JPS62172545A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS62172545A JPS62172545A JP1117786A JP1117786A JPS62172545A JP S62172545 A JPS62172545 A JP S62172545A JP 1117786 A JP1117786 A JP 1117786A JP 1117786 A JP1117786 A JP 1117786A JP S62172545 A JPS62172545 A JP S62172545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective layer
- layer
- magneto
- alloy
- optical recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、情報の消去及び再書き込みを繰返し行うこと
ができる光磁気記録媒体に関する。
ができる光磁気記録媒体に関する。
磁気テープあるいは磁気ディスクと同様に、情報の消去
・再書き込みが何度でも可能な光磁気ディスクが実用化
されようとしている。かかる光磁気ディスクの記録層に
適用される記録材料としては、■スパッタ法または蒸着
法によって大面積にして均一な記0層を形成することが
できろ、Iか粒界がないため大きなS/N 比が得られ
る、等の特徴を有するため、従来より、ガドリニウム、
テルビウム、ジスプロシウム等の希土類金属と、鉄。
・再書き込みが何度でも可能な光磁気ディスクが実用化
されようとしている。かかる光磁気ディスクの記録層に
適用される記録材料としては、■スパッタ法または蒸着
法によって大面積にして均一な記0層を形成することが
できろ、Iか粒界がないため大きなS/N 比が得られ
る、等の特徴を有するため、従来より、ガドリニウム、
テルビウム、ジスプロシウム等の希土類金属と、鉄。
コバルト等の!移金属との非晶質合金が注目されている
(日経エレクトロニクス 1985.3.25167頁
〜188頁)。
(日経エレクトロニクス 1985.3.25167頁
〜188頁)。
し7かしながら、上記希土類金属と遷移金属の非晶質合
金は、非常に酸化し易い物質であって空気中で容易に腐
蝕してしまうという欠点があり、これを光磁気記録媒体
の記録層として適用する場合には、何らかの腐蝕防止手
段を付加しなければ、必要とされる耐用命数を満足する
ことができない。
金は、非常に酸化し易い物質であって空気中で容易に腐
蝕してしまうという欠点があり、これを光磁気記録媒体
の記録層として適用する場合には、何らかの腐蝕防止手
段を付加しなければ、必要とされる耐用命数を満足する
ことができない。
従来は、上記の合金から成る記録層の表面に、例えば、
SiO,5iOz等の酸化物、あるいは、SL!INJ
、AIN等の窒化物から成る保護膜をコーティングす
ることによって記録層の耐食性の向上が図られている。
SiO,5iOz等の酸化物、あるいは、SL!INJ
、AIN等の窒化物から成る保護膜をコーティングす
ることによって記録層の耐食性の向上が図られている。
然るに、上記の如き酸化物及び窒化物は絶縁性の物質で
あるため、均質にして高密度の薄膜を記録層の表面に強
固に形成するには、例えば高周波スパッタ法など高度な
薄膜形成技術を用いなくてはならず、生産性が比較的悪
いという問題がある。
あるため、均質にして高密度の薄膜を記録層の表面に強
固に形成するには、例えば高周波スパッタ法など高度な
薄膜形成技術を用いなくてはならず、生産性が比較的悪
いという問題がある。
また、これらの保護層形成物質と記録層形成物質である
希土類金属と遷移金属の合金とは熱膨張率の相違が大き
いため、使用中に熱サイクルを受けると熱応力によって
保護層が破壊され易いという問題がある。さらに、Si
n、5iOz等の酸化物にて保護層を形成した場合には
、当該酸化物中の酸素の作用によって、却って記録層の
腐蝕が促進されてしまう虞れがある。
希土類金属と遷移金属の合金とは熱膨張率の相違が大き
いため、使用中に熱サイクルを受けると熱応力によって
保護層が破壊され易いという問題がある。さらに、Si
n、5iOz等の酸化物にて保護層を形成した場合には
、当該酸化物中の酸素の作用によって、却って記録層の
腐蝕が促進されてしまう虞れがある。
本発明は、上記した従来技術の問題点を解消し、均質に
して高密度かつ強固な保護層を記録層の表面に容易に形
成することができ、しかも記@層に悪影響を与えたり記
録層の記録感度を劣Cヒしたりすることのない保g!1
層を形成するため、耐食性に優れ、かつ、熱容量及び熱
伝導率が低く、熱膨張率が上記記録層と近似する金属、
またはこの種の金属と他の元素との合金から保護層を形
成したことを特徴とするものである。
して高密度かつ強固な保護層を記録層の表面に容易に形
成することができ、しかも記@層に悪影響を与えたり記
録層の記録感度を劣Cヒしたりすることのない保g!1
層を形成するため、耐食性に優れ、かつ、熱容量及び熱
伝導率が低く、熱膨張率が上記記録層と近似する金属、
またはこの種の金属と他の元素との合金から保護層を形
成したことを特徴とするものである。
第1図に本発明に係る光磁気記録媒体の断面図を示す。
この図において、lはディスク基板、2はディスク基板
1の片面に転写された凹凸パターン、3はディスク基板
lの凹凸パターン形成面に形成された下地層、4は下地
層3の表面に積層された記録層、5は記録層4の表面に
積層された保護層を示している。
1の片面に転写された凹凸パターン、3はディスク基板
lの凹凸パターン形成面に形成された下地層、4は下地
層3の表面に積層された記録層、5は記録層4の表面に
積層された保護層を示している。
ディスク基板lは、ガラス、ポリカーボネート。
ポリメチルメタクリレート、ポリエステル、ポリプロピ
レン、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリスチレンなど
の透明硬質物質を用いて形成される。
レン、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリスチレンなど
の透明硬質物質を用いて形成される。
凹凸パターン2は、2P法あるいはインジェクション法
など、公知に属する任意の転写技術によってディスク基
板lの片面に形成される。いかなる転写技術を適用する
かは、ディスク基板lの材質等を考慮して定める。
など、公知に属する任意の転写技術によってディスク基
板lの片面に形成される。いかなる転写技術を適用する
かは、ディスク基板lの材質等を考慮して定める。
下地層3は、吸水性及び透湿性を有しない透明物質、例
えば、Si3N4 によって形成される。
えば、Si3N4 によって形成される。
この下地層3の形成手段としては、真空蒸着、スパッタ
リング、イオンブレーティング等公知に屈する任意の薄
膜形成手段が用いられる。
リング、イオンブレーティング等公知に屈する任意の薄
膜形成手段が用いられる。
記録層4は、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウ
ム等の希土類金属と、鉄、コバルト等の遷移金属との非
晶質合金が用いられる。この記録層4も、真空蒸着、ス
パッタリング、イオンブレーティング等公知に属する任
意の薄膜形成手段によって形成される。
ム等の希土類金属と、鉄、コバルト等の遷移金属との非
晶質合金が用いられる。この記録層4も、真空蒸着、ス
パッタリング、イオンブレーティング等公知に属する任
意の薄膜形成手段によって形成される。
保護層5は、耐食性に優れ、かつ、熱容量及び熱伝導率
が低く、熱膨張率が上記記録層4と近似する金属、また
はこの種の金属と池の元素との合金によって形成される
。即ち、保護層5は上記記録層4を腐蝕から防止するた
めに形成さ71.るものであるから、耐食性、特に耐候
性にihでいる材料を使用する二とが第1の条件である
。さらに。
が低く、熱膨張率が上記記録層4と近似する金属、また
はこの種の金属と池の元素との合金によって形成される
。即ち、保護層5は上記記録層4を腐蝕から防止するた
めに形成さ71.るものであるから、耐食性、特に耐候
性にihでいる材料を使用する二とが第1の条件である
。さらに。
光磁気記録媒体は、原理的に熱記録であるから、レーザ
ビーム照射時の熱2tW範囲が狭いほど記録感度及び記
録密度を向上することができるので。
ビーム照射時の熱2tW範囲が狭いほど記録感度及び記
録密度を向上することができるので。
熱容量及び熱伝導率が低いことが条件になる、かかる紐
点から、室温から250°′Cの一度範囲における熱伝
導率がl OOWm−’ K以下の材料を用いることが
好ましい。加えて、熱応力の発生を防止し耐久性を向上
するため、熱膨張率が上記記録層4と近似する材料であ
ることが要求される。
点から、室温から250°′Cの一度範囲における熱伝
導率がl OOWm−’ K以下の材料を用いることが
好ましい。加えて、熱応力の発生を防止し耐久性を向上
するため、熱膨張率が上記記録層4と近似する材料であ
ることが要求される。
尚、上記実施例においては、ディスク基板lの片面に下
地層3と記録層4と保護層5の3層構造の薄膜を形成し
た場合について説明したが1本発明の要旨はこれに限定
されるものではかく、ガラス等吸水性及び透湿性を有し
ない材料にてディスク基板を作製した場合には、下地層
3を省略することもできる。また、記@HI4を構成す
る記録材料も上記のものに限定されるものではない。
地層3と記録層4と保護層5の3層構造の薄膜を形成し
た場合について説明したが1本発明の要旨はこれに限定
されるものではかく、ガラス等吸水性及び透湿性を有し
ない材料にてディスク基板を作製した場合には、下地層
3を省略することもできる。また、記@HI4を構成す
る記録材料も上記のものに限定されるものではない。
下表に、金属材料の耐食性と、熱伝導率と、熱容量の比
較を示す。尚、この表において、耐食性の欄のO印は耐
食性が良好であることを示し、また、○は耐食性がやや
良好であること、X印は耐食性が不良であること、Δは
耐食性が良好と不良の中間であることを示す。
較を示す。尚、この表において、耐食性の欄のO印は耐
食性が良好であることを示し、また、○は耐食性がやや
良好であること、X印は耐食性が不良であること、Δは
耐食性が良好と不良の中間であることを示す。
上表から、具体的には、アルミニウム、金、クロム、ガ
リウム、ハフニウム、インジウム、イリジウム、ニオブ
、パラジウム、白金、ロジウム、ルテニウム、スズ、タ
ンタル、チタン、ジルコニウムから選択された少なくと
も1種の金属、またはこれらの金属と他の元素との合金
、及びステンレス鋼が保護層形成材料として最も好まし
いことが判る。
リウム、ハフニウム、インジウム、イリジウム、ニオブ
、パラジウム、白金、ロジウム、ルテニウム、スズ、タ
ンタル、チタン、ジルコニウムから選択された少なくと
も1種の金属、またはこれらの金属と他の元素との合金
、及びステンレス鋼が保護層形成材料として最も好まし
いことが判る。
この保護層5の形成手段としては、作業性が良好で、か
つ、記録層3の表面に均質にして高密度かつ強固な保護
層を形成可能であることから、DCスパッタ法を用いる
ことが好ましい。但し9作業性及び形成される保護層5
の品質の点からDCスパッタが特に優れているというこ
とであって。
つ、記録層3の表面に均質にして高密度かつ強固な保護
層を形成可能であることから、DCスパッタ法を用いる
ことが好ましい。但し9作業性及び形成される保護層5
の品質の点からDCスパッタが特に優れているというこ
とであって。
保護層5の形成手段がこれに限定されるものではなく、
真空蒸着、RFスパッタリング、イオンプレーレイング
等、他の薄膜形成手段も適用可能であることは勿論であ
る。
真空蒸着、RFスパッタリング、イオンプレーレイング
等、他の薄膜形成手段も適用可能であることは勿論であ
る。
尚、保護層4は、任意のJヴさに形成可能であるが、薄
膜の均質性を保持し、かつ熱容量をある程度低い値に押
えて記録感度及び記録密度の向上を図るため、50人乃
至500人の厚さに形成することが好ましい。
膜の均質性を保持し、かつ熱容量をある程度低い値に押
えて記録感度及び記録密度の向上を図るため、50人乃
至500人の厚さに形成することが好ましい。
以下、具体的な実施例を掲げ、従来の光磁気記録媒体の
耐久性の比較を示す。
耐久性の比較を示す。
片面にプリピット及びグループ等の凹凸パターンが転写
されたガラス製ディスク基板を真空槽内に収納し、該デ
ィスク基板の凹凸パターン形成面に、5isN4 をタ
ーゲットとしてRFスパッタリングを行い、厚さ約10
00人の下地層を形成した。このときのスパッタ条件は
1反応ガスとして3:1の比率に調整されたアルゴンと
窒素の混合ガスを用い1反応ガス圧が2 X 10−2
Torr。
されたガラス製ディスク基板を真空槽内に収納し、該デ
ィスク基板の凹凸パターン形成面に、5isN4 をタ
ーゲットとしてRFスパッタリングを行い、厚さ約10
00人の下地層を形成した。このときのスパッタ条件は
1反応ガスとして3:1の比率に調整されたアルゴンと
窒素の混合ガスを用い1反応ガス圧が2 X 10−2
Torr。
投入電力500Wであった。
次いで、上記下地層の表面にT b 2G F e t
l、をターゲットとしてDCスパッタリングを行い、厚
さ約1000人の記録層を形成した。このときのスパッ
タ条件は、アルゴンガス圧が4 X 10−’ Tor
r。
l、をターゲットとしてDCスパッタリングを行い、厚
さ約1000人の記録層を形成した。このときのスパッ
タ条件は、アルゴンガス圧が4 X 10−’ Tor
r。
投入電力が400Wであった。
次いで、上記記録層の表面にそれぞれアルミニラム、金
、クロム、ガリウム、ハフニウム、インジウム、イリジ
ウム、ニオブ、パラジウム、白金。
、クロム、ガリウム、ハフニウム、インジウム、イリジ
ウム、ニオブ、パラジウム、白金。
ロジウム、ルテニウム、スズ、タンタル、チタン。
ジルコニウムの純金属及びステンレス鋼(SUS32)
をターゲットとしてDCスパッタリングを行い、厚さ約
300人の保護層を有する17例の光磁気記録媒体を形
成した。このときのスパッタ条件は、アルゴンガス圧が
4 X 10−’ Torr、投入電力が100〜50
0Wであった。
をターゲットとしてDCスパッタリングを行い、厚さ約
300人の保護層を有する17例の光磁気記録媒体を形
成した。このときのスパッタ条件は、アルゴンガス圧が
4 X 10−’ Torr、投入電力が100〜50
0Wであった。
第2図に、上記のようにして作製された17例の光磁気
記録媒体の′Q境試験結果を示す。試験条件は、@度8
0℃、相対湿度95%である。
記録媒体の′Q境試験結果を示す。試験条件は、@度8
0℃、相対湿度95%である。
第2図において、横軸は各実施例における保護層の成分
を示し、縦軸は記録層のカー回転角が初期値から20%
変化するまでの時間を、記録層の表面に 5iOzを1
000人の厚さに形成したものとの比較で示している。
を示し、縦軸は記録層のカー回転角が初期値から20%
変化するまでの時間を、記録層の表面に 5iOzを1
000人の厚さに形成したものとの比較で示している。
このグラフから明らかなように、上記実施例の光磁気記
録媒体は、 5iOzを保護層として用いたものに比べ
ていずれも耐食性が顕著に改善されている。上記実施例
のうちでは、ハフニウム、イリジウム、ニオブ、パラジ
ウム、白金、ロジウム。
録媒体は、 5iOzを保護層として用いたものに比べ
ていずれも耐食性が顕著に改善されている。上記実施例
のうちでは、ハフニウム、イリジウム、ニオブ、パラジ
ウム、白金、ロジウム。
ルテニウム、タンタル、チタン、ジルコニウムの保護層
を形成したものが最も顕著な効果が認められ、その値は
SiO:aを保護層として用いたものに比べて約80倍
乃至90倍の向上している。次いで、金、ガリウム、イ
ンジウム、スズ、ステンレス鋼(SUS32)の保護層
を形成したものが優れ、 5iOzを保護層として用い
たものに比べて約40倍乃至70倍の効果が認められる
。効果が比較的小さいアルミニウム及びクロムの保護層
を形成したものについても5iOzを保護層として用い
たものに比べて約7.5倍乃至10.3倍程度の効果が
認められる。
を形成したものが最も顕著な効果が認められ、その値は
SiO:aを保護層として用いたものに比べて約80倍
乃至90倍の向上している。次いで、金、ガリウム、イ
ンジウム、スズ、ステンレス鋼(SUS32)の保護層
を形成したものが優れ、 5iOzを保護層として用い
たものに比べて約40倍乃至70倍の効果が認められる
。効果が比較的小さいアルミニウム及びクロムの保護層
を形成したものについても5iOzを保護層として用い
たものに比べて約7.5倍乃至10.3倍程度の効果が
認められる。
以上説明したように1本発明の光磁気記録媒体は、耐食
性に優れた金属材料をもって保護層を形成したので、保
護層形成の際に1作業性が良好で生産性の高いDCスパ
ッタ法を適用することができ、製造コストの低廉化を図
ることができる。また、熱容量及び熱伝導率の低い金属
材料を選択したので、レーザビーム照射時に熱の影響を
受ける範囲を狭く押えることができ、記録感度及び記録
密度を向上を図ることができる。さらに、熱膨張率が上
記記録層と近似する材料を選択したので。
性に優れた金属材料をもって保護層を形成したので、保
護層形成の際に1作業性が良好で生産性の高いDCスパ
ッタ法を適用することができ、製造コストの低廉化を図
ることができる。また、熱容量及び熱伝導率の低い金属
材料を選択したので、レーザビーム照射時に熱の影響を
受ける範囲を狭く押えることができ、記録感度及び記録
密度を向上を図ることができる。さらに、熱膨張率が上
記記録層と近似する材料を選択したので。
熱応力の発生が防止され、耐久性が向上する。
第1図に本発明に係る光磁気記録媒体構造を模式的に示
す断面図、第2図は本発明の詳細な説明するグラフであ
る。 l:ディスク基板、2:凹凸パターン、3:下地層、4
:記録層、5:保護層 第1図 1tヂづ又2基3文 2: 凹凸ハ0ターン 3:下に1 4:象り 5:程1蔓1 手続壱〇正!(自発) 昭和61年 4月2日
す断面図、第2図は本発明の詳細な説明するグラフであ
る。 l:ディスク基板、2:凹凸パターン、3:下地層、4
:記録層、5:保護層 第1図 1tヂづ又2基3文 2: 凹凸ハ0ターン 3:下に1 4:象り 5:程1蔓1 手続壱〇正!(自発) 昭和61年 4月2日
Claims (4)
- (1)ディスク基板上に、少なくとも記録層及び保護層
を順次積層して成る光磁気記録媒体において、上記保護
層を、耐食性に優れ、かつ、熱容量及び熱伝導率が低い
金属、または合金、または上記金属と他の元素との合金
から形成したことを特徴とする光磁気記録媒体。 - (2)保護層が、アルミニウム、金、クロム、ガリウム
、ハフニウム、インジウム、イリジウム、ニオブ、パラ
ジウム、白金、ロジウム、ルテニウム、スズ、タンタル
、チタン、ジルコニウムから選択された少なくとも1種
の金属、またはこれらの金属と他の元素との合金、また
はステンレス鋼をもって形成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の光磁気記録媒体。 - (3)保護層の厚さを、50Å乃至500Åに形成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項及び第2項記載
の光磁気記録媒体。 - (4)室温から250℃の温度範囲における熱伝導率が
、100Wm^−^1に以下である金属または合金をも
って保護層を形成したことを特徴とする特許請求の範囲
第1項乃至第3項記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1117786A JPS62172545A (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1117786A JPS62172545A (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62172545A true JPS62172545A (ja) | 1987-07-29 |
Family
ID=11770775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1117786A Pending JPS62172545A (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62172545A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6339164A (ja) * | 1986-08-04 | 1988-02-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 記録媒体 |
JPH01245447A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Teijin Ltd | 光磁気記録媒体 |
JPH0296951A (ja) * | 1988-10-04 | 1990-04-09 | Teijin Ltd | 光磁気記録媒体 |
JPH0388152A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-12 | Kyocera Corp | 光磁気記録素子 |
US5032470A (en) * | 1989-04-17 | 1991-07-16 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optical recording medium with an aluminum alloy metallic layer containing at least hafnium |
US5232790A (en) * | 1990-04-28 | 1993-08-03 | Kyocera Corporation | Magneto-optical recording disc and method of producing it |
US5492773A (en) * | 1988-09-13 | 1996-02-20 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
US6042919A (en) * | 1998-05-07 | 2000-03-28 | Zomax Optical Media, Inc. | Structurally stable optical data storage medium |
-
1986
- 1986-01-23 JP JP1117786A patent/JPS62172545A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6339164A (ja) * | 1986-08-04 | 1988-02-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 記録媒体 |
JPH01245447A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Teijin Ltd | 光磁気記録媒体 |
US5492773A (en) * | 1988-09-13 | 1996-02-20 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
JPH0296951A (ja) * | 1988-10-04 | 1990-04-09 | Teijin Ltd | 光磁気記録媒体 |
US5032470A (en) * | 1989-04-17 | 1991-07-16 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optical recording medium with an aluminum alloy metallic layer containing at least hafnium |
EP0393576B1 (en) * | 1989-04-17 | 1996-08-14 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Information recording media |
JPH0388152A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-12 | Kyocera Corp | 光磁気記録素子 |
US5232790A (en) * | 1990-04-28 | 1993-08-03 | Kyocera Corporation | Magneto-optical recording disc and method of producing it |
US6042919A (en) * | 1998-05-07 | 2000-03-28 | Zomax Optical Media, Inc. | Structurally stable optical data storage medium |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4554217A (en) | Process for creating wear and corrosion resistant film for magnetic recording media | |
US6120890A (en) | Magnetic thin film medium comprising amorphous sealing layer for reduced lithium migration | |
US6586116B1 (en) | Nonmetallic thin film magnetic recording disk with pre-seed layer | |
EP0413423A2 (en) | Thin film metal alloy magnetic recording disk | |
US5082749A (en) | Platinum or palladium/cobalt multilayer on a zinc oxide or indium oxide layer for magneto-optical recording | |
JPS62172545A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
EP1005577A1 (en) | Metallic chromium-tantalum oxide composition, sputtering targets and magnetic recording media | |
JPH0451963B2 (ja) | ||
US6986954B2 (en) | Perpendicular magnetic recording media | |
KR100639620B1 (ko) | 자기 기록 매체 및 그 제조 방법과 자기 디스크 장치 | |
US20080037407A1 (en) | Method for Manufacturing Perpendicular Magnetic Recording Medium, Perpendicular Magnetic Recording Medium, and Magnetic Recording/Reproducing Apparatus | |
US20020001736A1 (en) | Magnetic recording medium | |
JPH04219643A (ja) | 光磁気ディスク | |
JPS60231935A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
EP1625579B1 (en) | Method for making a nano-particulate medium | |
EP0317982B1 (en) | Magneto-optical recording medium | |
JP2538124B2 (ja) | 固定磁気ディスクおよびその製造方法 | |
JPH04219619A (ja) | 薄層透明な腐食防止膜およびその製造法 | |
JPH05325163A (ja) | 磁気記録媒体 | |
US20020098386A1 (en) | Magnetic recording medium and magnetic disc drive | |
JP2737241B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPH03122846A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JP2842918B2 (ja) | 磁性薄膜、薄膜磁気ヘッド及び磁気記憶装置 | |
JPS63124213A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JPH0380417A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法 |