JPH05338157A

JPH05338157A - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH05338157A
Application number: JP14576892A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Suzuki; 秀昭鈴木; Akio Owatari; 章夫大渡
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1992-06-05
Filing date: 1992-06-05
Publication date: 1993-12-21

Abstract

(57)【要約】【目的】ノズルのインク流路側に向かうテーパ角が５
度以下で、且つその中心軸をインク流路形成部の基準面
に対して平行に開けることにより、吐出インク滴の吐出
特性の確保、並びに飛行安定性の向上、且つ、被印字媒
体に対する垂直なインク飛行を実現する。【構成】１はノズル、２はインク流路、３はノズル形
成部、４はインク流路を形成するインク流路形成部、５
はノズル前面である。６はインク流路２を閉溝とする天
蓋、４Ａはインク流路形成部４の基準面で、且つ、天蓋
６との接合面でもある。形成されるノズル１は基準面４
Ａに対してその中心軸が平行に形成される。そして、紫
外線光（例えば、エキシマレーザー光）加工の際に生じ
るテーパ角θを、照射する紫外線光のエネルギー密度を
調整することにより、５度以下に設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク滴を飛翔させ被
記録媒体に記録を行うためのインクジェットヘッド及び
前記インクジェットヘッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近、インクジェットヘッドの高性能
化、低価格化の要望から、インクジェットヘッドの特性
を決定するノズル形成には、高精度で、量産上の歩留ま
りの高い紫外線光（例えば、エキシマレーザー光）によ
る加工法を用いるようになりつつある。その中でも、特
開平２ー１８７３４６号公報のように、エキシマレーザ
ー光を圧力室側から照射し、インク吐出の安定性を図る
ために、前記ノズルの断面積がインク吐出方向に向かっ
て縮小する形状に形成する方法等が広く用いられてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
方法では次のような課題を有する（図１６参照）。紫外
線光１１（例えば、エキシマレーザー光、点線の矢印）
をインク流路２側から照射するには、インク流路２を形
成するインク流路形成部４のインク流路２後方（図中に
於て右側）の部材（図示せず）や、インク流路形成部４
に形成されるインク流路２間の側壁（図示せず）等を避
けて、図１６示すごとく天蓋６との接合面であるインク
流路形成部４の基準面４Ａ対してある傾きを持って入射
せざるおえない。図１６に於いて、１はノズル、２はイ
ンク流路、３はノズル形成部、４はインク流路２を形成
するインク流路形成部、５はノズル前面、６はインク流
路２を閉溝とする天蓋である。

【０００４】この構造に於いて、インク流路形成部４の
基準面４Ａに対しノズル１が傾いて配置されているた
め、吐出インク滴は基準面４Ａに対して図１６の実線の
矢印１２（インク滴吐出方向）のごとく斜めに飛行す
る。通常、図１７のように、基準面４Ａは被印字媒体２
１、２２に対して垂直に配置される（理由は後述）た
め、吐出インク滴は被印字媒体に対し斜めに着弾する事
となる。この吐出インク滴の斜めの飛翔は、プラテンギ
ャップ（ノズル前面５と被印字媒体２１、２２間距離）
が不変で、厳密に一定であるならば、印字方向１３、１
４が逆（往復印字対応）であっても、印字タイミングを
制御することにより、印字位置精度に関して何等問題な
い。しかし、プラテンギャップが厳密に一定であり、且
つ、不変であることは、プラテンギャップを決定する複
数の部品精度の累積、又、被印字媒体（例えば、紙）の
厚みのばらつき等により、確保しがたいものである。従
って、図１７に示すごとく、プラテンギャップが変わる
（図中では被印字媒体位置を変えている）ことにより、
インク滴吐出方向１２の延長線（図中では２点鎖線）と
被印字媒体２１、２２との交点で示す吐出インク滴の着
弾位置にＤ１（印字方向１３、１４に沿った）の位置ず
れが生ずる。この位置ずれは、２つの印字品質劣化をも
たらす。１つは、プラテンギャップが各印字場所で変化
する際、ドット位置精度のばらつきとして現れ、もう１
つは、プラテンギャップの平均値が個体間でばらついた
際に、個体間の印字領域のばらつきとして現れる。

【０００５】ここで、基準面４Ａが被印字媒体２１、２
２に対して垂直に配置される理由について説明する（図
１７参照）。通常、あらゆる部品製造、もしくはその部
品を作る型、工具製造に於いて、ある傾きを形成するよ
う製造することは、平行、もしくは直角の角度を有する
ものより、はるかに製造難易度が上がってしまう。当
然、傾きを確保して組み立てることも、同様に製造難易
度を著しく引き上げてしまい、製造コストの上昇、角度
精度の劣化を招いてしまう。それを回避するために、基
準となる面（ここでは、インク流路形成部４の基準面４
Ａ）に対して、部品、部品間構成は直角、平行の組合せ
で形成されて行く。例えば、インク流路形成部４のイン
ク流路２を閉溝とする天蓋６の上面（図中の上側）は基
準面４Ａに対して平行になる様に設定される。この様
に、各部品はインクジェットヘッド内部だけでなく、シ
ステム全体として、直角、平行の角度構成で連結されて
ゆき、最終的には、インク流路形成部４の基準面４Ａが
被印字媒体２１、２２に対して垂直に配置されることと
なる。この部品間構成の条件は必要不可欠のものではな
いが、最低コスト（製造の難易度低減、歩留まり向上等
による）で、高信頼性のインクジェットヘッドを構成す
るための最も重要な要件となる。

【０００６】加えて、従来例の構造に於いては、図１８
に示すように、ノズル１先端エッジからインク流路側に
広がるノズルテーパ面１Ａが開始するため、外乱に対し
て、インク滴吐出前、あるいはインク滴吐出後のインク
メニスカス（ノズル１先端に形成されるインク界面）１
０Ａ，１０Ｂ（インク流路２側に引き込まれた状態）は
図に示すように形状安定性が低い。例えば、微少なイン
ク滴がノズル１先端エッジに偏って付着した場合や、イ
ンク流路２内に、インク吐出とは無関係な圧力変動が生
じた場合には、図１８の１０Ａ，１０Ｂのごとく、イン
クメニスカスの挙動に偏り、あるいはノズル１内部にお
いて、周期的な変動（１０Ａ，１０Ｂ間）を生じさせ
る。この現象は、結果として吐出インク滴の飛行の曲が
りや、飛行のブレを生じさせ、印字品質の劣化を招く。

【０００７】次に、前記の従来例（紫外線光のインク流
路２側からの照射によるノズル形成）を、両面流路形成
基板に適用する場合について説明する。

【０００８】最近のインクジェットヘッドは高密度化、
高速化が要望されており、それに対応するためには、多
ノズル化は非常に有効な手段である。中でも、図１９に
示すように、インク流路形成部４Ｂの両面にインク流路
２を複数形成し（図中に於いて、裏面のインク流路５は
図示せず）、インク流路２に連通するノズル１の数を倍
増させる方法が一般的である。しかし、多ノズル化と、
高精度、高歩留まりノズル形成の両立を目的とし、前記
両面流路形成基板による多ノズル化の方法と、紫外線光
（例えば、エキシマレーザー光）のインク流路２側から
の照射によるノズル形成の方法を融合すると、図１７、
図１８で説明した課題はもとより、図２０で示す課題も
発生する。

【０００９】図２０に於いて、相互の基準面４Ａは平行
で、印字方向１３、１４及び、被印字媒体２１、２２に
対し垂直に配置されている。そして、各ノズル１と基準
面４Ａの関係及び、斜めのインク飛行に関しては図１７
の片面の場合と同様であり、両者の吐出インク滴は図２
０のインク滴吐出方向１２に示すごとく、その距離を狭
める方向に飛翔する。この結果、プラテンギャップが変
動した場合は、（Ｄ３−Ｄ２）のドット位置ずれが生
じ、このずれは、前記プラテンギャップの変動が明確に
予期されない限り、印字タイミングの制御では対応不可
能である。

【００１０】又、プラテンギャップが不変で、厳密に一
定であるとしても、前記構成では、基準面４Ａと被印字
媒体２１、２２の垂直関係が少しでもくずるれると、両
吐出インク滴の着弾位置及びその距離が変動し、印字品
質の劣化を導いてしまう。

【００１１】そこで、本発明はこの様な課題を解決する
ものであって、その目的は、高精度、高歩留まりノズル
形成と、インク滴の吐出安定性のより一層の向上、並び
に被印字媒体に対する垂直なインク飛行を両立させ、ト
ラブル時にも印字品質が劣化しない信頼性の高いインク
ジェットヘッドを提供することにある。加えて、本発明
を両面流路形成基板にも適用し、多ノズル化による高密
度、高速、高信頼性インクジェットヘッドを提供するこ
とも本発明の目的である。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の請求項１のインクジェットヘッドは、イン
ク滴を吐出するノズルを形成するノズル形成部と、イン
ク流路を形成するインク流路形成部と、インク流路を閉
溝とする前記インク流路形成部に接合する天蓋を備え、
前記ノズルと前記インク流路が連通するインクジェット
ヘッドに於て、ノズル断面形状が流路側に向かって縮小
し、そのテーパ角が５度以下であり、その中心軸は前記
天蓋との接合面である前記インク流路形成部の基準面に
対し平行であることを特徴する。

【００１３】又、本発明の請求項２のインクジェットヘ
ッドは、本発明の請求項１の構成であって、前記インク
流路形成部と前記ノズル形成部が一体で成形されている
を特徴とする。

【００１４】又、本発明の請求項３のインクジェットヘ
ッドは、本発明の請求項１もしくは請求項２の構成であ
って、前記インク流路を前記インク流路形成部の両面に
形成することを特徴とする。

【００１５】又、本発明の請求項４のインクジェットヘ
ッド製造方法は、本発明の請求項１、請求項２、請求項
３のインクジェットヘッドに於いて、前記ノズルの形成
を紫外線光を使用して行うことを特徴とする。

【００１６】又、本発明の請求項５のインクジェットヘ
ッド製造方法は、本発明の請求項１、請求項２、請求項
３のインクジェットヘッドに於いて、前記ノズルを前記
ノズル側から紫外線光を照射して形成することを特徴と
する。

【００１７】

【作用】以上の構成によれば、ノズルのテーパ角が５度
以下であることにより、吐出インク滴の吐出特性の確保
と、飛行安定性の向上が両立できる。且つ、ノズルがイ
ンク流路形成部の基準面に対して平行に開けられること
により、吐出インク滴は被印字媒体に対して垂直に飛翔
できる。

【００１８】

【実施例】以下に、本発明の実施例を図面を用い詳細に
説明する。

【００１９】図１に第１の実施例の主要概略断面図を示
す。１はノズル、２はインク流路、３はノズル形成部、
４はインク流路２を形成するインク流路形成部、５はノ
ズル前面である。６はインク流路２を閉溝とする天蓋、
４Ａはインク流路形成部４の基準面で、且つ、天蓋６と
の接合面でもある。又、インク流路形成部４とノズル形
成部３とは、別部材を接合するか、一体形成されたもの
であっても構わない。このノズル形成部３とインク流路
形成部４が一体化したものに対し、ノズル１（ノズル前
面５）側から基準面４Ａと平行に紫外線光１１（例え
ば、エキシマレーザー光）を照射しノズル１を形成す
る。当然、図１のごとく、形成されるノズル１は基準面
４Ａに対してその中心軸が平行に形成される。そして、
紫外線光（例えば、エキシマレーザー光）加工の際に生
じるテーパ角θを、照射する紫外線光のエネルギー密度
を調整することにより、５度以下に設定する。

【００２０】前記構造に於て、ノズルテーパ角θを小さ
く（５度以下）抑えていることにより、インク吐出特性
の劣化は少なく、入力エネルギーの僅かな割増しで対応
可能である。又、図２に示すように、インクメニスカス
１０がインク流路２側に引き込まれた状態に於て、ノズ
ル１先端エッジからインク流路２側に向かって狭まるノ
ズルテーパ面１Ｂが開始するため、ノズルテーパ面１Ｂ
に押え込まれるような状態でインクメニスカス１０が安
定する。そのため、微少なインク滴がノズル１先端エッ
ジに偏って付着した場合や、インク流路２内に、インク
吐出とは無関係な圧力変動が生じた場合等のトラブル時
にも、非常に安定した直進性の高いインク滴吐出が可能
である。

【００２１】ちなみに、前記ノズルテーパ角θを設定す
るに当たり、我々は、直径３５μｍ（ノズル前面５側）
の円形で、長さ（図中においてノズル形成部３の水平方
向の幅）が８０μｍ、テーパ角θが１、３、５、７度の
複数ノズル１を有する試作機を製作し、水溶性染料、湿
潤剤としての多価アルコール、水の組成から成るインク
を用いて評価を行った。その結果、テーパ角θが１、
３、５度のものについて、駆動条件の最適化により、飛
躍的なインク吐出安定性と、実用上の吐出特性（吐出イ
ンク滴の飛行速度として６ｍ／ｓ以上）が両立すること
を確認したが、テーパ角θが７度のものについては必要
な吐出特性が得られなかった。（通常、ノズル１の直径
としては２５〜４０μｍであり、ノズル長さとしては１
００μｍ以下である。）尚、前記ノズル１の形成には、
ＫｒＦレーザーを使用し、発振エネルギー２５０ｍＪ／
パルス、パルス繰り返し周波数３００Ｈｚで、圧縮率を
変えて、ノズルテーパ角θが１、３、５、７度に成るよ
うに設定した。その時のエネルギー密度はそれぞれ１０
Ｊ／ｃｍ²、４Ｊ／ｃｍ²、２Ｊ／ｃｍ²、１．２Ｊ／ｃ
ｍ²である。又、その時の被加工部であるノズル形成部
３は、ポリサルフォン樹脂で成形されたものである。
又、ノズル１形成時に、インク流路２側のレーザー光出
射口にドロス（紫外線光貫通時に発生するバリのような
もの）が発生し、インク滴吐出特性に影響を与えるた
め、レーザー光照射と同時に、被照射部に空気流を吹き
付けて、ドロス発生を抑制した。加えて、ノズル１形成
後に超音波洗浄を施し、ドロス除去を確実なものにし
た。

【００２２】ところで、インク流路形成部４（ノズル形
成部材３含む）は、高分子樹脂の射出成形や、感光性組
成物のフォトリソグラフィー手法等で形成される。その
他、インク流路２の形状パターンの開いた金属薄板の積
層、或は、金属材料のダイカスト形成等でも前記流路基
板を形成できるが、ノズル形成を紫外線光（例えば、エ
キシマレーザー光）で行う場合は適さない。（前記の場
合は、ＹＡＧレーザー加工等でノズル形成可能である）
図３に本発明の第２の実施例の主要概略断面図を示す。
基本的な構成及び効果は第１の実施例と同等であるが、
インク流路２の先端（ノズル１側）の底部７がノズル１
に向かって浅くなるテーパ状となっている。この構造に
より、インク流路２先端におけるインクの滑らかな流れ
を達成し、インク吐出効率も向上し、省エネルギー化が
図れる。又、ノズル長さ（通常、１００μ以下）は非常
に小さいが、前記テーパ状の底部７により剛性が高ま
り、ノズル形成部３にかかるインク吐出圧に対する構造
的信頼性を上げることができる。加えて、インク流路形
成部４（ノズル形成部３一体型）の成形性も飛躍的に向
上する。

【００２３】又、この構造に於て、図４に示すような流
路パターン（天蓋６側から見た状態）を適用することに
より、前記の効果は一層高まる。

【００２４】尚、図５は、第２の実施例に於て、図４に
示すインク流路２形状を適用した時の３次元的構成を表
したものである。

【００２５】ちなみに、第２の構造に於て（図４に示す
インク流路２形状を適用した時）、インク滴吐出特性を
評価した結果、第１の実施例のものに対し、印加電圧を
５〜１０％の低下することができた。

【００２６】図６に本発明の第３の実施例の主要概略断
面図を示す。基本的な構成及び効果は第２の実施例（図
４に示すインク流路２形状を適用した時）と同等である
が、インク流路２先端にノズル側に向かって縮径する絞
り部８を設けたものであり、ノズル形成部３の内部に埋
設される状態で配置されている。この構造に於ては、ノ
ズル形成部３の天蓋６との接合面を大きくとれ、ノズル
長さは小さく設定できる。従って、インク滴吐出特性を
確保でき、且つノズル形成部３と天蓋６との接合信頼性
を一段と向上させることができる。尚、この絞り部８を
形成する方法としては、ノズル形成部３、あるいはイン
ク流路形成部４を形成する際に一体で成形する方法や、
インク流路２側からの紫外線光の照射による後加工で形
成する方法等がある。

【００２７】図７に本発明の第４の実施例の主要概略断
面図を示す。基本的な構成及び効果は第１の実施例と同
等であるが、ノズル形成部３の幅（図中に於て、水平方
向）が基準面４Ａ側（天蓋６との接合面側）に縮小する
断面形状になるように設定してある。これにより、ノズ
ル形成部３とインク流路形成部４とを一体で成形し、図
中の矢印方向に成形型を離型する際の離型抵抗が非常に
低減できる。そのため、成形後の後加工無しで、ノズル
面５の表面を非常にきれいで平坦な面に仕上げることが
できる。

【００２８】以上、本発明の第１、第２、第３、第４の
実施例は、ノズル１のテーパ角が５度以下であることに
より、吐出インク滴の吐出特性の確保と、飛行安定性の
向上が両立できる。且つ、ノズル１がインク流路形成部
２の基準面４Ａに対して平行に、安価で高精度に開けら
れることにより、被印字媒体に対する垂直なインク飛行
を高い信頼性で実現できる。そのため、トラブル時に
も、印字品質が劣化しない高信頼性インクジェットヘッ
ドとなり得る。

【００２９】又、前記４つの実施例に於けるノズル１形
状（ノズル方向に対する垂直断面）は、図示していない
が、円形、正方形、長方形、及びその他の多角形、どの
ような形状であっても対応でき、本発明の適用範囲に入
る。

【００３０】加えて、図８の主要概略断面図に示す様
に、ノズル前面５に各ノズル１に対してクレーター９
（ノズル１先端を保護する凹部）を配することも本発明
に属する。このクレーター９は、印字途中のトラブルと
して発生するノズル前面５と被印字媒体との衝突、接触
（例えば、紙ジャム、紙擦り）の際に、ノズル１先端を
ノズル前面５より一段引き込ませているため、直接、印
字媒体がノズル１先端に衝突するのを防ぐことができ
る。このクレーター９の形状設定には自由度があり、ノ
ズル１先端を取り囲むものであれば良い。又、必ずしも
ノズル１とクレーター９が一対一に対応する必要はな
く、複数のノズル１に対し１つのクレーターで対応して
も構わない。（図示せず）図９に於いて示したクレー
ター９Ａは、円形形状でノズル１に対し一体一に対応す
る例である。又、図１０に於いて示したクレーター９Ｂ
は、矩形形状のものである。これらのクレーター９Ａ，
９Ｂの形成は、ノズル前面５側より紫外線光を照射して
形成する方法や、ノズル形成部材３（インク流路形成部
４）を形成する際同時に成形する方法等がある。通常、
クレーター９の深さ（ノズル前面５より）は、数μｍか
ら数十μｍのものがあり、各種の制約条件を考慮して設
定するば良い。

【００３１】又、このクレーター９の形成により、第３
の実施例と同様にノズル形成部３の天蓋６との接合面を
大きくとれ、且つノズル長さは小さく設定できる。（図
８参照）従って、インク滴吐出特性を確保でき、且つ
ノズル形成部３と天蓋６との接合信頼性を一段と向上さ
せることができる。

【００３２】次に、本発明の第５の実施例を図１１を用
いて説明する。これは、第１、第２、第３、第４の実施
例を多ノズル化を目的として、両面流路形成基板に適用
したものである。

【００３３】基本的に片側（図に於いて、上方あるいは
下方）の構成は、前記の第１、第２、第３、第４の実施
例のいずれかと同様であり、インク流路形成部４Ｂの両
面にインク流路２を複数形成し、それぞれのインク流路
２に対応してノズル１が連通している。そして、流路基
板４Ｂの表裏（図中では上下）の基準面４Ａどうしを平
行に設定し、双方の吐出インク滴は平行で、双方の基準
面４Ａに対しても平行（図中の１５）に飛翔させる。こ
の両面のインク流路形成部４Ｂは、裏表面を一体で形成
したものでもよいし、片面のものを基準面４Ａを外側に
するように２つ合わせて、一体化したものでも構わな
い。

【００３４】この構成は、ノズル１のテーパ角が５度以
下であることにより、吐出インク滴の吐出特性の確保
と、飛行安定性の向上が両立できる。又、両面のそれぞ
れノズル１の中心軸が双方の基準面４Ａに対して平行に
配されているため、双方のノズル１から吐出されるイン
ク滴は平行で、且つ、双方の基準面４Ａに対しても平行
に飛翔でき、被印字媒体に対する垂直で、並列なインク
飛行を安価で、且つ高い信頼性で実現できる。そのた
め、トラブル時にも、印字品質が劣化しない高信頼性イ
ンクジェットヘッドを多ノズル化することができる。

【００３５】図１２、図１３は両面に対応したヘッドの
ノズル配列に関する実施例である。図１２はインク流路
形成部４Ｂの両面に形成されるそれぞれのノズル列１
Ｃ、１Ｄがそれぞれ同一ピッチで、印字高さ方向（図中
の上下方向）に半ピッチずらした例であり、高密度化に
対応したものである。図１３はノズル列１Ｃ、１Ｄがそ
れぞれ同一ピッチで、印字高さ方向（図中の上下方向）
にずれなく配列した例であり、高速化に対応したのもで
ある。尚、前記ずらし量は目的によって様々に設定でき
るが、すべて本発明の適用範囲に属する。

【００３６】図１４に本発明の第６の実施例の主要概略
断面図を示す。基本的な構成及び効果は第１の実施例と
同等であるが、ノズル前面５を第４の実施例のごとく斜
めにし、両面に対応したものである。この構造は、両面
に対応したインク流路形成部４Ｂの中央部がノズル１先
端より、被印字媒体２１側に吐出するため、図１５に示
すノズル前面５と被印字媒体２１とが衝突、接触するよ
うなトラブル時も、ノズル１先端を傷つけることがな
い。

【００３７】以上の本発明の実施例全てに渡って、イン
ク流路２に圧力変動を発生させる能動素子（図示せず）
としては、電気エネルギーを熱エネルギーに変換する発
熱素子や、電気エネルギーを機械エネルギーに変換し、
天蓋６をたわませる圧電素子（天蓋６上で、インク流路
２外に設置）等を用いることができる。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は高精度、
高歩留まりノズル形成と、インクの吐出安定性のより一
層の向上、並びに被印字媒体に対する垂直なインク飛行
を両立させ、トラブル時にも、印字品質が劣化しない信
頼性の高いインクジェットヘッドを提供することにあ
る。加えて、本発明を両面流路形成基板にも適用し、多
ノズル化による高密度、高速、高信頼性インクジェット
ヘッドを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の主要概略断面図であ
る。

【図２】図１のノズル近傍拡大図である。

【図３】本発明の第２の実施例の主要概略断面図であ
る。

【図４】本発明の第２の実施例の流路パターン図であ
る。

【図５】本発明の第２の実施例のノズル側より見た斜視
図である。

【図６】本発明の第３の実施例の主要概略断面図であ
る。

【図７】本発明の第４の実施例の主要概略断面図であ
る。

【図８】本発明の実施例に係る主要概略断面図である。

【図９】本発明の実施例のノズル前面からの断面斜視図
である。

【図１０】本発明の実施例のノズル前面からの断面斜視
図である。

【図１１】本発明の第４の実施例の主要概略断面図であ
る。

【図１２】本発明の第４の実施例の両面流路形成記板の
斜視図である。

【図１３】本発明の第４の実施例の両面流路形成記板の
斜視図である。

【図１４】本発明の第５の実施例の主要概略断面図であ
る。

【図１５】本発明の第５の実施例と印字媒体との相関図
である。

【図１６】従来例の主要概略断面図である。

【図１７】従来例と印字媒体との相関図である。

【図１８】従来例のノズル近傍拡大図である。

【図１９】従来例の主要概略断面図である。

【図２０】従来例と印字媒体との相関図である。

【符号の説明】

１ノズル１Ａノズルテーパ面１Ｂノズルテーパ面１Ｃノズル列１Ｄノズル列２インク流路３ノズル形成部４インク流路形成部４Ａ基準面４Ｂインク流路形成部５ノズル前面６天蓋７インク流路先端の底部８インク流路先端の絞り部９クレーター９Ａクレーター９Ｂクレーター１０インクメニスカス１０Ａインクメニスカス１０Ｂインクメニスカス１１紫外線光１２インク滴吐出方向１３印字方向１４印字方向１５インク滴吐出方向１５Ａ吐出インク滴のノズル前面の法線方向の速度成
分１５Ｂ吐出インク滴のノズル方向の速度成分２１被印字媒体２２被印字媒体 θ ノズルテーパ角Ｄ１吐出インク滴の着弾位置ずれＤ２両面の吐出インク滴の着弾位置間距離Ｄ３両面の吐出インク滴の着弾位置間距離

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インク滴を吐出するノズルを形成するノ
ズル形成部と、インク流路を形成するインク流路形成部
と、インク流路を閉溝とする前記インク流路形成部に接
合する天蓋を備え、前記ノズルと前記インク流路が連通
するインクジェットヘッドに於て、ノズル断面形状が流
路側に向かって縮小し、そのテーパ角が５度以下であ
り、その中心軸は前記天蓋との接合面である前記インク
流路形成部の基準面に対し平行であることを特徴するイ
ンクジェットヘッド。
【請求項２】前記インク流路形成部と前記ノズル形成
部が一体で成形されていることを特徴とする請求項１に
記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】前記インク流路を、前記インク流路形成
部の両面に形成することを特徴とする請求項１、請求項
２いずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】前記ノズルの形成は紫外線光を使用して
行うことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３の
いずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】前記ノズルは前記ノズル側から紫外線光
を照射して形成することを特徴とする請求項１、請求項
２、請求項３のいずれかに記載のインクジェットヘッド
の製造方法。