化パラジウム粒子の選択した性
質と共に下の表１、表２に示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】実施例１〜７の重量損失データは空気をキ
ャリヤーガスとして使用した場合、作業温度が約５００
℃を超えると純粋なＰｄＯを得られたことを示してい
る。実施例１、３及び５でつくられた製品のＸ線回折図
（それぞれ図２、３及び４）の幅狭いピークは温度が７
００℃に上昇するとＰｄＯが緻密化されたことを示して
いる。このことはＰｄＯ粒子の表面積が減少したことに
よっても示されている（図５参照）。実施例６の製品の
Ｘ線回折ピークはＰｄＯの分解温度（８７０℃）より低
温で極めて純粋なＰｄＯ粒子がつくられたことを示して
いる（図６）。一方、作業温度が約９００℃を超えた場
合、実施例７のＸ線回折図に示されているように、（図
７参照）純粋な結晶Ｐｄ金属がつくられた。
【００２４】実施例３でつくられた粒子の透過型電子顕
微鏡（ＴＥＭ）による試験はＰｄＯ粒子が各粒子の中に
多くの小さいナノサイズの微結晶を含むことを示した。
実施例７の粒子の試験はＰｄ金属粒子が各々単結晶であ
ることを示した。キャリヤーガスとしてＮ2を使用した
実施例９〜１３を見ると、５００〜７００℃で実行した
場合ＰｄＯ粒子がつくられ、そして８００℃及びそれよ
り高温では純粋な結晶の緻密なＰｄ金属の粒子がつくら
れていた。実施例９のＸ線回折図（図８）の幅広いピー
クはＰｄＯが多くの小さい微結晶からなることを示して
いる。一方実施例１２のＸ線回折図（図９）の幅狭いピ
ークはＰｄ金属が極めて純粋であり、そして多くの結晶
の凝集体というよりむしろ単結晶からなることを示して
いる。この観察はＰｄＯ粒子を加熱すると微結晶は合体
し、そしてＰｄ金属への分解と同時に粒子は緻密化して
単結晶を形成するという結論に導く。
【００２５】本発明によりつくられた粒子製品（実施例
２〜１３）の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による試験は
粒子が緻密で球形であることを示した。上のデータは本
発明の方法がＰｄＯ及び金属粒子を製造する従来技術の
方法に対して極めて望ましい代替法を提供することを示
している。本発明のエアロゾル分解法でつくられた酸化
パラジウム粉末は純粋、緻密で、凝集していない、球形
であり、そして使用するエアロゾル発生機及び塩溶液の
濃度の如何により調整されたサイズを持つ。本発明の方
法によりつくった酸化パラジウム粉末は溶液加水分解又
は空気酸化によりつくられた粒子の持つ不規則な形、低
密度及び凝集を示さない。本発明のエアロゾル分解法で
つくられたパラジウム粉末は純粋、緻密で、凝集してい
ない、球形であり、そしてエアロゾルを発生機及び塩溶
液の濃度の如何により調整されたサイズを持つ。本発明
の方法によりつくられたパラジウム粉末は溶液沈殿によ
りつくられたパラジウム粒子に普通に認められる不純
物、不規則な形及び凝集を示さない。その上さらに、パ
ラジウムの融点よりかなり低い温度で十分に反応し、そ
して緻密化したパラジウム粒子がつくられた。
【００２６】本発明の方法で実施した経験から、反応系
がＰｄ(ＮＯ3)2に基づきそして担体ガス空気の場合パラ
ジウム粒子は次の順序により形成される。（１） エア
ロゾルを溶媒の蒸発温度より高温に加熱すると、溶媒は
エアロゾル小滴から蒸発してＰｄ(ＮＯ3)2の多孔質粒子
を形成し、（２） 多孔質Ｐｄ(ＮＯ3)2をその上さらに
加熱すると、それらは分解して多孔質酸化パラジウム粒
子を形成し、次いでこのものは緻密化されそして結晶に
なり、（３） 温度の上昇を継続すると、緻密な結晶Ｐ
ｄの粒子は分解して多孔質Ｐｄ金属粒子を形成し、そし
て（４） 反応炉内での残りの滞留時間の間に多孔質パ
ラジウム粒子は十分に緻密化されそして結晶になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実証する試験装置の略図。
【図２】本発明の実施例１によりつくった製品のＸ線回
折図。
【図３】本発明の実施例３によりつくった製品のＸ線回
折図。
【図４】本発明の実施例５によりつくった製品のＸ線回
折図。
【図５】粒子表面積に対する作業温度の影響を示すグラ
フ。
【図６】本発明の実施例６によりつくった製品のＸ線回
折図。
【図７】本発明の実施例７によりつくった製品のＸ線回
折図。
【図８】本発明の実施例９によりつくった製品のＸ線回
折図。
【図９】本発明の実施例１２によりつくった製品のＸ線
回折図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 593184385 ザ・ユニバーシテイ・オブ・ニユーメキシ コ ＴＨＥ ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＯＦ Ｎ ＥＷ ＭＥＸＩＣＯ アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87131− 6003．アルバカーキ．ノースイースト．ロ ーマストリート（番地なし) (72)発明者 トイヴオ・タルモ・コーダス アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87122. アルバカーキ．サンラフアエルアベニユー 11102 (72)発明者 シヤーリー・ウイーバー・ライアンズ アメリカ合衆国カリフオルニア州94070. サンカルロス．シルバンドライブ1011 (72)発明者 ハワード・デイビツド・グリツクスマン アメリカ合衆国デラウエア州19807．ウイ ルミントン．ハーレクドライブ20

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 Ａ． 熱揮発性溶剤中で熱分解性パラジ
    ウム含有化合物の不飽和溶液をつくり、 Ｂ． 不活性担体ガス中で分散された工程Ａからの溶液
    の微細な小滴であって、その小滴濃度が凝集の結果小滴
    濃度の１０％の低下を生じる濃度より低いものより本質
    的になるエアロゾルを形成させ、 Ｃ． パラジウム含有化合物の分解温度より高いがパラ
    ジウムの融点より低い操作温度にエアロゾルを加熱し、
    それによって（１）溶剤を蒸発させ、（２）パラジウム
    含有化合物を分解してパラジウム、酸化パラジウム又は
    それらの混合物の微細粒子をつくり、そして（３）粒子
    を高密度化し、そして Ｄ． パラジウム、酸化パラジウム及びそれらの混合物
    の粒子を担体ガス、反応副生成物及び溶剤揮発生成物か
    ら分離する、連続する段階からなるパラジウム、酸化パ
    ラジウム及びそれらの混合物の微細粒子の製造法。
  2. 【請求項２】 担体ガスが空気であり、そしてエアロゾ
    ルを４００°〜８５０℃の温度に加熱しそして形成され
    る粒子がＰｄＯである請求項１の方法。
  3. 【請求項３】 エアロゾルを７００°〜８５０℃の温度
    に加熱する請求項２の方法。
  4. 【請求項４】 担体ガスが空気でありそしてエアロゾル
    を９００℃より高い温度に加熱しそして形成される粒子
    がＰｄ金属である請求項１の方法。
  5. 【請求項５】 担体ガスがＮ2でありそしてエアロゾル
    を４００°〜７００℃の温度に加熱しそして形成される
    粒子がＰｄＯである請求項１の方法。
  6. 【請求項６】 担体ガスがＮ2でありそしてエアロゾル
    を８００℃より高い温度に加熱しそして形成される粒子
    がＰｄ金属である請求項１の方法。
  7. 【請求項７】 パラジウム含有化合物がＰｄ(ＮＯ3)2で
    ある請求項１の方法。
  8. 【請求項８】 熱揮発性溶剤が脱イオン水である請求項
    １の方法。
JP5249233A 1992-10-05 1993-10-05 エアロゾル分解によるパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製造法 Expired - Lifetime JP2650838B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US95627292A 1992-10-05 1992-10-05
US956272 1997-10-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06235007A true JPH06235007A (ja) 1994-08-23
JP2650838B2 JP2650838B2 (ja) 1997-09-10

Family

ID=25498015

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5249233A Expired - Lifetime JP2650838B2 (ja) 1992-10-05 1993-10-05 エアロゾル分解によるパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製造法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5421854A (ja)
EP (1) EP0591881B1 (ja)
JP (1) JP2650838B2 (ja)
KR (1) KR960010247B1 (ja)
CN (1) CN1056328C (ja)
DE (1) DE69317846T2 (ja)
TW (1) TW256798B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011514432A (ja) * 2007-09-07 2011-05-06 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 銀および少なくとも２種の非銀含有元素を含有する多元素合金粉末

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5429657A (en) * 1994-01-05 1995-07-04 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for making silver-palladium alloy powders by aerosol decomposition
US5861136A (en) * 1995-01-10 1999-01-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for making copper I oxide powders by aerosol decomposition
US5616165A (en) * 1995-08-25 1997-04-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for making gold powders by aerosol decomposition
DE19545455C1 (de) * 1995-12-06 1997-01-23 Degussa Verfahren zur Herstellung von Edelmetallpulvern
JP3277823B2 (ja) * 1996-09-25 2002-04-22 昭栄化学工業株式会社 金属粉末の製造方法
US5847327A (en) 1996-11-08 1998-12-08 W.L. Gore & Associates, Inc. Dimensionally stable core for use in high density chip packages
US6159267A (en) * 1997-02-24 2000-12-12 Superior Micropowders Llc Palladium-containing particles, method and apparatus of manufacture, palladium-containing devices made therefrom
US6699304B1 (en) * 1997-02-24 2004-03-02 Superior Micropowders, Llc Palladium-containing particles, method and apparatus of manufacture, palladium-containing devices made therefrom
US6338809B1 (en) * 1997-02-24 2002-01-15 Superior Micropowders Llc Aerosol method and apparatus, particulate products, and electronic devices made therefrom
US6103393A (en) * 1998-02-24 2000-08-15 Superior Micropowders Llc Metal-carbon composite powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US6679937B1 (en) * 1997-02-24 2004-01-20 Cabot Corporation Copper powders methods for producing powders and devices fabricated from same
US6780350B1 (en) 1997-02-24 2004-08-24 Superior Micropowders Llc Metal-carbon composite powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US7097686B2 (en) * 1997-02-24 2006-08-29 Cabot Corporation Nickel powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US6660680B1 (en) 1997-02-24 2003-12-09 Superior Micropowders, Llc Electrocatalyst powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US6165247A (en) * 1997-02-24 2000-12-26 Superior Micropowders, Llc Methods for producing platinum powders
US6753108B1 (en) * 1998-02-24 2004-06-22 Superior Micropowders, Llc Energy devices and methods for the fabrication of energy devices
US20050097987A1 (en) * 1998-02-24 2005-05-12 Cabot Corporation Coated copper-containing powders, methods and apparatus for producing such powders, and copper-containing devices fabricated from same
US6967183B2 (en) * 1998-08-27 2005-11-22 Cabot Corporation Electrocatalyst powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US7066976B2 (en) * 1998-02-24 2006-06-27 Cabot Corporation Method for the production of electrocatalyst powders
US7517606B2 (en) * 1998-02-24 2009-04-14 Cabot Corporation Fuel cells and batteries including metal-carbon composite powders
DE19912733A1 (de) * 1999-03-20 2000-09-21 Degussa Verfahren zur Herstellung von Wasserstoffperoxid durch Direktsynthese
SG94805A1 (en) * 2000-05-02 2003-03-18 Shoei Chemical Ind Co Method for preparing metal powder
AU2002228901A1 (en) * 2000-11-10 2002-05-21 Vector Tobacco (Bermuda) Ltd. Method and product for removing carcinogens from tobacco smoke
US6679938B1 (en) 2001-01-26 2004-01-20 University Of Maryland Method of producing metal particles by spray pyrolysis using a co-solvent and apparatus therefor
DE10120484A1 (de) * 2001-04-25 2002-10-31 Degussa Verfahren und Vorrichtung zur thermischen Behandlung von pulverförmigen Stoffen
EP1441603A2 (en) * 2001-11-09 2004-08-04 Vector Tobacco Inc. Method and composition for mentholation of charcoal filtered cigarettes
WO2003053176A2 (en) * 2001-12-19 2003-07-03 Vector Tobacco Inc. Method and compositions for imparting cooling effect to tobacco products
ATE341952T1 (de) * 2001-12-19 2006-11-15 Vector Tobacco Ltd Verfahren und zusammensetzung zur mentholanreicherung von zigaretten
DE10249521B4 (de) * 2002-10-23 2004-11-04 W. C. Heraeus Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von zumindest nahezu palladiumoxidfreiem Palladium, insbesondere Palladiumschwamm
US7842181B2 (en) * 2006-12-06 2010-11-30 Saudi Arabian Oil Company Composition and process for the removal of sulfur from middle distillate fuels
US8142646B2 (en) 2007-11-30 2012-03-27 Saudi Arabian Oil Company Process to produce low sulfur catalytically cracked gasoline without saturation of olefinic compounds
US8157886B1 (en) 2008-02-19 2012-04-17 Sandia Corporation Bulk synthesis of nanoporous palladium and platinum powders
US9636662B2 (en) * 2008-02-21 2017-05-02 Saudi Arabian Oil Company Catalyst to attain low sulfur gasoline
US9005432B2 (en) 2010-06-29 2015-04-14 Saudi Arabian Oil Company Removal of sulfur compounds from petroleum stream
US20120166158A1 (en) * 2010-12-28 2012-06-28 Kyrolos Paul El Giheny Predicting droplet populations in piping flows
US8535518B2 (en) 2011-01-19 2013-09-17 Saudi Arabian Oil Company Petroleum upgrading and desulfurizing process
US10752847B2 (en) 2017-03-08 2020-08-25 Saudi Arabian Oil Company Integrated hydrothermal process to upgrade heavy oil
US10703999B2 (en) 2017-03-14 2020-07-07 Saudi Arabian Oil Company Integrated supercritical water and steam cracking process
SG11202001238YA (en) * 2017-08-17 2020-03-30 Saudi Arabian Oil Co Aerosol processing method for controlled coating of surface species to generate catalysts
US10526552B1 (en) 2018-10-12 2020-01-07 Saudi Arabian Oil Company Upgrading of heavy oil for steam cracking process
CN116000306B (zh) * 2022-12-30 2025-03-04 上海交通大学 一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置和方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6331522A (ja) * 1986-07-25 1988-02-10 Kao Corp 吸湿剤
JPH0254704A (ja) * 1988-08-19 1990-02-23 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk 貴金属粒子の製造方法
JPH0368484A (ja) * 1989-08-08 1991-03-25 Shinji Hasegawa 排水管の清掃工法
JPH05311212A (ja) * 1992-05-01 1993-11-22 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk Ａｇ−Ｐｄ合金微粉末の製造方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1461176A (en) * 1974-04-11 1977-01-13 Plessey Inc Method of producing powdered materials
DE2929630C2 (de) * 1979-07-21 1983-12-15 Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen Verfahren zur Herstellung von Silberpulver
JPS622404A (ja) * 1985-06-26 1987-01-08 昭栄化学工業株式会社 厚膜ペ−スト
JPS621807A (ja) * 1985-06-26 1987-01-07 Shoei Kagaku Kogyo Kk 金属粉末の製造方法
JPS62280308A (ja) * 1986-05-30 1987-12-05 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 銀−パラジウム合金微粉末の製造方法
US4994107A (en) * 1986-07-09 1991-02-19 California Institute Of Technology Aerosol reactor production of uniform submicron powders
JPH01192709A (ja) * 1988-01-28 1989-08-02 Tdk Corp 超電導酸化物セラミクスの原料粉体、粉体および焼結体の製造方法
US5250101A (en) * 1991-04-08 1993-10-05 Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. Process for the production of fine powder

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6331522A (ja) * 1986-07-25 1988-02-10 Kao Corp 吸湿剤
JPH0254704A (ja) * 1988-08-19 1990-02-23 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk 貴金属粒子の製造方法
JPH0368484A (ja) * 1989-08-08 1991-03-25 Shinji Hasegawa 排水管の清掃工法
JPH05311212A (ja) * 1992-05-01 1993-11-22 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk Ａｇ−Ｐｄ合金微粉末の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011514432A (ja) * 2007-09-07 2011-05-06 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 銀および少なくとも２種の非銀含有元素を含有する多元素合金粉末

Also Published As

Publication number Publication date
CN1056328C (zh) 2000-09-13
KR940008786A (ko) 1994-05-16
JP2650838B2 (ja) 1997-09-10
DE69317846D1 (de) 1998-05-14
US5421854A (en) 1995-06-06
CN1085474A (zh) 1994-04-20
EP0591881A1 (en) 1994-04-13
DE69317846T2 (de) 1998-07-30
KR960010247B1 (ko) 1996-07-26
EP0591881B1 (en) 1998-04-08
TW256798B (ja) 1995-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2650838B2 (ja) エアロゾル分解によるパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製造法
EP0662521B1 (en) Method for making silver-palladium alloy powders by areosol decomposition
JP2650837B2 (ja) エアロゾル分解による銀粉末の製法
KR100545821B1 (ko) 고결정성 금속분말, 그 제조방법, 상기 금속분말을 포함하는 도체페이스트 및 도체페이스트를 사용한 세라믹적층 전자부품
EP2185304B1 (en) Method for the production of a multi-element alloy powder containing silver and at least two non-silver containing elements
EP0761349B1 (en) Method for making gold powders by aerosol decomposition
KR19990037964A (ko) 금속 분말 제조방법
JPS621807A (ja) 金属粉末の製造方法
JP2002020809A (ja) 金属粉末の製造方法
JPH0892613A (ja) 金属粉末の製造方法及び製造装置
JPH08319116A (ja) エロゾル分解による酸化第一銅粉体の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080516

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516

Year of fee payment: 16

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term