JPH06171754A

JPH06171754A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH06171754A
Application number: JP4323296A
Authority: JP
Inventors: Naoto Aomori; 直人青森
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 1992-12-02
Filing date: 1992-12-02
Publication date: 1994-06-21

Abstract

(57)【要約】【目的】軌道のリニアモータによって搬送車が駆動さ
れる搬送装置において、前記軌道の停止点に停止中の搬
送車が外力により、停止点からずれるのを防ぐ。【構成】搬送車１１の車体１５に、磁気スケール３１
を貼着する。一方、軌道１０の停止点には、停止中の搬
送車１１の前記磁気スケール３１を検出するエンコーダ
装置３５を設け、その装置３５を地上の制御用デジタル
コンピュータ２２に接続し、前記停止中の搬送車１１が
外力により移動した際、前記エンコーダ装置３５の検出
する磁気スケール３１数を偏差とし、この偏差を０とす
るように前記制御用デジタルコンピュータ２２が軌道１
０のリニアモータの固定子１４をフィードバック制御し
て搬送車１１を停止点へ復帰させることにより、搬送車
１１の停止点からのずれを防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、リニアモータによ
り、軌道に沿って積荷を搬送する搬送装置に係り、特
に、定められた軌道の停止点に停止中の搬送車が、例え
ば、積載時の外力等により、その停止点からずれないよ
うにした搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】清浄な雰囲気が必要とされる半導体製造
や医薬品製造では、製造工程での部品や製造品等の搬送
に、可動部品が殆んど無く、塵埃等を出さないことか
ら、リニアモータを用いた搬送装置が用いられている。

【０００３】この搬送装置は、例えば移送路に沿ってリ
ニアモータの固定子が分散して配置された軌道と、その
軌道の固定子によって推進力の与えられるリニアモータ
の２次導体を有し、前記軌道の移送路に沿って走行し、
前記軌道の移送路の各固定子を制御する制御装置によっ
て、速度及び停止の際の停止位置決め制御が行なわれる
搬送車とで構成されている。

【０００４】ところで、このような搬送装置では、積み
荷の積み下ろしのために、軌道の移送路にステーション
と呼ばれる停止点が設けられており、この停止点に搬送
車を正確に位置決めして停止させ（停止位置決め制
御）、その停止点に積荷の積み下ろしの間、正確に停止
させておく必要がある。

【０００５】このため、従来は、搬送車が停止点に近づ
くと、制御装置が軌道の固定子の相順を切り換えて、進
行方向と逆方向の磁界を発生させ搬送車にブレーキをか
け、搬送車を一定の速度以下に減速した後、固定子への
電源を遮断し、移送路の停止点からピン状あるいは、板
状のストッパーを突出し、そのストッパーを搬送車に係
合させることによって、搬送車を停止点へ停止させると
同時に、停止中の搬送車の位置ずれを防止していた。

【０００６】ところが、上記の方法では、メカニカルな
動作を伴なうのでストッパーの作動時や積荷の積み卸し
時に、搬送車に加わる外力によって搬送車とストッパー
とが衝突し、その衝突によって大きな衝撃音を発生する
ことから騒音源となっており、また、その際、ストッパ
ーの作動に伴なって、塵埃等を発生する問題があった。
さらに、搬送車にストッパーを係合させるための機構も
複雑なものとなるので、故障等を起こすことが懸念され
る問題もあった。

【０００７】これらの問題を解決する一つの方法とし
て、特公平４−２３５０８号公報に、浮上用の永久磁石
を備え、その永久磁石が強磁性材で形成されたガイドレ
ールに吸引することによってガイドレールから浮上し、
ガイドレールに配置されたリニアモータによって走行す
る搬送車を、停止点に設けられた電磁石によって、搬送
車の前記浮上用の永久磁石を吸引し、停止させるものが
記載されている。

【０００８】ところで、この電磁石で搬送車の永久磁石
を吸引するものでは、停止用の小型の電磁石により、搬
送車を停止位置に維持させているため、保持力が弱く、
搬送車への積載荷重が大きい場合、その慣性力によって
搬送車を停止位置に維持できない問題がある。また、一
旦停止位置からずれた搬送車は、前記電磁石からの磁界
の強さが離反距離の２乗に比例して弱くなるため、停止
位置への復帰が困難になる問題もある。

【０００９】このため、特公平３−３５２１５号公報に
は、図８に示すように、搬送車１の前後に鉄片２を設け
ると共に、その鉄片２を２次鉄芯とする１対の電磁石３
を軌道の停止点に設け、さらに、その軌道側に搬送車の
速度とその向きとを検出する速度検出器４と前記電磁石
３の制御装置５とを備え、前記速度検出器４によって停
止点における搬送車１の振動速度を検出し、その振動速
度に比例する電圧または電流を、一定電流または一定電
圧に重畳して、前記電磁石３の少なくとも一つに供給
し、停止点への搬送車１の整定時間を短縮し、かつ、搬
送車１が停止点から外力によって移動させられた場合、
停止点への復帰が行なえるようにしたものが記載されて
いる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、搬送車
の振動速度に比例する電圧または電流を、一定電圧また
は一定電流に重畳して上記の停止点の電磁石に加えるも
のでは、搬送車側に２次側の鉄芯プレートを設けなけれ
ばならないため、搬送車の重量が重くなることから、浮
上式搬送車では、積載できる荷重が減少したり、また、
浮上力を搬送車の内蔵電源で得ている磁気浮上搬送車で
は、走行距離が短かくなる問題がある。

【００１１】さらに、軌道の停止点には、新たに、速度
検出器と制動用の電磁石とを設けなければならないた
め、コストが高くなり、加えて、電磁石を軌道に設けた
場合、軌道を電磁石の荷重に耐える強固なものとしなけ
ればならない問題もある。

【００１２】一方、前記の振動速度を用いた制御では、
搬送車の停止位置からのゆっくりとしたスピードでの
「ずれ」に対しては、速度検出器が検出する振動速度が
遅くなるため、電磁石に重畳される振動速度に比例する
電圧または電流は小さなものとなり、このため、停止点
への搬送車を復帰させる復帰力が弱くなってしまうとい
う問題がある。

【００１３】そこで、この発明の課題は、搬送車に、２
次側鉄心プレートを設けたり、軌道に停止用電磁石を新
たに設けることなく、停止位置での強い維持力を有する
搬送装置を提供することである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明では、リニアモータの固定子が移送路に沿
って分散して配置され、その移送路に停止点が設置され
た軌道と、前記軌道の固定子によって推進力が与えられ
るリニアモータの２次導体を有し、前記軌道の移送路に
沿って走行し、その軌道の各固定子を制御する制御装置
によって、速度及び前記移送路の停止点への停止位置決
め制御が行なわれる搬送車と、その搬送車に、搬送車の
移動方向に沿って設けられた検出用スケールと、前記軌
道の移送路の停止点に設けられ、前記搬送車の検出用ス
ケールを検出する検出手段と、前記軌道の停止点に停止
中の搬送車が外力により移動させられると、その移動に
抗して前記搬送車を軌道の固定子を作動して停止点へ復
帰させ、その際、固定子が搬送車の２次導体に加える推
進力を、前記検出手段が順次検出する搬送車の検出スケ
ールの値から算出される停止点からの偏差に応じて比例
動作によりフィードバック制御する制御手段とからなる
構成としたのである。

【００１５】また、このとき、上記搬送車の２次導体
と、前記軌道の停止点の固定子とに、互いに吸引する向
きに磁極の向けられた永久磁石を配置した構成とするこ
ともできる。

【００１６】さらに、このとき、上記制御手段を、搬送
車の積載荷重による慣性や移動速度及び摩擦や空気抵抗
を外乱として最適化を図ったデジタル制御を行なうデジ
タル演算処理装置により形成した構成とする制御装置と
することもできる。

【００１７】

【作用】このように構成される搬送装置では、移送路を
走行する搬送車が制御装置によって停止点に停止させら
れると、搬送車は、検出手段によって監視され、もし、
搬送車が外力により、停止点から移動させれられると、
その「ずれ」に応じた検出用スケールのスケールが検出
手段により検出される。この検出されたスケールの値
は、搬送車の停止点からの「ずれ」の向きとその量との
偏差として制御手段に入力される。そして、前記偏差が
入力されると制御手段は、搬送車を停止点方向へ動か
し、その際、検出手段によって順次検出される偏差に比
例させて制御手段が、固定子への操作変数を変え、搬送
車の２次導体へ加える推力を変化させ、検出される偏差
が０となるようにフィードバック制御する。

【００１８】即ち、偏差が大きくその「ずれ」が大きな
場合には、固定子へ大きな電力を与えて搬送車の２次導
体へ大きな推進力を与え、その結果、検出手段によって
検出される偏差が小さく「ずれ」が小さくなるに従っ
て、固定子へ与える電力を徐々に小さくして前記２次導
体へ与える推進力を小さくし、停止点への復帰の際の、
行き過ぎ量や定常偏差を小さくして整定時間を短かくす
る。

【００１９】そして、このとき、搬送車が停止点に戻る
と、前記固定子への通電は停止され、搬送車は停止点に
維持される。このように、この制御では、搬送車の走行
に用いるリニアモータを用いて搬送車の停止点への維持
を行なうので大きな維持力が得られ、かつ、搬送車が停
止位置からずれたときにだけ、固定子への通電が行なわ
れるため、ランニングコストが安くなり、また、固定子
の発熱の心配もない。

【００２０】また、このとき、搬送車の２次導体と軌道
の固定子に永久磁石を設けたものでは、停止点に搬送車
が停止すると、両磁石が引き合い、その位置を維持しよ
うとするため、搬送車の積載重量の変動、その他外乱に
対し、その影響を受けにくくする。特に、磁気浮上搬送
車に用いた場合、永久磁石どうしの間隔は、ほぼ一定に
保たれるため、停止点での安定した維持力が得られる。

【００２１】さらに、上記制御手段をデジタル演算処理
装置としたものでは、最適な状態変数によるフィードバ
ック制御係が実現されるため、停止点への収束時に振動
等を起こさず、整定時間も短かく搬送車の慣性、速度、
摩擦等の外乱に対して無関係に制御が行なわれる。

【００２２】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。

【００２３】図１及び図２は、この発明の一実施例に係
る搬送装置の軌道１０と搬送車１１とを示す。

【００２４】これらの図に示されるように、軌道１０
は、片持ち支持の箱桁１２とその箱桁１２の下部に取り
付けられた一対の強磁性材によるレール１３とからな
り、その一対のレール１３の間には、搬送車１１の移送
路に沿って、リニアモータの固定子１４が配置されてい
る。また、その軌道１０の各固定子１４には、図３に示
すようにインバータによる駆動装置２０が取り付けら
れ、その駆動装置２０はＤ／Ａコンバータ２１を介して
地上の制御用デジタルコンピュータ２２と接続されてお
り、各固定子１４は、前記制御用デジタルコンピュータ
２２によって発生磁界の強度とその向きとが制御され
る。

【００２５】一方、搬送車１１は、図１及び図２に示す
ように、車体１５上部の四隅に、前記軌道１０のレール
１３を吸引する浮上用マグネット１６と、そのマグネッ
ト１６とレール１３間のギャップを検出するギャップセ
ンサＧと、制御回路（図示せず）とを備え、前記ギャッ
プセンサＧによってレール１３と浮上用マグネット１６
との間隔を検出し、その間隔を常に一定に保つように、
制御回路が、浮上用マグネット１６を内蔵電源（図示せ
ず）により駆動して軌道１０から浮上させる。また、搬
送車１１は、車体１０上部中央の支持枠１７に支持さ
れ、その端部に補助マグネット１８の取り付けられた２
次導体（以下リアクションプレートとする）１９を備え
ており、このリアクションプレート１９に制御用デジタ
ルコンピュータ２２によって制御される軌道１０の固定
子１４から推進力が与えられることにより、軌道１０の
移送路に沿って走行し、かつ、その走行中の速度制御と
停止点への停止位置制御とがなされ、車体１５上方に、
アームＡによって固定された荷台Ｓに積荷を積載し、搬
送する。

【００２６】この車体１５の側部３０には、検出用スケ
ールとして、長さ方向に等間隔で磁気スケール３１（図
では模式的に表わしてある）の記録された強磁性合金テ
ープ３２が、搬送車１１の移動方向に沿って貼着されて
いる。

【００２７】このような軌道１０と搬送車１１とにより
構成される搬送装置の軌道１０の移送路には、搬送車１
１への積荷の積み下ろしを行なったり、内蔵電池への充
電を行なう停止点が各所に設けられており、それらの搬
送車１１の停止点には、図３の模式図に示すように、端
部に前記搬送車１１の補助マグネット１８と対向し、互
いに吸引する向きに磁極が向けられた補助マグネット１
８’が取り付けられた固定子１４と、停止点に停止した
搬送車１１の磁気スケール３１を検出する検出手段とし
て、磁束検出形の１対の読み取りヘッド３３と、そのヘ
ッド３３出力の弁別回路３４とを有するエンコーダ装置
３５とが設けられている。このエンコーダ装置３５は、
両ヘッド３３が前記磁気スケール３１の目盛間の位相差
の１／２の間隔を置き、前記スケール３１と対向して配
置されることにより、移動する搬送車１１の磁気スケー
ル３１から搬送車１１の移動方向を弁別回路３４により
弁別し、その移動方向を示す方向パルス出力（例えば図
３に示す（＋）方向への移動の場合“Ｌ”出力、（−）
方向への移動の場合“Ｈ”出力を出力する）とその移動
量を示す検出した磁気スケール３１数に対応したパルス
列出力（以下移動パルスとする）とを出力する。

【００２８】このエンコーダ装置３５の出力は、本実施
例では、前記方向パルス出力の“Ｈ”、“Ｌ”によって
移動パルスを加減算して、搬送車１１のエンコーダ装置
３５からの偏差を計数するアップ／ダウンカウンタ２３
を介して、前記制御用デジタルコンピュータ２２へ入力
され、このカウンタ値を読み込んだ前記コンピュータ２
２は、このカウンタ値の偏差でもって軌道１０の固定子
１４を制御して、搬送車１１を停止点へ復帰させるため
に、図４のゲイン特性によるＰ（比例）＋Ｉ（積分）＋
Ｄ（微分）動作による位置制御を行なう。

【００２９】このため、前記制御用デジタルコンピュー
タ２２は、前記位置制御のための制御手段として、最適
制御プログラムを有しており、その制御系の設計は、以
下に示すように、オブザーバを用いて行なった。

【００３０】即ち、搬送車１１の位置ｘと速度ｖの関係
が、図５に示すような状態になるように制御する。

【００３１】例えば、ｘ₁の位置で速度がＡのとき、減
速方向に軌道１０の固定子１４を励磁し、速度がＢのと
き、加速方向に前記固定子１４を励磁する。また、速度
がＣのときは、ちょうど、ｖ−ｘ線の線上にあるため、
前記固定子１４は励磁しない。

【００３２】このとき、図５のｖ−ｘ線は、基準速度線
と呼び、次の関係がある。

【００３３】

【数１】

【００３４】また、

【００３５】

【数２】

【００３６】となる。

【００３７】必要となる推力Ｆは、次式で与えられる

【００３８】

【数３】

【００３９】（１）、（３）式より、

【００４０】

【数４】

【００４１】ここで、（４）式をブロック図にしたもの
を図６に示す。

【００４２】図６に示すように、この制御系には、搬送
車１１の質量の変化、空気抵抗、制動係数などの外乱の
影響は、考慮されていない。

【００４３】このため、搬送車１１の加速度をａ、制御
係数をＤ、摩擦等その他の外乱をＴｄｉｓとすると、
（４）式は、Ｆ＝Ｍａ＋Ｄｖ＋Ｔｄｉｓ………（５）となる。ここで、ｄ＝Ｄｖ＋Ｔｄｉｓ………（６）とすると、Ｆ＝Ｍａ＋ｄ………（７）この外乱ｄのみを推定する最小次元オブザーバの推定値
をｄｅ、指定極の逆数を−τ（τ＞０）とすると、推定
値ｄｅをラプラス変換して

【００４４】

【数５】

【００４５】となる。

【００４６】いま、質量の誤差をδＭとして次式を定義
する δＭ＝Ｍ−Ｍ₀………（９） δＭの変化分を外乱とみなすと、Ｍ₀ａ＝Ｆ−ｄ−δＭ・ａ………（１０）と表わせるから、（ｄ＋δＭ・ａ）を外乱として推定す
ることになる。

【００４７】このときのブロック図を図７に示す。

【００４８】（５）（８）式よりＦを消去して

【００４９】

【数６】

【００５０】推力Ｆは、図７よりＦ＝（Ｋ−ｋｓ）Ｘ＋ｄｅ………（１２）（５）（１１）（１２）式より、

【００５１】

【数７】

【００５２】ここで

【００５３】

【数８】

【００５４】とすると、

【００５５】

【数９】

【００５６】となることから、図７に示すような制御構
成をとることにより、入力周波数ｆが外乱の推定帯域１
／τに比べてはるかに低いときは、質量変動等の外乱の
影響を受けないように設計した。

【００５７】この実施例は、以上のように構成され、次
にその動作を説明する。

【００５８】軌道１０を制御用デジタルコンピュータ２
２の制御により、走行中の搬送車１１が停止予定の停止
点へ接近すると、前記コンピュータ２２は、従来と同
様、停止点手前の固定子１４の相順を切り換えて、搬送
車１１の進行方向と逆方向の磁界を発生させ、搬送車１
１にブレーキをかけ、停止点へ搬送車１１を停止させる
と、搬送車１１への速度制御と停止位置決め制御とに代
えて、前記最適プログラムによる停止点からの搬送車１
１の位置ずれを防止するための制御を行なう。このと
き、搬送車１１の磁気スケール３１は、停止点のエンコ
ーダ装置３５と対向し、そのスケール３１は、エンコー
ダ装置３５のヘッド３３によって読み取られるようにな
っている。また、このとき、停止点の前記固定子１４と
搬送車１１の補助マグネット１８、１８’とは対向し、
互いに吸引し合って搬送車１１の停止点からの微少な
“ずれ”を防止し、両者の停止点での安定した維持力を
得るようになっている。

【００５９】いま、例えば、停止中の搬送車１１に、積
荷の積み下ろしのため、大きな外力が加わり、搬送車１
１が停止点から“ずれ”ると、その“ずれ”の移動量と
方向とは、磁気スケール３１を検出するエンコーダ装置
３５によって、前記カウンタ２３へ入力され、計数され
る。そして、この計数された移動位置データは、前記コ
ンピュータ２２によって読み込まれ、そのデータを偏差
として、その偏差を無くすように駆動装置２０を作動し
て固定子１４を駆動し、搬送車１１を停止点へ向けて移
動させ、その際、上記と同様、エンコーダ装置３５によ
って検出され、前記カウンタ２３によって計数される移
動位置データを新たな偏差として、その偏差を前記コン
ピュータ２２が遂次読み込むことによって、図４のゲイ
ン特性に従って、駆動装置２０を作動して、軌道１０の
固定子１４の操作変数を変え、搬送車１１を停止点へ復
帰させるＰＩＤフィードバック制御を行なう。

【００６０】つまり、制御用コンピュータ２２は、搬送
車１１を停止させた基準となる停止点から、例えば
（＋）方向へ“ずれ”たとすると、その“ずれ”をエン
コーダ装置３５により読み取り、その読み取った値から
制御用デジタルコンピュータ２２が、搬送車１１を元の
停止点へ戻すための図４のゲイン特性に示すような、
（−）方向の推進力Ｆを計算し、その推進力Ｆを出力す
るための制御信号を駆動装置２０へ出力し、固定子１４
を駆動して前記搬送車１１が元の停止点へ戻るような力
を発生させる。即ち、搬送車１１が元の停止点へ近づけ
ば近づく程、減少する偏差に従って、固定子１４の発生
する磁界を弱くして搬送車１１のリアクションプレート
１９へ加える推進力Ｆを低下させ、元の停止点へ復帰し
たとき、固定子１４への通電を停止して前記リアクショ
ンプレート１９へ加わる推進力Ｆをゼロにして停止点へ
停止させる。

【００６１】そして、再び、搬送車１１に外力が加わる
と、上記動作をくり返し、停止中の搬送車１１を停止点
に維持する。

【００６２】このように、搬送車の走行用のリニアモー
タを使用して、搬送車の停止点への定置制御を行なうよ
うにしたので、その維持力も、また、停止点への復帰力
も極めて高く、さらに、停止点からずれたときのみ、固
定子１４を作動させるので、固定子１４の発熱も少な
く、したがって、消費電力も少なくて済む。

【００６３】また、デジタル制御による最適制御を行な
うようにしたので、行き過ぎ量や定常偏差も小さく、そ
のため整定時間も短くなる。さらに、このとき、積み荷
量の変化や搬送車の移動時の空気抵抗、摩擦等の外乱等
に対して最適制御を行なうよう設計したので、停止点へ
の収束も速やかに行なわれ、その際有害なハンチング等
の振動も起こさない。

【００６４】なお、本実施例では、上記検出用スケール
に磁気スケール用い、その検出手段に磁気ヘッドを用い
た磁気による検出方法を用いたが、検出方法はこれに限
定されるものではなく、これ以外に、例えば、検出用ス
ケールに光度の明暗を生じる光学的マーカを用い、検出
手段にフォトセンサを用いた光学的な方法を用いてもよ
い。

【００６５】さらに、実施例では、検出スケールに、等
間隔の目盛が目盛られたものを用いたが、これ以外に、
検出スケールが、例えば、基準点とその基準点からの絶
対位置、いわゆる、アブソリュート型の目盛が目盛られ
たものとし、検出手段を、その目盛が読み取れるものと
して、その位置データによって制御用デジタルコンピュ
ータが前記制御を行なえるものとしてもよく、そのよう
にした場合、本制御手段は、搬送車の停止時の停止位置
決め装置としても使用することができる。

【００６６】また、実施例では、磁気浮上搬送車につい
て述べたが、これに限定されるものではなく、走行用に
リニアモータを使用するものであれば、どのような搬送
装置にも使用できる。

【００６７】

【効果】この発明は、以上のように構成し、搬送車の停
止位置維持手段として、搬送車の走行用のリニアモータ
を使用したことにより、従来のように、ストッパを使用
せず、非接触であるため、騒音も発生することなく、搬
送車へ衝撃を与えない、また、維持用の電磁石を新たに
設ける場合に比べ、大きな維持力が得られ、停止点への
復帰力も大きい。

【００６８】さらに、その制御も搬送車が停止位置から
“ずれ”たときのみ、リニアモータを作動させるので、
維持用の電磁石を新たに設けたもののように、常時通電
する必要がなく、省エネルギーにつながる。

【００６９】また、搬送車のリアクションプレートと停
止位置の固定子とに補助マグネットを設けたものでは、
補助マグネット同士の吸引力により、安定した維持力が
得られる。

【００７０】さらに、デジタル制御系の最適化を図った
ものでは搬送車の、例えば、積荷の変動による慣性の変
化、摩擦等の不確定な外乱に対して影響を受けにくくで
きるため、常に安定した制御が行なえる。

【００７１】また、例えば、本発明は走行している搬送
車を停止させる位置決め停止装置と兼用可能とすること
ができるため、そのようにした場合、特別に停止装置を
設ける必要がなく、構成機器の小型軽量化につながり、
コスト面でも有利となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の搬送装置の断面図

【図２】図１の実施例の搬送車の斜視図

【図３】停止点での実施例の作用を示す模式図

【図４】実施例のゲイン特性図

【図５】実施例のｖ−ｘ特性図

【図６】実施例のブロック線図

【図７】実施例のブロック線図

【図８】従来例を示す作用図

【符号の説明】

１０軌道１１搬送車１４リニアモータの固定子１８、１８’ 補助マグネット１９リアクションプレート２２制御用デジタルコンピュータ３１磁気スケール３５エンコーダ装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】リニアモータの固定子が移送路に沿って分
散して配置され、その移送路に停止点が設置された軌道
と、前記軌道の固定子によって推進力が与えられるリニアモ
ータの２次導体を有し、前記軌道の移送路に沿って走行
し、その軌道の各固定子を制御する制御装置によって、
速度及び前記移送路の停止点への停止位置決め制御が行
なわれる搬送車と、その搬送車に、搬送車の移動方向に沿って設けられた検
出用スケールと、前記軌道の移送路の停止点に設けられ、前記搬送車の検
出用スケールを検出する検出手段と、前記軌道の停止点に停止中の搬送車が外力により移動さ
せられると、その移動に抗して前記搬送車を軌道の固定
子を作動して停止点へ復帰させ、その際、固定子が搬送
車の２次導体に加える推進力を、前記検出手段が順次検
出する搬送車の検出スケールの値から算出される停止点
からの偏差に応じて比例動作により、フィードバック制
御する制御手段とからなる搬送装置。
【請求項２】上記搬送車の２次導体と、前記軌道の停止
点の固定子とに、互いに吸引する向きに磁極の向けられ
た永久磁石を配置したことを特徴とする請求項１記載の
搬送装置。
【請求項３】上記制御手段を、搬送車の積載荷重による
慣性や移動速度及び摩擦や空気抵抗を外乱として最適化
を図ったデジタル制御を行なうデジタル演算処理装置に
より形成したことを特徴とする請求項１または２記載の
搬送装置。