JPH06104309A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH06104309A JPH06104309A JP4253193A JP25319392A JPH06104309A JP H06104309 A JPH06104309 A JP H06104309A JP 4253193 A JP4253193 A JP 4253193A JP 25319392 A JP25319392 A JP 25319392A JP H06104309 A JPH06104309 A JP H06104309A
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明の目的は、多ピン、狭ピッチが可能な
テープキャリアパッケージの長所を保持し、放熱特性お
よび機械的強度を向上することが可能な半導体装置を提
供することである。 【構成】半導体チップ13は支持体15の収容部15a
内に収容されている。したがって、放熱効果が良好であ
る。また、半導体チップ13に設けられたバンプ14
は、キャリアテープ11のインナーリード12aに接続
され、アウターリード12bは支持体15の上面、側面
および底面に固定されている。したがって、アウターリ
ード12bは振動等に対して機械的強度が強く、しか
も、リードピッチおよび平坦性を安定に保持できる。
テープキャリアパッケージの長所を保持し、放熱特性お
よび機械的強度を向上することが可能な半導体装置を提
供することである。 【構成】半導体チップ13は支持体15の収容部15a
内に収容されている。したがって、放熱効果が良好であ
る。また、半導体チップ13に設けられたバンプ14
は、キャリアテープ11のインナーリード12aに接続
され、アウターリード12bは支持体15の上面、側面
および底面に固定されている。したがって、アウターリ
ード12bは振動等に対して機械的強度が強く、しか
も、リードピッチおよび平坦性を安定に保持できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばテープキャリ
アを用いた半導体装置に関する。
アを用いた半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近時、半導体素子の高機能化および高密
度実装の要求により、多ピン、狭ピッチの半導体パッケ
ージが求められている。この有力なパッケージの一つと
して、TCP(Tape Carrier Package)がある。
度実装の要求により、多ピン、狭ピッチの半導体パッケ
ージが求められている。この有力なパッケージの一つと
して、TCP(Tape Carrier Package)がある。
【0003】図7は、従来のTCPの一例を示すもので
ある。キャリアテープ1には複数の配線2が設けられて
いる。これら配線2の一端(以下、インナーリードと称
す)2aは半導体チップ3の上面に配設されたバンプ4
に接続され、他端(以下、アウターリードと称す)2b
は印刷配線基板5に設けられた配線パターン6に接続さ
れている。また、前記半導体チップ3は樹脂7によって
封止されている。
ある。キャリアテープ1には複数の配線2が設けられて
いる。これら配線2の一端(以下、インナーリードと称
す)2aは半導体チップ3の上面に配設されたバンプ4
に接続され、他端(以下、アウターリードと称す)2b
は印刷配線基板5に設けられた配線パターン6に接続さ
れている。また、前記半導体チップ3は樹脂7によって
封止されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記構成のTCPは、
最も多ピン、狭ピッチを実現でき、且つ、形状が薄型で
あるため、高密度実装が可能となる大きな長所を有して
いる。しかし、このTCPは、モールド樹脂によって封
止したモールド樹脂パッケージや、セラミックスによっ
て封止したセラミックスパッケージと比べて放熱特性や
機械的強度の点で問題を有している。
最も多ピン、狭ピッチを実現でき、且つ、形状が薄型で
あるため、高密度実装が可能となる大きな長所を有して
いる。しかし、このTCPは、モールド樹脂によって封
止したモールド樹脂パッケージや、セラミックスによっ
て封止したセラミックスパッケージと比べて放熱特性や
機械的強度の点で問題を有している。
【0005】すなわち、TCPの放熱特性は、モールド
樹脂パッケージ、例えばプラスチックQFP(Quad Fla
t Package )等とほぼ同等のレベルであるが、セラミッ
クスパッケージ、例えばセラミックスQFP、セラミッ
クスPGA(Pin Grid Array)等に比べて劣っている。
今後、CPUやゲートアレイ等の高機能、高速デバイス
は消費電力が著しく増大する傾向にあるため、これらの
デバイスを搭載する上で、より一層放熱特性が優れたT
CPの必要性が生じている。
樹脂パッケージ、例えばプラスチックQFP(Quad Fla
t Package )等とほぼ同等のレベルであるが、セラミッ
クスパッケージ、例えばセラミックスQFP、セラミッ
クスPGA(Pin Grid Array)等に比べて劣っている。
今後、CPUやゲートアレイ等の高機能、高速デバイス
は消費電力が著しく増大する傾向にあるため、これらの
デバイスを搭載する上で、より一層放熱特性が優れたT
CPの必要性が生じている。
【0006】また、TCPのアウターリードは、薄い銅
箔によって構成されているため、機械的強度が弱い。し
たがって、外力により容易に変形し、リードピッチや平
坦性に狂いが生じやすい。近時、リードピッチが縮小化
されるとともに、リード数が増大されているため、アウ
ターリードの管理は、特に、重要となっている。さら
に、図7に示すように、TCPを印刷配線基板に実装し
た状態において、TCPは柔らかいアウターリードによ
り支えられている。このため、TCPは振動等の機械的
外力に弱いという問題を有している。
箔によって構成されているため、機械的強度が弱い。し
たがって、外力により容易に変形し、リードピッチや平
坦性に狂いが生じやすい。近時、リードピッチが縮小化
されるとともに、リード数が増大されているため、アウ
ターリードの管理は、特に、重要となっている。さら
に、図7に示すように、TCPを印刷配線基板に実装し
た状態において、TCPは柔らかいアウターリードによ
り支えられている。このため、TCPは振動等の機械的
外力に弱いという問題を有している。
【0007】この発明は、上記課題を解決するためにな
されたものであり、その目的とするところは、多ピン、
狭ピッチが可能なテープキャリアパッケージの長所を保
持し、放熱特性および機械的強度を向上することが可能
な半導体装置を提供しようとするものである。
されたものであり、その目的とするところは、多ピン、
狭ピッチが可能なテープキャリアパッケージの長所を保
持し、放熱特性および機械的強度を向上することが可能
な半導体装置を提供しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記課題を
解決するため、半導体チップが搭載される熱伝導性を有
する支持体と、配線を有し、この配線の一端部が前記半
導体チップに接続され、印刷配線基板の配線パターンに
接続される他端部が前記支持体の外面に固定されたキャ
リアテープとを設けている。また、前記キャリアテープ
は前記半導体チップを封止するとともに、配線の他端部
一部を覆っている。さらに、前記支持体の半導体チップ
が搭載される面と反対側の面には突部が設けられ、この
突部に沿って前記配線の他端部が固定されている。ま
た、前記支持体の半導体チップが搭載される面と反対側
の面には半導体チップから発生される熱を印刷配線基板
に伝導する突部が設けられている。さらに、前記配線の
一端部には湾曲部が設けられている。
解決するため、半導体チップが搭載される熱伝導性を有
する支持体と、配線を有し、この配線の一端部が前記半
導体チップに接続され、印刷配線基板の配線パターンに
接続される他端部が前記支持体の外面に固定されたキャ
リアテープとを設けている。また、前記キャリアテープ
は前記半導体チップを封止するとともに、配線の他端部
一部を覆っている。さらに、前記支持体の半導体チップ
が搭載される面と反対側の面には突部が設けられ、この
突部に沿って前記配線の他端部が固定されている。ま
た、前記支持体の半導体チップが搭載される面と反対側
の面には半導体チップから発生される熱を印刷配線基板
に伝導する突部が設けられている。さらに、前記配線の
一端部には湾曲部が設けられている。
【0009】また、前記支持体の半導体チップが搭載さ
れる面には突部が設けられ、前記配線の他端部はこの突
部に沿って固定され、前記支持体の半導体チップが搭載
される面と反対側の面には放熱手段が設けられている。
れる面には突部が設けられ、前記配線の他端部はこの突
部に沿って固定され、前記支持体の半導体チップが搭載
される面と反対側の面には放熱手段が設けられている。
【0010】
【作用】すなわち、この発明は、半導体チップを熱伝導
性を有する支持体に搭載しているため、放熱効果を向上
できる。また、キャリアテープに設けられた配線のう
ち、印刷配線基板の配線パターンに接続される他端部を
支持体の外面に固定しているため、振動等の機械的外力
に影響を受けず、しかも、配線相互のピッチや平坦性を
安定に保持できる。
性を有する支持体に搭載しているため、放熱効果を向上
できる。また、キャリアテープに設けられた配線のう
ち、印刷配線基板の配線パターンに接続される他端部を
支持体の外面に固定しているため、振動等の機械的外力
に影響を受けず、しかも、配線相互のピッチや平坦性を
安定に保持できる。
【0011】また、キャリアテープ自体によって半導体
チップを封止することにより、構成を簡単化することが
でき、キャリアテープによって配線の他端部一部を覆う
ことにより、配線を保護することができる。さらに、配
線の一端部に湾曲部を設けることにより、キャリアテー
プや支持体の熱膨脹率の差に起因する配線に対するスト
レスを吸収できる。また、支持体の半導体チップが搭載
される面と反対側の面に放熱手段を設けることにより、
放熱効果を一層向上できる。
チップを封止することにより、構成を簡単化することが
でき、キャリアテープによって配線の他端部一部を覆う
ことにより、配線を保護することができる。さらに、配
線の一端部に湾曲部を設けることにより、キャリアテー
プや支持体の熱膨脹率の差に起因する配線に対するスト
レスを吸収できる。また、支持体の半導体チップが搭載
される面と反対側の面に放熱手段を設けることにより、
放熱効果を一層向上できる。
【0012】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
【0013】図1はこの発明の第1の実施例を示すもの
である。図1(a)(b)において、キャリアテープ1
1には複数の配線12が設けられている。これら配線1
2の一端、すなわち、インナーリード12aは半導体チ
ップ13の上面に配設されたバンプ14に接続されてい
る。前記半導体チップ13は、支持体15の収容部15
a内に例えば接着剤16を用いてマウントされ、さら
に、樹脂17によって封止されている。前記支持体15
の外面、すなわち、半導体チップ3が搭載される側の面
(上面)と側面、および半導体チップ13が搭載される
側の面と反対側の面(底面)には絶縁層18が、接着等
の手段によって設けられ、前記配線12の他端、すなわ
ち、アウターリード12bは、絶縁層18の表面に接着
されている。したがって、アウターリード12bは、前
記支持体15の上面、側面および底面に沿って固定され
ている。この支持体15の底面に位置するアウターリー
ド12bは、印刷配線基板19に設けられた配線パター
ン20に半田付けされる。
である。図1(a)(b)において、キャリアテープ1
1には複数の配線12が設けられている。これら配線1
2の一端、すなわち、インナーリード12aは半導体チ
ップ13の上面に配設されたバンプ14に接続されてい
る。前記半導体チップ13は、支持体15の収容部15
a内に例えば接着剤16を用いてマウントされ、さら
に、樹脂17によって封止されている。前記支持体15
の外面、すなわち、半導体チップ3が搭載される側の面
(上面)と側面、および半導体チップ13が搭載される
側の面と反対側の面(底面)には絶縁層18が、接着等
の手段によって設けられ、前記配線12の他端、すなわ
ち、アウターリード12bは、絶縁層18の表面に接着
されている。したがって、アウターリード12bは、前
記支持体15の上面、側面および底面に沿って固定され
ている。この支持体15の底面に位置するアウターリー
ド12bは、印刷配線基板19に設けられた配線パター
ン20に半田付けされる。
【0014】前記支持体15は、例えばアルミニウム等
の金属や窒化アルミニウム、ベリリア等のセラミックス
によって構成される。また、前記絶縁層18は支持体1
5が導電性を有する材料によって構成されている場合に
必要であり、絶縁性を有するセラミックス等によって構
成されている場合は不要である。
の金属や窒化アルミニウム、ベリリア等のセラミックス
によって構成される。また、前記絶縁層18は支持体1
5が導電性を有する材料によって構成されている場合に
必要であり、絶縁性を有するセラミックス等によって構
成されている場合は不要である。
【0015】上記構成によれば、半導体チップ13は支
持体15にマウントされ、半導体チップ13から発生し
た熱は、支持体15を介して放熱される。したがって、
従来に比べて放熱面積が大きいため、放熱特性を著しく
向上できる。
持体15にマウントされ、半導体チップ13から発生し
た熱は、支持体15を介して放熱される。したがって、
従来に比べて放熱面積が大きいため、放熱特性を著しく
向上できる。
【0016】また、アウターリード12bは、支持体1
5の上面、側面および底面に沿って固定されている。し
たがって、アウターリード12bは外力により変形しに
くく、リードピッチや平坦性を安定に保持することがで
きるものである。
5の上面、側面および底面に沿って固定されている。し
たがって、アウターリード12bは外力により変形しに
くく、リードピッチや平坦性を安定に保持することがで
きるものである。
【0017】しかも、半導体チップ13は支持体15お
よび支持体15の表面に沿って固定されたアウターリー
ド12bを介在して、一体的に印刷配線基板19の配線
パターン20に接続される。このため、振動等の機械的
外力に対して強固なものである。次に、この発明の他の
実施例に説明する。尚、図1と同一部分には同一符号を
付し、異なる部分についてのみ説明する。
よび支持体15の表面に沿って固定されたアウターリー
ド12bを介在して、一体的に印刷配線基板19の配線
パターン20に接続される。このため、振動等の機械的
外力に対して強固なものである。次に、この発明の他の
実施例に説明する。尚、図1と同一部分には同一符号を
付し、異なる部分についてのみ説明する。
【0018】図2は、この発明の第2の実施例を示すも
のである。図1に示す第1の実施例においては、半導体
チップ13を樹脂17によって封止したが、この実施例
においては、キャリアテープ11の面積を大きくし、キ
ャリアテープ11自体によって半導体チップ13を封止
している。したがって、樹脂を設ける必要がないため、
製造工程を簡単化することができる。
のである。図1に示す第1の実施例においては、半導体
チップ13を樹脂17によって封止したが、この実施例
においては、キャリアテープ11の面積を大きくし、キ
ャリアテープ11自体によって半導体チップ13を封止
している。したがって、樹脂を設ける必要がないため、
製造工程を簡単化することができる。
【0019】また、キャリアテープ11の周縁部11a
は、支持体15の側面部に位置するアウターリード12
bを覆っているため、アウターリード12bを保護する
ことができる。
は、支持体15の側面部に位置するアウターリード12
bを覆っているため、アウターリード12bを保護する
ことができる。
【0020】図3は、この発明の第3の実施例を示すも
のであり、図1、図2と同一部分には同一符号を付す。
この実施例において、支持体15の底面部周縁には、断
面がほぼ半円形の突部15bが設けられ、絶縁層18、
アウターリード12bは、この突部15bに沿って固着
されている。
のであり、図1、図2と同一部分には同一符号を付す。
この実施例において、支持体15の底面部周縁には、断
面がほぼ半円形の突部15bが設けられ、絶縁層18、
アウターリード12bは、この突部15bに沿って固着
されている。
【0021】この実施例によれば、アウターリード12
bは突部15bに沿って湾曲され、所謂J−ベンド端子
となっている。このため、アウターリード12bと配線
パターン20との接続性能を向上できる。
bは突部15bに沿って湾曲され、所謂J−ベンド端子
となっている。このため、アウターリード12bと配線
パターン20との接続性能を向上できる。
【0022】図4は、この発明の第4の実施例を示すも
のである。この実施例において、支持体15の底面部に
は突部15cが設けられ、この突部15cは熱伝導性が
良好なグリス21を介在して印刷配線基板19に接触さ
れている。前記グリス21は接触熱抵抗を軽減するもの
である。
のである。この実施例において、支持体15の底面部に
は突部15cが設けられ、この突部15cは熱伝導性が
良好なグリス21を介在して印刷配線基板19に接触さ
れている。前記グリス21は接触熱抵抗を軽減するもの
である。
【0023】この実施例によれば、半導体チップ13か
ら発生された熱は支持体15、突部15c、グリス21
を介して印刷配線基板19に伝達される。したがって、
印刷配線基板19は放熱板として作用するため、放熱効
果を著しく向上できる。
ら発生された熱は支持体15、突部15c、グリス21
を介して印刷配線基板19に伝達される。したがって、
印刷配線基板19は放熱板として作用するため、放熱効
果を著しく向上できる。
【0024】図5は、この発明の第5の実施例を示すも
のである。この実施例において、インナーリード12a
のバンプ14と接続する部分と、絶縁層18を介して支
持体15に固着される部分の相互間には、湾曲部12c
が設けられている。
のである。この実施例において、インナーリード12a
のバンプ14と接続する部分と、絶縁層18を介して支
持体15に固着される部分の相互間には、湾曲部12c
が設けられている。
【0025】この実施例によれば、キャリアテープ11
とインナーリード12aおよび支持体15との熱膨張率
の差に起因して、インナーリード12aにストレスが加
わった場合においても、湾曲部12cによってストレス
が吸収される。したがって、インナーリード12aとバ
ンプ14等との剥離を防止でき、接続を安定に保持する
ことができる。
とインナーリード12aおよび支持体15との熱膨張率
の差に起因して、インナーリード12aにストレスが加
わった場合においても、湾曲部12cによってストレス
が吸収される。したがって、インナーリード12aとバ
ンプ14等との剥離を防止でき、接続を安定に保持する
ことができる。
【0026】図6は、この発明の第6の実施例を示すも
のであり、放熱フィンの取付けを考慮したものである。
この実施例において、半導体チップ13はその表面を下
向きとして、インナーリード12aに取着される。ま
た、支持体15はその収容部15aの開口が下向きとさ
れ、この状態で、半導体チップ13は収容部15aに収
容される。支持体15の半導体チップ搭載面、すなわ
ち、収容部15aが設けられた面には、断面がほぼ半円
形の突部15dが設けられ、この突部15dに沿ってア
ウターリード12bを含むキャリアテープ11が固着さ
れる。したがって、アウターリード12bはJ−ベンド
端子のように湾曲される。また、支持体15の半導体チ
ップ搭載面と反対側の面には放熱フィン22が設けられ
ている。このように、支持体15に放熱フィン22を設
けることにより、放熱効果を一層向上できる。尚、この
発明は上記実施例に限定されるものではなく、発明の要
旨を変えない範囲において、種々変形実施可能なことは
勿論である。
のであり、放熱フィンの取付けを考慮したものである。
この実施例において、半導体チップ13はその表面を下
向きとして、インナーリード12aに取着される。ま
た、支持体15はその収容部15aの開口が下向きとさ
れ、この状態で、半導体チップ13は収容部15aに収
容される。支持体15の半導体チップ搭載面、すなわ
ち、収容部15aが設けられた面には、断面がほぼ半円
形の突部15dが設けられ、この突部15dに沿ってア
ウターリード12bを含むキャリアテープ11が固着さ
れる。したがって、アウターリード12bはJ−ベンド
端子のように湾曲される。また、支持体15の半導体チ
ップ搭載面と反対側の面には放熱フィン22が設けられ
ている。このように、支持体15に放熱フィン22を設
けることにより、放熱効果を一層向上できる。尚、この
発明は上記実施例に限定されるものではなく、発明の要
旨を変えない範囲において、種々変形実施可能なことは
勿論である。
【0027】
【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、キャリアテープのインナーリードに接続された半導
体チップを支持体に搭載し、放熱面積を増大することに
より放熱特性を向上することができ、しかも、アウター
リードを支持体に固定することにより、振動等の外力に
対してアウターリードの機械的強度を向上することがで
きるとともに、リードピッチや平坦性を保持することが
可能な半導体装置を提供できる。
ば、キャリアテープのインナーリードに接続された半導
体チップを支持体に搭載し、放熱面積を増大することに
より放熱特性を向上することができ、しかも、アウター
リードを支持体に固定することにより、振動等の外力に
対してアウターリードの機械的強度を向上することがで
きるとともに、リードピッチや平坦性を保持することが
可能な半導体装置を提供できる。
【図1】この発明の第1の実施例を示すものであり、同
図(a)は要部を示す上面図、同図(b)は同図(a)
のb−b線に沿った断面図。
図(a)は要部を示す上面図、同図(b)は同図(a)
のb−b線に沿った断面図。
【図2】この発明の第2の実施例を示す断面図。
【図3】この発明の第3の実施例を示す断面図。
【図4】この発明の第4の実施例を示す断面図。
【図5】この発明の第5の実施例を示す断面図。
【図6】この発明の第6の実施例を示す断面図。
【図7】従来のテープキャリアパッケージの一例を示す
断面図。
断面図。
11…キャリアテープ、12…配線、12a…インナー
リード、12b…アウターリード、13…半導体チッ
プ、15…支持体、15a…収容部、15b、15c、
15d…突部、19…印刷配線基板、20…配線パター
ン、22…放熱フィン。
リード、12b…アウターリード、13…半導体チッ
プ、15…支持体、15a…収容部、15b、15c、
15d…突部、19…印刷配線基板、20…配線パター
ン、22…放熱フィン。
Claims (6)
- 【請求項1】 半導体チップが搭載される熱伝導性を有
する支持体と、 配線を有し、この配線の一端部が前記半導体チップに接
続され、印刷配線基板の配線パターンに接続される他端
部が前記支持体の外面に固定されたキャリアテープと、 を具備することを特徴とした半導体装置。 - 【請求項2】 半導体チップが搭載される熱伝導性を有
する支持体と、 配線を有し、この配線の一端部が前記半導体チップに接
続され、印刷配線基板の配線パターンに接続される他端
部が前記支持体の外面に固定され、前記半導体チップを
封止するとともに、前記配線の他端部一部を覆うキャリ
アテープと、 を具備することを特徴とした半導体装置。 - 【請求項3】 半導体チップが搭載される熱伝導性を有
する支持体と、 この支持体の前記半導体チップが搭載される面と反対側
の面に設けられた突部と、 配線を有し、この配線の一端部が前記半導体チップに接
続され、印刷配線基板の配線パターンに接続される他端
部が前記支持体の突部に沿って固定されたキャリアテー
プと、 を具備することを特徴とした半導体装置。 - 【請求項4】 半導体チップが搭載される熱伝導性を有
する支持体と、 配線を有し、この配線の一端部が前記半導体チップに接
続され、印刷配線基板の配線パターンに接続される他端
部が前記支持体に沿って固定されたキャリアテープと、 前記支持体の前記半導体チップが搭載される面と反対側
の面に設けられ、前記配線の他端部が印刷配線基板の配
線パターンに接続された状態において、印刷配線基板に
接触され、前記半導体チップから発生される熱を印刷配
線基板に伝導する突部と、 を具備することを特徴とした半導体装置。 - 【請求項5】 半導体チップが搭載される熱伝導性を有
する支持体と、 配線を有し、この配線の一端部が前記半導体チップに接
続され、印刷配線基板の配線パターンに接続される他端
部が前記支持体の外面に固定されたキャリアテープと、 配線の一端部に設けられた湾曲部と、 を具備することを特徴とした半導体装置。 - 【請求項6】 半導体チップが搭載される熱伝導性を有
する支持体と、 この支持体の前記半導体チップが搭載される面に設けら
れた突部と、 配線を有し、この配線の一端部が前記半導体チップに接
続され、印刷配線基板の配線パターンに接続される他端
部が前記支持体の突部に沿って固定されたキャリアテー
プと、 前記支持体の前記半導体チップが搭載される面と反対側
の面に設けられた放熱手段と、 を具備することを特徴とした半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4253193A JPH06104309A (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4253193A JPH06104309A (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06104309A true JPH06104309A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=17247849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4253193A Pending JPH06104309A (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06104309A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100230920B1 (ko) * | 1996-10-18 | 1999-11-15 | 황인길 | 반도체 패키지 |
US6111306A (en) * | 1993-12-06 | 2000-08-29 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of producing the same and semiconductor device unit and method of producing the same |
US20110089555A1 (en) * | 2009-10-19 | 2011-04-21 | Uniram Technology Inc. | Area reduction for surface mount package chips |
JP5498604B1 (ja) * | 2013-04-17 | 2014-05-21 | エムテックスマツムラ株式会社 | 固体撮像素子用中空パッケージ |
-
1992
- 1992-09-22 JP JP4253193A patent/JPH06104309A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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