JPH0581719A - 光記録媒体用反射膜 - Google Patents
光記録媒体用反射膜Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 反射率が高くて、しかも熱伝導率が低い光磁
気ディスク用反射膜を提供する。 【構成】 光記録媒体用反射膜に関し、反射率の高い金
属の薄膜と熱電導率の低い金属の薄膜とを交互に基板へ
積層させる。前者としては例えばＡｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａ
ｌ、Ｍｇ、Ａｇ−Ａｕ合金、Ａｕ−Ｃｕ合金がある。後
者としては、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｈ、Ｉｒがあ
る。
気ディスク用反射膜を提供する。 【構成】 光記録媒体用反射膜に関し、反射率の高い金
属の薄膜と熱電導率の低い金属の薄膜とを交互に基板へ
積層させる。前者としては例えばＡｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａ
ｌ、Ｍｇ、Ａｇ−Ａｕ合金、Ａｕ−Ｃｕ合金がある。後
者としては、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｈ、Ｉｒがあ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ等の光によりデ
ータの再生を行う光記録媒体、特にレーザ等の光によ
り、データの記録、再生、消去等を行う光磁気媒体にお
いて使用される光記録媒体用反射膜に関する。
ータの再生を行う光記録媒体、特にレーザ等の光によ
り、データの記録、再生、消去等を行う光磁気媒体にお
いて使用される光記録媒体用反射膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】光記録媒体は、不揮発性、高記録密度、
非接触、可換、高速アクセス等の理由で、メモリ媒体と
して注目されている。また、光磁気記録媒体は、読出専
用形または追記形の光ディスク（光記録媒体）とは違
い、書き換えが可能である。書き換えとは、一度記録し
たデータを消去して、新たなデータを書き込むことがで
きることで、その結果、光磁気記録媒体は繰り返し使用
することができる。そして、この光磁気記録媒体の種類
には、セクタ配置の仕方によって、ＣＡＶ、ＣＶＬ、Ｍ
−ＣＡＶの３種類がある。または、記録および再生させ
る原理によって、光変調型、磁界変調型、相変化型及び
２相ポリマ型がある。そして、光変調型の光磁気記録媒
体が広く実用化されている。
非接触、可換、高速アクセス等の理由で、メモリ媒体と
して注目されている。また、光磁気記録媒体は、読出専
用形または追記形の光ディスク（光記録媒体）とは違
い、書き換えが可能である。書き換えとは、一度記録し
たデータを消去して、新たなデータを書き込むことがで
きることで、その結果、光磁気記録媒体は繰り返し使用
することができる。そして、この光磁気記録媒体の種類
には、セクタ配置の仕方によって、ＣＡＶ、ＣＶＬ、Ｍ
−ＣＡＶの３種類がある。または、記録および再生させ
る原理によって、光変調型、磁界変調型、相変化型及び
２相ポリマ型がある。そして、光変調型の光磁気記録媒
体が広く実用化されている。
【０００３】光変調型とは、磁気で結晶（磁気媒体）の
磁化の向きを変化させ、この磁化の向きによってデータ
を書き込むことである。つまり、磁気媒体に一方向に磁
界をかけて、強いレーザ光の熱によりキュリー点にまで
この媒体を熱する。これによって、磁気媒体は全て該方
向を向いて磁化される。すなわち、磁気媒体には全て０
が記録されることとなり、今までに書き込んであったデ
ータは消去される。次に、上記とは逆方向に磁界をか
け、１にしたいビットのみをレーザ光でキュリー点以上
に加熱する。このようにして所望のビットに１を書き込
むことによって、データの書き換えがなされる。また、
再生は、以下のように行っている。すなわち、この磁気
媒体に弱いレーザ光を照射する。このレーザ光の反射光
が偏光フィルタを通るとき、この反射光の偏波面の回転
（光の強弱）を検出する。これによりデータを再生する
ものである。また、この光磁気記録媒体は、磁気とレー
ザ光による熱との両方の作用で、結晶に記録しているの
で、記録データの安定性が高くなっている。そして、こ
のような光磁気記録媒体にあっては、反射膜によってレ
ーザ光を反射し、このレーザ光の反射光の熱を結晶（磁
気媒体、記録層）に伝えている。
磁化の向きを変化させ、この磁化の向きによってデータ
を書き込むことである。つまり、磁気媒体に一方向に磁
界をかけて、強いレーザ光の熱によりキュリー点にまで
この媒体を熱する。これによって、磁気媒体は全て該方
向を向いて磁化される。すなわち、磁気媒体には全て０
が記録されることとなり、今までに書き込んであったデ
ータは消去される。次に、上記とは逆方向に磁界をか
け、１にしたいビットのみをレーザ光でキュリー点以上
に加熱する。このようにして所望のビットに１を書き込
むことによって、データの書き換えがなされる。また、
再生は、以下のように行っている。すなわち、この磁気
媒体に弱いレーザ光を照射する。このレーザ光の反射光
が偏光フィルタを通るとき、この反射光の偏波面の回転
（光の強弱）を検出する。これによりデータを再生する
ものである。また、この光磁気記録媒体は、磁気とレー
ザ光による熱との両方の作用で、結晶に記録しているの
で、記録データの安定性が高くなっている。そして、こ
のような光磁気記録媒体にあっては、反射膜によってレ
ーザ光を反射し、このレーザ光の反射光の熱を結晶（磁
気媒体、記録層）に伝えている。
【０００４】従来、この光記録媒体用の反射膜として
は、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｌ等の反射率の高い純金属反
射膜が使用されていた。反射率が高いと、Ｃ／Ｎ比（デ
ータ対ノイズ比）が優れ、短い時間で記録することがで
きるという理由からである。しかし、上記の純金属反射
膜は、熱伝導率が高いため、データの書き込み時、レー
ザ光の熱を記録層（磁気媒体）以外へも逃がし、この記
録層に伝わる熱を減少させていた。そのため、データの
記録には、レーザ光のパワーを上げたり、または、レー
ザ光の照射時間を長くしたりしていた。すなわち、この
ような反射膜を有する光記録媒体にあっては、データを
記録する場合の記録感度が低下していたものである。そ
こで、熱伝導率を低くする方法として、特開平３−２５
７３７号公報に示すものが知られている。
は、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｌ等の反射率の高い純金属反
射膜が使用されていた。反射率が高いと、Ｃ／Ｎ比（デ
ータ対ノイズ比）が優れ、短い時間で記録することがで
きるという理由からである。しかし、上記の純金属反射
膜は、熱伝導率が高いため、データの書き込み時、レー
ザ光の熱を記録層（磁気媒体）以外へも逃がし、この記
録層に伝わる熱を減少させていた。そのため、データの
記録には、レーザ光のパワーを上げたり、または、レー
ザ光の照射時間を長くしたりしていた。すなわち、この
ような反射膜を有する光記録媒体にあっては、データを
記録する場合の記録感度が低下していたものである。そ
こで、熱伝導率を低くする方法として、特開平３−２５
７３７号公報に示すものが知られている。
【０００５】これは、ＡｇにＣｕを０.５〜３０at％含
有せしめ、さらに、これに、ＴａまたはＴｉの少なくと
も１種を０.５〜１５at％含有せしめたＡｇ合金によっ
て、反射膜を構成している。これにより、高い記録感度
で高いＣ／Ｎ比の光記録媒体用反射膜を提供していた。
有せしめ、さらに、これに、ＴａまたはＴｉの少なくと
も１種を０.５〜１５at％含有せしめたＡｇ合金によっ
て、反射膜を構成している。これにより、高い記録感度
で高いＣ／Ｎ比の光記録媒体用反射膜を提供していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
合金反射膜は、上記の純金属反射膜が有していた高い反
射率を低下させてしまった。さらに、従来の光記録媒体
用反射膜には、高い反射率とともに、重要な課題である
低い熱伝導率とを同時に満足させるのには、未だ不十分
であるという課題があった。
合金反射膜は、上記の純金属反射膜が有していた高い反
射率を低下させてしまった。さらに、従来の光記録媒体
用反射膜には、高い反射率とともに、重要な課題である
低い熱伝導率とを同時に満足させるのには、未だ不十分
であるという課題があった。
【０００７】
【課題を解決するための知見】そこで、発明者は、光磁
気記録媒体用反射膜を想定し、高い反射率を得るための
金属薄膜と、低熱伝導率を得るための金属薄膜とを交互
に積層することにより、反射率が高く、しかも、熱伝導
率が低い光記録媒体用反射膜が得られることを案出し
た。
気記録媒体用反射膜を想定し、高い反射率を得るための
金属薄膜と、低熱伝導率を得るための金属薄膜とを交互
に積層することにより、反射率が高く、しかも、熱伝導
率が低い光記録媒体用反射膜が得られることを案出し
た。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、第１の金属からなる薄膜と、第２の金属からなる薄
膜と、を交互に繰り返し積層した光記録媒体用反射膜に
おいて、上記第１の金属として、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａ
ｌ、Ｍｇ、Ａｇ−Ａｕ合金、および、Ａｕ−Ｃｕ合金か
らなる群より選ばれる少なくとも１種類の金属を用いる
とともに、上記第２の金属として、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、
Ｉｒ、Ｃｏ、および、Ｎｉからなる群より選ばれる少な
くとも１種類の金属を用い、上記第１の金属と第２の金
属との積層界面に反射率の低い合金層を生じないような
成膜条件で作成した光記録媒体用反射膜。
は、第１の金属からなる薄膜と、第２の金属からなる薄
膜と、を交互に繰り返し積層した光記録媒体用反射膜に
おいて、上記第１の金属として、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａ
ｌ、Ｍｇ、Ａｇ−Ａｕ合金、および、Ａｕ−Ｃｕ合金か
らなる群より選ばれる少なくとも１種類の金属を用いる
とともに、上記第２の金属として、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、
Ｉｒ、Ｃｏ、および、Ｎｉからなる群より選ばれる少な
くとも１種類の金属を用い、上記第１の金属と第２の金
属との積層界面に反射率の低い合金層を生じないような
成膜条件で作成した光記録媒体用反射膜。
【０００９】
【作用】上記のように構成された光記録媒体用反射膜で
は、第１の金属としてＡｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｌ、Ｍｇ、
Ａｇ−Ａｕ合金、Ａｕ−Ｃｕ合金の高反射率（例えば９
０％以上の反射率）の金属を用いているため、反射膜全
体としての反射率を高く保持することができる。ととも
に、第２の金属として、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃ
ｏ、Ｎｉの低熱伝導率の金属を用いているため、反射膜
全体としての熱伝導率を低下させることができる。ま
た、第１および第２の金属薄膜の膜厚と、積層膜全体の
膜厚と、を所定の薄さとすることによりこの熱伝導率を
さらに低下させることができ、特に、光磁気記録媒体用
反射膜として最適である。
は、第１の金属としてＡｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｌ、Ｍｇ、
Ａｇ−Ａｕ合金、Ａｕ−Ｃｕ合金の高反射率（例えば９
０％以上の反射率）の金属を用いているため、反射膜全
体としての反射率を高く保持することができる。ととも
に、第２の金属として、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃ
ｏ、Ｎｉの低熱伝導率の金属を用いているため、反射膜
全体としての熱伝導率を低下させることができる。ま
た、第１および第２の金属薄膜の膜厚と、積層膜全体の
膜厚と、を所定の薄さとすることによりこの熱伝導率を
さらに低下させることができ、特に、光磁気記録媒体用
反射膜として最適である。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を説明する。
【００１１】図１は、本発明に使用したマグネトロンス
パッタリング装置の概略図である。１２は真空槽で、１
３、１４はそれぞれ吸気口と排気口である。真空槽１２
の下部には、２台のターゲット台が並設されている。こ
れらのターゲット台上に、ターゲット７、８がそれぞれ
載置されている。ターゲット７は、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、
Ａｌ、または、Ｍｇ製で直径５インチのターゲットであ
る。ターゲット８はＰｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃｏ、ま
たは、Ｎｉ製で直径５インチのターゲットである。真空
槽１２の上部には基板ホルダ１が設けられている。この
基板ホルダ１は回転（自転）可能で、かつ、図中左右方
向に移動可能になっている。この基板ホルダ１の下面に
基板３、４がそれぞれ保持されている。これらの基板
３、４は、ガラス製（コーニング（株）製７０５９Ｆガ
ラス）である。９は成膜した膜が合金化するのを防止す
るためにターゲット７、８の上方に設けた筒である。１
０、１１は発振周波数が１３．５６ＭＨｚの高周波電源
である。なお、磁石は図示していない。
パッタリング装置の概略図である。１２は真空槽で、１
３、１４はそれぞれ吸気口と排気口である。真空槽１２
の下部には、２台のターゲット台が並設されている。こ
れらのターゲット台上に、ターゲット７、８がそれぞれ
載置されている。ターゲット７は、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、
Ａｌ、または、Ｍｇ製で直径５インチのターゲットであ
る。ターゲット８はＰｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃｏ、ま
たは、Ｎｉ製で直径５インチのターゲットである。真空
槽１２の上部には基板ホルダ１が設けられている。この
基板ホルダ１は回転（自転）可能で、かつ、図中左右方
向に移動可能になっている。この基板ホルダ１の下面に
基板３、４がそれぞれ保持されている。これらの基板
３、４は、ガラス製（コーニング（株）製７０５９Ｆガ
ラス）である。９は成膜した膜が合金化するのを防止す
るためにターゲット７、８の上方に設けた筒である。１
０、１１は発振周波数が１３．５６ＭＨｚの高周波電源
である。なお、磁石は図示していない。
【００１２】まず、基板３、４と、ターゲット７と、の
間の距離をそれぞれ１６ｃｍにし、この真空槽１２を４
×１０-7Ｔｏｒｒ程度まで排気する。つぎに、Ａｒガス
を真空槽１２内に導入し、圧力１×１０-3Ｔｏｒｒにな
るようにＡｒガス流量を調整する。ついで、基板ホルダ
１を自転させながら、電源１０からターゲット７へ、電
源１１からターゲット８へ高周波電力１００〜２００Ｗ
をそれぞれ印加することによりマグネトロンスパッタリ
ングを行い、基板３、４の表面に、例えばＡｇ薄膜を５
０Ａ（オングストローム、以下同じ）の厚さに堆積す
る。なお、このＡｇ薄膜の厚さは、５〜２５０Ａの範囲
内で堆積させるとよい。
間の距離をそれぞれ１６ｃｍにし、この真空槽１２を４
×１０-7Ｔｏｒｒ程度まで排気する。つぎに、Ａｒガス
を真空槽１２内に導入し、圧力１×１０-3Ｔｏｒｒにな
るようにＡｒガス流量を調整する。ついで、基板ホルダ
１を自転させながら、電源１０からターゲット７へ、電
源１１からターゲット８へ高周波電力１００〜２００Ｗ
をそれぞれ印加することによりマグネトロンスパッタリ
ングを行い、基板３、４の表面に、例えばＡｇ薄膜を５
０Ａ（オングストローム、以下同じ）の厚さに堆積す
る。なお、このＡｇ薄膜の厚さは、５〜２５０Ａの範囲
内で堆積させるとよい。
【００１３】続いて、基板ホルダ１をターゲット８上方
に移動し、基板３、４の表面においてＡｇ薄膜上に、例
えばＰｔ薄膜を５Ａの厚さに堆積する。なお、このＰｔ
薄膜の厚さも５〜２５０Ａの範囲内で堆積させるとよ
く、上記Ａｇの膜厚とＰｔの膜厚とが両方同時に、１０
Ａ以下にならないようにするとよい。
に移動し、基板３、４の表面においてＡｇ薄膜上に、例
えばＰｔ薄膜を５Ａの厚さに堆積する。なお、このＰｔ
薄膜の厚さも５〜２５０Ａの範囲内で堆積させるとよ
く、上記Ａｇの膜厚とＰｔの膜厚とが両方同時に、１０
Ａ以下にならないようにするとよい。
【００１４】このような一連の動作を繰り返し、積層膜
の膜厚が、全体として１０００Ａになるまでマグネトロ
ンスパッタリングを行う。このＡｇＰｔ積層膜は、平衡
状態図上、二相に分離する組合せとなる。
の膜厚が、全体として１０００Ａになるまでマグネトロ
ンスパッタリングを行う。このＡｇＰｔ積層膜は、平衡
状態図上、二相に分離する組合せとなる。
【００１５】図２は、ＡｇＰｔ積層膜の膜組成と、反射
率、熱伝導率との関係を示すグラフである。この図では
横軸がこの光記録媒体用反射膜の膜組成を示し、縦軸が
その反射膜の反射率および熱伝導率を示している。この
図で膜組成は、Ａｇ薄膜の厚さとＰｔ薄膜の厚さとの割
合で示している。図３は、比較例としてのＡｇ−Ｐｔ合
金の組成と、反射率、熱伝導率との関係を示すグラフで
ある。この図では横軸に該合金膜の膜組成（添数字は原
子％、以下同じ）を示し、縦軸がその反射膜の反射率お
よび熱伝導率を示している。これらを比較してみると、
例えばＡ点に示す反射膜では、光を反射する面から数え
て、第１層薄膜として５０Ａの厚さのＡｇ薄膜、第２層
薄膜として５Ａの厚さのＰｔ薄膜、の順序で、Ａｇ薄膜
とＰｔ薄膜とを交互に繰り返し、全体として１０００Ａ
の厚さになるまで積層したものである。この場合の反射
率は９０％、熱伝導率は０.７Ｗ／ｃｍＫである。一
方、例えばＢ点（Ａｇ13Ｐｔ87）に示す反射膜では、銀
原子１３％含有し白金原子８７％含有し合金薄膜とした
ものである。この場合の反射率は７８％、熱伝導率は
０.９Ｗ／ｃｍＫである。これらを比較すると、同じよ
うな熱伝導率の値を有していても、本発明に係る積層膜
の方が合金膜より反射率が１２％高い値を有している。
したがって、合金膜に比べて本発明に係る積層膜は、高
い反射率を充分保ちながら熱伝導率を低くできる。
率、熱伝導率との関係を示すグラフである。この図では
横軸がこの光記録媒体用反射膜の膜組成を示し、縦軸が
その反射膜の反射率および熱伝導率を示している。この
図で膜組成は、Ａｇ薄膜の厚さとＰｔ薄膜の厚さとの割
合で示している。図３は、比較例としてのＡｇ−Ｐｔ合
金の組成と、反射率、熱伝導率との関係を示すグラフで
ある。この図では横軸に該合金膜の膜組成（添数字は原
子％、以下同じ）を示し、縦軸がその反射膜の反射率お
よび熱伝導率を示している。これらを比較してみると、
例えばＡ点に示す反射膜では、光を反射する面から数え
て、第１層薄膜として５０Ａの厚さのＡｇ薄膜、第２層
薄膜として５Ａの厚さのＰｔ薄膜、の順序で、Ａｇ薄膜
とＰｔ薄膜とを交互に繰り返し、全体として１０００Ａ
の厚さになるまで積層したものである。この場合の反射
率は９０％、熱伝導率は０.７Ｗ／ｃｍＫである。一
方、例えばＢ点（Ａｇ13Ｐｔ87）に示す反射膜では、銀
原子１３％含有し白金原子８７％含有し合金薄膜とした
ものである。この場合の反射率は７８％、熱伝導率は
０.９Ｗ／ｃｍＫである。これらを比較すると、同じよ
うな熱伝導率の値を有していても、本発明に係る積層膜
の方が合金膜より反射率が１２％高い値を有している。
したがって、合金膜に比べて本発明に係る積層膜は、高
い反射率を充分保ちながら熱伝導率を低くできる。
【００１６】上記と同じ様な実験をして、平衡状態図上
全率固溶する場合のＡｇＰｄ積層膜の実験結果、およ
び、平衡状態図上化合物を作る場合のＡｌＣｏ積層膜の
実験結果を図４〜図７を用いて説明する。
全率固溶する場合のＡｇＰｄ積層膜の実験結果、およ
び、平衡状態図上化合物を作る場合のＡｌＣｏ積層膜の
実験結果を図４〜図７を用いて説明する。
【００１７】図４はＡｇＰｄ積層膜、図５はＡｇＰｄ合
金、図６はＡｌＣｏ積層膜、図７はＡｌＣｏ合金、のそ
れぞれの膜組成と、反射率、熱伝導率との関係を示すグ
ラフである。これらの図では横軸がそれぞれの膜組成を
示し、縦軸がその反射膜の反射率および熱伝導率を示し
ている。
金、図６はＡｌＣｏ積層膜、図７はＡｌＣｏ合金、のそ
れぞれの膜組成と、反射率、熱伝導率との関係を示すグ
ラフである。これらの図では横軸がそれぞれの膜組成を
示し、縦軸がその反射膜の反射率および熱伝導率を示し
ている。
【００１８】図４と図５とを比較すると、例えばＣ点に
示す反射膜では、光を反射する面から数えて、第１層薄
膜として５０Ａの厚さのＡｇ薄膜、第２層薄膜として５
０Ａの厚さのＰｄ薄膜、の順序で、Ａｇ薄膜とＰｄ薄膜
とを交互に繰り返し、全体として１０００Ａの厚さにな
るまで積層したものである。この場合の反射率は８０
％、熱伝導率は０.７Ｗ／ｃｍＫである。一方、例えば
Ｄ点（Ａｇ52Ｐｄ48）に示す反射膜では、銀原子５２％
を含有しパラジウム原子４８％を含有し合金薄膜とした
ものである。この場合の反射率は５８％、熱伝導率は
０.７Ｗ／ｃｍＫである。これらを比較すると、同じよ
うな熱伝導率の値を有していても、本発明に係る積層膜
の方が合金膜より反射率が２８％高い値を有している。
示す反射膜では、光を反射する面から数えて、第１層薄
膜として５０Ａの厚さのＡｇ薄膜、第２層薄膜として５
０Ａの厚さのＰｄ薄膜、の順序で、Ａｇ薄膜とＰｄ薄膜
とを交互に繰り返し、全体として１０００Ａの厚さにな
るまで積層したものである。この場合の反射率は８０
％、熱伝導率は０.７Ｗ／ｃｍＫである。一方、例えば
Ｄ点（Ａｇ52Ｐｄ48）に示す反射膜では、銀原子５２％
を含有しパラジウム原子４８％を含有し合金薄膜とした
ものである。この場合の反射率は５８％、熱伝導率は
０.７Ｗ／ｃｍＫである。これらを比較すると、同じよ
うな熱伝導率の値を有していても、本発明に係る積層膜
の方が合金膜より反射率が２８％高い値を有している。
【００１９】図６と図７とを比較すると、例えばＥ点に
示す反射膜では、光を反射する面から数えて、第１層薄
膜として５０Ａの厚さのＡｌ薄膜、第２層薄膜として５
０Ａの厚さのＣｏ薄膜、の順序で、Ａｌ薄膜とＣｏ薄膜
とを交互に繰り返し、全体として１０００Ａの厚さにな
るまで積層したものである。この場合の反射率は６７
％、熱伝導率は０.２Ｗ／ｃｍＫである。一方、例えば
Ｆ点（Ａｌ67Ｃｏ33）に示す反射膜では、アルミニウム
原子６７％含有しコバルト原子３３％含有し合金薄膜と
したものである。この場合の反射率は４８％、熱伝導率
は０.２Ｗ／ｃｍＫである。これらを比較すると、同じ
ような熱伝導率の値を有していても、本発明に係る積層
膜の方が合金膜より反射率が１９％高い値を有してい
る。したがって、合金膜に比べて本発明に係る積層膜
は、高い反射率を充分保ちながら熱伝導率を低くでき
る。
示す反射膜では、光を反射する面から数えて、第１層薄
膜として５０Ａの厚さのＡｌ薄膜、第２層薄膜として５
０Ａの厚さのＣｏ薄膜、の順序で、Ａｌ薄膜とＣｏ薄膜
とを交互に繰り返し、全体として１０００Ａの厚さにな
るまで積層したものである。この場合の反射率は６７
％、熱伝導率は０.２Ｗ／ｃｍＫである。一方、例えば
Ｆ点（Ａｌ67Ｃｏ33）に示す反射膜では、アルミニウム
原子６７％含有しコバルト原子３３％含有し合金薄膜と
したものである。この場合の反射率は４８％、熱伝導率
は０.２Ｗ／ｃｍＫである。これらを比較すると、同じ
ような熱伝導率の値を有していても、本発明に係る積層
膜の方が合金膜より反射率が１９％高い値を有してい
る。したがって、合金膜に比べて本発明に係る積層膜
は、高い反射率を充分保ちながら熱伝導率を低くでき
る。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以上説明してきたように構成
されているので、光記録媒体用反射膜において、高い反
射率の金属薄膜と低い熱伝導率の金属薄膜とを交互に積
層させたため、同じ成分（膜組成）で合金にする従来の
場合と比べて、同じ熱伝導率の性質を有していても、高
い反射率の性質が得られる。
されているので、光記録媒体用反射膜において、高い反
射率の金属薄膜と低い熱伝導率の金属薄膜とを交互に積
層させたため、同じ成分（膜組成）で合金にする従来の
場合と比べて、同じ熱伝導率の性質を有していても、高
い反射率の性質が得られる。
【図１】本発明の一実施例に係る光記録媒体用反射膜の
製造装置である。
製造装置である。
【図２】本発明の一実施例に係る光記録媒体用反射膜の
反射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
反射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
【図３】本発明の比較例に係る光記録媒体用反射膜の反
射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
【図４】本発明の一実施例に係る光記録媒体用反射膜の
反射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
反射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
【図５】本発明の比較例に係る光記録媒体用反射膜の反
射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
【図６】本発明の一実施例に係る光記録媒体用反射膜の
反射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
反射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
【図７】本発明の比較例に係る光記録媒体用反射膜の反
射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
射率と熱伝導率との変化を示す特性図である。
７、８ ターゲット
Claims (1)
- 【請求項１】 第１の金属からなる薄膜と、第２の金属
からなる薄膜と、を交互に繰り返し積層した光記録媒体
用反射膜において、 上記第１の金属として、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｌ、Ｍ
ｇ、Ａｇ−Ａｕ合金、および、Ａｕ−Ｃｕ合金からなる
群より選ばれる少なくとも１種類の金属を用いるととも
に、 上記第２の金属として、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃ
ｏ、および、Ｎｉからなる群より選ばれる少なくとも１
種類の金属を用い、上記第１の金属と第２の金属の積層
界面に反射率の低い合金層を生じないような成膜条件で
作成することを特徴とする光記録媒体用反射膜。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3268477A JP2822723B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 光記録媒体用反射膜 |
| DE4231160A DE4231160A1 (de) | 1991-09-19 | 1992-09-17 | Magneto-optisches informations-aufzeichnungsmedium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3268477A JP2822723B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 光記録媒体用反射膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0581719A true JPH0581719A (ja) | 1993-04-02 |
| JP2822723B2 JP2822723B2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=17459043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3268477A Expired - Fee Related JP2822723B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 光記録媒体用反射膜 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2822723B2 (ja) |
| DE (1) | DE4231160A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6004646A (en) * | 1997-03-27 | 1999-12-21 | Mitsubishi Chemical Corporation | Optical information recording medium |
| US6177166B1 (en) | 1997-11-17 | 2001-01-23 | Mitsubishi Chemical Corporation | Optical information recording medium |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5948497A (en) * | 1992-10-19 | 1999-09-07 | Eastman Kodak Company | High stability silver based alloy reflectors for use in a writable compact disk |
| US6301200B1 (en) * | 1999-09-22 | 2001-10-09 | Imation Corp. | Magneto-optical data storage disc with highly conductive, smooth reflector layer |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP3268477A patent/JP2822723B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-09-17 DE DE4231160A patent/DE4231160A1/de not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6004646A (en) * | 1997-03-27 | 1999-12-21 | Mitsubishi Chemical Corporation | Optical information recording medium |
| US6177166B1 (en) | 1997-11-17 | 2001-01-23 | Mitsubishi Chemical Corporation | Optical information recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4231160A1 (de) | 1993-03-25 |
| JP2822723B2 (ja) | 1998-11-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980804 |
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